CN113478665A - 一种高精度半导体加工用单线切割机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高精度半导体加工用单线切割机，涉及加工设备技术领域。本发明包括基板、竖板和收放线机构，竖板安装在基板上表面，竖板正面固定连接有组第一支座，第一支座一表面转动连接有过渡辊。本发明通过使用滑座和收放线辊，该装置在使用时可以安装若干滑座，然后每个滑座和都是一个收放线装置，其上的收放线辊可以用来收放线，因此该收放线机构可以同时切割多组零件，而且收放线辊由两个半圆辊组成，拆装方便；另外本发明通过使用连接头和连接槽，连接头与连接槽配合后，电机轴就可以带动连接轴转动，而连接轴可以带动相邻滑座的连接轴转动，从而带动收放线辊进行收放线，因此可以根据需要决定安装多少个滑座。

Description

一种高精度半导体加工用单线切割机

技术领域

本发明属于加工设备技术领域，特别是涉及一种高精度半导体加工用单线切割机。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体零件在加工时经常会使用到线切割技术。目前的线切割机主要由机床、数控系统和高频电源这三部分组成。主要用于切割材料，如高强度、高韧性、高硬度、高脆性、磁性材料，以及精密细小和形状复杂的零件。线切割技术、线切割机床正在各行各业中得到广泛的应用。

然而现有的线切割机的收放线机构无法同时对多个收放线辊进行收放线，不利于提高生产效率，本发明针对上述问题提出一种高精度半导体加工用单线切割机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高精度半导体加工用单线切割机，解决现有的线切割机的收放线机构无法同时对多个收放线辊进行收放线，不利于提高生产效率的问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种高精度半导体加工用单线切割机，包括基板、竖板和收放线机构，所述竖板安装在基板上表面，所述竖板正面固定连接有组第一支座，所述第一支座一表面转动连接有过渡辊，所述第一支座上下相邻为一组，所述竖板背面安装有若干组第二支座，所述第二支座转动连接有导线辊，所述第二支座上下相邻的为一组，所述第二支座与第一支座一一对应，所述竖板一表面还开设有若干通孔，所述收放线机安装在基板上表面，所述收放线机构位于竖板背面一侧，所述收放线机构包括固定座、导向座和若干滑座，所述固定座与基板上表面固定连接,所述导向座与固定座滑动连接，所述滑座与导向座滑动连接，所述导向座位于固定座上方，所述滑座位于导向座上方，所述导向座一侧固定连接有固定板，所述固定板一表面固定连接有安装座，所述安装座安装有电机，所述导向座下表面固定连接有若干配合座，所述配合座螺纹连接有丝杆，所述滑座均转动连接有连接轴，所述连接轴周侧面安装有收放线辊，所述收放线辊由对称的半圆辊组成，所述半圆辊之间通过螺栓连接，所述收放线辊周侧面缠绕有切割线，所述切割线分别与过渡辊和导线辊相切；上述结构中，导向座可以在固定座上往复滑动，便于丝线收放均匀，然后每个滑座和都是一个收放线装置，其上的收放线辊都可以用来收放线，因此该收放线机构可以同时切割多组零件，而且收放线辊由两个半圆辊组成，拆装方便。

优选地，所述连接轴的周侧面和收放线辊的内表面之间连接有键；上述结构中，键起到限位作用，防止收放线辊与连接轴相对转动或滑动。

优选地，所述连接轴一端固定连接有连接件，所述连接件一端面开设有连接槽；上述结构中，连接件用来与其他的连接轴连接。

优选地，所述连接轴和电机轴一端均设置有连接头，所述连接头与相邻的连接槽滑动配合，所述连接头和连接槽均呈立方体结构；上述结构中，连接头与连接槽配合后，电机轴就可以带动连接轴转动，而连接轴可以带动相邻滑座的连接轴转动，从而带动收放线辊进行收放线。

优选地，所述连接件一表面与滑座表面相对滑动，所述连接件与滑座的接触面安装有若干滚珠；上述结构中，滚珠可以降低连接件与滑座之间的摩擦，避免卡死。

优选地，所述连接轴的一端还固定连接有轴承，所述轴承周侧面固定连接有锁紧座，所述连接轴通过轴承与锁紧座相对转动，所述锁紧座与滑座一表面通过螺钉连接；上述结构中，连接轴一端通过锁紧座固定在滑座上，然后通过轴承的结构特性是连接轴能够与锁紧座正常转动。

