JPH1086141A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JPH1086141A JPH1086141A JP24211996A JP24211996A JPH1086141A JP H1086141 A JPH1086141 A JP H1086141A JP 24211996 A JP24211996 A JP 24211996A JP 24211996 A JP24211996 A JP 24211996A JP H1086141 A JPH1086141 A JP H1086141A
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤ走行駆動モータと切断用ワイヤの負荷
を低減できるワイヤソーを提供すること。 【解決手段】 ワイヤ６の走行方向反転時にワーク１０
の送りをワーク昇降モータ１１により停止または上昇さ
せる。ワーク１０の切断長さに応じてワイヤの走行速度
を低下させる。この検出データに基づいてワーク昇降モ
ータ１１と、メインローラモータ７の回転速度を連動し
て制御する。
を低減できるワイヤソーを提供すること。 【解決手段】 ワイヤ６の走行方向反転時にワーク１０
の送りをワーク昇降モータ１１により停止または上昇さ
せる。ワーク１０の切断長さに応じてワイヤの走行速度
を低下させる。この検出データに基づいてワーク昇降モ
ータ１１と、メインローラモータ７の回転速度を連動し
て制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体材
料、磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより
切断するワイヤソーに係り、詳しくはその切断時におけ
る切断送り量の制御に関するものである。
料、磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより
切断するワイヤソーに係り、詳しくはその切断時におけ
る切断送り量の制御に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーにおいては、複数の加工用ロ
ーラ間に切断用ワイヤが所定ピッチで巻き付けられ、加
工用ローラの回転とともにワイヤが延長方向に走行さ
れ、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリが供給される。そ
して、この状態でワイヤにワークが押し付けられて、砥
粒のラッピング作用によりワークが同時に複数枚のウエ
ハに切断されるようになっている。
ーラ間に切断用ワイヤが所定ピッチで巻き付けられ、加
工用ローラの回転とともにワイヤが延長方向に走行さ
れ、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリが供給される。そ
して、この状態でワイヤにワークが押し付けられて、砥
粒のラッピング作用によりワークが同時に複数枚のウエ
ハに切断されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ワイヤの走
行方向が反転される時にもワークの切断送りが継続され
る。このために、ワイヤ走行を駆動するモータの立ち上
がり負荷が大きくなる。よって、前記モータとして、容
量の大きいものが必要となり、それに伴って装置全体が
大型化していた。その上、反転走行開始時にワイヤに作
用する摩擦力が大きくなりワイヤにかかる負荷が大き
く、ワイヤが変形したり断線したりすることがあった。
行方向が反転される時にもワークの切断送りが継続され
る。このために、ワイヤ走行を駆動するモータの立ち上
がり負荷が大きくなる。よって、前記モータとして、容
量の大きいものが必要となり、それに伴って装置全体が
大型化していた。その上、反転走行開始時にワイヤに作
用する摩擦力が大きくなりワイヤにかかる負荷が大き
く、ワイヤが変形したり断線したりすることがあった。
【０００４】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とし
ては、ワイヤ走行駆動モータと加工用ワイヤの負荷を低
減できるワイヤソーを提供することにある。
る問題点に着目してなされたものである。その目的とし
ては、ワイヤ走行駆動モータと加工用ワイヤの負荷を低
