CN108436724B - 线状锯及线状锯的运转方法 - Google Patents

Abstract

提供线状锯及线状锯的运转方法，能适当地维持线材相对于卷线筒的角度，能无阻碍地进行高精度加工。线状锯具备：多个加工用辊，其缠绕有用于对工件进行切断加工的线材；两个位移机构，其引导线材相对于卷线筒的卷取及放出；以及检测部，其构成为对与从卷线筒延伸的线材相对于轴线的角度相关的参数进行检测，在加工用辊之间往复行走的线材对工件进行切断加工。线状锯具备：设定部，其在对工件进行切断加工的加工运转开始前，基于与从正在进行卷取的卷线筒延伸的线材的角度相关的参数，设定表示线材的适当角度的基准值；以及控制部，其在加工运转的期间，在检测出与线材的角度相关的参数偏离基准值的情况下，基于基准值来调整位移机构的位置。

Description

线状锯及线状锯的运转方法

技术领域

本发明涉及用于利用线材对由半导体材料、磁性材料、陶瓷等脆性材料构成的工件进行切断加工的线状锯及线状锯的运转方法。

背景技术

线状锯一般具备：两个卷线筒，其交替地进行工件加工用的线材的卷取及放出；以及多个加工用辊，其缠绕有在两个卷线筒之间延伸的线材。在各卷线筒配置有位移装置，该位移装置通过沿着该卷线筒的轴线往复移动，从而引导线材相对于卷线筒的卷取及放出。并且，当工件按压于以规定的周期往复行走的线材时，利用供给到线材的浆液内的游离磨粒或者固定于线材的固定磨粒对工件实施切断加工。

在这样的结构中，在线材没有向与卷线筒的轴线呈直角的方向放出的情况下，换言之，在利用位移机构引导线材的引导位置不适当的情况下，线材的张力变动较大。根据情况，有可能线材断裂或者对工件的加工带来不良影响。

日本特开平9-29611号公报及日本特开2013-22653号公开了用于解决这样的问题的技术。

日本特开平9-29611号公报公开一种沿着卷线筒的轴线移动的位移机构引导从卷线筒放出的线材的装置。在该装置中，为了适当地控制引导线材的速度，利用由负载传感器构成的检测部连续地检测根据线材的放出角的移位而变动的线材的负荷。并且，连续地控制位移机构的辊的引导速度以使检测出的负荷成为规定值，从而调整线材的移位。

日本特开2013-22653号所公开的装置具有传感器，该传感器在线材的行走方向反转时检测在卷线筒与位移机构之间延伸的线材相对于卷线筒的轴线的角度。并且，在检测出的线材的角度为90度以外时，使位移机构相对于卷线筒移动，以使线材的角度成为90度。

发明内容

发明所要解决的课题

在日本特开平9-29611号公报及日本特开2013-22653号所记载的结构的情况下，当检测部或者传感器的特性由于周围温度的变化等而发生变化、或者位移机构的辊被更换时，线状锯的加工条件就会变动。于是，即使检测信号的输出电平相同，与该输出电平对应的实际的线材的角度也发生变化，有可能不能正确地识别线材角度。在该情况下，因为不能使位移机构适当地进行动作以使得修正线材的角度，所以不能适当地维持线材的角度。因此，有可能线材的张力偏离适当值，从而加工精度下降。

本发明的目的在于提供如下线状锯及线状锯的运转方法：即使线状锯的加工条件变动，也能适当地维持线材相对于卷线筒的角度，能无阻碍地进行高精度加工。

用于解决课题的方案

达成以上目的的线状锯具备：多个加工用辊，其缠绕有用于对工件进行切断加工的线材；两个位移机构，其通过与两个卷线筒的轴线分别平行地往复移动，从而引导所述线材相对于所述卷线筒的卷取及放出；以及检测部，其构成为对与从所述卷线筒延伸的所述线材相对于所述轴线的角度相关的参数进行检测，所述线状锯构成为：伴随所述加工用辊及所述卷线筒的往复旋转而在所述加工用辊之间往复行走的所述线材对所述工件进行切断加工。所述线状锯具备：设定部，其在对所述工件进行切断加工的加工运转开始前，基于与从正在进行卷取的所述卷线筒延伸的所述线材的角度相关的所述参数，设定表示所述线材的适当角度的基准值；以及控制部，其在所述加工运转的期间，在检测出与所述线材的角度相关的所述参数偏离所述基准值的情况下，基于所述基准值来调整所述位移机构的位置。

