CN113226640B - 工件的切断方法及线锯 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及工件的切断方法，通过将固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，并通过一边使其往复移动，一边将经由接合部件通过工件保持装置保持的工件切入进给，从而将工件在多个位置同时切断，其中，使用一部分为磨石的部件作为接合部件，该方法还具有固定磨粒去除工序，其在工件的切断结束后，且在从金属线列拉出工件前，按压于磨石并使固定磨粒金属线往复移动，从而去除固定磨粒金属线的固定磨粒，固定磨粒去除工序中的金属线速度为100m/min.以下，且荷重是每条固定磨粒金属线为30g以上。由此，提供一种工件的切断方法及线锯，其在切断工件后拉出金属线的过程中，不会发生金属线卡住于工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。

Description

工件的切断方法及线锯
技术领域
本发明涉及一种工件的切断方法及线锯。
背景技术
过去，作为从硅锭及化合物半导体铸块等切出晶圆的装置，已知线锯。在该线锯中，通过将多个切断用金属线卷绕于多个滚轮的周围而形成金属线列，使该切断用金属线沿轴向高速驱动，并且一边适当供给浆料一边使工件对该金属线列切入进给，从而该工件在各金属线的位置被同时切断(例如，参考专利文献1)。
在此，图6显示现有的一般线锯的一例的示意图。如图6所示，该线锯101主要由以下部件构成：用于将工件W’切断的金属线102、卷绕有金属线102的带沟滚轮103、103’、将金属线102卷绕于多个带沟滚轮103、103’而形成的金属线列130、调整金属线102的张力的张力调整机构104、将进行切断的工件W’向下方送出的工件进给机构105及在切断时供给浆料的浆料供给机构106。
金属线102从一个金属线卷盘107送出，经过横臂(日语：トラバーサ)108、滑轮109及张力调整机构104，于带沟滚轮103、103’卷绕约300～500周后，经过另一个张力调整机构104’、滑轮109’及横臂108’而卷绕于金属线卷盘107’。
另外，带沟滚轮103、103’是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂，并在其表面以大致一定的节距切出沟的滚轮，卷绕的金属线102通过带沟滚轮驱动马达110而能够在一个方向上、或者以预定的周期在往复方向上驱动。
另外，如在图7示出的现有的一般线锯所使用的工件保持装置那样，将图6的工件W’向下方送出的工件进给机构105具有由工件保持部112、工件板113构成的工件保持装置114，工件W’通过贴附于工件W’的接合部件(梁)而粘接于工件板113。
在切断工件W’时，工件W’由工件进给机构105保持并被按下，向卷绕于带沟滚轮103、103’的金属线列130送出。使用这样的线锯101，其中，使用张力调整机构104对金属线102施加适当的张力，一边通过驱动用马达111、111’使金属线102在往复方向上移动，一边从浆料供给机构106供给浆料，并通过工件进给机构105将工件W’切入进给从而切断工件W’。
另一方面，已知不使用含有磨粒的浆料，而改为使用将金刚石磨粒等固定于金属线表面的固定磨粒金属线而将工件切断的方法，其在直径约为150mm以下的小直径铸块的切断中已部分地实际应用。
在该固定磨粒金属线进行的切断中，代替如图6所示的线锯的钢线金属线而装设固定磨粒金属线，将浆料变更为不含磨粒的冷却水等冷却剂，从而能够直接使用一般的线锯。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平9-262826号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
