JPH09300343A - マルチワイヤソーによる切断方法 - Google Patents
マルチワイヤソーによる切断方法Info
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- JPH09300343A JPH09300343A JP12338696A JP12338696A JPH09300343A JP H09300343 A JPH09300343 A JP H09300343A JP 12338696 A JP12338696 A JP 12338696A JP 12338696 A JP12338696 A JP 12338696A JP H09300343 A JPH09300343 A JP H09300343A
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- cut
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークとワイヤとの間に砥液を十分に入り込
ませることにより、切断成形されるウエハの精度の向上
を図れるマルチワイヤソーによる切断方法を提供する。 【解決手段】 溝ローラ１間に張設された多条ワイヤ列
３を一方向または往復方向に走行させ、被切断物７を、
砥液４を供給しつつ、上記ワイヤ列３に押し付けて切断
するマルチワイヤソーにおいて、被切断物７を所定量Ｌ
１切断する毎に、切断方向とは逆の方向に上記所定量Ｌ
１より少量Ｌ２だけ戻し、再度切断方向に押し付けるこ
とを繰り返すものである。
ませることにより、切断成形されるウエハの精度の向上
を図れるマルチワイヤソーによる切断方法を提供する。 【解決手段】 溝ローラ１間に張設された多条ワイヤ列
３を一方向または往復方向に走行させ、被切断物７を、
砥液４を供給しつつ、上記ワイヤ列３に押し付けて切断
するマルチワイヤソーにおいて、被切断物７を所定量Ｌ
１切断する毎に、切断方向とは逆の方向に上記所定量Ｌ
１より少量Ｌ２だけ戻し、再度切断方向に押し付けるこ
とを繰り返すものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料やセラ
ミックス等の高精度切断が要求される材料を、ワイヤと
砥粒を含んだ砥液とにより薄厚の多数のウエハに切断す
るマルチワイヤソーによる切断方法に関するものであ
る。
ミックス等の高精度切断が要求される材料を、ワイヤと
砥粒を含んだ砥液とにより薄厚の多数のウエハに切断す
るマルチワイヤソーによる切断方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】マルチワイヤソーは所定ピッチのワイヤ
列に被切断物（以下「ワーク」と称する）を押し付け砥
粒を含む加工液である砥液を吹き付け、ワイヤとワーク
を相対運動させて、研削作用によって、多数のウエハに
切断する装置である。
列に被切断物（以下「ワーク」と称する）を押し付け砥
粒を含む加工液である砥液を吹き付け、ワイヤとワーク
を相対運動させて、研削作用によって、多数のウエハに
切断する装置である。
【０００３】この装置の一例として、特開平６−１５５
４５０号公報に示すような装置がある。このマルチワイ
ヤソーは、その外周面に所定ピッチで多数のリング状の
溝が刻設された３個の溝ローラが横向きに平行に配列さ
れ、これらの溝ローラを結ぶように、ワイヤが巻き付け
られ、所定ピッチのワイヤ列が形成され、構成されてい
る。このワイヤ列の底辺部の上方には、ワイヤ列に砥液
を吹き付ける砥液供給ノズルが設けられており、また、
ワイヤ列の底辺部の下方には、ワークを載置する昇降自
在のワーク押上台が設けられている。そして、このワイ
ヤを一方向あるいは往復方向に走行させ、ワイヤ列の底
辺部に砥液を吹き付けながら、その下方よりワークを押
し付け、所定の厚さを有するウエハが切断成形されるよ
うになっている。
４５０号公報に示すような装置がある。このマルチワイ
ヤソーは、その外周面に所定ピッチで多数のリング状の
溝が刻設された３個の溝ローラが横向きに平行に配列さ
