JPH09272122A - マルチワイヤソーによる切断方法 - Google Patents
マルチワイヤソーによる切断方法Info
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- JPH09272122A JPH09272122A JP8391496A JP8391496A JPH09272122A JP H09272122 A JPH09272122 A JP H09272122A JP 8391496 A JP8391496 A JP 8391496A JP 8391496 A JP8391496 A JP 8391496A JP H09272122 A JPH09272122 A JP H09272122A
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークの長さよりもワイヤ列幅を大きくして
も、切断中にワーク余長部及びウエハに割れが発生しな
い切断方法を提供する。 【解決手段】外周面に所定のピッチで溝を設けた溝ロー
ラ間でワイヤ列を張設して走行させ、このワイヤ列に被
切断物を押し当て、押し当て部に砥粒を含む砥液を供給
しながら複数のウエハに切断するマルチワイヤソーによ
る切断方法において、切断開始後、切断中の被切断物の
移動方向と反対の方向から、圧接板を被切断物に圧接し
て切断する切断方法、および切断途中で、切断方向と直
交する方向の被切断物両端面に面板を当接して切断する
ことを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方法。
も、切断中にワーク余長部及びウエハに割れが発生しな
い切断方法を提供する。 【解決手段】外周面に所定のピッチで溝を設けた溝ロー
ラ間でワイヤ列を張設して走行させ、このワイヤ列に被
切断物を押し当て、押し当て部に砥粒を含む砥液を供給
しながら複数のウエハに切断するマルチワイヤソーによ
る切断方法において、切断開始後、切断中の被切断物の
移動方向と反対の方向から、圧接板を被切断物に圧接し
て切断する切断方法、および切断途中で、切断方向と直
交する方向の被切断物両端面に面板を当接して切断する
ことを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤ列と砥粒
を用いたマルチワイヤソー（以下ワイヤソーと記す）に
より、半導体材料、セラミックス等の脆性材料を複数の
ウエハに切断する方法に関する。
を用いたマルチワイヤソー（以下ワイヤソーと記す）に
より、半導体材料、セラミックス等の脆性材料を複数の
ウエハに切断する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、外周面に所定のピッチで
溝を設けた溝ローラ間でワイヤ列を張設して走行させ、
このワイヤ列に下方または上方から被切断物（以下ワー
クと記す）を押し当て、押し当て部に砥粒を含む砥液を
供給しつつ研削作用により、ワークを多数のウエハ状に
切断する装置である。
溝を設けた溝ローラ間でワイヤ列を張設して走行させ、
このワイヤ列に下方または上方から被切断物（以下ワー
クと記す）を押し当て、押し当て部に砥粒を含む砥液を
供給しつつ研削作用により、ワークを多数のウエハ状に
切断する装置である。
【０００３】図４は、一般的なワイヤソーの切断部を例
示したものである。回転自在に保持された３個の溝ロー
ラ１、２、３の外周面に所定ピッチで刻設された多数の
溝に１本のワイヤ４を巻き付けて所定ピッチのワイヤ列
５を形成し、このワイヤ列を往復或いは一方向に走行さ
せ、砥液供給装置８から砥液７を切断部に供給しなが
ら、ワーク押上台１１を徐々に上昇させてワーク６を切
断していく。ワーク６は、セラミックス、ガラス等の脆
性材料製のダミー板９を介して鋼製ベース１０に接着な