在固定磨粒金属线进行的切断中，由于不使用游离磨粒，因此在环境方面也有产业废弃物少的优点。另外，还具有加工速度快的优点，与使用游离磨粒的线锯进行的加工相比便利点多。但是，在线锯中，如图6所示，由于使工件W’向卷绕于带沟滚轮103、103’的一条金属线102按压移动而进行切断，因此在切断结束时，工件W’位于按压工件W’的金属线102下侧。因此，为了取出工件W’，需要通过使工件W’向上方移动，而使金属线102穿过被切断而形成晶圆状的工件W’的间隙相对地向下侧拉出。
在拉出金属线时，如图8的(a)所示，在使用游离磨粒的线锯的情况下，由于能以游离磨粒G的宽度量而在金属线102与工件W之间产生间隙(余隙)，因此金属线102的取退出相对容易。
但是如图8的(b)所示，在使用固定磨粒的线锯的情况下，由于在固定磨粒金属线402与工件W’之间不产生间隙，因此难以拉出固定磨粒金属线402。另外，由于固定磨粒金属线的固定磨粒本身具切断能力，因此固定磨粒金属线402切入晶圆W’，而更难以拉出固定磨粒金属线402。因此，固定磨粒金属线402卡住于工件W’而浮起，如果要在该状态下将固定磨粒金属线402拉出，则工件切断面将受到损伤而在该切断面产生所谓的锯痕，因此Warp会恶化而损害质量。在固定磨粒金属线402的浮起进一步加大的情况下，甚至可能导致金属线断线。当发生金属线断线时，需要将固定磨粒金属线重新卷绕于带沟滚轮的工夫，此外对于重新卷绕部分的固定磨粒金属线而言需要具有额外的量等，损失很大。
本发明鉴于上述问题而做出，其目的在于提供一种工件的切断方法及线锯，其在切断工件后拉出固定磨粒金属线的过程中，不会发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生固定磨粒金属线断线的情况。
(二)技术方案
为了达成上述目的，在本发明中，提供一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持装置进行保持，其特征在于，
使用一部分为磨石的部件作为所述接合部件，
所述工件的切断方法还具有固定磨粒去除工序，在所述固定磨粒去除工序中，在所述工件的切断结束后，且在从所述金属线列拉出所述工件前，将所述金属线列按压于所述磨石，并使所述固定磨粒金属线往复移动，从而去除所述固定磨粒金属线的固定磨粒，
该固定磨粒去除工序中的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
如果是这样的工件的切断方法，则通过在工件的切断结束后，且在从金属线列拉出工件前去除固定磨粒金属线表面的固定磨粒，从而能够在与工件之间形成间隙(余隙)。另外，通过去除具有切断能力的固定磨粒，而能够防止固定磨粒金属线切入工件。由此，能够在不卡住于固定磨粒金属线的情况下将工件拉出，并能够避免发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
另外，此时，优选使用WA磨石作为所述磨石。
这样，如果使用WA(White Alundum，白刚玉)磨石作为磨石，则能够有效地去除固定磨粒金属线表面的固定磨粒，而能够在更确实地防止发生固定磨粒金属线的卡住的同时进行工件的拉出。
另外，优选地，在上述记载的工件的切断方法中，在所述固定磨粒金属线的在所述固定磨粒去除工序中去除了固定磨粒的部分处从所述金属线列拉出所述工件。
如果是这样的工件的切断方法，由于将拉出工件之处设为固定磨粒金属线表面的去除了固定磨粒的部分，因此能够在更确实地防止发生固定磨粒金属线的卡住的同时进行工件的拉出。
另外，本发明提供一种线锯，其具有金属线列及工件进给机构，所述金属线列通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成，所述工件进给机构一边经由贴附于工件的接合部件通过工件保持装置保持工件，一边将所述工件按压至所述金属线列，所述线锯通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边使用所述工件进给机构将所述工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，
所述接合部件的一部分具有磨石，
所述线锯还具备将所述金属线列按压于所述磨石，并使所述固定磨粒金属线往复移动从而去除所述固定磨粒金属线的固定磨粒的装置，