れ、これらの溝ローラを結ぶように、ワイヤが巻き付け
られ、所定ピッチのワイヤ列が形成され、構成されてい
る。このワイヤ列の底辺部の上方には、ワイヤ列に砥液
を吹き付ける砥液供給ノズルが設けられており、また、
ワイヤ列の底辺部の下方には、ワークを載置する昇降自
在のワーク押上台が設けられている。そして、このワイ
ヤを一方向あるいは往復方向に走行させ、ワイヤ列の底
辺部に砥液を吹き付けながら、その下方よりワークを押
し付け、所定の厚さを有するウエハが切断成形されるよ
うになっている。
【０００４】このマルチワイヤソーにてワークを切断す
るに際しては、ワイヤの温度が上昇すると、溝ローラが
熱膨張を起こす等の不都合が生じるため、砥液の温度が
上昇したときにワークを押し上げる速度を減少させるこ
とによって、砥液の温度の上昇を防止して、切断成形さ
れるウエハの精度を向上させることが行われている。
るに際しては、ワイヤの温度が上昇すると、溝ローラが
熱膨張を起こす等の不都合が生じるため、砥液の温度が
上昇したときにワークを押し上げる速度を減少させるこ
とによって、砥液の温度の上昇を防止して、切断成形さ
れるウエハの精度を向上させることが行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示すように、従来のマルチワイヤソーによる切断方法で
は、ワーク５１の切断面部５２の距離Ａが長い場合、端
部５４側は砥液５５が入り込み易く、効果的に研削され
るが、端部５４から中央部５３に行くに連れて、入り込
む砥液５５が減少して、中央部５３では研削効果が落ち
てしまい、切断面部５２の断面が凸形になってしまう。
よって、中央部５３ではワイヤ５６と切断面部５２との
隙間が狭く砥液５５の入込みが悪くなり、切断のムラが
発生してしまう。このことは、横方向の厚さ方向にも同
様であり、切断成形されたウエハの中央部が厚くなり、
厚さムラが生じるという問題が発生する。すなわち、砥
液５５の温度上昇を検知して、砥液５５の温度が下がる
まで押上速度を減少させても、ウエハの厚さムラをなく
すまでには砥液５５は入り込まないので、ウエハの厚さ
精度は悪くなってしまう。さらに、砥液５５の入込みの
バラツキにより、ウエハのそり精度及び表面粗さ精度も
悪くなってしまう。
示すように、従来のマルチワイヤソーによる切断方法で
は、ワーク５１の切断面部５２の距離Ａが長い場合、端
部５４側は砥液５５が入り込み易く、効果的に研削され
るが、端部５４から中央部５３に行くに連れて、入り込
む砥液５５が減少して、中央部５３では研削効果が落ち
てしまい、切断面部５２の断面が凸形になってしまう。
よって、中央部５３ではワイヤ５６と切断面部５２との
隙間が狭く砥液５５の入込みが悪くなり、切断のムラが
発生してしまう。このことは、横方向の厚さ方向にも同
様であり、切断成形されたウエハの中央部が厚くなり、
厚さムラが生じるという問題が発生する。すなわち、砥
液５５の温度上昇を検知して、砥液５５の温度が下がる
まで押上速度を減少させても、ウエハの厚さムラをなく
すまでには砥液５５は入り込まないので、ウエハの厚さ
精度は悪くなってしまう。さらに、砥液５５の入込みの
バラツキにより、ウエハのそり精度及び表面粗さ精度も
悪くなってしまう。
【０００６】そこで本発明の目的は、ワークとワイヤと
の間に砥液を十分に入り込ませることにより、切断成形
されるウエハの精度の向上を図れるマルチワイヤソーに
よる切断方法を提供することにある。
の間に砥液を十分に入り込ませることにより、切断成形
されるウエハの精度の向上を図れるマルチワイヤソーに
よる切断方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決すべく本
発明は、溝ローラ間に張設された多条ワイヤ列を一方向
または往復方向に走行させ、被切断物を、砥液を供給し
つつ、ワイヤ列に押し付けて切断するマルチワイヤソー
において、被切断物を所定量切断する毎に、切断方向と
は逆の方向に所定量より少量だけ戻し、再度切断方向に
押し付けるものである。
発明は、溝ローラ間に張設された多条ワイヤ列を一方向
または往復方向に走行させ、被切断物を、砥液を供給し
