JP3434414B2 - ワイヤソー及びその切断停止制御方法 - Google Patents
ワイヤソー及びその切断停止制御方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体材
料、磁性材料、セラミック等の脆性材料からなるワーク
をワイヤと砥粒を含むスラリにより切断するワイヤソー
に関し、より詳しくは、ワイヤソーの切断停止制御方法
と、その方法を実施可能なワイヤソーとに関する。
料、磁性材料、セラミック等の脆性材料からなるワーク
をワイヤと砥粒を含むスラリにより切断するワイヤソー
に関し、より詳しくは、ワイヤソーの切断停止制御方法
と、その方法を実施可能なワイヤソーとに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にワイヤソーは、所定ピッチで形成
された多数の溝を有する２〜４本のローラを備えてい
る。これらの溝付きローラ上には繰り出しリールから繰
り出された切断用ワイヤが前記溝に沿って所定ピッチで
周回支持され、その後、巻き取りリールに巻き取り回収
されている。溝付きローラ群、繰り出しリール及び巻き
取りリールは、切断用ワイヤの線速度が一定となり、あ
るいは所定の制御プログラムに従った線速度となるよう
に回転制御される。ワイヤソーには更に、円柱状や角柱
状のワークを保持すると共に当該ワークを前記切断用ワ
イヤに圧接すべくワークの送りを行うワーク支持機構を
備えている。ワイヤ上には砥粒を含むスラリが供給され
ており、溝付きローラの回転に伴う切断用ワイヤの略水
平方向への走行とあいまって走行中のワイヤにワークを
押し当てることにより、ワークを多数のスライス片に切
断することができる。
された多数の溝を有する２〜４本のローラを備えてい
る。これらの溝付きローラ上には繰り出しリールから繰
り出された切断用ワイヤが前記溝に沿って所定ピッチで
周回支持され、その後、巻き取りリールに巻き取り回収
されている。溝付きローラ群、繰り出しリール及び巻き
取りリールは、切断用ワイヤの線速度が一定となり、あ
るいは所定の制御プログラムに従った線速度となるよう
に回転制御される。ワイヤソーには更に、円柱状や角柱
状のワークを保持すると共に当該ワークを前記切断用ワ
イヤに圧接すべくワークの送りを行うワーク支持機構を
備えている。ワイヤ上には砥粒を含むスラリが供給され
ており、溝付きローラの回転に伴う切断用ワイヤの略水
平方向への走行とあいまって走行中のワイヤにワークを
押し当てることにより、ワークを多数のスライス片に切
断することができる。
【０００３】このようなワイヤソーは、ワイヤソーそれ
自体又はこれと関連する他の装置類において何らかの異
常が発生した時には緊急停止される。かかる異常事態と
しては、例えば、ワイヤの切断、ワイヤ張力の異常、ス
ラリの供給停止等があげられる。
自体又はこれと関連する他の装置類において何らかの異
常が発生した時には緊急停止される。かかる異常事態と
しては、例えば、ワイヤの切断、ワイヤ張力の異常、ス
ラリの供給停止等があげられる。
【０００４】ワイヤソーの制御ユニットからの緊急停止
指令に応答してワーク支持機構が停止し、ワークの送り
動作が直ちに中止される場合でも、溝付きローラ群を含
むワイヤー走行機構（切断機構）は、緊急停止指令の受
信から若干のタイムラグを経てワイヤの走行を停止させ
る。即ち、正常時に所定の線速度でワイヤ走行がなされ
ている場合には、ワイヤ走行速度を一旦減速した後に走
行を停止する。
指令に応答してワーク支持機構が停止し、ワークの送り
動作が直ちに中止される場合でも、溝付きローラ群を含
むワイヤー走行機構（切断機構）は、緊急停止指令の受
信から若干のタイムラグを経てワイヤの走行を停止させ
る。即ち、正常時に所定の線速度でワイヤ走行がなされ
ている場合には、ワイヤ走行速度を一旦減速した後に走
行を停止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、所定速度で
のワイヤの走行中にワーク送りが突然中断されると、ワ
ーク送り方向の途中の位置又は高さ（図６参照）に切断
用ワイヤが前述したタイムラグだけ余計に多くの時間と
どまることになる。その後、ワイヤソーの運転を再開し
て円柱状ワークの切断を完了した後に得られたスライス
片を観察すると、図７に示すように、各スライス片（被
