JP3066259B2 - ワイヤソー装置 - Google Patents
ワイヤソー装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体材料、
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソー装置に関するものである。
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種のワイヤソー装置におい
ては、複数の加工用ローラ間に１本のワイヤが螺旋状に
巻き付けられ、その加工用ローラ間においてワークに対
して切断加工が行われる。この場合、切断加工が円滑か
つ精度よく行われるように、加工用ローラ間のワイヤに
対して張力を付与する必要がある。このため、一般には
ワイヤを案内するローラにウェイトの重量を作用させ、
そのウェイトの重量によりワイヤに張力が付与されるよ
うになっている。
ては、複数の加工用ローラ間に１本のワイヤが螺旋状に
巻き付けられ、その加工用ローラ間においてワークに対
して切断加工が行われる。この場合、切断加工が円滑か
つ精度よく行われるように、加工用ローラ間のワイヤに
対して張力を付与する必要がある。このため、一般には
ワイヤを案内するローラにウェイトの重量を作用させ、
そのウェイトの重量によりワイヤに張力が付与されるよ
うになっている。
【０００３】この場合、ウェイトの重量に従うローラの
ワイヤ緊張方向及びその逆方向への移動ストロークが少
ないと、ワイヤに大きな張力変動が発生した場合、ロー
ラの移動のみではワイヤの張力変動を吸収できないこと
がある。そのため、加工用ローラ間のワイヤに過剰な弛
みが生じて、ワークの切断能力が低下したり、逆にワイ
ヤが必要以上に緊張してワイヤ切れが発生したりするお
それがあった。
ワイヤ緊張方向及びその逆方向への移動ストロークが少
ないと、ワイヤに大きな張力変動が発生した場合、ロー
ラの移動のみではワイヤの張力変動を吸収できないこと
がある。そのため、加工用ローラ間のワイヤに過剰な弛
みが生じて、ワークの切断能力が低下したり、逆にワイ
ヤが必要以上に緊張してワイヤ切れが発生したりするお
それがあった。
【０００４】このような不具合を解消するために、従来
はローラの移動ストロークを大きく確保したり、ウェイ
トを有するローラを多数個設けたりする必要があった
が、このようにすると、当然装置全体が大形化する。
はローラの移動ストロークを大きく確保したり、ウェイ
トを有するローラを多数個設けたりする必要があった
が、このようにすると、当然装置全体が大形化する。
【０００５】このような問題点を解消するため、従来、
ローラのワイヤ緊張方向及びその逆方向への移動を検出
するセンサを設け、そのセンサの検出データに基づい
て、ワイヤのリールを回転させるためのリール用モータ
の回転速度を補正し、これに基づいてワイヤの張力変動
を抑制してワイヤを所定の緊張状態に維持しようとする
試みもなされている。
ローラのワイヤ緊張方向及びその逆方向への移動を検出
するセンサを設け、そのセンサの検出データに基づい
て、ワイヤのリールを回転させるためのリール用モータ
の回転速度を補正し、これに基づいてワイヤの張力変動
を抑制してワイヤを所定の緊張状態に維持しようとする
試みもなされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
構成においては、ワイヤの走行速度が遅いときには、リ
ールの回転速度、すなわちリール用モータの回転速度が
遅いために、補正の効果が発現されるまでに時間がか
り、俊敏な補正を望めなかった。また、ワイヤの走行速
度が速いときには、リール用モータの回転速度が速いた
めに、補正の効果が早めに発現されすぎて、ローラがワ
イヤ緊張方向及びその逆方向に行きつ戻りつするいわゆ
るハンチング状態となり、結果として補正が収束するま
でに時間がかかるものであった。
構成においては、ワイヤの走行速度が遅いときには、リ
ールの回転速度、すなわちリール用モータの回転速度が
遅いために、補正の効果が発現されるまでに時間がか
り、俊敏な補正を望めなかった。また、ワイヤの走行速
度が速いときには、リール用モータの回転速度が速いた
めに、補正の効果が早めに発現されすぎて、ローラがワ
イヤ緊張方向及びその逆方向に行きつ戻りつするいわゆ
るハンチング状態となり、結果として補正が収束するま
でに時間がかかるものであった。
【０００７】また、この補正時において、リールの巻径
が変化すると、リール全体の質量が変化してその慣性力
も変化する。すなわち、リールの巻径が大きくなるほど
慣性力も増大して、ワイヤ走行速度が遅い場合と同様に
俊敏な補正が不可能になり、リールの巻径が小さいほど
ワイヤ走行速度が速い場合と同様なハンチング現象が生
じた。
が変化すると、リール全体の質量が変化してその慣性力
も変化する。すなわち、リールの巻径が大きくなるほど
慣性力も増大して、ワイヤ走行速度が遅い場合と同様に
俊敏な補正が不可能になり、リールの巻径が小さいほど
ワイヤ走行速度が速い場合と同様なハンチング現象が生
じた。
【０００８】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、リール用モータの回転速度を、適正に変
速補正して、ワイヤの張力を適正に維持できるワイヤソ
ー装置を提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、リール用モータの回転速度を、適正に変
速補正して、ワイヤの張力を適正に維持できるワイヤソ
ー装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のワイヤソー装置の発明では、ワ
イヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサの検出
データに基づいてリール用モータの回転速度を変速する
補正手段と、ワイヤの走行速度に基づいてリール用モー
タの回転速度を変速するための補正係数を変更する変更
手段とを備えたものである。
めに、請求項１に記載のワイヤソー装置の発明では、ワ
イヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサの検出
データに基づいてリール用モータの回転速度を変速する
補正手段と、ワイヤの走行速度に基づいてリール用モー
タの回転速度を変速するための補正係数を変更する変更
手段とを備えたものである。
【００１０】請求項２に記載のワイヤソー装置の発明で
は、ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、リールの巻径に基づいてリール用モ
ータの回転速度を変更するための補正係数を変更する変