つつ、ワイヤ列に押し付けて切断するマルチワイヤソー
において、被切断物を所定量切断する毎に、切断方向と
は逆の方向に所定量より少量だけ戻し、再度切断方向に
押し付けるものである。
【０００８】また、本発明は、切断中のワイヤ列のたわ
みを検知し、そのたわみ量が設定許容値以上になったと
きに、被切断物を切断方向とは逆の方向に少量だけ戻
し、再度切断方向に押し付けるものである。
みを検知し、そのたわみ量が設定許容値以上になったと
きに、被切断物を切断方向とは逆の方向に少量だけ戻
し、再度切断方向に押し付けるものである。
【０００９】さらに、本発明は、切断中の被切断物に掛
かる荷重を検知し、その荷重値が設定許容値以上になっ
たときに、被切断物を切断方向とは逆の方向に少量だけ
戻し、再度切断方向に押し付けるものである。
かる荷重を検知し、その荷重値が設定許容値以上になっ
たときに、被切断物を切断方向とは逆の方向に少量だけ
戻し、再度切断方向に押し付けるものである。
【００１０】このように切断される被切断物であるワー
クを切断方向とは逆の方向に少量だけ戻すことにより、
ワークとワイヤとの間に隙間ができるので砥液を十分に
入り込ませることができる。
クを切断方向とは逆の方向に少量だけ戻すことにより、
ワークとワイヤとの間に隙間ができるので砥液を十分に
入り込ませることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に従って説明する。
図面に従って説明する。
【００１２】図１中、（ａ）は本発明の第一の実施の形
態を示したマルチワイヤソー切断部の装置構成とその制
御系を示す概略図、（ｂ）はそのフローチャート、図２
はワークの移動距離を示すグラフである。
態を示したマルチワイヤソー切断部の装置構成とその制
御系を示す概略図、（ｂ）はそのフローチャート、図２
はワークの移動距離を示すグラフである。
【００１３】まず、マルチワイヤソーの構成について説
明する。図１（ａ）に示すように、回転自在に軸支さ
れ、その外周面に所定ピッチで多数のリング状の溝（図
示せず）が刻設された３個の溝ローラ１が横向きに平行
に配列され、設けられている。この配列は上部の溝ロー
ラ１を頂点とし、ほぼ正三角形を形成している。そし
て、これらの溝ローラ１を結ぶように、それぞれの溝ロ
ーラ１に設けられた溝毎に一本の長いワイヤ２が巻き付
け張設され、所定ピッチの多条ワイヤ列３が形成されて
いる。底辺部の多条ワイヤ列３の上方には、多条ワイヤ
列３に砥粒を含んだ加工液である砥液４を吹き付ける砥
液供給ノズル５が設けられている。この砥液供給ノズル
５は砥液供給装置６と接続されており、溝ローラ１と同
じ向きで、平行に３本設けられており、被切断物である
ワーク７と多条ワイヤ列３との切断面部８の両端に砥液
４が吹き付けられるように構成されている。また、底辺
部の多条ワイヤ列３の下方には、ワークを載置する昇降
自在のワーク押上台９が設けられている。ワーク押上台
９はワーク押上台昇降制御装置１０に接続されており、
任意の距離及び速度で昇降できるようになっている。な
お、ワーク７とワーク押上台９との間には、ワーク７を
固定し、ワーク７が可端部まで切断されたときに、ワー
ク押上台９を保護するためのダミー板１１が設けられて
いる。
明する。図１（ａ）に示すように、回転自在に軸支さ
れ、その外周面に所定ピッチで多数のリング状の溝（図
示せず）が刻設された３個の溝ローラ１が横向きに平行
に配列され、設けられている。この配列は上部の溝ロー
ラ１を頂点とし、ほぼ正三角形を形成している。そし
て、これらの溝ローラ１を結ぶように、それぞれの溝ロ
ーラ１に設けられた溝毎に一本の長いワイヤ２が巻き付
け張設され、所定ピッチの多条ワイヤ列３が形成されて
いる。底辺部の多条ワイヤ列３の上方には、多条ワイヤ
列３に砥粒を含んだ加工液である砥液４を吹き付ける砥
液供給ノズル５が設けられている。この砥液供給ノズル
５は砥液供給装置６と接続されており、溝ローラ１と同
じ向きで、平行に３本設けられており、被切断物である
ワーク７と多条ワイヤ列３との切断面部８の両端に砥液