どの方法で固定されており、鋼製ベース１０はワーク押
上台１１に取付ネジ１２にて着脱自在に取り付けられて
いる。
示したものである。回転自在に保持された３個の溝ロー
ラ１、２、３の外周面に所定ピッチで刻設された多数の
溝に１本のワイヤ４を巻き付けて所定ピッチのワイヤ列
５を形成し、このワイヤ列を往復或いは一方向に走行さ
せ、砥液供給装置８から砥液７を切断部に供給しなが
ら、ワーク押上台１１を徐々に上昇させてワーク６を切
断していく。ワーク６は、セラミックス、ガラス等の脆
性材料製のダミー板９を介して鋼製ベース１０に接着な
どの方法で固定されており、鋼製ベース１０はワーク押
上台１１に取付ネジ１２にて着脱自在に取り付けられて
いる。
【０００４】図３は、ワイヤ列５がダミー板の厚み中央
付近まで切り込んだ状態を示す図で、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は切断方向から見た一部拡大図である。この図示
する段階で、（ｂ）に示すようにワークは厚さｔ2 の両
端部の余長部６−２と、所定幅ｔ1 の多数のウエハ６−
１に切断されている。ワイヤ４の切り込みによって形成
された溝１２には、砥粒が充満している。切断終了後の
状態で、ウエハ６−１を取り出すには、例えばワイヤ列
５を低速で走行させながらワーク押上台を下降させ、ワ
イヤ列５をワーク６から分離して押上台１０からワーク
を取外し、片端の余長部６−２から順にダミー板８の接
着部をはずして採取するればよい。
付近まで切り込んだ状態を示す図で、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は切断方向から見た一部拡大図である。この図示
する段階で、（ｂ）に示すようにワークは厚さｔ2 の両
端部の余長部６−２と、所定幅ｔ1 の多数のウエハ６−
１に切断されている。ワイヤ４の切り込みによって形成
された溝１２には、砥粒が充満している。切断終了後の
状態で、ウエハ６−１を取り出すには、例えばワイヤ列
５を低速で走行させながらワーク押上台を下降させ、ワ
イヤ列５をワーク６から分離して押上台１０からワーク
を取外し、片端の余長部６−２から順にダミー板８の接
着部をはずして採取するればよい。
【０００５】図５は、切断途中の余長部６−２及びウエ
ハ６−１の厚さ方向に作用する力を示す図である。ワイ
ヤ４が走行している部分では、溝１２内の砥粒がワイヤ
の動きと共に走行してワークを研削していくので、水平
方向に力ｆ1 が作用する。また、溝１２の側面には、充
満した砥液の圧力の合力としての水平方向の力ｆ2 も作
用する。力ｆ1は溝１２の深さによらず一定と考えられ
るが、力ｆ2は溝１２が深くなるにつれて大きくなる。
ウエハ６−１に関しては、力ｆ1、ｆ2共に両側から作用
するので、力ｆ1、ｆ2によってウエハ６−１が割れるこ
とはない。一方、余長部６−２は片側からのみ力ｆ1、
ｆ2を受けるので、図５に示す矢印イの部分で割れるこ
とがある。いったん割れが発生すると、端の溝から端の
ウエハ６−１に作用する砥液の圧力がゼロとなるので、
端のウエハ６−１は片側のみ力ｆ2 を受けることにな
る。この力ｆ2 によってウエハ６−１に割れが発生する
と、連鎖反応的に順次ウエハに割れが発生し、被害が拡
大していく。そして、ウエハ６−１が採取不可能となる
ばかりか、それまでの切断に要した工数が無駄となり、
場合によっては割れたワークの切れ端が飛散し、ワイヤ
ソーを損傷することもある。
ハ６−１の厚さ方向に作用する力を示す図である。ワイ
ヤ４が走行している部分では、溝１２内の砥粒がワイヤ
の動きと共に走行してワークを研削していくので、水平
方向に力ｆ1 が作用する。また、溝１２の側面には、充
満した砥液の圧力の合力としての水平方向の力ｆ2 も作
用する。力ｆ1は溝１２の深さによらず一定と考えられ