另外，在达成以上目的的线状锯的运转方法中，通过往复旋转的两个卷线筒交替地进行线材的卷取及放出，从而使缠绕于多个加工用辊的所述线材在所述两个卷线筒之间往复行走，并且通过位移机构沿着所述卷线筒的轴线往复移动，从而引导所述线材相对于所述卷线筒的卷取和放出，利用在所述加工用辊之间延伸的所述线材对工件实施切断加工。在该运转方法中，在对所述工件进行切断加工的加工运转开始前，使所述线状锯运转，对与从正在进行卷取的所述卷线筒朝向所述位移机构延伸的所述线材相对于所述轴线的角度相关的参数进行检测；将检测出的所述参数作为基准值存储；在所述加工运转的期间，对与所述线材的角度相关的参数进行检测，并且在检测出的所述参数偏离所述基准值的情况下，控制所述位移机构的动作，以使检测出的所述参数接近于所述基准值。

根据该结构，在开始工件的切断加工前，线状锯进行如下非加工运转：在不对工件进行加工的情况下运转。在非加工运转中，检测出与正在卷取线材的卷线筒和从该卷线筒朝向位移机构延伸的线材的角度相关的参数，且存储有表示适当角度的基准值。并且，在对工件进行切断加工的线状锯的加工运转中，在线材的角度偏离适当角度的情况下，控制位移机构的移动以使得修正线材的角度。因此，能抑制特别是在放出线材时容易产生的张力变动。例如，即使引导线材的任一辊被更换，也能以在线状锯的非加工运转中检测出的线材的适当角度为基准，检测出与工件加工中的线材的角度相关的参数并修正。因此，能对引导线材的位移机构的位置进行调整，以使得相对于卷线筒维持适当的角度关系。

发明效果

根据本发明，即使线状锯的加工条件变动，也能适当地维持线材相对于卷线筒的角度，能无阻碍地进行高精度加工。

附图说明

图1是实施方式的线状锯的整体结构图。

图2是示出图1的线状锯的电气构成的框图。

图3是示出图1的线状锯中的卷线筒和线材的关系的简要图。

图4是示出图3的线材的角度和载荷的关系的坐标图。

图5是示出图1的线状锯的动作的流程图。

具体实施方式

以下，按照附图对将本发明具体化的线状锯及线状锯的运转方法的实施方式进行说明。

如图1所示，在该实施方式的线状锯中，两个卷线筒11、12相互隔开间隔且能旋转地支承于线状锯的未图示的机架。在那些卷线筒11、12上缠绕有用于对工件100进行切断加工的线材101。卷线筒11、12通过与卷线筒11、12分别对应地设置的卷线筒旋转用电动机13、14的驱动方向的切换，旋转方向在规定的时机反转。通过卷线筒11、12连续地往复旋转，从而两个卷线筒11、12中的一方将线材101放出，与此同时，另一方卷取线材101。通过使该放出和卷取在规定的时机交替地进行，从而线材101以规定的周期往复行走。在该情况下，线材101的返回行走时的行程设定得比线材101的前往行走时的行程短，已使用的线材101最终卷绕于一方卷线筒。

线材101是在外周保持有金刚石等磨粒的所谓的磨粒固定类型的线材。

在线状锯的机架上，沿着在卷线筒11、12之间延伸的线材101的行走路径，隔开间隔且能旋转地支承有多个(在实施方式中为两个)加工用辊15、16。在两加工用辊15、16的外周面，沿着辊轴方向以规定的间距形成有多个环状槽(未图示)。线材101以与加工用辊15、16的环状槽分别卡合的状态架设于多个加工用辊15、16。通过图2所示的加工用辊旋转用电动机34驱动，从而加工用辊15、16与卷线筒11、12同步地往复旋转。伴随加工用辊15、16及卷线筒11、12的往复旋转，线材101在两个加工用辊15、16之间往复行走。

在两个加工用辊15、16之间延伸的线材101的上方能升降地配置有鞍35。在鞍35的下表面通过支承板102能装卸地安装有工件100。工件100以贴附于支承板102的状态安装于鞍35的下表面。当鞍35下降从而工件100按压于行走的线材101时，通过保持于线材101的外周的固定磨粒的研磨作用，工件100被进行切断加工。