４が吹き付けられるように構成されている。また、底辺
部の多条ワイヤ列３の下方には、ワークを載置する昇降
自在のワーク押上台９が設けられている。ワーク押上台
９はワーク押上台昇降制御装置１０に接続されており、
任意の距離及び速度で昇降できるようになっている。な
お、ワーク７とワーク押上台９との間には、ワーク７を
固定し、ワーク７が可端部まで切断されたときに、ワー
ク押上台９を保護するためのダミー板１１が設けられて
いる。
【００１４】次に、図１（ｂ）により前記マルチワイヤ
ソーによる切断方法を説明する。まず、ワーク７をダミ
ー板１１を介して、ワーク押上台９上に載置すると共
に、ワイヤ２を図中、矢印に示すように一方向または往
復方向に走行させ、多条ワイヤ列３を走行させる。そし
て、ワーク押上台９を上昇させ、ワーク７を走行する多
条ワイヤ列３に押し当て、切断を開始する。図２に示す
ように、所定量Ｌ１切断加工が進んだ時点で、ワーク押
上台９を一旦、切断方向とは逆に、少量Ｌ２だけ下降さ
せる。これらの所定量Ｌ１及び少量Ｌ２の値は、所定量
Ｌ１の値においては、多条ワイヤ列３とワーク７との切
断面部８に吹き付けられた砥液４が一様に行き渡ってい
る状態の移動範囲内の数値であり、少量Ｌ２の値におい
ては、戻ったことにより、多条ワイヤ列３とワーク７と
の間に隙間が形成され、そこに砥液４が一様に入り込む
ことができる程度の数値とする。具体的には例えば、Ｇ
ａＡｓ単結晶を切断する場合は、所定量Ｌ１を１ｍｍと
し少量Ｌ２を０．０５ｍｍと設定すればよいことが実験
結果から得られている。ここで少量Ｌ２だけワーク押上
台９を下降させたことによって、多条ワイヤ列３とワー
ク７との切断面部８に隙間ができるので、この隙間に砥
液４が一様に入り込むことができる。そして、再度ワー
ク押上台９の上昇を開始する。所定量Ｌ１切断した後、
ワーク押上台９を少量Ｌ２だけ下降させる。以上の動作
を切断が完了するまで（全切断量Ｌ０を切断するまで）
繰り返すことによりワーク７から複数のウエハを切断成
形することができる。
ソーによる切断方法を説明する。まず、ワーク７をダミ
ー板１１を介して、ワーク押上台９上に載置すると共
に、ワイヤ２を図中、矢印に示すように一方向または往
復方向に走行させ、多条ワイヤ列３を走行させる。そし
て、ワーク押上台９を上昇させ、ワーク７を走行する多
条ワイヤ列３に押し当て、切断を開始する。図２に示す
ように、所定量Ｌ１切断加工が進んだ時点で、ワーク押
上台９を一旦、切断方向とは逆に、少量Ｌ２だけ下降さ
せる。これらの所定量Ｌ１及び少量Ｌ２の値は、所定量
Ｌ１の値においては、多条ワイヤ列３とワーク７との切
断面部８に吹き付けられた砥液４が一様に行き渡ってい
る状態の移動範囲内の数値であり、少量Ｌ２の値におい
ては、戻ったことにより、多条ワイヤ列３とワーク７と
の間に隙間が形成され、そこに砥液４が一様に入り込む
ことができる程度の数値とする。具体的には例えば、Ｇ
ａＡｓ単結晶を切断する場合は、所定量Ｌ１を１ｍｍと
し少量Ｌ２を０．０５ｍｍと設定すればよいことが実験
結果から得られている。ここで少量Ｌ２だけワーク押上
台９を下降させたことによって、多条ワイヤ列３とワー
ク７との切断面部８に隙間ができるので、この隙間に砥
液４が一様に入り込むことができる。そして、再度ワー
ク押上台９の上昇を開始する。所定量Ｌ１切断した後、
ワーク押上台９を少量Ｌ２だけ下降させる。以上の動作
を切断が完了するまで（全切断量Ｌ０を切断するまで）
繰り返すことによりワーク７から複数のウエハを切断成
形することができる。
【００１５】以上の方法により、多条ワイヤ列３とワー
ク７との間の隙間に砥液４が入り込むことができるの
で、切断面部８の全ての場所で一様の研削作用が行わ
れ、品質が一定のウエハを成形することができる。上述
のＧａＡｓ単結晶においては、厚さムラが約３分の２、
そりが約２分の１、表面粗さが約４分の３減少するとい
う結果が得られた。
ク７との間の隙間に砥液４が入り込むことができるの
で、切断面部８の全ての場所で一様の研削作用が行わ
れ、品質が一定のウエハを成形することができる。上述
のＧａＡｓ単結晶においては、厚さムラが約３分の２、