更手段と備えたものである。
は、ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、リールの巻径に基づいてリール用モ
ータの回転速度を変更するための補正係数を変更する変
更手段と備えたものである。
【００１１】請求項３に記載のワイヤソー装置の発明で
は、ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、ワイヤの走行速度に基づいてリール
用モータの回転速度を変速するための補正係数を変更す
る第１変更手段及びリールの巻径に基づいて同じく補正
係数を変更する第２変更手段とを備えたものである。
は、ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、ワイヤの走行速度に基づいてリール
用モータの回転速度を変速するための補正係数を変更す
る第１変更手段及びリールの巻径に基づいて同じく補正
係数を変更する第２変更手段とを備えたものである。
【００１２】請求項４に記載のワイヤソー装置において
は、ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、ワイヤ
の走行速度に基づいてリール用モータの回転速度を変速
するための補正係数を変更する変更手段と備えたもので
ある。
は、ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、ワイヤ
の走行速度に基づいてリール用モータの回転速度を変速
するための補正係数を変更する変更手段と備えたもので
ある。
【００１３】請求項５に記載のワイヤソー装置の発明で
は、ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、リール
の巻径に基づいてリール用モータの回転速度を変速する
ための補正係数を変更する変更手段と備えたものであ
る。
は、ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、リール
の巻径に基づいてリール用モータの回転速度を変速する
ための補正係数を変更する変更手段と備えたものであ
る。
【００１４】請求項６に記載のワイヤソー装置において
は、ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、ワイヤ
の走行速度に基づいてリール用モータの回転速度を変速
するための補正係数を変更する第１変更手段及びリール
の巻径に基づいて同じく補正係数を変更する第２変更手
段とを備えたものである。
は、ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、ワイヤ
の走行速度に基づいてリール用モータの回転速度を変速
するための補正係数を変更する第１変更手段及びリール
の巻径に基づいて同じく補正係数を変更する第２変更手
段とを備えたものである。
【００１５】請求項７に記載のワイヤソー装置において
は、請求項１〜６のいずれかにおいて、ワイヤの走行速
度を任意に設定するためのワイヤ速度設定手段を備えた
ものである。
は、請求項１〜６のいずれかにおいて、ワイヤの走行速
度を任意に設定するためのワイヤ速度設定手段を備えた
ものである。
【００１６】請求項８に記載のワイヤソー装置において
は、請求項１〜６のいずれかにおいて、補正係数を算出
するためのデータを任意に設定するようにしたデータ設
定手段を備えたものである。
は、請求項１〜６のいずれかにおいて、補正係数を算出
するためのデータを任意に設定するようにしたデータ設
定手段を備えたものである。
【００１７】請求項９に記載のワイヤソー装置において
は、張力付与機構は張力付与用のウェイトを備えたアー
ムを含む。
は、張力付与機構は張力付与用のウェイトを備えたアー
ムを含む。
【００１８】
【作用】請求項１〜９においては、加工用ローラ間のワ
イヤにワークを押し付けて、ワークを切断する際には、
加工用ローラ間のワイヤに所定の張力が付与される。
イヤにワークを押し付けて、ワークを切断する際には、
加工用ローラ間のワイヤに所定の張力が付与される。
【００１９】そして、請求項１においては、ワイヤの張
力変動がセンサにより検出される。そして、このセンサ
からの検出データに基づいて、補正手段によりリール用
モータの回転速度が補正される。また、この回転速度の
補正に際しては、ワイヤの走行速度に基づいて、その変
更手段により補正係数が変更される。
力変動がセンサにより検出される。そして、このセンサ
からの検出データに基づいて、補正手段によりリール用
モータの回転速度が補正される。また、この回転速度の
補正に際しては、ワイヤの走行速度に基づいて、その変
更手段により補正係数が変更される。
【００２０】請求項２においては、リール用モータの回
転速度の補正に際して、リールの巻径に応じてその変更
手段により補正係数が変更される。請求項３において
は、リール用モータの回転速度の補正に際して、ワイヤ
の走行速度及びリールの巻径に基づいて、それら各々の
変更手段により補正係数が変更される。
転速度の補正に際して、リールの巻径に応じてその変更
手段により補正係数が変更される。請求項３において
は、リール用モータの回転速度の補正に際して、ワイヤ
の走行速度及びリールの巻径に基づいて、それら各々の
変更手段により補正係数が変更される。
【００２１】請求項４においては、加工用ローラ間のワ
イヤにワークを押し付けて、ワークを切断する際には、
回動自在の張力付与機構により、加工用ローラ間のワイ
ヤに所定の張力が付与される。このとき、張力付与機構
の位置がセンサにより検出される。そして、このセンサ
からの検出データに基づいて、その補正手段によりリー
ル用モータの回転速度が補正される。また、この回転速
度の補正に際しては、ワイヤの走行速度に基づいて、そ
の変更手段により補正係数が変更される。
イヤにワークを押し付けて、ワークを切断する際には、
回動自在の張力付与機構により、加工用ローラ間のワイ
ヤに所定の張力が付与される。このとき、張力付与機構
の位置がセンサにより検出される。そして、このセンサ
からの検出データに基づいて、その補正手段によりリー
ル用モータの回転速度が補正される。また、この回転速
度の補正に際しては、ワイヤの走行速度に基づいて、そ
の変更手段により補正係数が変更される。
【００２２】請求項５においては、リール用モータの回
転速度の補正に際して、リールの巻径に応じてその変更
手段により補正係数が変更される。請求項６において
は、リール用モータの回転速度の補正に際して、ワイヤ
の走行速度及びリールの巻径に基づいて、それら各々の
変更手段により補正係数が変更される。
転速度の補正に際して、リールの巻径に応じてその変更
手段により補正係数が変更される。請求項６において