去除所述固定磨粒时的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
由于本发明的线锯具备去除固定磨粒金属线表面的固定磨粒的装置，因此能够在与工件之间形成间隙，且去除具有切断能力的固定磨粒，而能够防止固定磨粒金属线切入工件。由此，能够在不卡住于固定磨粒金属线的情况下将工件拉出，并能够避免发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
另外，此时，该磨石优选为WA磨石。
如果是这样的线锯，则能够有效地去除固定磨粒金属线表面的固定磨粒，而能够在更确实地防止发生固定磨粒金属线的卡住的同时进行工件的拉出。
另外，优选地，在上述记载的线锯中具备控制装置，所述控制装置进行控制，使得在所述固定磨粒金属线的通过去除所述固定磨粒的装置而去除了固定磨粒的部分处从所述金属线列拉出所述工件。
如果是这样的线锯，则由于包含控制装置，其进行控制使得拉出工件之处为固定磨粒金属线表面的去除了固定磨粒的部分，因此能够在更确实地防止发生固定磨粒金属线的卡住的同时进行工件的拉出。
发明效果
如上所述，如果是本发明的工件的切断方法及线锯，则在从金属线列拉出工件时，能够在不卡住于固定磨粒金属线的情况下将工件拉出，并能够避免发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
附图说明
图1是显示可用于本发明的工件的切断方法的线锯的一例的示意图。
图2的(a)是显示工件的切断结束时的工件与固定磨粒金属线的位置关系的图；图2的(b)是显示金属线的卡住发生时的工件与固定磨粒金属线的状态的图；图2的(c)是显示工件的拉出结束时的工件与固定磨粒金属线的位置关系的图。
图3是显示本发明的线锯的工件保持装置的一例的示意图。
图4是显示在实验例1、2中使用的贴附有磨石的保持装置的示意图。
图5的(a)是实验例1中的往复运动的测试前的固定磨粒金属线的SEM观察结果；图5的(b)是实验例1中的往复运动的测试后的固定磨粒金属线的SEM观察结果。
图6是显示一般的线锯的一例的示意图。
图7是显示一般的线锯的工件保持装置的一例的示意图。
图8的(a)是显示在使用了游离磨粒的线锯时(游离磨粒方式)的金属线的取出的说明图；图8的(b)是显示在使用了固定磨粒金属线的线锯时(固定磨粒方式)的金属线的取出的说明图。
图9是显示在比较例中使用的工件保持装置的示意图。
具体实施方式
以下，对本发明说明实施方式，但是本发明并不限于此。
如上所述，当使用固定磨粒金属线进行工件的切断时，在从金属线列拉出切断后的工件时，有固定磨粒金属线卡住于工件而在切断面产生锯痕或固定磨粒金属线断线的问题。
在此，本案发明人为了解决上述问题反复精心研讨。结果发现在固定磨粒金属线中，虽然使用例如金刚石那样十分坚硬且难以磨损的磨粒，但是如果充分去除固定磨粒金属线的磨粒，则能够在固定磨粒金属线不卡住于工件的情况下将工件拉出。根据该发现，得到通过切断工件后将金属线列按压于磨石并使固定磨粒金属线往复移动从而去除固定磨粒的方法的构思，进而完成了本发明。
即本发明提供一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持装置进行保持，其特征在于，
使用一部分为磨石的部件作为所述接合部件，
所述工件的切断方法还具有固定磨粒去除工序，在所述固定磨粒去除工序中，在所述工件的切断结束后，且在从所述金属线列拉出所述工件前，将所述金属线列按压于所述磨石，并使所述固定磨粒金属线往复移动，从而去除所述固定磨粒金属线的固定磨粒，
该固定磨粒去除工序中的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
另外，本发明提供一种线锯，其具有金属线列及工件进给机构，所述金属线列通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成，所述工件进给机构一边经由贴附于工件的接合部件通过工件保持装置保持工件，一边将所述工件按压至所述金属线列，所述线锯通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边使用所述工件进给机构将所述工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，