加工物）の切断面には、ワーク送りを中断した位置に対
応してやや深くえぐられたような跡（ソーマーク）が残
されることになる。このようなソーマークは、得られた
スライス片の製品価値を著しく損なう。ワークが高価な
半導体材料等である場合には、視認できない程のわずか
なソーマークであっても致命的な欠陥となることさえあ
る。
のワイヤの走行中にワーク送りが突然中断されると、ワ
ーク送り方向の途中の位置又は高さ（図６参照）に切断
用ワイヤが前述したタイムラグだけ余計に多くの時間と
どまることになる。その後、ワイヤソーの運転を再開し
て円柱状ワークの切断を完了した後に得られたスライス
片を観察すると、図７に示すように、各スライス片（被
加工物）の切断面には、ワーク送りを中断した位置に対
応してやや深くえぐられたような跡（ソーマーク）が残
されることになる。このようなソーマークは、得られた
スライス片の製品価値を著しく損なう。ワークが高価な
半導体材料等である場合には、視認できない程のわずか
なソーマークであっても致命的な欠陥となることさえあ
る。
【０００６】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、ワイヤソーを一旦停止させその後
再起動させた場合でも、被加工物の表面にソーマークを
生じさせることなく、平滑な切断面を持つ被加工物を得
ることができるワイヤソー及びその切断停止制御方法を
提供することにある。
であり、その目的は、ワイヤソーを一旦停止させその後
再起動させた場合でも、被加工物の表面にソーマークを
生じさせることなく、平滑な切断面を持つ被加工物を得
ることができるワイヤソー及びその切断停止制御方法を
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１に記載の発明は、走行するワイヤと砥粒を含むスラ
リのラッピング作用に基づいてワークを切断するワイヤ
ソーにあって、ワーク切断作業の途中においてワイヤソ
ーを停止させる場合に、ワークを送り方向と逆方向に相
対的に引き戻す動作に伴わせて、前記ワイヤの走行速度
を徐々に低下させ、ワイヤが完全に走行を停止した後に
ワークの引き戻し動作を停止させる切断停止制御方法で
あることをその要旨とする。
項１に記載の発明は、走行するワイヤと砥粒を含むスラ
リのラッピング作用に基づいてワークを切断するワイヤ
ソーにあって、ワーク切断作業の途中においてワイヤソ
ーを停止させる場合に、ワークを送り方向と逆方向に相
対的に引き戻す動作に伴わせて、前記ワイヤの走行速度
を徐々に低下させ、ワイヤが完全に走行を停止した後に
ワークの引き戻し動作を停止させる切断停止制御方法で
あることをその要旨とする。
【０００８】請求項１に記載の切断停止制御方法によれ
ば、ワーク切断中にワイヤソーを停止させる必要が生じ
た場合でも、ワーク送り動作を直ちに停止することなく
送り方向と逆方向に、ワイヤに対してワークを相対的に
引き戻す動作を行う。このため、走行中のワイヤがその
走行を完全に停止するまでの間、ワイヤがワーク内部の
一定の切断部位にとどまることがなく、その結果、得ら
れた被加工物の切断面にソーマークが刻印されるという
事態が未然に防止される。
ば、ワーク切断中にワイヤソーを停止させる必要が生じ
た場合でも、ワーク送り動作を直ちに停止することなく
送り方向と逆方向に、ワイヤに対してワークを相対的に
引き戻す動作を行う。このため、走行中のワイヤがその
走行を完全に停止するまでの間、ワイヤがワーク内部の
一定の切断部位にとどまることがなく、その結果、得ら
れた被加工物の切断面にソーマークが刻印されるという
事態が未然に防止される。
【０００９】請求項２に記載の発明は、ワイヤと砥粒を
含むスラリのラッピング作用に基づいてワークを切断す
るワイヤソーであって、ワーク切断のためにワイヤを走
行させる切断機構と、ワークを切断送りすると共にその
逆方向に引き戻すワーク支持機構と、所定の入力信号に
基づいて、ワークの切断送りを停止させて前記ワークを
引き戻す動作を前記ワーク支持機構に行わせつつ、前記
切断機構のワイヤの走行速度を徐々に低下させ、ワイヤ
が完全に走行を停止した後に前記ワイヤ支持機構のワー
クの引き戻し動作を停止させる切断制御手段とを備えて
なるワイヤソーであることをその要旨とする。
含むスラリのラッピング作用に基づいてワークを切断す