在线状锯的机架且分别与卷线筒11、12靠近的位置配置有位移机构17、18。位移机构17、18构成为分别沿着卷线筒11、12的轴线往复移动。位移机构17、18分别具有能从动旋转的位移辊19、20。在位移辊19、20上分别缠绕有从卷线筒11、12延伸的线材101。并且，在线材101行走的期间，通过图2所示的位移机构移动用电动机36、37，未图示的滚珠螺杆等被驱动，位移机构17、18分别沿着卷线筒11、12的轴线往复移动。位移机构17、18的移动方向在卷线筒11、12的旋转方向反转的时机反转。据此，利用位移辊19、20引导线材101相对于卷线筒11、12的卷取及放出。

在加工用辊15、16和与其对应的位移机构17、18之间分别配置有构成松紧调节部的松紧调节臂23、24。松紧调节臂23、24能旋转地支承于线状锯的机架。在松紧调节臂23、24的顶端部分别以能从动旋转的状态支承有松紧调节辊25、26。松紧调节辊25、26分别在加工用辊15、16与位移机构17、18之间与线材101接触。在松紧调节臂23、24的基端部分别连接有松紧调节臂转动用电动机38、39。松紧调节臂23、24分别通过松紧调节臂转动用电动机38、39的驱动力而以基端部为中心转动。当松紧调节臂23、24转动时，松紧调节辊25、26按压线材101的力发生变化，从而线材101的张力发生变化。

松紧调节臂23、24、松紧调节臂转动用电动机38、39以及松紧调节辊25、26构成张力赋予装置。

在松紧调节辊25、26与加工用辊15、16之间，且分别在加工用辊15、16的附近，能旋转地配置有用于引导线材101的引导棍27。此外，在本实施方式中，各电动机13、14、34、36、37、38、39是伺服电动机。

位移辊19、20分别设置有由负载传感器等构成的第1传感器28、29。第1传感器28、29构成为：分别对由于线材101的张力而作用于位移辊19、20的载荷(以下称为张力载荷)进行检测。松紧调节辊25、26分别设置有由负载传感器等构成的第2传感器30、31。第2传感器30、31构成为分别对作用于松紧调节辊25、26的张力载荷进行检测。并且，从第1传感器28、29及第2传感器30、31输出检测信号，该检测信号表示通过线材101分别作用于位移辊19、20及松紧调节辊25、26的张力载荷。

第1传感器28、29及第2传感器30、31构成线材位置检测部及张力载荷检测部。

接着，对如上构成的线状锯的电气构成进行说明。

如图2所示，控制装置41构成设定部及控制部。并且，控制装置41具有存储各种数据的存储部，在该存储部存储有用于控制线状锯整体的动作的程序。从第1传感器28、29及第2传感器30、31分别输出的检测信号输入到控制装置41。控制装置41对卷线筒旋转用电动机13、14、加工用辊旋转用电动机34、位移机构移动用电动机36、37以及松紧调节臂转动用电动机38、39输出动作信号或者停止信号。

并且，在线材101的行走中，从第1传感器28、29及第2传感器30、31输出的检测信号、即表示作用于位移辊19、20及松紧调节辊25、26的张力载荷的检测信号输入到所述控制装置41。控制装置41基于那些检测信号对位移机构移动用电动机36、37输出动作信号，并调整位移机构17、18的移动速度。另外，在线材101的行走中，从第2传感器30、31输出的检测信号、即表示作用于松紧调节辊25、26的张力载荷的检测信号输入到控制装置41。控制装置41基于被输入的检测信号将动作信号输出到松紧调节臂转动用电动机38、39。当松紧调节臂23、24基于该动作信号转动时，线材101的张力得到调节。

进一步地，控制装置41对加工用辊旋转用电动机34的旋转量进行计数，根据所得到的计数值判断线材101的行走量、即行走行程。控制装置41基于该行走行程来控制线材101的行走方向的切换时机。

接着，关于本实施方式的线状锯，主要说明基于位移机构17、18的功能的作用。

在本实施方式的线状锯中，通过基于存储于存储部的程序的控制装置41的控制，执行图5所示的流程图的各步骤(以下仅称为S)的动作。

也就是说，在对工件100进行切断加工的加工运转开始之前，在S1中，工件100不会供给到加工用辊15、16之间，线状锯进行非加工运转。在非加工运转中，在利用松紧调节辊25、26对线材101赋予规定的张力的状态下，加工用辊15、16以规定的周期往复旋转，并且通过卷线筒旋转用电动机13、14的驱动，卷线筒11、12分别与加工用辊15、16同步地往复旋转，使线材101往复行走。另外，通过与加工用辊15、16的旋转同步的位移机构移动用电动机36、37的驱动，位移机构17、18沿着卷线筒11、12的轴线往复移动。将该位移机构17、18的往复移动称为位移动作。通过这些动作，线材101从两个卷线筒11、12中的一方放出，同时卷取到另一方，并且在两个加工用辊15、16之间行走。