るが、力ｆ2は溝１２が深くなるにつれて大きくなる。
ウエハ６−１に関しては、力ｆ1、ｆ2共に両側から作用
するので、力ｆ1、ｆ2によってウエハ６−１が割れるこ
とはない。一方、余長部６−２は片側からのみ力ｆ1、
ｆ2を受けるので、図５に示す矢印イの部分で割れるこ
とがある。いったん割れが発生すると、端の溝から端の
ウエハ６−１に作用する砥液の圧力がゼロとなるので、
端のウエハ６−１は片側のみ力ｆ2 を受けることにな
る。この力ｆ2 によってウエハ６−１に割れが発生する
と、連鎖反応的に順次ウエハに割れが発生し、被害が拡
大していく。そして、ウエハ６−１が採取不可能となる
ばかりか、それまでの切断に要した工数が無駄となり、
場合によっては割れたワークの切れ端が飛散し、ワイヤ
ソーを損傷することもある。
【０００６】従来は、ワイヤ列の幅Ｗ（図３(A) ）をワ
ークの長さより３〜１０ｍｍ短くしてワーク余長部の厚
さを厚くしてワークを切断し、切断中のウエハの割れや
倒れを防止する方法がとられてきた。しかし、この方法
ではワークの長さに合わせて、ワイヤ列の幅を調整する
必要があり、ワーク長の異なる場合は、ワークの巻替え
が必要となり、段取り時間の占める割合が大きかった。
ークの長さより３〜１０ｍｍ短くしてワーク余長部の厚
さを厚くしてワークを切断し、切断中のウエハの割れや
倒れを防止する方法がとられてきた。しかし、この方法
ではワークの長さに合わせて、ワイヤ列の幅を調整する
必要があり、ワーク長の異なる場合は、ワークの巻替え
が必要となり、段取り時間の占める割合が大きかった。
【０００７】特開平５−５０４２２号公報には、ワーク
の余長部の厚さを薄くしても、切断中に余長部やウエハ
に割れが発生しない方法として、被切断物の両端面に補
強部材を当接して切断する方法が開示されている。しか
し、この方法では割れの発生を防止することができるも
のの、ワイヤ列の幅をワークの長さよりも大きくするこ
とはできないので、長さの異なるワークを切断する際に
は、段取り替えが必要となる。
の余長部の厚さを薄くしても、切断中に余長部やウエハ
に割れが発生しない方法として、被切断物の両端面に補
強部材を当接して切断する方法が開示されている。しか
し、この方法では割れの発生を防止することができるも
のの、ワイヤ列の幅をワークの長さよりも大きくするこ
とはできないので、長さの異なるワークを切断する際に
は、段取り替えが必要となる。
【０００８】特開平４−１３５１５７号公報には、ワイ
ヤ列の幅をワークの長さよりも大きくして、ワークに接
するワイヤと接しないワイヤとのワイヤの張力差を小さ
くすることにより、ウエハの切断精度を向上させる切断
方法が開示されている。しかし、この方法では、ワーク
の長さに合わせてワイヤ巻幅を変更する必要がなくな
り、段取り時間を省略することができるが、切断中にウ
エハの割れや倒れを防止することができない。
ヤ列の幅をワークの長さよりも大きくして、ワークに接
するワイヤと接しないワイヤとのワイヤの張力差を小さ
くすることにより、ウエハの切断精度を向上させる切断
方法が開示されている。しかし、この方法では、ワーク
の長さに合わせてワイヤ巻幅を変更する必要がなくな
り、段取り時間を省略することができるが、切断中にウ
エハの割れや倒れを防止することができない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、マルチワ
イヤソーによる切断における上記の問題を解決するため
になされたもので、ワークの長さよりもワイヤ列幅を大
きくしても、切断中にワークの余長部及びウエハに割れ
が発生しない切断方法を提供することを目的とする。
イヤソーによる切断における上記の問題を解決するため
になされたもので、ワークの長さよりもワイヤ列幅を大
きくしても、切断中にワークの余長部及びウエハに割れ