そりが約２分の１、表面粗さが約４分の３減少するとい
う結果が得られた。
【００１６】次に、本発明の第二の実施の形態を説明す
る。このマルチワイヤソーは、図３（ａ）に示すよう
に、底辺部の多条ワイヤ列３の上方に、多条ワイヤ列３
のたわみを検知するためのたわみセンサ１２が設けられ
ている。そして、このたわみセンサ１２は、ワイヤたわ
み検知装置１３に接続され、さらに、ワイヤたわみ検知
装置１３はワーク押上台昇降制御装置に接続されてい
る。なお、その他の構成については、上述のマルチワイ
ヤソーと同様であるので、同一の符号を付して説明を省
略する。
る。このマルチワイヤソーは、図３（ａ）に示すよう
に、底辺部の多条ワイヤ列３の上方に、多条ワイヤ列３
のたわみを検知するためのたわみセンサ１２が設けられ
ている。そして、このたわみセンサ１２は、ワイヤたわ
み検知装置１３に接続され、さらに、ワイヤたわみ検知
装置１３はワーク押上台昇降制御装置に接続されてい
る。なお、その他の構成については、上述のマルチワイ
ヤソーと同様であるので、同一の符号を付して説明を省
略する。
【００１７】上述のマルチワイヤソーによる切断方法で
は、ワーク７を所定量切断する毎に、切断方向とは逆の
方向に所定量より少量だけ戻すようにしたが、この実施
の形態においては、図３（ｂ）に示すように、たわみセ
ンサ１２により多条ワイヤ列３のたわみを検知してから
ワーク押上台９を少量だけ下降させるものである。
は、ワーク７を所定量切断する毎に、切断方向とは逆の
方向に所定量より少量だけ戻すようにしたが、この実施
の形態においては、図３（ｂ）に示すように、たわみセ
ンサ１２により多条ワイヤ列３のたわみを検知してから
ワーク押上台９を少量だけ下降させるものである。
【００１８】すなわち、具体的に説明すると、一定の速
度でワーク押上台９が上昇して、ワーク７が切断される
に連れて、その切断面部８の距離が長くなり、砥液４の
入込みが悪くなっていく。これに伴い、研削効果が悪く
なり切断速度が徐々に遅くなっていくが、ワーク押上台
９の押上速度は一定であるので、多条ワイヤ列３がワー
ク７に押されて上方にたわむ。このとき、たわみセンサ
１２及びワイヤたわみ検知装置１３によって、たわみを
検知する。このたわみ量が設定許容値以上になったとき
に、ワーク押上台９を一旦、切断方向とは逆に、少量だ
け下降させる。この少量の下降量の値は、上述の第一の
実施の形態と同様に、戻ったことにより、多条ワイヤ列
３とワーク７との間に隙間が形成され、そこに砥液４が
入り込むことができる程度の数値とする。また、たわみ
の許容設定量は、ウエハの精度に影響が出ない程度のた
わみ量とする。これにより、砥液４が多条ワイヤ列３と
ワーク７との間に行き渡り、再び、切断速度がワーク押
上台９の押上速度と同じとなり、切断が再開できる。そ
して、切断が完了するまで、この動作を繰り返すことに
より、スムーズに切断できる。
度でワーク押上台９が上昇して、ワーク７が切断される
に連れて、その切断面部８の距離が長くなり、砥液４の
入込みが悪くなっていく。これに伴い、研削効果が悪く
なり切断速度が徐々に遅くなっていくが、ワーク押上台
９の押上速度は一定であるので、多条ワイヤ列３がワー
ク７に押されて上方にたわむ。このとき、たわみセンサ
１２及びワイヤたわみ検知装置１３によって、たわみを
検知する。このたわみ量が設定許容値以上になったとき
に、ワーク押上台９を一旦、切断方向とは逆に、少量だ
け下降させる。この少量の下降量の値は、上述の第一の
実施の形態と同様に、戻ったことにより、多条ワイヤ列
３とワーク７との間に隙間が形成され、そこに砥液４が
入り込むことができる程度の数値とする。また、たわみ
の許容設定量は、ウエハの精度に影響が出ない程度のた
わみ量とする。これにより、砥液４が多条ワイヤ列３と
ワーク７との間に行き渡り、再び、切断速度がワーク押
上台９の押上速度と同じとなり、切断が再開できる。そ
して、切断が完了するまで、この動作を繰り返すことに
より、スムーズに切断できる。
【００１９】次に、本発明の第三の実施の形態を説明す
る。このマルチワイヤソーは、図４（ａ）に示すよう