は、リール用モータの回転速度の補正に際して、ワイヤ
の走行速度及びリールの巻径に基づいて、それら各々の
変更手段により補正係数が変更される。
【００２３】請求項７においては、ワークの種類等の切
断条件に応じてワイヤの走行速度が任意に設定される。
請求項８においては、ワークの種類等の切断条件に応じ
て、補正係数を算出するためのデータが任意に設定され
る。
断条件に応じてワイヤの走行速度が任意に設定される。
請求項８においては、ワークの種類等の切断条件に応じ
て、補正係数を算出するためのデータが任意に設定され
る。
【００２４】請求項９においては、ワイヤに対する張力
付与が回動自在のアームに設けられたウェイトによって
行われる。
付与が回動自在のアームに設けられたウェイトによって
行われる。
【００２５】
【実施例】以下、この発明の一実施例を、図面に基づい
て詳細に説明する。図１及び図２に示すように、切断機
構１は装置フレーム２上に装設されている。この切断機
構１は平行に延びる加工用駆動ローラ３及び加工用被動
ローラ４を備え、それらの外周には多数の環状溝３ａ，
４ａが所定ピッチで形成されている。
て詳細に説明する。図１及び図２に示すように、切断機
構１は装置フレーム２上に装設されている。この切断機
構１は平行に延びる加工用駆動ローラ３及び加工用被動
ローラ４を備え、それらの外周には多数の環状溝３ａ，
４ａが所定ピッチで形成されている。
【００２６】鋼線よりなる線材としての１本の切断用ワ
イヤ５は前記加工用ローラ３，４の各環状溝３ａ，４ａ
に連続的に螺旋状に巻回されている。ワイヤ走行用モー
タ６は装置フレーム２上に配設され、このモータ６によ
り加工用駆動ローラ３が直接回転されるとともに、ワイ
ヤの走行に伴い加工用被動ローラ４が回転される。そし
て、これらの加工用ローラ３の正逆の回転によって、ワ
イヤ５が一方向または双方向に所定の走行速度で走行さ
れる。
イヤ５は前記加工用ローラ３，４の各環状溝３ａ，４ａ
に連続的に螺旋状に巻回されている。ワイヤ走行用モー
タ６は装置フレーム２上に配設され、このモータ６によ
り加工用駆動ローラ３が直接回転されるとともに、ワイ
ヤの走行に伴い加工用被動ローラ４が回転される。そし
て、これらの加工用ローラ３の正逆の回転によって、ワ
イヤ５が一方向または双方向に所定の走行速度で走行さ
れる。
【００２７】ワーク支持機構９は前記切断機構１の上方
において、フレーム２に上下動可能に支持され、その下
部にはワーク１０が着脱自在にセットされる。ワーク昇
降用モータ１１はフレーム２上に配設され、このモータ
１１により図示しないボールスクリュー等を介してワー
ク支持機構９が上下動される。そして、装置の運転時に
は、ワイヤ５が切断機構１の加工用ローラ３，４間で走
行されながら、ワーク支持機構９が切断機構１に向かっ
て下降される。このとき、図示しないスラリ供給機構に
よりワイヤ５上へ砥粒を含むスラリが供給されるととも
に、そのワイヤ５に対しワーク１０が押し付けられ、ラ
ッピング作用によってワーク１０がスライス加工され
る。
において、フレーム２に上下動可能に支持され、その下
部にはワーク１０が着脱自在にセットされる。ワーク昇
降用モータ１１はフレーム２上に配設され、このモータ
１１により図示しないボールスクリュー等を介してワー
ク支持機構９が上下動される。そして、装置の運転時に
は、ワイヤ５が切断機構１の加工用ローラ３，４間で走
行されながら、ワーク支持機構９が切断機構１に向かっ
て下降される。このとき、図示しないスラリ供給機構に
よりワイヤ５上へ砥粒を含むスラリが供給されるととも
に、そのワイヤ５に対しワーク１０が押し付けられ、ラ
ッピング作用によってワーク１０がスライス加工され
る。
【００２８】図１〜図３に示すように、リール機構１２
は前記フレーム２上に装設され、ワイヤ５を繰り出すた
めの繰出しリール１３と、ワイヤ６を巻き取るための巻
取りリール１４とを備えている。各リール１３，１４は
アルミニウム合金等により一体に形成され、胴部１３
ａ，１４ａと一対のフランジ部１３ｂ，１４ｂとを備え
ている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボモー
タよりなる一対のリール回転用モータ１５，１６はフレ
ーム２に配設され、それらのモータ軸にはカップリング
１７及び連結軸１８を介して各リール１３，１４が連結
されている。トラバース機構１９はリール機構１２に隣
接してフレーム２上に装設され、繰出しリール１３から
のワイヤ５の繰出し及び巻取りリール１４へのワイヤ５
の巻取りを上下方向にトラバースしながら案内する。
は前記フレーム２上に装設され、ワイヤ５を繰り出すた
めの繰出しリール１３と、ワイヤ６を巻き取るための巻
取りリール１４とを備えている。各リール１３，１４は
アルミニウム合金等により一体に形成され、胴部１３
ａ，１４ａと一対のフランジ部１３ｂ，１４ｂとを備え
ている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボモー
タよりなる一対のリール回転用モータ１５，１６はフレ
ーム２に配設され、それらのモータ軸にはカップリング
１７及び連結軸１８を介して各リール１３，１４が連結
されている。トラバース機構１９はリール機構１２に隣
接してフレーム２上に装設され、繰出しリール１３から
のワイヤ５の繰出し及び巻取りリール１４へのワイヤ５
の巻取りを上下方向にトラバースしながら案内する。
【００２９】そして、前記リール機構１２の両リール１
３，１４の回転により、繰出しリール１３から切断機構
１へワイヤ５が繰り出され、順次巻取りリール１４に巻
き取られる。そして、繰出しリール１３上のワイヤ５
が、切断機構１を経て巻取りリール１４にすべて巻き取
られたとき、両リール回転用モータ１５，１６の回転方
向が切り換えられて、リール１３，１４の繰出し機能及
び巻取り機能が反転される。また、加工中はワイヤの走
行が一方向では、リールはたえず同一方向に回転する。
一方、ワイヤの走行が双方向では、図９で示されるよう
に、リールは任意の時間毎に反転動作を繰り返す。
３，１４の回転により、繰出しリール１３から切断機構
１へワイヤ５が繰り出され、順次巻取りリール１４に巻
き取られる。そして、繰出しリール１３上のワイヤ５
が、切断機構１を経て巻取りリール１４にすべて巻き取
られたとき、両リール回転用モータ１５，１６の回転方
向が切り換えられて、リール１３，１４の繰出し機能及
び巻取り機能が反転される。また、加工中はワイヤの走
行が一方向では、リールはたえず同一方向に回転する。
一方、ワイヤの走行が双方向では、図９で示されるよう
に、リールは任意の時間毎に反転動作を繰り返す。
【００３０】図１、図２、図４及び図５に示すように、
ワイヤ張力付与機構２０は前記リール機構１２と切断機