此时，在S2中，判断卷线筒11、12是否在卷取动作中。并且，在S3中，基于与卷线筒11、12中正在进行卷取动作的卷线筒对应的第1传感器28或者29及第2传感器30或者31的检测信号，检测出由线材101的张力引起的张力载荷。

从放出线材101的卷线筒11、12放出的线材101相对于该卷线筒11、12的轴线的角度，基于线材101开始从卷线筒11、12离开的放出起点及对已放出的线材101进行引导的位移辊19、20的位置来决定。因此，从放出线材101的卷线筒11、12放出的线材101相对于该卷线筒11、12的轴线的角度容易变为90度以外的角度。对此，线材101相对于卷取线材101的卷线筒11、12的卷取位置仅基于位移辊19、20的位移动作、即仅基于说位移辊19、20的位置来决定。因此，卷取到卷取线材101的卷线筒11、12上的线材101相对于该卷线筒11、12的轴线的角度维持为90度。

在线材101相对于卷线筒11、12的轴线的角度为90度的情况下，将在卷线筒11、12与加工用辊15、16之间作用于线材101的张力(拉伸载荷)设为tN(牛顿)。在该情况下，2tN的张力载荷作用于松紧调节辊25、26，

的张力载荷作用于位移辊19、20。并且，那些张力载荷在与各卷线筒11、12对应的一侧、且在第1传感器28或者29和第2传感器30或者31这两个部位分别被检测出。

然后，在S4中，运算出施加于对应的位移辊19、20的张力载荷相对于施加于各松紧调节辊25、26的张力载荷的比值(第1传感器的输出值相对于第2传感器的输出值的比值)。运算出的比值作为基准值α存储于控制装置41的存储部。该比值是与线材101相对于卷线筒11、12的轴线的角度相关的参数。因此，对施加于辊19、20、25、26的张力载荷进行检测的第1传感器28、29及第2传感器30、31构成对与线材101相对于卷线筒11、12的轴线的角度相关的参数进行检测的检测部。这样，如图3所示，在两卷线筒11、12的非加工运转中的卷取时，即在各位移辊19、20和与其对应的卷线筒11、12之间的线材101相对于卷线筒11、12的轴线呈直角时，运算出与位移辊19、20受到的张力载荷分别对应的基准值α并存储。该基准值α表示线材101相对于卷线筒11、12的轴线的角度是90度。

接着，在S5中，线材行走停止，线状锯的非加工运转停止。在该情况下，位移机构17、18的动作继续。

在接着的S6中，在线材行走停止的状态下，如图3中双点划线所示，各位移辊19、20向第1方向、例如线材101相对于各卷线筒11、12的轴线δ成为锐角θ1的方向从运算出基准值的位置开始移动规定距离。该移动量可以为极微小，例如可以为5mm(毫米)。这样的话，线材101的缠绕于位移辊19、20的部分的长度从非加工运转时开始变化(比非加工运转时缩短)。此时，松紧调节臂转动用电动机38、39工作，利用松紧调节辊25、26对线材101赋予规定的(与S3时相同)张力。并且，即使赋予给线材101的张力不变动而为恒定，但通过缠绕于位移辊19、20的线材101的长度变化，作用于位移辊19、20的张力载荷也变动。

接着，在S7中，检测出在位移辊19、20分别向第1方向移动规定距离的状态下与位移辊19、20分别对应的第1传感器28、29和第2传感器30、31的输出值。然后，在S8中，基于这些传感器的输出值，与S4同样地分别运算出施加于位移辊19、20的张力载荷相对于施加于松紧调节辊25、26的张力载荷的比值。运算出的比值作为第1变动值α1存储于控制装置41的存储区域。

接着，在S9中，与S5同样，在线材行走停止并且松紧调节臂转动用电动机38、39工作的状态下，各位移辊19、20朝向第2方向、例如线材101相对于各卷线筒11、12的轴线δ成为钝角θ2的方向与S6同样地从运算出基准值的位置开始移动规定距离。该移动距离与S6中的移动距离相同。此外，使非加工运转停止的状态下的位移辊19、20向第1方向及第2方向的移动先进行哪个都可以。