減できるワイヤソーを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１のワイヤソーの発明では、ワイヤ走行方向
反転時にワイヤに対するワークの押し付け力を低減する
ための制御手段を設けたものである。
に、請求項１のワイヤソーの発明では、ワイヤ走行方向
反転時にワイヤに対するワークの押し付け力を低減する
ための制御手段を設けたものである。
【０００６】請求項２のワイヤソーの発明では、請求項
１において、前記制御手段は、ワイヤの走行方向反転時
にワーク及びワイヤの一方を他方から離間する方向に移
動させるものである。
１において、前記制御手段は、ワイヤの走行方向反転時
にワーク及びワイヤの一方を他方から離間する方向に移
動させるものである。
【０００７】請求項３のワイヤソーの発明では、請求項
１において、前記制御手段は、ワイヤの走行方向反転時
にワークまたはワイヤの切断送りを停止または減速させ
るものである。
１において、前記制御手段は、ワイヤの走行方向反転時
にワークまたはワイヤの切断送りを停止または減速させ
るものである。
【０００８】請求項４のワイヤソーの発明では、請求項
１において、前記制御手段は、ワークの切断長さが増加
するのにともなってワイヤ走行速度を低下させるもので
ある。
１において、前記制御手段は、ワークの切断長さが増加
するのにともなってワイヤ走行速度を低下させるもので
ある。
【０００９】従って、請求項１〜３の発明によれば、ワ
イヤ走行方向反転時に、ワイヤ走行駆動用モータの負荷
が軽減できる。請求項４の発明によれば、ワイヤ走行反
転時のワイヤにかかる抵抗を軽減し、ワイヤ断線の危険
を抑えることができる。
イヤ走行方向反転時に、ワイヤ走行駆動用モータの負荷
が軽減できる。請求項４の発明によれば、ワイヤ走行反
転時のワイヤにかかる抵抗を軽減し、ワイヤ断線の危険
を抑えることができる。
【００１０】
（一実施の形態）以下に、本発明の一実施の形態につい
て図１〜図５に基づいて説明する。
て図１〜図５に基づいて説明する。
【００１１】図１及び図２に示すように、切断機構１は
フレーム２上に装設され、互いに平行に配置された１本
の駆動加工用ローラ３及び２本の被動加工用ローラ４，
５を備えている。各加工用ローラ３，４，５の外周には
多数の環状溝３ａ，４ａ，５ａが所定ピッチで形成され
ている。
フレーム２上に装設され、互いに平行に配置された１本
の駆動加工用ローラ３及び２本の被動加工用ローラ４，
５を備えている。各加工用ローラ３，４，５の外周には
多数の環状溝３ａ，４ａ，５ａが所定ピッチで形成され
ている。
【００１２】鋼線よりなる一本の切断用ワイヤ６は各加
工用ローラ３，４，５の各環状溝３ａ，４ａ，５ａに連
続的に順次巻回されている。駆動加工用ローラ３はメイ
ンローラモータ７により直接回転されるとともに、ロー
ラ４，５はワイヤ６の走行力に伴はれて回転、これによ
りワイヤ６は各加工用ローラ３，４，５の回転を伴って
反転を伴いながらその延長方向に歩進的に走行される。
工用ローラ３，４，５の各環状溝３ａ，４ａ，５ａに連
続的に順次巻回されている。駆動加工用ローラ３はメイ
ンローラモータ７により直接回転されるとともに、ロー
ラ４，５はワイヤ６の走行力に伴はれて回転、これによ
りワイヤ６は各加工用ローラ３，４，５の回転を伴って
反転を伴いながらその延長方向に歩進的に走行される。
【００１３】ワーク支持機構９は前記切断機構１の上方
において、フレーム２上のコラム３０に上下動可能に支
持され、その下部にはワーク１０が着脱自在にセットさ
れる。ワーク昇降モータ１１はコラム３０上に配置さ
れ、このワーク昇降用モータ１１により図示しないボー
ルスクリュー等を介してワーク支持機構９が上下動され
る。一対のスラリ供給パイプ１２は切断機構１における
ワイヤ６の若干上方に位置するように、フレーム２上に
支持され、そのワイヤ６の走行方向と直交する方向に伸
びている。
において、フレーム２上のコラム３０に上下動可能に支
持され、その下部にはワーク１０が着脱自在にセットさ
れる。ワーク昇降モータ１１はコラム３０上に配置さ
れ、このワーク昇降用モータ１１により図示しないボー
ルスクリュー等を介してワーク支持機構９が上下動され
る。一対のスラリ供給パイプ１２は切断機構１における
ワイヤ６の若干上方に位置するように、フレーム２上に
支持され、そのワイヤ６の走行方向と直交する方向に伸
びている。
【００１４】そして、ワイヤ６が走行されながら、ワー
ク支持機構９が切断機構１に向かって下降される。この