構１との間に配設されている。この張力付与機構２０は
フレーム２の前面に回動軸２３を介して回動可能に支持
された一対のダンサアーム２１，２２を備え、それらの
先端にはガイドローラ２４及びウェイト２５がそれぞれ
取り付けられている。エンコーダよりなる一対のセンサ
２６，２７は各ダンサアーム２１，２２の回動軸２３に
連結され、ダンサアーム２１，２２の回動位置に応じて
検出信号を出力する。ストッパ２８はフレーム２の前面
に突設され、このストッパ２８との係合により、各ダン
サアーム２１，２２の最下動位置が規制される。リミッ
トスイッチ３４は各ダンサアーム２１，２２が最下動位
置に達したときに、それを検出し、ワイヤソー装置の稼
働を停止させる。
ワイヤ張力付与機構２０は前記リール機構１２と切断機
構１との間に配設されている。この張力付与機構２０は
フレーム２の前面に回動軸２３を介して回動可能に支持
された一対のダンサアーム２１，２２を備え、それらの
先端にはガイドローラ２４及びウェイト２５がそれぞれ
取り付けられている。エンコーダよりなる一対のセンサ
２６，２７は各ダンサアーム２１，２２の回動軸２３に
連結され、ダンサアーム２１，２２の回動位置に応じて
検出信号を出力する。ストッパ２８はフレーム２の前面
に突設され、このストッパ２８との係合により、各ダン
サアーム２１，２２の最下動位置が規制される。リミッ
トスイッチ３４は各ダンサアーム２１，２２が最下動位
置に達したときに、それを検出し、ワイヤソー装置の稼
働を停止させる。
【００３１】ワイヤガイド機構２９は切断機構１に近接
して配置され、ワイヤ５を案内するための複数のガイド
ローラ３０を備えている。そして、切断機構１の加工用
ローラ３，４とリール機構１２の両リール１３，１４と
の間のワイヤ５が、このワイヤガイド機構２９のガイド
ローラ３０及びフレーム２上のガイドローラ３１を介し
て、ワイヤ張力付与機構２０のガイドローラ２４に掛装
されている。そして、ワイヤ張力付与機構２０の両ダン
サアーム２１，２２がウェイト２５の重量により下方へ
付勢され、加工用ローラ３，４間のワイヤ５に所定の張
力が付与される。
して配置され、ワイヤ５を案内するための複数のガイド
ローラ３０を備えている。そして、切断機構１の加工用
ローラ３，４とリール機構１２の両リール１３，１４と
の間のワイヤ５が、このワイヤガイド機構２９のガイド
ローラ３０及びフレーム２上のガイドローラ３１を介し
て、ワイヤ張力付与機構２０のガイドローラ２４に掛装
されている。そして、ワイヤ張力付与機構２０の両ダン
サアーム２１，２２がウェイト２５の重量により下方へ
付勢され、加工用ローラ３，４間のワイヤ５に所定の張
力が付与される。
【００３２】ワイヤ張力低減機構３２は前記リール機構
１２とワイヤ張力付与機構２０との間に配設されてい
る。この張力低減機構３２は一対の回転ローラ３３を備
え、それらの外周溝にはワイヤ５が接触案内されてい
る。そして、両回転ローラ３３が図示しない張力低減装
置により回転駆動されることで、ワイヤ張力付与機構２
０からリール機構１２の各リール１３，１４側へ波及す
るワイヤ５の張力が低減される。
１２とワイヤ張力付与機構２０との間に配設されてい
る。この張力低減機構３２は一対の回転ローラ３３を備
え、それらの外周溝にはワイヤ５が接触案内されてい
る。そして、両回転ローラ３３が図示しない張力低減装
置により回転駆動されることで、ワイヤ張力付与機構２
０からリール機構１２の各リール１３，１４側へ波及す
るワイヤ５の張力が低減される。
【００３３】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置の主要部の制御装置について説明する。図２及び図
６に示すように、制御手段としての制御装置４１は前記
フレーム２の近傍に配設され、その内部には中央処理装
置（ＣＰＵ）４２及びメモリ４３が実装されている。こ
のＣＰＵ４２は装置全体の動作を統括する。メモリ４３
は装置の動作を制御するための運転プログラムを記憶す
るとともに、各種の入力データや検出データを一時的に
記憶する。この実施例では、メモリ４３中に例えばワイ
ヤ５の走行速度、リール１３，１４の巻径及び後記各定
数の値を記憶するための領域４３ａ，４３ｂ，４３ｃが
確保されている。
装置の主要部の制御装置について説明する。図２及び図
６に示すように、制御手段としての制御装置４１は前記
フレーム２の近傍に配設され、その内部には中央処理装
置（ＣＰＵ）４２及びメモリ４３が実装されている。こ
のＣＰＵ４２は装置全体の動作を統括する。メモリ４３
は装置の動作を制御するための運転プログラムを記憶す
るとともに、各種の入力データや検出データを一時的に
記憶する。この実施例では、メモリ４３中に例えばワイ
ヤ５の走行速度、リール１３，１４の巻径及び後記各定
数の値を記憶するための領域４３ａ，４３ｂ，４３ｃが
確保されている。
【００３４】キーボード４４は制御装置４１の前部に配
置され、その上面には多数の入力キー４５が配列されて
いる。そして、このキーボード４４からＣＰＵ４２に対
して、装置の運転時におけるワイヤ５の走行速度、及び
装置の運転開始時におけるリール１３，１４の巻径
（Ｄ，Ｄ′）及び定数の値が任意に入力されて、メモリ
４３の各領域４３ａ，４３ｂ，４３ｃに記憶される。
置され、その上面には多数の入力キー４５が配列されて
いる。そして、このキーボード４４からＣＰＵ４２に対
して、装置の運転時におけるワイヤ５の走行速度、及び
装置の運転開始時におけるリール１３，１４の巻径
（Ｄ，Ｄ′）及び定数の値が任意に入力されて、メモリ
４３の各領域４３ａ，４３ｂ，４３ｃに記憶される。
【００３５】また、この実施例においては、前記ＣＰＵ
４２により制御手段、補正手段が構成されている。ま
た、ＣＰＵ４２及びキーボード４４により第１，第２変
更手段を含む変更手段、ワイヤ速度設定手段及びデータ
設定手段が構成されている。そして、ＣＰＵ４２は装置
の運転中に、メモリ４３に記憶されたワイヤ５の走行速
度及びリール１３，１４の巻径（Ｄ，Ｄ′）に基づい
て、リール回転用モータ１５，１６に必要な回転速度を
演算し、それらのモータ１５，１６に回転指示を与え
る。これとともに、ＣＰＵ４２は、ワイヤ５走行速度及
び走行時間から走行量を積算し、ワイヤ５の繰出しまた
は巻取りに伴うリール１３，１４の巻径変化を演算し
て、メモリ４３中の巻径データを随時書き替える。
４２により制御手段、補正手段が構成されている。ま
た、ＣＰＵ４２及びキーボード４４により第１，第２変
更手段を含む変更手段、ワイヤ速度設定手段及びデータ
設定手段が構成されている。そして、ＣＰＵ４２は装置
の運転中に、メモリ４３に記憶されたワイヤ５の走行速
度及びリール１３，１４の巻径（Ｄ，Ｄ′）に基づい
て、リール回転用モータ１５，１６に必要な回転速度を