然后，在S10中，检测出在位移辊19、20分别向第2方向移动规定距离的状态下分别与位移辊19、20对应的第1传感器28、29和第2传感器30、31的输出值。然后，在S11中，分别运算出施加于位移辊19、20的张力载荷相对于施加于松紧调节辊25、26的张力载荷的比值。运算出的比值作为第2变动值α2存储于控制装置41的存储区域。

这样的话，控制装置41对受到从卷线筒11、12延伸的线材101的张力的位移辊19、20，分别掌握图4的坐标图所示的基准值α和变动值α1、α2的关系。基于此，在S12中，利用控制装置41由基准值α及两个变动值α1、α2生成映射。从图4可明确的是，该映射示出位移辊19、20的移动量、即线材101相对于卷线筒11、12的轴线的角度和第1传感器28、29的输出值相对于第2传感器30、31的输出值的比值的关系。这样，设定有在与各卷线筒11、12对应的一侧产生的张力载荷与位移辊19、20的位置的关系的映射。

在S12之后，在S13中开始进行以工件100的加工为目的的线状锯的运转(加工运转)。

在加工运转的期间，首先在S14中，基于各传感器28～31的输出值，始终监视有无偏离基准值α的变动值。并且，在线材角度偏离90度而检测出变动值的情况下，在S15中参照映射。在S16中，运算出基准值α和变动值的差，进一步运算出能使该差为零的位移辊19、20的移动量。然后，在S17中，位移辊19、20基于运算出的移动量而移动，从而该位移辊19、20相对于卷线筒11、12的相对位置得到调整。由此，线材101的角度被修正为90度。

然后，在S18中进行线状锯的加工运转是否结束的判断，在没有结束的情况下返回S14，在S18中加工运转结束的情况下使处理程序结束。这样，在工件100的加工运转中，不断地执行使S14至S18循环的程序。因此，即使特别是在从卷线筒11、12放出时线材101的角度偏离基准值α，也每次都会修正对应的位移辊19、20的位置。

如上，在线材101相对于卷线筒11、12的轴线的角度从90度移位的情况下，该移位立即被消除。

因此，根据本实施方式，能得到如下效果。

(1)在本实施方式中，在工件100的加工开始前，卷线筒11、12卷取线材101规定时间，正在卷取的线材101形成为相对于正在卷取该线材101的卷线筒11、12的轴线呈90度的状态。在该状态下，检测出第1传感器28、29的输出值相对于第2传感器30、31的输出值的比值，将该比值作为基准值α登记。

并且，工件100的加工运转开始，在该加工运转的期间位移辊19、20从适当位置移位，在线材101的角度从90度移位的情况下，作为所述比值偏离基准值α的变动值而运算出。在该情况下，运算出该变动值和基准值的差，使位移机构17、18进行动作，以使该差消失，即以使与线材101的角度相关的参数接近于基准值。由此，线材101的移位立即被修正。因此，能避免在工件加工时的线材101行走时，从卷线筒12、11放出的线材101产生张力偏差，能实现对工件100的高精度加工。

(2)如上所述，在工件100的加工开始前，生成表示线材101的适当角度的基准值的数据。因此，即使引导棍27被更换，或者线材101的卷线筒11、12被更换，或者传感器28～31的周围温度变化，从而该传感器28～31的输出电平与张力载荷的大小无关地发生变动，或者线材101的卷取条件、线状锯的装置状态发生变化，也能与其相应地自动地确定基准值。如上，能根据环境变化、线状锯的状态变化等状况变化始终设定适当的基准值，能无阻碍地进行高精度加工。

(变更例)

此外，该实施方式也能按如下变更并具体化。

·在所述实施方式中，作为用于检测与线材101的角度相关的参数或者与位移辊19、20的位置相关的参数的检测部，使用例如对线材101的角度、位置进行光学检测的器件。

·在所述实施方式中构成为：在线材101偏离适当角度的情况下，参照映射来调整位移辊19、20的位置，但是也可以构成为：不使用映射，而仅基于控制装置41具有的算式来调整位移辊19、20的位置。

Claims (7)