とき、スラリ供給パイプ１２より砥粒を含むスラリが加
工用ローラ３，５間のワイヤ６上に落下して、同ワイヤ
６上にスクリーン状に供給されるとともに、そのワイヤ
６に対して、ワーク１０が押し付けられ、ラッピング作
用によってワーク１０が同時に多数枚の薄片となるよう
にスライスされる。
ク支持機構９が切断機構１に向かって下降される。この
とき、スラリ供給パイプ１２より砥粒を含むスラリが加
工用ローラ３，５間のワイヤ６上に落下して、同ワイヤ
６上にスクリーン状に供給されるとともに、そのワイヤ
６に対して、ワーク１０が押し付けられ、ラッピング作
用によってワーク１０が同時に多数枚の薄片となるよう
にスライスされる。
【００１５】リール機構１３はフレーム２上に装設さ
れ、ワイヤ６を繰り出すための繰り出しリール１４とワ
イヤ６を巻き取るための巻き取りリール１５とを備えて
いる。リールモータ１６，１７はフレーム２上に配設さ
れ、この両リールモータ１６，１７により両リール１
４，１５が直接回転され、これによりワイヤ６は繰り出
しリール１４から繰り出されると同時に、巻き取りリー
ル１５に巻き取られる。トラバース機構１８はリール機
構１３に隣接してフレーム２上に装設され、繰り出しリ
ール１４からのワイヤ６の繰り出し及び巻き取りリール
１５へワイヤ６の巻き取りをトラバースしながら案内す
る。ワイヤ６の張力付与機構１９は前記リール機構１３
と切断機構１との間に位置するように、フレーム２上に
装設され、ダンサアーム２０に課せられたウェイト２１
により加工用ローラ３，４，５間のワイヤ６に所定の張
力が付与される。
れ、ワイヤ６を繰り出すための繰り出しリール１４とワ
イヤ６を巻き取るための巻き取りリール１５とを備えて
いる。リールモータ１６，１７はフレーム２上に配設さ
れ、この両リールモータ１６，１７により両リール１
４，１５が直接回転され、これによりワイヤ６は繰り出
しリール１４から繰り出されると同時に、巻き取りリー
ル１５に巻き取られる。トラバース機構１８はリール機
構１３に隣接してフレーム２上に装設され、繰り出しリ
ール１４からのワイヤ６の繰り出し及び巻き取りリール
１５へワイヤ６の巻き取りをトラバースしながら案内す
る。ワイヤ６の張力付与機構１９は前記リール機構１３
と切断機構１との間に位置するように、フレーム２上に
装設され、ダンサアーム２０に課せられたウェイト２１
により加工用ローラ３，４，５間のワイヤ６に所定の張
力が付与される。
【００１６】図２に示すように、制御装置２４は前記フ
レーム２の後方に近接して配置され、その前面には各種
の操作キーや表示部等を備えた制御パネル２５が配置さ
れている。キーボード２６は制御パネル２５上に配置さ
れ、そこには多数の入力キー２７が配列されている。
レーム２の後方に近接して配置され、その前面には各種
の操作キーや表示部等を備えた制御パネル２５が配置さ
れている。キーボード２６は制御パネル２５上に配置さ
れ、そこには多数の入力キー２７が配列されている。
【００１７】図３の回路構成図に示すように、制御装置
２４の内部には中央処理装置（ＣＰＵ）２８及びメモリ
２９が実装されている。このＣＰＵ２８は装置全体の動
作を統括する。メモリ２９は装置の動作を制御するため
の運転プログラムを記憶するとともに、各種の入力デー
タや検出データを一時的に記憶する。この実施例では、
メモリ２９中に例えば、加工用ローラ３〜５を駆動する
ためのモータ７の回転速度及びワーク昇降モータ１１の
回転速度に関するデータ等が記憶されるとともに、各種
の運転プログラムが格納されている。そして、このキー
ボード２６上の入力キー２７からＣＰＵ２８に対して、
ワーク１０の大きさ、形、材質、ローラ用モータ７の回
転速度、ワーク昇降モータ１１の回転速度の値が入力さ
れて、メモリ２９に記憶される。
２４の内部には中央処理装置（ＣＰＵ）２８及びメモリ
２９が実装されている。このＣＰＵ２８は装置全体の動
作を統括する。メモリ２９は装置の動作を制御するため
の運転プログラムを記憶するとともに、各種の入力デー
タや検出データを一時的に記憶する。この実施例では、
メモリ２９中に例えば、加工用ローラ３〜５を駆動する
ためのモータ７の回転速度及びワーク昇降モータ１１の
回転速度に関するデータ等が記憶されるとともに、各種
の運転プログラムが格納されている。そして、このキー
ボード２６上の入力キー２７からＣＰＵ２８に対して、
ワーク１０の大きさ、形、材質、ローラ用モータ７の回