所述接合部件的一部分具有磨石，
所述线锯还具备将所述金属线列按压于所述磨石，并使所述固定磨粒金属线往复移动从而去除所述固定磨粒金属线的固定磨粒的装置，
去除所述固定磨粒时的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
首先，参照图1说明能够用于本发明的工件的切断方法的线锯。如图1所示，本发明的线锯1由如下部件构成：用于切断工件W的固定磨粒金属线2、卷绕有固定磨粒金属线2的带沟滚轮3、3’、通过将固定磨粒金属线2卷绕于多个带沟滚轮3、3’而形成的金属线列30、调整固定磨粒金属线2的张力的张力调整机构4、一边经由贴附于工件的接合部件20通过工件保持装置保持工件，一边将进行切断的工件W向下方送出的工件进给机构5、在切断时供给冷却水等冷却剂的冷却剂供给机构6。
固定磨粒金属线2从一个金属线卷盘7送出，经过横臂8、滑轮9、张力调整机构4，卷绕于带沟滚轮3、3’约300～500周后，经过另一个张力调整机构4’、滑轮9’、横臂8’，卷绕于金属线卷盘7’。
这样的线锯1一边使固定磨粒金属线2在其轴向上往复移动，一边将工件W向金属线列30切入进给，从而将工件W在轴向排列的多个位置同时切断。使卷绕于多个带沟滚轮3及带沟滚轮3’之间的固定磨粒金属线2在向一个方向前进预定的长度之后，向另一个方向后退比上述的前进量短的长度，将此做为一个进给循环，通过重复此循环并通过将金属线向一个方向送出等方法而进行固定磨粒金属线2的往复移动。带沟滚轮3’能够利用带沟滚轮驱动马达11使被卷绕的固定磨粒金属线2以预先设定的周期在往复方向上驱动。
另外，图2的(a)、(c)分别是显示工件的切断结束时及工件的拉出结束时工件W与卷绕于带沟滚轮203、203’的固定磨粒金属线202的位置关系的图。如图2的(a)所示，在切断结束时，工件W位于与金属线列相比更靠近下侧的位置。因此，为了取出工件W，必须通过使工件W向上方移动，从而使固定磨粒金属线202穿过被切断而成为晶圆状的工件的晶圆间的间隙并相对地向下侧拉出。
但是，在使用现有的固定磨粒金属线的线锯时，由于固定磨粒金属线202与工件W之间不产生余隙(参考图8的(b))，因此固定磨粒202会卡住于工件W，如图2的(b)所示那样浮起而在工件W的切断面产生锯痕，或发生金属线断线。
图3中显示能够在本发明的线锯中使用的工件保持装置。本发明的线锯在接合部件20的一部分具有磨石21，还包含将金属线列按压于磨石21并使固定磨粒金属线往复移动而去除固定磨粒金属线的固定磨粒的装置。此外，工件保持机装置14可由工件保持部12及工件板13构成。另外，接合部件20可通过树脂22等粘接工件W。另外，去除固定磨粒的装置可为使用工件进给机构5将金属线列30按压于磨石21的装置等。
另外，本发明的线锯在去除固定磨粒时的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
如果是这样的本发明的线锯1，则由于具备去除固定磨粒金属线2表面的固定磨粒的装置，因此能够在与工件W之间形成间隙，且去除具有切断能力的固定磨粒，而能够防止固定磨粒金属线2切入工件W。由此，能够在不卡住于固定磨粒金属线2的情况下将工件W拉出，并能够避免发生固定磨粒金属线2卡住于工件W而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
在此，本发明的线锯1中的磨石只要能够去除固定磨粒金属线2的固定磨粒则不受特别限定，但是优选为WA磨石。如果是这样的磨石，则能够有效地去除固定磨粒金属线2表面的固定磨粒，而能够在更确实地防止发生固定磨粒金属线2的卡住的同时进行工件W的拉出。
另外，本发明的线锯1优选具备控制装置，该控制装置进行控制，使得在固定磨粒金属线2的通过去除固定磨粒的装置而去除了固定磨粒的部分处从金属线列30拉出工件W。如果是这样的线锯，则由于控制装置进行控制，使得拉出工件W之处为固定磨粒金属线2表面的去除了固定磨粒的部分，因此能够在更确实地防止发生固定磨粒金属线2的卡住的同时进行工件W的拉出。
