JP2020121392A - ワイヤソー及びワイヤソーの被加工物切断方法 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 6
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 5
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
前記固定砥粒方式のワイヤソーは、ワイヤにダイヤモンド等の砥粒が電着や樹脂で固定された固定砥粒ワイヤが用いられ、切断時に界面活性剤の添加された水等の加工液がワイヤに掛けられながら被加工物の加工が行われる。
また、前記遊離砥粒方式のワイヤソーは、芯線ワイヤにスラリ(ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、シリコンカーバイド等の砥粒が加工液に混ぜられた切削液)が掛けられながら被加工物の加工が行われる。
前記ワイヤの往復走行時における一定速走行時に、前記被加工物とワイヤとが接する加工位置で所定送り量だけ前記被加工物を前記ワイヤ列に押し付ける方向に送り、
前記ワイヤの往方向及び複方向からの減速走行時は、前記被加工物をワイヤ列のワイヤから離間させる方向に前記被加工物を送り、
前記ワイヤの往方向及び複方向への加速走行時は、前記被加工物を所定送り量より多く前記ワイヤ列に押し付ける方向に送ることで、複方向走行時に被加工物から離間した前記ワイヤを少なくとも前記加工位置に戻すように被加工物を位置させるようにしながら被加工物を切断する構成を採用したワイヤソーである。
前記ワイヤの往方向への一定速走行時は、加工位置で所定送り量だけ前記被加工物を前記ワイヤ列に押し付ける方向に送り、
前記ワイヤの復方向への減速走行時は、前記被加工物をワイヤ列のワイヤから離間させる方向に被加工物を送り、
前記ワイヤの往方向への加速走行時は、前記被加工物を所定送り量より多く前記ワイヤ列に押し付ける方向に送ることで、複方向走行時に被加工物から離間した前記ワイヤを少なくとも加工位置に戻すように被加工物を位置させながら前記被加工物の切断を行う構成を採用したワイヤソーの被加工物切断方法である。
2 供給側ワイヤリール
3 ワイヤ
4 ガイドプーリ
5 ワークローラー
6a テンションプーリ
6b テンションプーリ
7 ガイドプーリ
8 回収側ワイヤリール
9 ワイヤ列
10a トラバースプーリ
10b トラバースプーリ
11a トラバース機構
11b トラバース機構
12a テンションアーム
12b テンションアーム
13a モータ
13b モータ
14 テンション機構
15 昇降機構
16 加工液ノズル
20 被加工物
20a 既切断部
20b 未切断部
21 ダミー部材
22 固定台
23 保持テーブル(保持手段)
24 昇降モータ
25 ボールネジ
Claims (2)
- 一対のワイヤリールと、前記一対のワイヤリール間に設けられた複数個のワークローラーと、前記複数個のワークローラーに巻き掛けられて形成されたワイヤ列と、被加工物を保持すると共に前記被加工物を前記ワイヤ列に押し付けする保持手段と、を備え、前記ワイヤリール間で前記ワイヤを往復走行させながら、前記ワイヤ列に被加工物を押し付けることで前記被加工物を切断するワイヤソーにおいて、
前記ワイヤの往復走行時における一定速走行時に、前記被加工物とワイヤとが接する加工位置で所定送り量だけ前記被加工物を前記ワイヤ列に押し付ける方向に送り、
前記ワイヤの往方向及び複方向からの減速走行時は、前記被加工物をワイヤ列のワイヤから離間させる方向に前記被加工物を送り、
前記ワイヤの往方向及び複方向への加速走行時は、前記被加工物を所定送り量より多く前記ワイヤ列に押し付ける方向に送ることで、複方向走行時に被加工物から離間した前記ワイヤを少なくとも前記加工位置に戻すように被加工物を位置させるようにしながら被加工物を切断することを特徴とするワイヤソー。 - 一対のワイヤリール間を往復走行するワイヤを複数個のワークローラーに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物を押しつけることにより、該被加工物を切断するワイヤソーにおいて、
前記ワイヤの往方向への一定速走行時は、加工位置で所定送り量だけ前記被加工物を前記ワイヤ列に押し付ける方向に送り、
前記ワイヤの復方向への減速走行時は、前記被加工物をワイヤ列のワイヤから離間させる方向に被加工物を送り、
前記ワイヤの往方向への加速走行時は、前記被加工物を所定送り量より多く前記ワイヤ列に押し付ける方向に送ることで、複方向走行時に被加工物から離間した前記ワイヤを少なくとも加工位置に戻すように被加工物を位置させながら前記被加工物の切断を行うことを特徴とするワイヤソーの被加工物切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019016259A JP2020121392A (ja) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | ワイヤソー及びワイヤソーの被加工物切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019016259A JP2020121392A (ja) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | ワイヤソー及びワイヤソーの被加工物切断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020121392A true JP2020121392A (ja) | 2020-08-13 |
Family
ID=71991853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019016259A Pending JP2020121392A (ja) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | ワイヤソー及びワイヤソーの被加工物切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020121392A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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