演算し、それらのモータ１５，１６に回転指示を与え
る。これとともに、ＣＰＵ４２は、ワイヤ５走行速度及
び走行時間から走行量を積算し、ワイヤ５の繰出しまた
は巻取りに伴うリール１３，１４の巻径変化を演算し
て、メモリ４３中の巻径データを随時書き替える。
【００３６】さらに、ＣＰＵ４２は装置の運転中に、セ
ンサ２６，２７から各ダンサアーム２１，２２の回動位
置の検出データを入力し、その検出データに基づいてリ
ール回転用モータ１５，１６の回転速度をそれぞれ変速
する。また、ＣＰＵ４２は、この回転速度の変速に際し
て、メモリ４３に記憶されたワイヤ５の走行速度及びリ
ール１３，１４の巻径に基づいて、回転速度を変速する
ための補正係数を変更する。
ンサ２６，２７から各ダンサアーム２１，２２の回動位
置の検出データを入力し、その検出データに基づいてリ
ール回転用モータ１５，１６の回転速度をそれぞれ変速
する。また、ＣＰＵ４２は、この回転速度の変速に際し
て、メモリ４３に記憶されたワイヤ５の走行速度及びリ
ール１３，１４の巻径に基づいて、回転速度を変速する
ための補正係数を変更する。
【００３７】すなわち、ＣＰＵ４２は図７に示すよう
に、ワイヤ５の走行速度が速くなるほど、回転速度を変
速するための補正係数を低減させるように決定する。ま
た、このリール回転用モータ１５，１６の回転速度の補
正時には、ＣＰＵ４２は図７に示すように、リール１
３，１４の巻径が大きくなるほど、回転速度を変速する
ための補正係数を低減させるように変更する。また、図
７はワイヤ走行速度が速くなるほど回転速度を変速する
ための補正係数を低減させるように変更することを示し
ている。
に、ワイヤ５の走行速度が速くなるほど、回転速度を変
速するための補正係数を低減させるように決定する。ま
た、このリール回転用モータ１５，１６の回転速度の補
正時には、ＣＰＵ４２は図７に示すように、リール１
３，１４の巻径が大きくなるほど、回転速度を変速する
ための補正係数を低減させるように変更する。また、図
７はワイヤ走行速度が速くなるほど回転速度を変速する
ための補正係数を低減させるように変更することを示し
ている。
【００３８】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置について動作を説明する。まず、ワーク１０の種類
等、切断条件に応じてキーボード４４からワイヤ５の走
行速度が入力され、そのデータがメモリ４３に記憶され
る。また、同じく切断条件に応じてキーボード４４から
所定の定数が入力され、そのデータがメモリ４３に記憶
される。加えて、運転開始時における両リール１３，１
４の巻径（Ｖ0、Ｖ0 ′）が入力される。
装置について動作を説明する。まず、ワーク１０の種類
等、切断条件に応じてキーボード４４からワイヤ５の走
行速度が入力され、そのデータがメモリ４３に記憶され
る。また、同じく切断条件に応じてキーボード４４から
所定の定数が入力され、そのデータがメモリ４３に記憶
される。加えて、運転開始時における両リール１３，１
４の巻径（Ｖ0、Ｖ0 ′）が入力される。
【００３９】この実施例における各リール回転速度の補
正について説明する。基本的にリール回転速度は絶えず
その時点でのワイヤ走行速度とリール巻径から理論上の
演算がなされる。それにダンサアーム２１，２２の変動
量に伴う実質の回転数に制御するための補正量を演算し
ている。従って、もし、ダンサアーム２１，２２の変動
がなければ、補正量がゼロとして扱われ、理論回転数が
指示される。しかし、ダンサアーム２１，２２が変動し
ている場合には、補正量がそのときのワイヤ走行速度や
リール巻径より演算される補正係数などによって演算さ
れる補正量として理論回転数に加除されることになる。
それにより、ダンサアーム２１，２２の変動が抑制され
る方向に制御されることになる。
正について説明する。基本的にリール回転速度は絶えず
その時点でのワイヤ走行速度とリール巻径から理論上の
演算がなされる。それにダンサアーム２１，２２の変動
量に伴う実質の回転数に制御するための補正量を演算し
ている。従って、もし、ダンサアーム２１，２２の変動
がなければ、補正量がゼロとして扱われ、理論回転数が
指示される。しかし、ダンサアーム２１，２２が変動し
ている場合には、補正量がそのときのワイヤ走行速度や
リール巻径より演算される補正係数などによって演算さ
れる補正量として理論回転数に加除されることになる。
それにより、ダンサアーム２１，２２の変動が抑制され
る方向に制御されることになる。
【００４０】この補正方法を簡略的に数式に表すと、 リール回転数（Ｎ）＝理論リール回転数（Ｎ0 ）±補正
量（Ｎ1 ） 理論リール回転数（Ｎ0 ）＝Ｖ／πＤ 補正量（Ｎ1 ）＝（Ｖ／πＤ）×（２Ｌ／πＤ）×α1
×α2 ×ｋ ここで、Ｖはワイヤ走行速度、Ｄはリール巻径、２Ｌは
ダンサアームの中立点からの移動量に対応するワイヤの
移動量、α1 はワイヤ走行速度より演算されるリール回
転速度を変速するときの補正係数、α2 はリール巻径よ
り演算されるリール回転速度を変速するときの補正係
数、ｋは定数である。
量（Ｎ1 ） 理論リール回転数（Ｎ0 ）＝Ｖ／πＤ 補正量（Ｎ1 ）＝（Ｖ／πＤ）×（２Ｌ／πＤ）×α1
×α2 ×ｋ ここで、Ｖはワイヤ走行速度、Ｄはリール巻径、２Ｌは
ダンサアームの中立点からの移動量に対応するワイヤの
移動量、α1 はワイヤ走行速度より演算されるリール回
転速度を変速するときの補正係数、α2 はリール巻径よ
り演算されるリール回転速度を変速するときの補正係
数、ｋは定数である。
【００４１】さて、図８のフローチャートは運転中随時
割り込みで実行される。そのフローチャートにおいて、
装置の運転が開始されると、メモリ４３からＣＰＵ４２
に、ワイヤ５の走行速度及び各リール１３，１４のそれ
ぞれの初期リール巻径のデータが読み込まれる（ステッ
プＳ１）。次に、上記数式にて各リール回転速度が演算
され、指示される（ステップＳ１，Ｓ２）。その後、ダ
ンサアーム２１，２２の変動量が読み込まれる（ステッ
プＳ４）。
割り込みで実行される。そのフローチャートにおいて、
装置の運転が開始されると、メモリ４３からＣＰＵ４２
に、ワイヤ５の走行速度及び各リール１３，１４のそれ
ぞれの初期リール巻径のデータが読み込まれる（ステッ
プＳ１）。次に、上記数式にて各リール回転速度が演算
され、指示される（ステップＳ１，Ｓ２）。その後、ダ
ンサアーム２１，２２の変動量が読み込まれる（ステッ
プＳ４）。
【００４２】そして、ワイヤ速度よりの補正係数α1 及
び各リール巻径よりの補正係数α2が演算される（ステ
ップＳ５，Ｓ６）。これらの係数に基づき、上記数式に
て各リール変速回転速度が演算され、指示される（ステ
ップＳ７，Ｓ８）。この運転中各リール巻径のデータが
順次更新される。
び各リール巻径よりの補正係数α2が演算される（ステ