が発生しない切断方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、ワイヤ列
の幅を充分大きくし、ワークの長さが種々異なっても、
ワイヤの巻替えが不要であり、かつワークの余長部が薄
くなっつても、切断中に割れが発生しない切断方法につ
いて実験検討を重ね、下記の知見を得た。
の幅を充分大きくし、ワークの長さが種々異なっても、
ワイヤの巻替えが不要であり、かつワークの余長部が薄
くなっつても、切断中に割れが発生しない切断方法につ
いて実験検討を重ね、下記の知見を得た。
【００１１】１）ワイヤ列の幅をワーク長さより大きく
しても、切断開始後に被切断物の移動方向と反対の方向
から、圧接板を被切断物に押し当てて切断すると、切断
中のワーク余長部の割れ発生を防止することができる。
しても、切断開始後に被切断物の移動方向と反対の方向
から、圧接板を被切断物に押し当てて切断すると、切断
中のワーク余長部の割れ発生を防止することができる。
【００１２】２）ワイヤ列の幅をワーク長さより大きく
しても、切断途中で、切断方向と直交する方向の被切断
物両端面に面板を当接して切断することによっても、切
断中のワーク余長部の割れ発生を防止することができ
る。
しても、切断途中で、切断方向と直交する方向の被切断
物両端面に面板を当接して切断することによっても、切
断中のワーク余長部の割れ発生を防止することができ
る。
【００１３】この発明は、このような知見に基づきなさ
れたもので、その要旨は、「外周面に所定のピッチで溝
を設けた溝ローラ間でワイヤ列を張設して走行させ、こ
のワイヤ列に被切断物を押し当て、押し当て部に砥粒を
含む砥液を供給しながら複数のウエハに切断するマルチ
ワイヤソーによる切断方法において、切断開始後、被切
断物の移動方向と反対の方向から、圧接板を被切断物に
圧接して切断する切断方法、および切断途中で、切断方
向と直交する方向の被切断物両端面に面板を当接して切
断することを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方
法」にある。
れたもので、その要旨は、「外周面に所定のピッチで溝
を設けた溝ローラ間でワイヤ列を張設して走行させ、こ
のワイヤ列に被切断物を押し当て、押し当て部に砥粒を
含む砥液を供給しながら複数のウエハに切断するマルチ
ワイヤソーによる切断方法において、切断開始後、被切
断物の移動方向と反対の方向から、圧接板を被切断物に
圧接して切断する切断方法、および切断途中で、切断方
向と直交する方向の被切断物両端面に面板を当接して切
断することを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方
法」にある。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、圧接板を用いて切断す
る、本発明の切断方法を説明するための図である。同図
（ａ）は、切断方向から見た切断開始直前の状態を、
（ｂ）は切断開始後の状態を示す図である。
る、本発明の切断方法を説明するための図である。同図
（ａ）は、切断方向から見た切断開始直前の状態を、
（ｂ）は切断開始後の状態を示す図である。
【００１５】図１（ａ）に示すように、ワーク６は鋼製
ベース９にダミー板８を介して固定されている。１３は
圧接板で、圧接板支持バー１６に固定されており、圧接
板支持バーは、伸縮駆動機構１５により上下動可能とな
っている。ワークは、下から押し上げられて同図の矢符
で示す方向に移動し、ワイヤ５に押し当てられて切断が
開始される。切断開始後、ワイヤがワーク内に入ると、
図１（ｂ）に示すように伸縮駆動機構１５を伸縮させて
圧接板１３をワークに押し当てて切断する。
ベース９にダミー板８を介して固定されている。１３は
圧接板で、圧接板支持バー１６に固定されており、圧接