优选地，所述固定板和滑座一表面均开设有若干连接孔，所述相邻滑座之间以及滑座与固定板之间均设置有连接螺栓，所述连接螺栓穿过连接孔；上述结构中，连接螺栓用于锁紧固定板和滑座，防止其在导向座上滑动。

本发明具有以下有益效果：

本发明通过使用滑座和收放线辊，该装置在使用时可以安装若干滑座，然后每个滑座和都是一个收放线装置，其上的收放线辊都可以用来收放线，因此该收放线机构可以同时切割多组零件，而且收放线辊由两个半圆辊组成，拆装方便；另外本发明通过使用连接头和连接槽，连接头与连接槽配合后，电机轴就可以带动连接轴转动，而连接轴可以带动相邻滑座的连接轴转动，从而带动收放线辊进行收放线，因此可以根据需要决定安装多少个滑座，不需要使用的滑座可以闲置一旁。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的一种高精度半导体加工用单线切割机正面的三维结构示意图；

图2为本发明的一种高精度半导体加工用单线切割机背面的三维结构示意图；

图3为本发明的一种高精度半导体加工用单线切割机的收放线机构的三维图；

图4为图3的正视图；

图5为图4中A-A面的剖视图；

图6为图5中A区域的放大视图；

图7为切割线的布线示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-基板，2-竖板，201-通孔，3-第一支座，301-过渡辊，4-固定座，5-导向座，6-滑座，601-连接孔，7-配合座，8-丝杆，9-第二支座，10-导线辊，11-固定板，12-安装座，13-电机，1301-电机轴，14-收放线辊，15-锁紧座，16-连接螺栓，17-连接轴，1701-连接头，18-键，19-轴承，20-连接件，2001-连接槽，21-滚珠，22-切割线。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”、“四周”方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1-7所示，本发明为一种高精度半导体加工用单线切割机，包括基板1、竖板2和收放线机构，竖板2安装在基板1上表面，竖板2正面固定连接有组第一支座3，第一支座3一表面转动连接有过渡辊301，第一支座3上下相邻为一组，竖板2背面安装有若干组第二支座9，第二支座9转动连接有导线辊10，第二支座9上下相邻的为一组，第二支座9与第一支座3一一对应，竖板2一表面还开设有若干通孔201，收放线机安装在基板1上表面，收放线机构位于竖板2背面一侧，收放线机构包括固定座4、导向座5和若干滑座6，固定座4与基板1上表面固定连接,导向座5与固定座4滑动连接，滑座6与导向座5滑动连接，导向座5位于固定座4上方，滑座6位于导向座5上方，导向座5一侧固定连接有固定板11，固定板11一表面固定连接有安装座12，安装座12安装有电机13，导向座5下表面固定连接有若干配合座7，配合座7螺纹连接有丝杆8，滑座6均转动连接有连接轴17，连接轴17周侧面安装有收放线辊14，收放线辊14由对称的半圆辊组成，半圆辊之间通过螺栓连接，收放线辊14周侧面缠绕有切割线22，切割线22分别与过渡辊301和导线辊10相切。

上述结构中，导向座5可以在固定座4上往复滑动，便于丝线收放均匀，然后每个滑座6和都是一个收放线装置，其上的收放线辊14都可以用来收放线，因此该收放线机构可以同时切割多组零件，而且收放线辊14由两个半圆辊组成，拆装方便。

进一步地，如图3-图6所示，连接轴17的周侧面和收放线辊14的内表面之间连接有键18，连接轴17一端固定连接有连接件20，连接件20一端面开设有连接槽2001，连接轴17和电机轴1301一端均设置有连接头1701，连接头1701与相邻的连接槽2001滑动配合，连接头1701和连接槽2001均呈立方体结构；上述结构中，连接头1701与连接槽2001配合后，电机轴1301就可以带动连接轴17转动，而连接轴17可以带动相邻滑座6的连接轴17转动，从而带动收放线辊14进行收放线，因此可以根据需要决定安装多少个滑座6，不需要使用的滑座6可以闲置一旁。

进一步地，连接件20一表面与滑座6表面相对滑动，连接件20与滑座6的接触面安装有若干滚珠21；上述结构中，滚珠21可以降低连接件20与滑座6之间的摩擦，避免卡死。

进一步地，连接轴17的一端还固定连接有轴承19，轴承19周侧面固定连接有锁紧座15，连接轴17通过轴承19与锁紧座15相对转动，锁紧座15与滑座6一表面通过螺钉连接；上述结构中，连接轴17一端通过锁紧座15固定在滑座6上，连接轴17转动时会带动轴承19内圈转动，然后轴承19内圈与外圈相对转动，而轴承19外圈与锁紧座15固定连接，因此实现连接轴17与锁紧座15相对转动的效果。