るワイヤソーであって、ワーク切断のためにワイヤを走
行させる切断機構と、ワークを切断送りすると共にその
逆方向に引き戻すワーク支持機構と、所定の入力信号に
基づいて、ワークの切断送りを停止させて前記ワークを
引き戻す動作を前記ワーク支持機構に行わせつつ、前記
切断機構のワイヤの走行速度を徐々に低下させ、ワイヤ
が完全に走行を停止した後に前記ワイヤ支持機構のワー
クの引き戻し動作を停止させる切断制御手段とを備えて
なるワイヤソーであることをその要旨とする。
【００１０】請求項２に記載のワイヤソーによれば、切
断制御手段は、所定の入力信号に基づいて切断機構とワ
ーク支持機構とを協働的に制御する。即ち、送り方向と
逆方向にワークを引き戻す動作をワーク支持機構に行わ
せつつ、切断機構にワイヤの走行停止に向けた動作を行
わしめる。従って、前述と同様、走行中のワイヤがその
走行を完全に停止するまでの間、ワイヤがワーク内部の
一定の切断部位にとどまることがなく、その結果、得ら
れた被加工物の切断面にソーマークが刻印されるという
事態が未然に防止される。
断制御手段は、所定の入力信号に基づいて切断機構とワ
ーク支持機構とを協働的に制御する。即ち、送り方向と
逆方向にワークを引き戻す動作をワーク支持機構に行わ
せつつ、切断機構にワイヤの走行停止に向けた動作を行
わしめる。従って、前述と同様、走行中のワイヤがその
走行を完全に停止するまでの間、ワイヤがワーク内部の
一定の切断部位にとどまることがなく、その結果、得ら
れた被加工物の切断面にソーマークが刻印されるという
事態が未然に防止される。
【００１１】請求項３に記載の発明では、前記所定の入
力信号は、ワーク切断作業の途中においてワイヤソーを
停止させる必要が生じたことを知らせる異常検出信号で
あることをその要旨とする。
力信号は、ワーク切断作業の途中においてワイヤソーを
停止させる必要が生じたことを知らせる異常検出信号で
あることをその要旨とする。
【００１２】この場合、前記切断制御手段は、異常検出
信号に応答して、前述のような停止制御を切断機構及び
ワーク支持機構に行わしめる。
信号に応答して、前述のような停止制御を切断機構及び
ワーク支持機構に行わしめる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を図
面を参照しつつ詳細に説明する。図１及び図２に示すよ
うに、ワイヤソーの基台１上には、三つの機構フレーム
２，３，４が設けられている。第１機構フレーム２上に
は切断機構５が装設され、第３機構フレーム４上にはリ
ール機構１３及びトラバース機構１６が装設されてい
る。第２機構フレーム３上には、リール機構１３と切断
機構５との間に位置するようにワイヤ張力付与機構１０
が配設されている。
面を参照しつつ詳細に説明する。図１及び図２に示すよ
うに、ワイヤソーの基台１上には、三つの機構フレーム
２，３，４が設けられている。第１機構フレーム２上に
は切断機構５が装設され、第３機構フレーム４上にはリ
ール機構１３及びトラバース機構１６が装設されてい
る。第２機構フレーム３上には、リール機構１３と切断
機構５との間に位置するようにワイヤ張力付与機構１０
が配設されている。
【００１４】切断機構５は、平行配置された溝付き駆動
ローラ６及び溝付き被動ローラ７を備えている。各ロー
ラ６，７の外周部には多数の環状溝が所定ピッチで形成
されている。リール機構１３からトラバース機構１６及
びワイヤ張力付与機構１０を介して、鋼線よりなる一本
の切断用ワイヤ８が切断機構５に提供されている。この
切断用ワイヤ８は、両溝付きローラ６，７の各環状溝に
順次連続的に巻回されており、図２に示すように、溝ピ
ッチに応じた間隔でワイヤの各部が並列配置されてい
る。溝付き駆動ローラ６はモータ９によって回転され、
ワイヤ８の走行による被動ローラ７の従動を伴いなが
ら、ワイヤ８が特定の一方向又は双方向に走行される。
ローラ６及び溝付き被動ローラ７を備えている。各ロー
ラ６，７の外周部には多数の環状溝が所定ピッチで形成
されている。リール機構１３からトラバース機構１６及
びワイヤ張力付与機構１０を介して、鋼線よりなる一本
の切断用ワイヤ８が切断機構５に提供されている。この
切断用ワイヤ８は、両溝付きローラ６，７の各環状溝に
順次連続的に巻回されており、図２に示すように、溝ピ
ッチに応じた間隔でワイヤの各部が並列配置されてい