に、ワーク押上台９に、ワーク７に掛かる荷重を検知す
るための荷重センサ１４が設けられている。そして、こ
の荷重センサ１４は、荷重検知装置１５に接続され、さ
らに、荷重検知装置１５はワーク押上台昇降制御装置に
接続されている。なお、その他の構成については、図１
のマルチワイヤソーと同様であるので、同一の符号を付
して説明を省略する。
る。このマルチワイヤソーは、図４（ａ）に示すよう
に、ワーク押上台９に、ワーク７に掛かる荷重を検知す
るための荷重センサ１４が設けられている。そして、こ
の荷重センサ１４は、荷重検知装置１５に接続され、さ
らに、荷重検知装置１５はワーク押上台昇降制御装置に
接続されている。なお、その他の構成については、図１
のマルチワイヤソーと同様であるので、同一の符号を付
して説明を省略する。
【００２０】図３のマルチワイヤソーによる切断方法で
は、たわみセンサ１２により多条ワイヤ列３のたわみを
検知してからワーク押上台９を少量だけ下降させるよう
にしたが、この実施の形態においては、図４（ｂ）に示
すように、荷重センサ１４によりワーク７に掛かる荷重
を検知してからワーク押上台９を少量だけ下降させるも
のである。
は、たわみセンサ１２により多条ワイヤ列３のたわみを
検知してからワーク押上台９を少量だけ下降させるよう
にしたが、この実施の形態においては、図４（ｂ）に示
すように、荷重センサ１４によりワーク７に掛かる荷重
を検知してからワーク押上台９を少量だけ下降させるも
のである。
【００２１】すなわち、具体的に説明すると、一定の速
度でワーク押上台９が上昇して、ワーク７が切断される
に連れて、その切断面部８の距離が長くなり、砥液４の
入込みが悪くなっていく。これに伴い、研削効果が悪く
なり、切断速度が徐々に遅くなっていくが、ワーク押上
台９の押上速度は一定であるので、多条ワイヤ列３とワ
ーク７とが互いに押し合ってワーク７に荷重が掛かる。
このとき、荷重センサ１４及び荷重検知装置１５によっ
て、ワーク７に掛かった荷重を検知する。この荷重量が
設定許容値以上になったときに、ワーク押上台９を一
旦、切断方向とは逆に、少量だけ下降させる。この少量
の下降量の値は、上述の実施の形態と同様に、戻ったこ
とにより、多条ワイヤ列３とワーク７との間に隙間が形
成され、そこに砥液４が入り込むことができる程度の数
値とする。これにより、砥液４が多条ワイヤ列３とワー
ク７との間に行き渡り、再び、切断速度がワーク押上台
９の押上速度と同じとなり、切断が再開できる。そし
て、切断が完了するまで、この動作を繰り返すことによ
り、スムーズに切断できる。
度でワーク押上台９が上昇して、ワーク７が切断される
に連れて、その切断面部８の距離が長くなり、砥液４の
入込みが悪くなっていく。これに伴い、研削効果が悪く
なり、切断速度が徐々に遅くなっていくが、ワーク押上
台９の押上速度は一定であるので、多条ワイヤ列３とワ
ーク７とが互いに押し合ってワーク７に荷重が掛かる。
このとき、荷重センサ１４及び荷重検知装置１５によっ
て、ワーク７に掛かった荷重を検知する。この荷重量が
設定許容値以上になったときに、ワーク押上台９を一
旦、切断方向とは逆に、少量だけ下降させる。この少量
の下降量の値は、上述の実施の形態と同様に、戻ったこ
とにより、多条ワイヤ列３とワーク７との間に隙間が形
成され、そこに砥液４が入り込むことができる程度の数
値とする。これにより、砥液４が多条ワイヤ列３とワー
ク７との間に行き渡り、再び、切断速度がワーク押上台
９の押上速度と同じとなり、切断が再開できる。そし
て、切断が完了するまで、この動作を繰り返すことによ
り、スムーズに切断できる。
【００２２】なお、切断されるワーク７の材質や形状、
ワイヤ２の径や走行速度、成形されるウエハの厚さ等の
諸条件により、押上速度や切断する所定量及び戻る少量
の値が決定されるものであり、上述の実施の形態では、
押上速度を一定としているが、切断面部８の長さに比例
させて、押上速度を多段式に変速させてもよい。
ワイヤ２の径や走行速度、成形されるウエハの厚さ等の
諸条件により、押上速度や切断する所定量及び戻る少量
の値が決定されるものであり、上述の実施の形態では、