ップＳ５，Ｓ６）。これらの係数に基づき、上記数式に
て各リール変速回転速度が演算され、指示される（ステ
ップＳ７，Ｓ８）。この運転中各リール巻径のデータが
順次更新される。
【００４３】また、ワイヤ５は、図９に示されるよう
に、順次加減速を繰り返しながら、正逆回転を行い、ワ
イヤ５に往復走行を与えながら次第に一方向へ向かって
繰り出されていく。従って、この運転中にワイヤ走行速
度も加減速を繰り返すため、ワイヤ走行速度データもそ
れに伴って更新される。これらの更新されたデータに基
づいて順次各リール回転速度が演算される。そして、運
転停止信号がオンされない限り、上記動作が継続され
る。
に、順次加減速を繰り返しながら、正逆回転を行い、ワ
イヤ５に往復走行を与えながら次第に一方向へ向かって
繰り出されていく。従って、この運転中にワイヤ走行速
度も加減速を繰り返すため、ワイヤ走行速度データもそ
れに伴って更新される。これらの更新されたデータに基
づいて順次各リール回転速度が演算される。そして、運
転停止信号がオンされない限り、上記動作が継続され
る。
【００４４】また、両リール１３，１４の回転ととも
に、ワイヤ走行用モータ６が回転されて、加工用ローラ
３，４が回転され、両ローラ３，４間においてワイヤ５
が走行される。それとともに、ワーク昇降用モータ１１
の回転により、ワーク支持機構９が下降され、ワイヤ５
上にスラリが供給されながらワーク１０が押し付けられ
て、ラッピング作用によりワーク１０がスライス加工さ
れる。
に、ワイヤ走行用モータ６が回転されて、加工用ローラ
３，４が回転され、両ローラ３，４間においてワイヤ５
が走行される。それとともに、ワーク昇降用モータ１１
の回転により、ワーク支持機構９が下降され、ワイヤ５
上にスラリが供給されながらワーク１０が押し付けられ
て、ラッピング作用によりワーク１０がスライス加工さ
れる。
【００４５】このワーク１０の加工時には、各ダンサア
ーム２１，２２のウェイト２５により、加工用ローラ
３，４間のワイヤ５に所定の張力が付与される。このと
き、各ダンサアーム２１，２２のそれぞれの回動位置が
センサ２６，２７により検出されて、ＣＰＵ４２に入力
される。これに基づき、ダンサアーム２１，２２の回動
位置がそれぞれ演算され、両ダンサアーム２１，２２の
変動量がダンサアーム２１，２２ごとに判断される。言
い換えれば、加工用ローラ３，４に達する前、すなわち
繰出しリール１３側のワイヤ５及び加工用ローラ３，４
を周回した後、すなわち巻取りリール１４側のワイヤ５
のそれぞれの張力変動が検出される。
ーム２１，２２のウェイト２５により、加工用ローラ
３，４間のワイヤ５に所定の張力が付与される。このと
き、各ダンサアーム２１，２２のそれぞれの回動位置が
センサ２６，２７により検出されて、ＣＰＵ４２に入力
される。これに基づき、ダンサアーム２１，２２の回動
位置がそれぞれ演算され、両ダンサアーム２１，２２の
変動量がダンサアーム２１，２２ごとに判断される。言
い換えれば、加工用ローラ３，４に達する前、すなわち
繰出しリール１３側のワイヤ５及び加工用ローラ３，４
を周回した後、すなわち巻取りリール１４側のワイヤ５
のそれぞれの張力変動が検出される。
【００４６】そして、これらのセンサ２６，２７からの
検出データに基づいて、各リール回転用モータ１５，１
６の回転速度の補正値がそれぞれ各別に演算される。図
７に示すように、例えばリール径が２３０φ，ワイヤ走
行速度が１２０ｍ／分の場合、補正係数は１．２である
とする。これが、ワイヤ走行速度が１００ｍ／分の場合
には、補正係数が１．３になる。また、ワイヤ走行速度
が１２０ｍ／分において、リール径が減少すると、補正
係数が１．３弱となる。そして、その補正係数がダンサ
アーム２１，２２の回動量に応じた所定の補正定数に乗
算される。そして、この乗算結果に基づいて、リール用
モータ１５，１６の回転数が増速または減速方向に制御
される。
検出データに基づいて、各リール回転用モータ１５，１
６の回転速度の補正値がそれぞれ各別に演算される。図
７に示すように、例えばリール径が２３０φ，ワイヤ走
行速度が１２０ｍ／分の場合、補正係数は１．２である
とする。これが、ワイヤ走行速度が１００ｍ／分の場合
には、補正係数が１．３になる。また、ワイヤ走行速度
が１２０ｍ／分において、リール径が減少すると、補正
係数が１．３弱となる。そして、その補正係数がダンサ
アーム２１，２２の回動量に応じた所定の補正定数に乗
算される。そして、この乗算結果に基づいて、リール用
モータ１５，１６の回転数が増速または減速方向に制御
される。
【００４７】すなわち、例えば、巻取りリール１４側の
ワイヤ５の張力が過大な場合はその巻取りリール１４を
回転させるためのモータ１６の回転数が低くなる。ま
た、繰出しリール１３側のワイヤ５の張力が過大な場合
は繰出しリール１３側のリール用モータ１５の回転数が
高くなる。以上のように、ワイヤ走行速度が低下した
り、リール径が減少したりした場合には補正係数が増加
して、俊敏な補正が行われる。逆に、ワイヤ走行速度が
増加したり、リール径が増加したりする場合は補正係数
が減少し、両リール用モータ１５，１６の補正量が低減
され、ダンサアーム２１，２２のハンチングなどを抑制
できる。
ワイヤ５の張力が過大な場合はその巻取りリール１４を
回転させるためのモータ１６の回転数が低くなる。ま
た、繰出しリール１３側のワイヤ５の張力が過大な場合
は繰出しリール１３側のリール用モータ１５の回転数が
高くなる。以上のように、ワイヤ走行速度が低下した
り、リール径が減少したりした場合には補正係数が増加
して、俊敏な補正が行われる。逆に、ワイヤ走行速度が
増加したり、リール径が増加したりする場合は補正係数
が減少し、両リール用モータ１５，１６の補正量が低減
され、ダンサアーム２１，２２のハンチングなどを抑制
できる。
【００４８】さらに、その補正の結果、ダンサアーム２
１，２２の変動が収束したか否かが再び判断され、収束
していない場合は、再び補正が行われる。以上のよう
に、ワイヤ５の走行速度が変更された場合、あるいはリ
ール１３，１４の巻径が変化した場合でも、リール回転
用モータ１５，１６の回転速度を、データの演算に基づ
いてソフトウェア的に、ワイヤ張力の変動に対応してハ
ンチング等を生じることなく、俊敏かつ正確に補正し
て、ワイヤ張力変動をすみやかに収束できる。このた
め、ダンサアーム２１，２２がほとんど回動せず、その
ダンサアーム２１，２２の回動ストロークを短くでき
る。よって、ワイヤソー装置全体が大型になるおそれが
なく、小型化が可能となる。
１，２２の変動が収束したか否かが再び判断され、収束
していない場合は、再び補正が行われる。以上のよう
に、ワイヤ５の走行速度が変更された場合、あるいはリ