进一步地，固定板11和滑座6一表面均开设有若干连接孔601，相邻滑座6之间以及滑座6与固定板11之间均设置有连接螺栓16，连接螺栓16穿过连接孔601；上述结构中，连接螺栓16用于锁紧固定板11和滑座6，防止其在导向座5上滑动。

请参阅图1-7所示，本发明为一种高精度半导体加工用单线切割机，电机13为BN三相电机，其使用方法为：

使用时，将需要使用的滑座6通过连接螺栓16连接，使电机轴1301能够带动连接轴17转动，然后将待加工的零件放置在过渡辊301一侧，然后启动电机13，经过过渡辊301的切割线22会切割零件。

需要说明的是，在电机13工作的同时导向座5也会在固定座4上往复滑动，为了实现这一点，丝杆8会同步转动，使配合座7随丝杆8的转动而来回运动，带动整个导向座5往复滑动，另外丝杆8需要外接其他驱动设备，例如电机13。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (7)

1.一种高精度半导体加工用单线切割机，包括基板(1)、竖板(2)和收放线机构，所述竖板(2)安装在基板(1)上表面，所述竖板(2)正面固定连接有组第一支座(3)，所述第一支座(3)一表面转动连接有过渡辊(301)，所述第一支座(3)上下相邻为一组，所述竖板(2)背面安装有若干组第二支座(9)，所述第二支座(9)转动连接有导线辊(10)，所述第二支座(9)上下相邻的为一组，所述第二支座(9)与第一支座(3)一一对应，所述竖板(2)一表面还开设有若干通孔(201)，其特征在于：

所述收放线机安装在基板(1)上表面，所述收放线机构位于竖板(2)背面一侧，所述收放线机构包括固定座(4)、导向座(5)和若干滑座(6)，所述固定座(4)与基板(1)上表面固定连接,所述导向座(5)与固定座(4)滑动连接，所述滑座(6)与导向座(5)滑动连接，所述导向座(5)位于固定座(4)上方，所述滑座(6)位于导向座(5)上方，所述导向座(5)一侧固定连接有固定板(11)，所述固定板(11)一表面固定连接有安装座(12)，所述安装座(12)安装有电机(13)，所述导向座(5)下表面固定连接有若干配合座(7)，所述配合座(7)螺纹连接有丝杆(8)；

所述滑座(6)均转动连接有连接轴(17)，所述连接轴(17)周侧面安装有收放线辊(14)，所述收放线辊(14)由对称的半圆辊组成，所述半圆辊之间通过螺栓连接，所述收放线辊(14)周侧面缠绕有切割线(22)，所述切割线(22)分别与过渡辊(301)和导线辊(10)相切。

2.根据权利要求1所述的一种高精度半导体加工用单线切割机，其特征在于，所述连接轴(17)的周侧面和收放线辊(14)的内表面之间连接有键(18)。

3.根据权利要求1所述的一种高精度半导体加工用单线切割机，其特征在于，所述连接轴(17)一端固定连接有连接件(20)，所述连接件(20)一端面开设有连接槽(2001)。

4.根据权利要求3所述的一种高精度半导体加工用单线切割机，其特征在于，所述连接轴(17)和电机轴(1301)一端均设置有连接头(1701)，所述连接头(1701)与相邻的连接槽(2001)滑动配合，所述连接头(1701)和连接槽(2001)均呈立方体结构。

5.根据权利要求3所述的一种高精度半导体加工用单线切割机，其特征在于，所述连接件(20)一表面与滑座(6)表面相对滑动，所述连接件(20)与滑座(6)的接触面安装有若干滚珠(21)。

6.根据权利要求1所述的一种高精度半导体加工用单线切割机，其特征在于，所述连接轴(17)的一端还固定连接有轴承(19)，所述轴承(19)周侧面固定连接有锁紧座(15)，所述连接轴(17)通过轴承(19)与锁紧座(15)相对转动，所述锁紧座(15)与滑座(6)一表面通过螺钉连接。

7.根据权利要求1所述的一种高精度半导体加工用单线切割机，其特征在于，所述固定板(11)和滑座(6)一表面均开设有若干连接孔(601)，所述相邻滑座(6)之间以及滑座(6)与固定板(11)之间均设置有连接螺栓(16)，所述连接螺栓(16)穿过连接孔(601)。

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