押上速度を一定としているが、切断面部８の長さに比例
させて、押上速度を多段式に変速させてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、切断され
る被切断物であるワークを切断方向とは逆の方向に所定
量より少量だけ戻すことにより、ワークとワイヤとの間
に隙間ができるので砥液を十分に入り込ませることがで
きる。これにより、ワークの切断をスムーズに行うこと
ができ、切断成形されるウエハの厚さ精度、そり精度及
び表面粗さを向上させることができるという、優れた効
果を発揮する。
る被切断物であるワークを切断方向とは逆の方向に所定
量より少量だけ戻すことにより、ワークとワイヤとの間
に隙間ができるので砥液を十分に入り込ませることがで
きる。これにより、ワークの切断をスムーズに行うこと
ができ、切断成形されるウエハの厚さ精度、そり精度及
び表面粗さを向上させることができるという、優れた効
果を発揮する。
【図１】本発明の第一の実施の形態を示した図であり、
（ａ）はマルチワイヤソーの正面図、（ｂ）はそのフロ
ーチャートである。
（ａ）はマルチワイヤソーの正面図、（ｂ）はそのフロ
ーチャートである。
【図２】図２はワークの移動距離を示すグラフである。
【図３】本発明の第二の実施の形態を示した図であり、
（ａ）はマルチワイヤソーの正面図、（ｂ）はそのフロ
ーチャートである。
（ａ）はマルチワイヤソーの正面図、（ｂ）はそのフロ
ーチャートである。
【図４】本発明の第三の実施の形態を示した図であり、
（ａ）はマルチワイヤソーの正面図、（ｂ）はそのフロ
ーチャートである。
（ａ）はマルチワイヤソーの正面図、（ｂ）はそのフロ
ーチャートである。
【図５】従来のマルチワイヤソーによる切断方法の課題
を説明するための、ワークの切断面部を示す拡大断面図
である。
を説明するための、ワークの切断面部を示す拡大断面図
である。
１ 溝ローラ ３ 多条ワイヤ列 ４ 砥液 ７ ワーク（被切断物） １２ たわみセンサ １４ 荷重センサ Ｌ１ 所定量 Ｌ２ 少量
Claims (3)
- 【請求項１】 溝ローラ間に張設された多条ワイヤ列を
一方向または往復方向に走行させ、被切断物を、砥液を
供給しつつ、上記ワイヤ列に押し付けて切断するマルチ
ワイヤソーにおいて、被切断物を所定量切断する毎に、
切断方向とは逆の方向に上記所定量より少量だけ戻し、
再度切断方向に押し付けることを特徴とするマルチワイ
ヤソーによる切断方法。 - 【請求項２】 溝ローラ間に張設された多条ワイヤ列を
一方向または往復方向に走行させ、被切断物を、砥液を
供給しつつ、上記ワイヤ列に押し付けて切断するマルチ
ワイヤソーにおいて、切断中の上記ワイヤ列のたわみを
検知し、そのたわみ量が設定許容値以上になったとき
に、被切断物を切断方向とは逆の方向に少量だけ戻し、
再度切断方向に押し付けることを特徴とするマルチワイ
ヤソーによる切断方法。 - 【請求項３】 溝ローラ間に張設された多条ワイヤ列を
一方向または往復方向に走行させ、被切断物を、砥液を
供給しつつ、上記ワイヤ列に押し付けて切断するマルチ
ワイヤソーにおいて、切断中の上記被切断物に掛かる荷
重を検知し、その荷重値が設定許容値以上になったとき
に、被切断物を切断方向とは逆の方向に少量だけ戻し、
再度切断方向に押し付けることを特徴とするマルチワイ
ヤソーによる切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12338696A JPH09300343A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12338696A JPH09300343A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09300343A true JPH09300343A (ja) | 1997-11-25 |
Family