る。溝付き駆動ローラ６はモータ９によって回転され、
ワイヤ８の走行による被動ローラ７の従動を伴いなが
ら、ワイヤ８が特定の一方向又は双方向に走行される。
【００１５】図２に示すように、リール機構１３は、ワ
イヤ８を切断機構５に向けて繰り出す繰り出しリール１
４と、切断機構５からのワイヤ８を巻き取る巻き取りリ
ール１５とを備える。トラバース機構１６は、繰り出し
リール１４からのワイヤの繰り出し及び巻き取りリール
１５へのワイヤの巻き取りを上下にトラバースしながら
案内する。図１に示すように、ワイヤ張力付与機構１０
はウェイト１１及びガイドローラ１２を備えており、ウ
ェイト１１の作用によりガイドローラ１２を介して両溝
付きローラ６，７間のワイヤ８に所定の張力を付与して
いる。
イヤ８を切断機構５に向けて繰り出す繰り出しリール１
４と、切断機構５からのワイヤ８を巻き取る巻き取りリ
ール１５とを備える。トラバース機構１６は、繰り出し
リール１４からのワイヤの繰り出し及び巻き取りリール
１５へのワイヤの巻き取りを上下にトラバースしながら
案内する。図１に示すように、ワイヤ張力付与機構１０
はウェイト１１及びガイドローラ１２を備えており、ウ
ェイト１１の作用によりガイドローラ１２を介して両溝
付きローラ６，７間のワイヤ８に所定の張力を付与して
いる。
【００１６】両溝付きローラ６，７間のワイヤ８の上方
には複数個のスラリ供給パイプ１７（１個のみ図示）が
設けられている。この供給パイプ１７は、ワイヤ８の走
行方向と直交する方向に延びており、当該供給パイプ１
２の下側に形成された孔又は溝より、砥粒を含むスラリ
を走行中のワイヤ８に供給する。
には複数個のスラリ供給パイプ１７（１個のみ図示）が
設けられている。この供給パイプ１７は、ワイヤ８の走
行方向と直交する方向に延びており、当該供給パイプ１
２の下側に形成された孔又は溝より、砥粒を含むスラリ
を走行中のワイヤ８に供給する。
【００１７】第２機構フレーム３上には切断機構５の上
方に位置するようにワーク支持機構２０が設けられてい
る。図３及び図４に示すように、第２機構フレーム３の
一部である上方支持部３ａには垂直に延びるガイド溝２
１が設けられ、このガイド溝２１内にはナット２２が上
下動可能に支持されている。また、上方支持部３ａの上
端部にはモータ２３が配設され、このモータ２３の出力
軸２３ａは、前記ガイド溝２１のほぼ全域にわたって延
びるネジ２４とつながれている。この構成により、モー
タ２３の出力軸２３ａの正逆回転に応じて、ナット２２
はガイド溝２１に沿って上下に移動することができる。
方に位置するようにワーク支持機構２０が設けられてい
る。図３及び図４に示すように、第２機構フレーム３の
一部である上方支持部３ａには垂直に延びるガイド溝２
１が設けられ、このガイド溝２１内にはナット２２が上
下動可能に支持されている。また、上方支持部３ａの上
端部にはモータ２３が配設され、このモータ２３の出力
軸２３ａは、前記ガイド溝２１のほぼ全域にわたって延
びるネジ２４とつながれている。この構成により、モー
タ２３の出力軸２３ａの正逆回転に応じて、ナット２２
はガイド溝２１に沿って上下に移動することができる。
【００１８】ナット２２は、フレーム３の上方支持部３
ａに隣接した支持枠体２５と連結されている。この支持
枠体２５の下端部には取付介在物２６を介して、円柱状
等の各種形状のワーク２７が図示しないクランプ手段に
より保持されている。ワーク２７としては、半導体材
料、磁性材料、セラミックや金属のインゴット等があげ
られる。また、取付介在物２６としては、カーボンが一
般的であるが、カーボン層とガラス層からなるものが用
いられてもよい。
ａに隣接した支持枠体２５と連結されている。この支持
枠体２５の下端部には取付介在物２６を介して、円柱状
等の各種形状のワーク２７が図示しないクランプ手段に
より保持されている。ワーク２７としては、半導体材
料、磁性材料、セラミックや金属のインゴット等があげ
られる。また、取付介在物２６としては、カーボンが一
般的であるが、カーボン層とガラス層からなるものが用
いられてもよい。
【００１９】ワーク昇降用のモータ２３は、ワイヤソー
全体の制御を司る切断制御手段としての制御ユニット３
０によって制御される。制御ユニット３０は、ワイヤソ
ーの各部及び／又はワイヤソー以外の他の装置に設けら