転速度、ワーク昇降モータ１１の回転速度の値が入力さ
れて、メモリ２９に記憶される。
【００１８】さて、ワーク１０の切断に際しては、ワイ
ヤ６が切断機構１の加工用ローラ３，４，５間で走行さ
れながら、ワーク支持機構９が切断機構１に向かって下
降され、そのワイヤ６に対してワーク１０が押し付けら
れる。このとき、ワイヤ６上へスラリ供給パイプ１２よ
り砥粒を含むスラリが供給されて、ワーク１０がスライ
スされる。図４に示すように、この切断中においては、
ワーク１０はワイヤ６に圧接されワイヤ６は下方にたわ
む。
ヤ６が切断機構１の加工用ローラ３，４，５間で走行さ
れながら、ワーク支持機構９が切断機構１に向かって下
降され、そのワイヤ６に対してワーク１０が押し付けら
れる。このとき、ワイヤ６上へスラリ供給パイプ１２よ
り砥粒を含むスラリが供給されて、ワーク１０がスライ
スされる。図４に示すように、この切断中においては、
ワーク１０はワイヤ６に圧接されワイヤ６は下方にたわ
む。
【００１９】次に、図５に示すように、ワーク送り量
と、加工用ローラ３〜５間におけるワイヤ６の走行との
関係をグラフにして説明する。ワイヤ６は、運転プログ
ラムに基づいて、一定の速度域まで加速しながら一方向
へ回転され（ｔ１）、その速度域に達すると、一定時間
定速走行する（ｔ２）。次に、走行速度が減速し、停止
される（ｔ３）。走行速度が０になると走行方向が反転
されるとともに、加速されて（ｔ４）、定速走行域に達
し（ｔ５）、次いで、減速に移行する（ｔ６）。以上の
動作が１サイクルを構成しており、以降このサイクルで
運転が停止されるまで繰り返される。
と、加工用ローラ３〜５間におけるワイヤ６の走行との
関係をグラフにして説明する。ワイヤ６は、運転プログ
ラムに基づいて、一定の速度域まで加速しながら一方向
へ回転され（ｔ１）、その速度域に達すると、一定時間
定速走行する（ｔ２）。次に、走行速度が減速し、停止
される（ｔ３）。走行速度が０になると走行方向が反転
されるとともに、加速されて（ｔ４）、定速走行域に達
し（ｔ５）、次いで、減速に移行する（ｔ６）。以上の
動作が１サイクルを構成しており、以降このサイクルで
運転が停止されるまで繰り返される。
【００２０】一方、ワイヤ６が加速走行のときにはワー
ク１０は定位置を維持する（ｔ１）。ワイヤ６が定速走
行に移行すると、ワーク１０が下降される（ｔ２）。そ
して、ワイヤ６の走行方向が反転するまでの減速中はワ
ーク１０の停止（必要に応じ減速）または／および若干
の上昇が行われ（ｔ３）、ワイヤ６が反転方向に加速さ
れるときにはワーク１０の上昇が停止し（ｔ４）、ワイ
ヤ６が定速走行に移行すると、ワーク１０の下降が行わ
れ（ｔ５）、ワイヤ６の減速中はワーク１０の停止また
は／および上昇が行われる（ｔ６）。以上の動作が１サ
イクルを構成しており、以降このサイクルは運転が停止
されるまで繰り返される。以上の図５に示す制御は、制
御装置２４内のタイムカウンタ（図示しない）からの信
号に基づいて行われる。
ク１０は定位置を維持する（ｔ１）。ワイヤ６が定速走
行に移行すると、ワーク１０が下降される（ｔ２）。そ
して、ワイヤ６の走行方向が反転するまでの減速中はワ
ーク１０の停止（必要に応じ減速）または／および若干
の上昇が行われ（ｔ３）、ワイヤ６が反転方向に加速さ
れるときにはワーク１０の上昇が停止し（ｔ４）、ワイ
ヤ６が定速走行に移行すると、ワーク１０の下降が行わ
れ（ｔ５）、ワイヤ６の減速中はワーク１０の停止また
は／および上昇が行われる（ｔ６）。以上の動作が１サ
イクルを構成しており、以降このサイクルは運転が停止
されるまで繰り返される。以上の図５に示す制御は、制
御装置２４内のタイムカウンタ（図示しない）からの信
号に基づいて行われる。
【００２１】以上のように、ワーク１０はワイヤ６の定
速走行時に切断送りされ、ワイヤ６の減速から停止まで
に、停止（必要に応じ減速）または／および若干の上昇
が行われ、ワイヤ６の加速時に停止される。そして、例
えばワーク１０の断面が円形状の場合、ワーク１０の切
断が同ワーク１０の中央部に進むに従って、つまり、ワ
ーク１０の切断長さが増加するに従って、図５に２点鎖
線（Ｌ１）で示すように、ワイヤ６の定速走行速度を低
くする。このため、切断長さが増加しても、ワイヤの負
荷が過大にならぬように制御して効率的な切断加工を維
持できる。ちなみに、この定速走行速度の制御は、モー
タ７の突入電流を検出して行われる。すなわち、ワーク