板支持バーは、伸縮駆動機構１５により上下動可能とな
っている。ワークは、下から押し上げられて同図の矢符
で示す方向に移動し、ワイヤ５に押し当てられて切断が
開始される。切断開始後、ワイヤがワーク内に入ると、
図１（ｂ）に示すように伸縮駆動機構１５を伸縮させて
圧接板１３をワークに押し当てて切断する。
【００１６】切断開始後に、ワークの移動方向と反対の
方向から、圧接板をワークに圧接するのは以下の理由に
よる。
方向から、圧接板をワークに圧接するのは以下の理由に
よる。
【００１７】切断開始前に、図１（ａ）に示すように、
圧接板１３をワイヤ５の上方のワーク６と対面する位置
に配置しておくのは、この時点で圧接板をワークに圧接
すると圧接板がワイヤに触れて切断されるからである。
したがって、同図（ｂ）に示すように切断開始後、ワイ
ヤがワーク内に入ってから、圧接板をワークに圧接する
必要がある。ワークの切断が数ｍｍ以上進行したときに
圧接するのが好ましい。また、圧接は油圧やエアシリン
ダー等による伸縮駆動機構により行うのがよい。
圧接板１３をワイヤ５の上方のワーク６と対面する位置
に配置しておくのは、この時点で圧接板をワークに圧接
すると圧接板がワイヤに触れて切断されるからである。
したがって、同図（ｂ）に示すように切断開始後、ワイ
ヤがワーク内に入ってから、圧接板をワークに圧接する
必要がある。ワークの切断が数ｍｍ以上進行したときに
圧接するのが好ましい。また、圧接は油圧やエアシリン
ダー等による伸縮駆動機構により行うのがよい。
【００１８】切断終了後は、ワイヤを低速走行させなが
らワークを下降させ、ワイヤが圧接板に接触する前に、
伸縮駆動機構１５を伸ばして圧接板を上方に後退させ、
ワイヤをワークから分離する。
らワークを下降させ、ワイヤが圧接板に接触する前に、
伸縮駆動機構１５を伸ばして圧接板を上方に後退させ、
ワイヤをワークから分離する。
【００１９】圧接板をウエハに圧接するのは、余長部や
ウエハの割れを防止するためである。
ウエハの割れを防止するためである。
【００２０】図６は、圧接板の作用を説明するための図
である。圧接板１３をワークの移動方向と反対の方向に
圧接することにより、ワークと圧接板とが接する位置で
摩擦力ｆ3が発生し、ｆ2なる力が作用してもそれをある
程度打ち消すことができるために、ワーク余長部での割
れを防止することができる。この摩擦力が大きいほど割
れ防止効果は大きく、摩擦力を大きくするには下記のよ
うにするのが好ましい。 ａ）押さえ力をウエハが割れ
ない範囲で大きくするのが好ましい。
である。圧接板１３をワークの移動方向と反対の方向に
圧接することにより、ワークと圧接板とが接する位置で
摩擦力ｆ3が発生し、ｆ2なる力が作用してもそれをある
程度打ち消すことができるために、ワーク余長部での割
れを防止することができる。この摩擦力が大きいほど割
れ防止効果は大きく、摩擦力を大きくするには下記のよ
うにするのが好ましい。 ａ）押さえ力をウエハが割れ
ない範囲で大きくするのが好ましい。
【００２１】ｂ）圧接板はワーク上側面に密着させる。
そのためには圧接板の材質は剛体よりもウレタンゴムや
スポンジのような弾性体がよく、形状はワーク上側面の
形状に合わる。
そのためには圧接板の材質は剛体よりもウレタンゴムや
スポンジのような弾性体がよく、形状はワーク上側面の
形状に合わる。
【００２２】図７は、圧接板の形状例を示す図である。
例えば、ワークの断面が矩形のインゴットであれば、
（ａ）のように平坦形状とし、また円形であれば、
（ｂ）のように凹型形状とするのがよい。ウエハの割れ
はワーク端面から順次進行するので、端面付近での割れ
を防止することができればよいので、ワーク端面近傍の
上面での摩擦力ｆ3 を大きくすればよく、（ｃ）のよう
にワーク中央部を凹状にしてもよい。