ール１３，１４の巻径が変化した場合でも、リール回転
用モータ１５，１６の回転速度を、データの演算に基づ
いてソフトウェア的に、ワイヤ張力の変動に対応してハ
ンチング等を生じることなく、俊敏かつ正確に補正し
て、ワイヤ張力変動をすみやかに収束できる。このた
め、ダンサアーム２１，２２がほとんど回動せず、その
ダンサアーム２１，２２の回動ストロークを短くでき
る。よって、ワイヤソー装置全体が大型になるおそれが
なく、小型化が可能となる。
【００４９】また、この実施例においては、補正係数を
算出するためのデータを任意に設定できるため、ワーク
１０の種類等の切断条件に応じて最適な補正係数を得る
ことができ、常に正確なワイヤ張力を得て、ウエハの精
密加工に寄与できる。
算出するためのデータを任意に設定できるため、ワーク
１０の種類等の切断条件に応じて最適な補正係数を得る
ことができ、常に正確なワイヤ張力を得て、ウエハの精
密加工に寄与できる。
【００５０】なお、この実施例のリール機構１２におい
ては、図３に示すように、各リール１３，１４の胴部１
３ａ，１４ａと一対のフランジ部１３ｂ，１４ｂとが、
アルミニウム合金により一体に形成されている。従っ
て、各リール１３，１４の製作工程で、胴部１３ａ，１
４ａと一対のフランジ部１３ｂ，１４ｂとを組み付ける
必要がなく、製作を容易に行うことができる。これとは
逆に、胴部１３ａ，１４ａと、フランジ１３ｂ，１４ｂ
とが別体の場合には、リール回転時にそれらのリール１
３，１４に回転以外の運動が生じないように、胴部１３
ａ，１４ａと、フランジ１３ｂ，１４ｂとを正確に組み
付ける必要がある。しかも、長時間の使用により胴部１
３ａ，１４ａと、フランジ１３ｂ，１４ｂとの組付けが
緩む場合もあり、この場合には両者１３ａ，１４ａ，１
３ｂ，１４ｂ間の締め直しが必要となる。
ては、図３に示すように、各リール１３，１４の胴部１
３ａ，１４ａと一対のフランジ部１３ｂ，１４ｂとが、
アルミニウム合金により一体に形成されている。従っ
て、各リール１３，１４の製作工程で、胴部１３ａ，１
４ａと一対のフランジ部１３ｂ，１４ｂとを組み付ける
必要がなく、製作を容易に行うことができる。これとは
逆に、胴部１３ａ，１４ａと、フランジ１３ｂ，１４ｂ
とが別体の場合には、リール回転時にそれらのリール１
３，１４に回転以外の運動が生じないように、胴部１３
ａ，１４ａと、フランジ１３ｂ，１４ｂとを正確に組み
付ける必要がある。しかも、長時間の使用により胴部１
３ａ，１４ａと、フランジ１３ｂ，１４ｂとの組付けが
緩む場合もあり、この場合には両者１３ａ，１４ａ，１
３ｂ，１４ｂ間の締め直しが必要となる。
【００５１】また、胴部１３ａ，１４ａと、フランジ１
３ｂ，１４ｂとが一体であるため、リール１３，１４全
体の強度も向上し、ワイヤ５の巻き付けにともなうリー
ル１３，１４の変形を防止できる。従って、リール１
３，１４に対してワイヤ５を乱れることなく正確に巻回
でき、ワイヤ５の巻取り及び繰出しを張力変動をともな
うことなく円滑にできる。加えて、リール強度を増加で
きるために、各リール１３，１４にワイヤ５が巻き付け
られたとき、胴部１３ａ，１４ａと各フランジ部１３
ｂ，１４ｂとの境界部にワイヤが食い込んで、同部が破
壊されるおそれはなく、リール１３，１４の使用寿命を
延ばすことができる。
３ｂ，１４ｂとが一体であるため、リール１３，１４全
体の強度も向上し、ワイヤ５の巻き付けにともなうリー
ル１３，１４の変形を防止できる。従って、リール１
３，１４に対してワイヤ５を乱れることなく正確に巻回
でき、ワイヤ５の巻取り及び繰出しを張力変動をともな
うことなく円滑にできる。加えて、リール強度を増加で
きるために、各リール１３，１４にワイヤ５が巻き付け
られたとき、胴部１３ａ，１４ａと各フランジ部１３
ｂ，１４ｂとの境界部にワイヤが食い込んで、同部が破
壊されるおそれはなく、リール１３，１４の使用寿命を
延ばすことができる。
【００５２】なお、この発明は、次のように変更して具
体化することも可能である。 （１）ワイヤ５の張力変動をダンサアーム２１，２２以
外のところで検出すること。 （２）ダンサアーム２１，２２の回動位置に応じて、リ
ール回転用モータ１５，１６の回転速度を変速する際
に、ワイヤ５の走行速度のみに基づいて、回転速度の補
正係数を変更するように構成すること。 （３）ダンサアーム２１，２２の回動位置に応じて、リ
ール回転用モータ１５，１６の回転速度を変速する際
に、リール１３，１４の巻径のみに基づいて、回転速度
の補正係数を変更するように構成すること。 （４）各リール回転速度補正演算を基本的に積分制御等
によって行うこと。
体化することも可能である。 （１）ワイヤ５の張力変動をダンサアーム２１，２２以
外のところで検出すること。 （２）ダンサアーム２１，２２の回動位置に応じて、リ
ール回転用モータ１５，１６の回転速度を変速する際
に、ワイヤ５の走行速度のみに基づいて、回転速度の補
正係数を変更するように構成すること。 （３）ダンサアーム２１，２２の回動位置に応じて、リ
ール回転用モータ１５，１６の回転速度を変速する際
に、リール１３，１４の巻径のみに基づいて、回転速度
の補正係数を変更するように構成すること。 （４）各リール回転速度補正演算を基本的に積分制御等
によって行うこと。
【００５３】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、リール用モータの回転速度を、ハンチング等が生じ
ることなく俊敏に補正でき、ワイヤ張力を適正に維持で
きる。また、ワイヤソー装置の小型化を図ることができ
る。さらに、補正係数の設定を任意に行うことができ、
適正張力の維持にいっそう寄与できる。
ば、リール用モータの回転速度を、ハンチング等が生じ
ることなく俊敏に補正でき、ワイヤ張力を適正に維持で
きる。また、ワイヤソー装置の小型化を図ることができ
る。さらに、補正係数の設定を任意に行うことができ、
適正張力の維持にいっそう寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明のワイヤソー装置の一実施例を示す
正面図。
正面図。
【図２】 そのワイヤソー装置の平面図。
【図３】 リール機構を拡大して示す部分破断側面図。
【図４】 ワイヤ張力付与機構を拡大して示す部分正面
図。
図。
【図５】 図４のＶ−Ｖ線における部分断面図。
【図６】 ワイヤソー装置の制御回路を示すブロック
図。
図。
【図７】 ワイヤ速度及びリール径とリール回転速度の
補正係数との関係を示すグラフ。
補正係数との関係を示すグラフ。
【図８】 リール回転速度の制御動作を示すフローチャ
ート。
ート。
【図９】 ワイヤ走行速度と時間との関係を示すグラ
フ。
フ。
１…切断機構、３…加工用駆動ローラ、４…加工用被動
ローラ、５…切断用ワイヤ、６…ワイヤ走行用モータ、