接着，举出使用上述本发明的线锯的情况为例说明本发明的工件的切断方法。首先，如图1所示，通过将表面固定有磨粒的固定磨粒金属线2卷绕于多个带沟滚轮3、3’而形成金属线列30。接着通过带沟滚轮驱动马达10使固定磨粒金属线2在固定磨粒金属线2的轴向上往复移动。然后，使用张力调整机构4、4’对固定磨粒金属线2施加适当的张力，一边通过驱动用马达11、11’使固定磨粒金属线2在往复方向上移动，一边供给从冷却剂供给机构6供给的冷却剂，通过使用工件进给机构5将圆柱状的工件W向金属线列30切入进给，从而将工件W在轴向排列的多个位置同时切断。
在本发明的工件的切断方法中，具有固定磨粒去除工序，在该固定磨粒去除工序中，在工件W的切断结束后，且在从金属线列30拉出工件W前，将金属线列30按压于设置在工件W和工件保持装置14之间的接合部件20的磨石21，并使固定磨粒金属线2往复移动，从而去除固定磨粒金属线2的固定磨粒。
如果是这样的工件的切断方法，则通过在工件的切断结束后，且在从金属线列拉出工件前去除固定磨粒金属线表面的固定磨粒，从而能够在工件之间形成间隙(余隙)。另外，通过去除具有切断能力的固定磨粒，而能够防止固定磨粒金属线切入工件。由此，能够在不卡住于固定磨粒金属线的情况下将工件拉出，并能够避免发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
实施例
以下，使用实验例、实施例及比较例具体地说明本发明，但是本发明并不限于此。
(实验例1)
使用与本发明的线锯相同的线锯，调查了将金属线列按压于磨石并使固定磨粒金属线进行往复运动时的金属线外径变化。此时，使用了图4所示的由贴附有磨石221的板213及保持部212构成的保持装置214。另外，使用了固着有金刚石磨粒作为固定磨粒的固定磨粒金属线。在下述表1中显示使用的固定磨粒金属线、磨石、及测试通用条件。
[表1]
Figure BDA0003136121700000111
如图4，通过环氧系粘接剂将磨石221贴附于板213，在设定将固定磨粒金属线202按压于磨石221的荷重为120g/条，设定金属线往复次数为400次时，使金属线速度变化为10～400m/min.。
在表2中显示实验例1的结果，其为在设金属线速度100m/min.的金属线外径减少量为100时的相对值。
[表2]
Figure BDA0003136121700000121
设100m/min.时的线外径减少量为100的相对值
根据表2的结果可知，当金属线速度超过100m/min.时发生断线。另外，在图5中显示往复运动的测试前后的固定磨粒金属线的SEM观察结果。从图5可知，在往复运动的测试后(图5的(b))，从往复运动的测试前(图5的(a))的固定磨粒金属线去除了金刚石磨粒H，而仅观测到固定磨粒金属线的芯线I。因此，明确了金属线外径的减少是因为去除了固定磨粒金属线表面的金刚石磨粒H的缘故。
(实验例2)
使用与实验例1相同的线锯，调查了将金属线列按压于磨石并使固定磨粒金属线进行往复运动时的金属线外径变化。在下述表3中显示使用的固定磨粒金属线、磨石、及测试通用条件。磨石的贴附方式与实验例1相同(图4)。
[表3]
Figure BDA0003136121700000122
Figure BDA0003136121700000131
采纳实验例1的结果，将金属线速度固定在100m/min.，使将固定磨粒金属线按压于磨石的荷重与金属线往复次数变化。
在表4中显示实验例2的结果，其为在设将固定磨粒金属线按压于磨石的荷重为120g/条且设金属线往复次数为400次时的金属线外径减少量为100时的相对值。
[表4]
Figure BDA0003136121700000132
设将金属线按压于磨石的荷重为120g/条且
设金属线往复次数为400次时的金属线外径减少量为100
根据表4的结果，明确了当将固定磨粒金属线按压于磨石的荷重不是30g/条以上时，金属线径不减少，即，没有充分去除金刚石磨粒。另外，由于荷重为120g、240g时，即使增加金属线往复次数，金属线外径减少量也几乎不变，因此去除金刚石磨粒后的金属线芯线的磨损难以进展，在实施本发明的过程中断线的可能性非常低。