例えば、ワークの断面が矩形のインゴットであれば、
（ａ）のように平坦形状とし、また円形であれば、
（ｂ）のように凹型形状とするのがよい。ウエハの割れ
はワーク端面から順次進行するので、端面付近での割れ
を防止することができればよいので、ワーク端面近傍の
上面での摩擦力ｆ3 を大きくすればよく、（ｃ）のよう
にワーク中央部を凹状にしてもよい。
【００２３】次に、面板を用いて切断時のワーク余長部
の割れを防止した切断方法について説明する。
の割れを防止した切断方法について説明する。
【００２４】図２は、本発明の面板を用いた切断方法を
説明するための図である。同図（ａ）は、切断方向から
見た切断開始直前の状態を示し、（ｂ）は切断開始後の
状態を示す図である。
説明するための図である。同図（ａ）は、切断方向から
見た切断開始直前の状態を示し、（ｂ）は切断開始後の
状態を示す図である。
【００２５】切断開始前は、図２（ａ）に示すように、
ワーク６はダミー板８を介して鋼製ベース９に固定され
ている。面板１４−１が、ワイヤ走行方向に対し直角方
向からワーク両端面に対して進退可能に取り付けられて
いる。面板は、ロッド１４−２の先端に設けられてお
り、ロッドは取付け台１４−３に設置されており、ロッ
ドはワーク方向に進退可能となっている。例えば、ロッ
ドを取付台１４−３にスライド可能に取り付け、締め付
けネジ１４−４等にて固定することができる。また、ロ
ッドにねじを切って取付台１４−３に螺合させ、ロッド
を回転させることによって、面板を進退させることもで
きる。その他、ロッドを油圧や空圧により進退させても
よい。
ワーク６はダミー板８を介して鋼製ベース９に固定され
ている。面板１４−１が、ワイヤ走行方向に対し直角方
向からワーク両端面に対して進退可能に取り付けられて
いる。面板は、ロッド１４−２の先端に設けられてお
り、ロッドは取付け台１４−３に設置されており、ロッ
ドはワーク方向に進退可能となっている。例えば、ロッ
ドを取付台１４−３にスライド可能に取り付け、締め付
けネジ１４−４等にて固定することができる。また、ロ
ッドにねじを切って取付台１４−３に螺合させ、ロッド
を回転させることによって、面板を進退させることもで
きる。その他、ロッドを油圧や空圧により進退させても
よい。
【００２６】切断開始前は図２（ａ）のように、面板を
後退させておき、ワーク６を押し上げて矢符の方向に移
動させ、ワイヤ４に押し当てて切断が開始される。
後退させておき、ワーク６を押し上げて矢符の方向に移
動させ、ワイヤ４に押し当てて切断が開始される。
【００２７】図２（ｂ）に示すように、面板をワークに
当接してもワイヤに接触しなくなった時点で、面板１４
−１をワーク端面に当接させる。
当接してもワイヤに接触しなくなった時点で、面板１４
−１をワーク端面に当接させる。
【００２８】切断の途中で面板をワーク端面に当節する
のは、開始前に面板をワークに当接しておくと、ワイヤ
により面板も切断されるからである。
のは、開始前に面板をワークに当接しておくと、ワイヤ
により面板も切断されるからである。
【００２９】面板をワーク両端面に当接するのは、図５
で示したワーク余長部の割れの原因となる力ｆ2 を打ち
消すためである。したがって、面板がワーク端面に密着
して固定されていればよく、必要以上の押し付け力がワ
ーク６に発生しないように注意しなければならない。
で示したワーク余長部の割れの原因となる力ｆ2 を打ち
消すためである。したがって、面板がワーク端面に密着
して固定されていればよく、必要以上の押し付け力がワ
ーク６に発生しないように注意しなければならない。
【００３０】面板の大きさは、直径５０ｍｍの円盤程度
の面積のものであれば充分で、ワークの切断溝の深さ
が、１００ｍｍに達する前に面板を当接させれば割れが
発生することはない。
の面積のものであれば充分で、ワークの切断溝の深さ