ID=14859300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12338696A Pending JPH09300343A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09300343A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041041A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Tdk Corp | 焼結磁石の製造方法 |
| JP2007326167A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
| WO2013094117A1 (ja) * | 2011-12-22 | 2013-06-27 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法 |
| CN103600427A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-02-26 | 苏州奇盟晶体材料制品有限公司 | 一种用于切割高硬度材料的多线切割机 |
| CN103950119A (zh) * | 2014-04-16 | 2014-07-30 | 唐山晶玉科技有限公司 | 一种多线切割机断线续切方法 |
| JP2018051667A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社テック技販 | インゴットの切断装置、および、インゴットの切断装置に使用される荷重検出装置 |
| JP2020121392A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーの被加工物切断方法 |
| KR20220000089A (ko) * | 2020-06-25 | 2022-01-03 | 김진태 | 다중 블레이드 절단장치 |
-
1996
- 1996-05-17 JP JP12338696A patent/JPH09300343A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041041A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Tdk Corp | 焼結磁石の製造方法 |
| JP2007326167A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
| WO2013094117A1 (ja) * | 2011-12-22 | 2013-06-27 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法 |
| JP2013129046A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワークの切断方法 |
| CN103600427A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-02-26 | 苏州奇盟晶体材料制品有限公司 | 一种用于切割高硬度材料的多线切割机 |
| CN103950119A (zh) * | 2014-04-16 | 2014-07-30 | 唐山晶玉科技有限公司 | 一种多线切割机断线续切方法 |
| JP2018051667A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社テック技販 | インゴットの切断装置、および、インゴットの切断装置に使用される荷重検出装置 |
| JP2020121392A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーの被加工物切断方法 |
| KR20220000089A (ko) * | 2020-06-25 | 2022-01-03 | 김진태 | 다중 블레이드 절단장치 |
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