９…ワイヤ支持・スラリ供給機構、１０…ワーク、１２
…リール機構、１３…繰出しリール、１４…巻取りリー
ル、１５，１６…リール回転用モータ、２０…ワイヤ張
力付与機構、２１，２２…ダンサアーム、２６，２７…
センサ、４１…制御装置、４２…補正手段及び変更手段
を構成するＣＰＵ、４３…メモリ。
ローラ、５…切断用ワイヤ、６…ワイヤ走行用モータ、
９…ワイヤ支持・スラリ供給機構、１０…ワーク、１２
…リール機構、１３…繰出しリール、１４…巻取りリー
ル、１５，１６…リール回転用モータ、２０…ワイヤ張
力付与機構、２１，２２…ダンサアーム、２６，２７…
センサ、４１…制御装置、４２…補正手段及び変更手段
を構成するＣＰＵ、４３…メモリ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−47851（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−152061（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−62655（ＪＰ，Ａ) 特公 平４−26978（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04
Claims (9)
- 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に１本のワーク切
断用ワイヤを螺旋状に巻き付けるとともに、ワイヤの両
端部をそれぞれリールに巻き付けたワイヤソー装置にお
いて、 前記ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、ワイヤの走行速度に基づいてリール
モータの回転速度を変速するための補正係数を変更する
変更手段とを備えたワイヤソー装置。 - 【請求項２】 複数の加工用ローラ間に１本のワーク切
断用ワイヤを螺旋状に巻き付けるとともに、ワイヤの両
端部をそれぞれリールに巻き付けたワイヤソー装置にお
いて、 前記ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、リールの巻径に基づいてリール用モ
ータの回転速度を変速するための補正係数を変更する変
更手段とを備えたワイヤソー装置。 - 【請求項３】 複数の加工用ローラ間に１本のワーク切
断用ワイヤを螺旋状に巻き付けるとともに、ワイヤの両
端部をそれぞれリールに巻き付けたワイヤソー装置にお
いて、 前記ワイヤの張力変動を検出するセンサと、そのセンサ
の検出データに基づいてリール用モータの回転速度を変
速する補正手段と、ワイヤの走行速度に基づいてリール
用モータの回転速度を変速するための補正係数を変更す
る第１変更手段及びリールの巻径に基づいて同じく補正
係数を変更する第２変更手段とを備えたワイヤソー装
置。 - 【請求項４】 複数の加工用ローラ間に１本のワイヤを
螺旋状に巻き付け、加工用ローラとワイヤのそれぞれ両
端部を巻き付けるためのリールとの間に配設された張力
付与機構により、加工用ローラ間のワイヤに所定の張力
を付与するようにしたワイヤソー装置において、 前記ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、ワイヤ
の走行速度に基づいてリール用モータの回転速度を変速
するための補正係数を変更する変更手段と備えたワイヤ
ソー装置。 - 【請求項５】 複数の加工用ローラ間に１本のワイヤを
螺旋状に巻き付け、加工用ローラとワイヤのそれぞれ両
端部を巻き付けるためのリールとの間に配設された張力
付与機構により、加工用ローラ間のワイヤに所定の張力
を付与するようにしたワイヤソー装置において、 前記ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、リール
の巻径に基づいてリール用モータの回転速度を変速する
ための補正係数を変更する変更手段と備えたワイヤソー
装置。 - 【請求項６】 複数の加工用ローラ間に１本のワイヤを
螺旋状に巻き付け、加工用ローラとワイヤのそれぞれ両
端部を巻き付けるためのリールとの間に配設された張力
付与機構により、加工用ローラ間のワイヤに所定の張力
を付与するようにしたワイヤソー装置において、 前記ワイヤの張力変動に基づく張力付与機構の移動を検
出するセンサと、そのセンサの検出データに基づいてリ
ール用モータの回転速度を変速する補正手段と、ワイヤ
の走行速度に基づいてリール用モータの回転速度を変速
するための補正係数を変更する第１変更手段及びリール
の巻径に基づいて同じく補正係数を変更する第２変更手
段とを備えたワイヤソー装置。 - 【請求項７】 ワイヤの走行速度を任意に設定するため
のワイヤ速度設定手段を備えた請求項１〜６のいずれか
に記載のワイヤソー装置。 - 【請求項８】 補正係数を算出するためのデータを任意
に設定するようにしたデータ設定手段を備えた請求項１
〜６のいずれかに記載のワイヤソー装置。 - 【請求項９】 張力付与機構は張力付与用のウェイトを
備えたアームを含む請求項４〜６のいずれかに記載のワ
イヤソー装置。
Priority Applications (8)
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|---|---|---|---|
| JP23757494A JP3066259B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | ワイヤソー装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23757494A JP3066259B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | ワイヤソー装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family Applications (1)
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Families Citing this family (1)
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-
1994
- 1994-09-30 JP JP23757494A patent/JP3066259B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH0899263A (ja) | 1996-04-16 |
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