(实施例及比较例)
作为实施例，使用本发明的线锯及工件的切断方法进行工件的切断及工件拉出。另外，作为比较例，使用通常的工件切断方法进行工件的切断及工件拉出。作为在这些实施例及比较例中进行切断的工件，使用了直径约301mm的圆柱状单晶硅锭。在表5中显示实施例及比较例的测试条件。
[表5]
Figure BDA0003136121700000141
在实施例中，如图3所示，将磨石21配置于树脂22与工件板13之间。另一方面，在比较例中，如图9所示，仅将树脂122作为接合部件而与工件板113粘接。工件W、W’通过环氧系粘接剂与接合部件贴合。
在实施例中，在工件切断后，将固定磨粒金属线按压于磨石，使其进行往复运动后进行工件的拉出。在比较例中，在工件切断后立即进行了工件的拉出。表6中显示实施例及比较例的结果。
[表6]
Figure BDA0003136121700000151
实施例及比较例的结果如表6所示，在实施例中，拉出工件时未发生固定磨粒金属线的断线，且未在切割出的晶圆的主表面上确认到锯痕。另一方面，在比较例中，在拉出时发生固定磨粒金属线的断线，且在切割出的晶圆的主表面确认到锯痕。
根据以上的实验例、实施例、比较例的结果，明确了如果是本发明的线锯及工件的切断方法，则能够在不卡住于固定磨粒金属线的情况下将工件拉出，并能够避免发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
另外，本发明并不限定于上述实施方式。上述实施方式为示例说明，凡具有与本发明的权利要求书所记载的技术思想实质上同样的构成并产生相同作用效果的任何方案都包含在本发明的技术范围内。

Claims (6)

1.一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持装置进行保持，其特征在于，
使用一部分为磨石的部件作为所述接合部件，
所述工件的切断方法还具有固定磨粒去除工序，在所述固定磨粒去除工序中，在所述工件的切断结束后，且在从所述金属线列拉出所述工件前，将所述金属线列按压于所述磨石，并使所述固定磨粒金属线往复移动，从而去除所述固定磨粒金属线的固定磨粒，
该固定磨粒去除工序中的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
2.根据权利要求1所述的工件的切断方法，其特征在于，使用WA磨石作为所述磨石。
3.根据权利要求1或2所述的工件的切断方法，其特征在于，在所述固定磨粒金属线的在所述固定磨粒去除工序中去除了固定磨粒的部分处从所述金属线列拉出所述工件。
4.一种线锯，其具有金属线列及工件进给机构，所述金属线列通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成，所述工件进给机构一边经由贴附于工件的接合部件通过工件保持装置保持工件，一边将所述工件按压至所述金属线列，所述线锯通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边使用所述工件进给机构将所述工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，
所述接合部件的一部分具有磨石，
所述线锯还具备将所述金属线列按压于所述磨石，并使所述固定磨粒金属线往复移动从而去除所述固定磨粒金属线的固定磨粒的装置，
去除所述固定磨粒时的所述固定磨粒金属线的金属线速度为100m/min.以下，且将所述金属线列按压于所述磨石的荷重是每条所述固定磨粒金属线为30g以上。
5.根据权利要求4所述的线锯，其特征在于，所述磨石是WA磨石。
6.根据权利要求4或5所述的线锯，其特征在于，还具备控制装置，所述控制装置进行控制，使得在所述固定磨粒金属线的通过去除所述固定磨粒的装置去除了固定磨粒的部分处从所述金属线列拉出所述工件。
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