れた異常検出器群４０からの異常検出信号４１を入力し
ており、かかる異常検出信号４１に基づいてワイヤソー
の各機構の緊急停止制御や復旧制御を行う。
全体の制御を司る切断制御手段としての制御ユニット３
０によって制御される。制御ユニット３０は、ワイヤソ
ーの各部及び／又はワイヤソー以外の他の装置に設けら
れた異常検出器群４０からの異常検出信号４１を入力し
ており、かかる異常検出信号４１に基づいてワイヤソー
の各機構の緊急停止制御や復旧制御を行う。
【００２０】さて、正常時のワーク切断動作において
は、制御ユニット３０からの指令に基づいてモータ２３
が駆動され、ナット２２及び支持枠体２５と共にワーク
２７が所定のワーク送り速度でワイヤ８に向けて下降さ
れる。そして、ワーク２７が走行中のワイヤ８に押しつ
けられると、スラリ中の砥粒のラッピング作用によって
当該ワーク２７の切断が開始される。
は、制御ユニット３０からの指令に基づいてモータ２３
が駆動され、ナット２２及び支持枠体２５と共にワーク
２７が所定のワーク送り速度でワイヤ８に向けて下降さ
れる。そして、ワーク２７が走行中のワイヤ８に押しつ
けられると、スラリ中の砥粒のラッピング作用によって
当該ワーク２７の切断が開始される。
【００２１】そして、例えば、図５に示すように、ワー
ク２７の切断が開始されてワイヤ８がワーク２７のほぼ
中心域に達したときに、制御ユニット３０が異常検出器
群４０からの異常検出信号４１を受信したとする。する
と、制御ユニット３０は、その異常検出信号４１によっ
て知られされた異常がワイヤソーを緊急停止させる必要
のあるものであるか否かを判定する。そして、緊急停止
させる必要がある場合には、溝付き駆動ローラ６用のモ
ータ９に対して直ちに回転速度の減速を指令しワイヤ８
の走行速度を徐々に低下させる。更に、この減速制御と
同時並行的に、制御ユニット３０はワーク支持機構２０
のモータ２３に対して逆回転を指令し、送り方向（下方
向）とは逆方向（上方向）にワーク２７を引き戻す制御
を行う。そして、ワイヤ８が完全に走行を停止した後
に、ワーク２７の引き戻し動作を停止する。
ク２７の切断が開始されてワイヤ８がワーク２７のほぼ
中心域に達したときに、制御ユニット３０が異常検出器
群４０からの異常検出信号４１を受信したとする。する
と、制御ユニット３０は、その異常検出信号４１によっ
て知られされた異常がワイヤソーを緊急停止させる必要
のあるものであるか否かを判定する。そして、緊急停止
させる必要がある場合には、溝付き駆動ローラ６用のモ
ータ９に対して直ちに回転速度の減速を指令しワイヤ８
の走行速度を徐々に低下させる。更に、この減速制御と
同時並行的に、制御ユニット３０はワーク支持機構２０
のモータ２３に対して逆回転を指令し、送り方向（下方
向）とは逆方向（上方向）にワーク２７を引き戻す制御
を行う。そして、ワイヤ８が完全に走行を停止した後
に、ワーク２７の引き戻し動作を停止する。
【００２２】このように、ワイヤ８の減速制御に伴って
ワーク２７の引き戻し制御を行うことにより、走行中の
ワイヤがその走行を完全に停止するまでの間、ワイヤ８
がワーク内部の一定の切断部位にとどまるということが
なくなる。その結果、ワークの切断によって得られた各
スライス片（被加工物）の切断面に図７に示すようなソ
ーマークが刻印されるという事態を未然に防止して、平
滑な切断面を有するスライス片（被加工物）を得ること
ができる。少なくとも、この停止制御手順によれば、被
加工物に対する後々の加工工程で、問題が生じない程度
の平滑性を有する被加工物を提供することができる。
ワーク２７の引き戻し制御を行うことにより、走行中の
ワイヤがその走行を完全に停止するまでの間、ワイヤ８
がワーク内部の一定の切断部位にとどまるということが
なくなる。その結果、ワークの切断によって得られた各
スライス片（被加工物）の切断面に図７に示すようなソ
ーマークが刻印されるという事態を未然に防止して、平
滑な切断面を有するスライス片（被加工物）を得ること
ができる。少なくとも、この停止制御手順によれば、被
加工物に対する後々の加工工程で、問題が生じない程度
の平滑性を有する被加工物を提供することができる。
【００２３】尚、本発明は上述した実施形態のみに限定
されるものではなく、次のような態様にて実施されても
よい。 （ａ）上記実施形態では、ワークがワイヤに向けて送り