１０の中央部ほど切断長さが増加するために、切断抵抗
が大きくなり、ワイヤ６の走行を駆動するモータ７に対
する負荷が増大する。このため、ワイヤ６の反転時にお
ける突入電流の値が高くなり、この突入電流の値に応じ
て定速走行速度が選択される。
速走行時に切断送りされ、ワイヤ６の減速から停止まで
に、停止（必要に応じ減速）または／および若干の上昇
が行われ、ワイヤ６の加速時に停止される。そして、例
えばワーク１０の断面が円形状の場合、ワーク１０の切
断が同ワーク１０の中央部に進むに従って、つまり、ワ
ーク１０の切断長さが増加するに従って、図５に２点鎖
線（Ｌ１）で示すように、ワイヤ６の定速走行速度を低
くする。このため、切断長さが増加しても、ワイヤの負
荷が過大にならぬように制御して効率的な切断加工を維
持できる。ちなみに、この定速走行速度の制御は、モー
タ７の突入電流を検出して行われる。すなわち、ワーク
１０の中央部ほど切断長さが増加するために、切断抵抗
が大きくなり、ワイヤ６の走行を駆動するモータ７に対
する負荷が増大する。このため、ワイヤ６の反転時にお
ける突入電流の値が高くなり、この突入電流の値に応じ
て定速走行速度が選択される。
【００２２】以上のように構成された本実施形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 （ａ）ワイヤ６の走行方向反転時において、ワーク１０
を上昇させることにより、ワイヤ６とワーク１０との間
の摩擦抵抗が低下する。このため、モータ７の回転開始
時における負荷が低減されるため、モータ７の寿命を延
ばすことができるとともに、モータとして出力が小さい
ものを使用することが可能になる。
ば、以下の効果を奏する。 （ａ）ワイヤ６の走行方向反転時において、ワーク１０
を上昇させることにより、ワイヤ６とワーク１０との間
の摩擦抵抗が低下する。このため、モータ７の回転開始
時における負荷が低減されるため、モータ７の寿命を延
ばすことができるとともに、モータとして出力が小さい
ものを使用することが可能になる。
【００２３】（ｂ）ワイヤ６の走行方向反転時におい
て、ワイヤ６の負担が軽減されて断線率を低減すること
ができる。 （ｃ）ワイヤ６とワーク１０との間の抵抗が低下するた
め、ワイヤ６の定速走行までの加速に要する時間が短縮
されることで、実質切断時間を有効に確保でき、切断効
率を向上できる。
て、ワイヤ６の負担が軽減されて断線率を低減すること
ができる。 （ｃ）ワイヤ６とワーク１０との間の抵抗が低下するた
め、ワイヤ６の定速走行までの加速に要する時間が短縮
されることで、実質切断時間を有効に確保でき、切断効
率を向上できる。
【００２４】（ｄ）切断長さに応じてワイヤ６の走行速
度を変化させて、ワイヤへの負荷が過大にならぬよう制
御して加工精度の低下を防止できる。なお、本発明は以
下のように変更して具体化することもできる。
度を変化させて、ワイヤへの負荷が過大にならぬよう制
御して加工精度の低下を防止できる。なお、本発明は以
下のように変更して具体化することもできる。
【００２５】（１）図５に２点鎖線（Ｌ２）で示すよう
に、ワイヤ６の走行方向反転時にワーク送りを停止させ
るように構成すること。 （２）図５に２点鎖線（Ｌ３）で示すように、ワイヤ６
の走行方向反転時にのみワーク送りを停止させるように
構成すること。
に、ワイヤ６の走行方向反転時にワーク送りを停止させ
るように構成すること。 （２）図５に２点鎖線（Ｌ３）で示すように、ワイヤ６
の走行方向反転時にのみワーク送りを停止させるように
構成すること。
【００２６】（３）図５に２点鎖線（Ｌ４）で示すよう
に、ワイヤ６が定速走行に達した時、ワークの切り込み
端部とワイヤが再接触する直前までワークの下降速度を
ワークの切断送り速度より大きく設定すること。（再接
触点がＳ１，Ｓ２…Ｓ１′，Ｓ２′より早く切断が始ま
る。） （４）ワイヤ６の走行方向反転時にワーク送り速度を低
下させるように構成すること。
に、ワイヤ６が定速走行に達した時、ワークの切り込み
端部とワイヤが再接触する直前までワークの下降速度を
ワークの切断送り速度より大きく設定すること。（再接
触点がＳ１，Ｓ２…Ｓ１′，Ｓ２′より早く切断が始ま
る。） （４）ワイヤ６の走行方向反転時にワーク送り速度を低
下させるように構成すること。
【００２７】（５）この発明をローラ３〜５がワイヤ６
とともに移動して切断送りが行われるようにしたワイヤ
ソーに具体化すること。
とともに移動して切断送りが行われるようにしたワイヤ