1.一种线状锯，具备：

多个加工用辊，其缠绕有用于对工件进行切断加工的线材；

两个位移机构，其通过与两个卷线筒的轴线分别平行地往复移动，从而引导所述线材相对于所述卷线筒的卷取及放出；以及

检测部，其构成为对与从所述卷线筒延伸的所述线材相对于所述轴线的角度相关的参数进行检测，

所述线状锯构成为：伴随所述加工用辊及所述卷线筒的往复旋转而在所述加工用辊之间往复行走的所述线材对所述工件进行切断加工，

所述线状锯的特征在于，具备：

设定部，其在对所述工件进行切断加工的加工运转开始前，基于与从正在进行卷取的所述卷线筒延伸的所述线材的角度相关的所述参数，设定表示所述线材的适当角度的基准值；以及

控制部，其具有存储区域，

所述控制部构成为，能够将在所述线材的往复行走停止的状态下各个所述位移机构在第1方向和与所述第1方向相反的第2方向分别移动了规定距离时的所述参数相对于所述基准值的第1变动值和第2变动值存储于所述存储区域，由所述基准值以及所述第1变动值和第2变动值生成映射，

在所述加工运转的期间，在检测出与所述线材的角度相关的所述参数偏离所述基准值的情况下，基于所述映射来调整所述位移机构的位置。

2.根据权利要求1所述的线状锯，其中，

所述控制部调整所述位移机构的位置，以使与所述线材的角度相关的所述参数接近于所述基准值。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的线状锯，其中，

所述线状锯具备张力赋予装置，该张力赋予装置对在所述加工用辊与所述位移机构之间延伸的所述线材赋予张力，

所述检测部包括用于检测张力载荷的张力载荷检测部，该张力载荷是由于在所述加工用辊与所述卷线筒之间延伸的所述线材的张力而作用于所述位移机构及所述张力赋予装置的载荷，

所述控制部使所述张力载荷检测部对与卷取到所述卷线筒时的所述线材关联的张力载荷进行检测，并且将基于检测出的张力载荷的所述参数设定为所述基准值，在所述加工运转的期间检测出偏离所述基准值的变动值作为基于所述张力载荷的参数的情况下，调整所述位移机构的位置，以使所述变动值成为所述基准值。

4.根据权利要求3所述的线状锯，其中，

所述张力载荷检测部构成为对分别施加于所述张力赋予装置及所述位移机构的张力载荷进行检测，所述控制部基于施加于所述张力赋予装置的张力载荷与施加于所述位移机构的张力载荷之比来运算所述基准值及所述变动值。

5.一种线状锯的运转方法，其通过往复旋转的两个卷线筒交替地进行线材的卷取及放出，从而使缠绕于多个加工用辊的所述线材在所述两个卷线筒之间往复行走，并且通过位移机构沿着所述卷线筒的轴线往复移动，从而引导所述线材相对于所述卷线筒的卷取和放出，利用在所述加工用辊之间延伸的所述线材对工件实施切断加工，在该线状锯的运转方法中，

在对所述工件进行切断加工的加工运转开始前，使所述线状锯运转，对与从正在进行卷取的所述卷线筒朝向所述位移机构延伸的所述线材相对于所述轴线的角度相关的参数进行检测；

将检测出的所述参数作为基准值存储；

将在所述线材的往复行走停止的状态下各个所述位移机构在第1方向和与所述第1方向相反的第2方向分别移动了规定距离时的所述参数相对于所述基准值的第1变动值和第2变动值存储于存储区域；

由所述基准值以及所述第1变动值和第2变动值生成映射，

在所述加工运转的期间，对与所述线材的角度相关的参数进行检测，并且在检测出的所述参数偏离所述基准值的情况下，根据所述映射来控制所述位移机构的动作，以使检测出的所述参数接近于所述基准值。

6.根据权利要求5所述的线状锯的运转方法，其中，

在开始所述加工运转前的线状锯的运转中，对施加于引导正在卷取的所述线材的所述位移机构上的张力载荷进行检测，

基于检测出的张力载荷来运算作为所述基准值的所述参数，

在所述线状锯的所述加工运转的期间，在检测出偏离所述基准值的变动值作为基于所述张力载荷的所述参数的情况下，控制所述位移机构的移动，以使所述变动值接近于所述基准值。

7.根据权利要求6所述的线状锯的运转方法，其中，

基于施加于松紧调节部的张力载荷和施加于所述位移机构的张力载荷来运算所述基准值及所述变动值，该松紧调节部用于对在所述位移机构与所述加工用辊之间延伸的所述线材赋予张力。

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