出されていたが、ワークを固定すると共にワイヤを含む
切断機構がワークに向けて相対移動するタイプのワイヤ
ソーに本発明が適用されてもよい。
されるものではなく、次のような態様にて実施されても
よい。 （ａ）上記実施形態では、ワークがワイヤに向けて送り
出されていたが、ワークを固定すると共にワイヤを含む
切断機構がワークに向けて相対移動するタイプのワイヤ
ソーに本発明が適用されてもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜３に記
載の本発明によれば、ワイヤソーを一旦停止させその後
再起動させた場合でも、被加工物の表面にソーマークを
生じさせることなく、平滑な切断面を持つ被加工物を得
ることができるという優れた効果を奏する。
載の本発明によれば、ワイヤソーを一旦停止させその後
再起動させた場合でも、被加工物の表面にソーマークを
生じさせることなく、平滑な切断面を持つ被加工物を得
ることができるという優れた効果を奏する。
【図１】ワイヤソーの全体構成を示す正面図。
【図２】ワイヤソーにおいて第２機構フレームを除いて
示す平面図。
示す平面図。
【図３】ワイヤソーのワーク支持機構の要部破断図。
【図４】図３におけるＸ−Ｘ線での断面図。
【図５】緊急停止時におけるワーク送り制御を説明する
図。
図。
【図６】従来の緊急停止時におけるワーク送り制御を説
明する図。
明する図。
【図７】従来の被加工物の切断面を示す正面図。
５…切断機構、６…溝付き駆動ローラ、７…溝付き被動
ローラ、８…切断用ワイヤ、２０…ワーク支持機構、２
３…モータ、２７…ワーク、３０…切断制御手段として
の制御ユニット、４１…異常検出信号。
ローラ、８…切断用ワイヤ、２０…ワーク支持機構、２
３…モータ、２７…ワーク、３０…切断制御手段として
の制御ユニット、４１…異常検出信号。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 27/06
B28D 5/04
B23Q 5/58
Claims (3)
- 【請求項１】走行するワイヤと砥粒を含むスラリのラッ
ピング作用に基づいてワークを切断するワイヤソーにあ
って、ワーク切断作業の途中においてワイヤソーを停止
させる場合に、ワークを送り方向と逆方向に相対的に引
き戻す動作に伴わせて前記ワイヤの走行速度を徐々に低
下させ、ワイヤが完全に走行を停止した後にワークの引
き戻し動作を停止させるワイヤソーの切断停止制御方
法。 - 【請求項２】ワイヤと砥粒を含むスラリのラッピング作
用に基づいてワークを切断するワイヤソーであって、 ワーク切断のためにワイヤを走行させる切断機構と、 ワークを切断送りすると共にその逆方向に引き戻すワー
ク支持機構と、 所定の入力信号に基づいて、ワークの切断送りを停止さ
せて前記ワークを引き戻す動作を前記ワーク支持機構に
行わせつつ、前記切断機構のワイヤの走行速度を徐々に
低下させ、ワイヤが完全に走行を停止した後に前記ワイ
ヤ支持機構のワークの引き戻し動作を停止させる切断制
御手段とを備えてなるワイヤソー。 - 【請求項３】前記所定の入力信号は、ワーク切断作業の
途中においてワイヤソーを停止させる必要が生じたこと
を知らせる異常検出信号である請求項２に記載のワイヤ
ソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16750996A JP3434414B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ワイヤソー及びその切断停止制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16750996A JP3434414B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ワイヤソー及びその切断停止制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH106202A JPH106202A (ja) | 1998-01-13 |
| JP3434414B2 true JP3434414B2 (ja) | 2003-08-11 |
Family
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