ソーに具体化すること。
【００２８】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば以
下の優れた効果を奏する。請求項１〜３の発明によれ
ば、ワイヤ走行方向反転時にワイヤとローラ駆動用モー
タの双方の負担が軽減されることで、ワイヤの断線率が
低減するとともに、モータとして出力の小さいものを使
用することが可能となり、サイズダウンを図ることがで
きてコストを低減できる。
下の優れた効果を奏する。請求項１〜３の発明によれ
ば、ワイヤ走行方向反転時にワイヤとローラ駆動用モー
タの双方の負担が軽減されることで、ワイヤの断線率が
低減するとともに、モータとして出力の小さいものを使
用することが可能となり、サイズダウンを図ることがで
きてコストを低減できる。
【００２９】請求項４の発明によれば、ワークの切断長
さが変化しても、ワイヤへの負荷が過大にならぬよう制
御して加工精度の向上が可能となる。
さが変化しても、ワイヤへの負荷が過大にならぬよう制
御して加工精度の向上が可能となる。
【図１】 実施の形態のワイヤソーを示す正面図。
【図２】 実施の形態のワイヤソーの平面図。
【図３】 実施の形態の回路構成図。
【図４】 切断途中における加工部を示す部分拡大断面
図。
図。
【図５】 ワークの送り量とワイヤ走行速度との関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
１…切断機構、２…フレーム、３…駆動加工用ローラ、
４，５…被動加工用ローラ、６…切断用ワイヤ、７…メ
インローラモータ、９…ワーク支持機構、１０…ワー
ク、１１…ワーク昇降用モータ、１２…スラリ供給パイ
プ、１３…リール機構、１４…繰り出しリール、１５…
巻き取りリール、１６，１７…リール用モータ、１８ト
ラバース機構、１９…張力付与機構、２０…ダンサアー
ム、２１…ウェイト、２２，２３…ガイドローラ、２４
…制御装置、２５…制御パネル、２６…キーボード、２
７…キー、２８…ＣＰＵ、２９…メモリ、３０…コラ
ム。
４，５…被動加工用ローラ、６…切断用ワイヤ、７…メ
インローラモータ、９…ワーク支持機構、１０…ワー
ク、１１…ワーク昇降用モータ、１２…スラリ供給パイ
プ、１３…リール機構、１４…繰り出しリール、１５…
巻き取りリール、１６，１７…リール用モータ、１８ト
ラバース機構、１９…張力付与機構、２０…ダンサアー
ム、２１…ウェイト、２２，２３…ガイドローラ、２４
…制御装置、２５…制御パネル、２６…キーボード、２
７…キー、２８…ＣＰＵ、２９…メモリ、３０…コラ
ム。
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に巻き付けられた
ワイヤを走行させるとともに、その走行方向を周期的に
反転させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを供給
しながらワークを押し付けて、そのワークを切断するよ
うにしたワイヤソーにおいて、 ワイヤ走行方向反転時にワイヤに対するワークの押し付
け力を低減するための制御手段を設けたワイヤソー。 - 【請求項２】 前記制御手段は、ワイヤの走行方向反転
時にワークをワイヤから離間する方向に移動させる請求
項１に記載のワイヤソー。 - 【請求項３】 前記制御手段は、ワイヤの走行方向反転
時にワークまたはワイヤの切断送りを停止または減速さ
せる請求項１に記載のワイヤソー。 - 【請求項４】 前記制御手段は、ワークの切断長さが増
加するのにともなってワイヤ走行速度を低下させる請求
項１に記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24211996A JP3324940B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24211996A JP3324940B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ワイヤソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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1996
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