が、１００ｍｍに達する前に面板を当接させれば割れが
発生することはない。
【００３１】切断終了後は、ワイヤ４を低速走行させな
がら、ワークを下降させ、ワイヤが面板１４−１接触す
る前に面板を後退させる。その後、さらにワークを下降
させワイヤをワークから離間させる。
がら、ワークを下降させ、ワイヤが面板１４−１接触す
る前に面板を後退させる。その後、さらにワークを下降
させワイヤをワークから離間させる。
【００３２】なお、ワイヤソーによる切断方法では、図
３に示すように、ワークを下から押上げてワイヤ列に押
し当てて切断する方法と、逆にワークを下降させながら
切断する方法がある。ワークを押し上げて切断する方法
について説明してきたが、ワークを下降させながら切断
す方法もワーク、ワイヤおよび圧接板、面板の相対位置
関係は同じである。したがって、本発明の切断方法は、
ワークを下降させながら切断する場合についても適用で
きる。
３に示すように、ワークを下から押上げてワイヤ列に押
し当てて切断する方法と、逆にワークを下降させながら
切断する方法がある。ワークを押し上げて切断する方法
について説明してきたが、ワークを下降させながら切断
す方法もワーク、ワイヤおよび圧接板、面板の相対位置
関係は同じである。したがって、本発明の切断方法は、
ワークを下降させながら切断する場合についても適用で
きる。
【００３３】
（実施例１）図１に示す切断装置により、下記条件でシ
リコンインゴットを切断した。
リコンインゴットを切断した。
【００３４】ワークとして、直径２００ｍｍ、長さ２０
０ｍｍの円柱体で、外面に全長にわたって幅６０ｍｍの
平坦面を有するシリコンインゴットを用いた。
０ｍｍの円柱体で、外面に全長にわたって幅６０ｍｍの
平坦面を有するシリコンインゴットを用いた。
【００３５】また、ワイヤは、直径０．１６ｍｍのピア
ノ線を使用し、１．１５ｍｍピッチで溝ローラに幅約２
５０ｍｍにわたって巻き付けて、ワイヤ列の幅をワーク
長より５０ｍｍ大きくした。
ノ線を使用し、１．１５ｍｍピッチで溝ローラに幅約２
５０ｍｍにわたって巻き付けて、ワイヤ列の幅をワーク
長より５０ｍｍ大きくした。
【００３６】インゴットも両端部の余長部の厚さは、
０．５ｍｍと０．７ｍｍであった。
０．５ｍｍと０．７ｍｍであった。
【００３７】ワーク加工部には炭化珪素製の平均粒径３
０μｍの砥粒を混合し、比重１．７に調整した砥液を供
給した。ワイヤ走行速度は６００ｍ／分、ワーク下降速
度は０．４２ｍｍ／分に設定した。圧接板は、図７
（ｃ）の形状にし、Ｒが１００ｍｍの凹面を有し、幅
Ｂ：３０ｍｍ、厚さｔ：１０ｍｍ、全長Ｌ：３００ｍ
ｍ、中央部の凹部の長さｌ：１００ｍｍとした。切断開
始後、ワーク溝深さが２０ｍｍに達したとき圧接板を５
０ｋｇｆの力で押し付け切断した結果、上記のように厚
さが薄い余長部やウエハに割れは発生しなかった。
０μｍの砥粒を混合し、比重１．７に調整した砥液を供
給した。ワイヤ走行速度は６００ｍ／分、ワーク下降速
度は０．４２ｍｍ／分に設定した。圧接板は、図７
（ｃ）の形状にし、Ｒが１００ｍｍの凹面を有し、幅
Ｂ：３０ｍｍ、厚さｔ：１０ｍｍ、全長Ｌ：３００ｍ
ｍ、中央部の凹部の長さｌ：１００ｍｍとした。切断開
始後、ワーク溝深さが２０ｍｍに達したとき圧接板を５
０ｋｇｆの力で押し付け切断した結果、上記のように厚
さが薄い余長部やウエハに割れは発生しなかった。
【００３８】また、比較例として圧接板を使用せずに上
記と同じ条件で切断したが、切断深さが１２０ｍｍに達
したときワーク余長部が割れ、約１５０ｍｍに達したと
き全ウエハが割れ、切断を中止せざるを得なかった。
記と同じ条件で切断したが、切断深さが１２０ｍｍに達
したときワーク余長部が割れ、約１５０ｍｍに達したと
き全ウエハが割れ、切断を中止せざるを得なかった。
【００３９】（実施例２）実施例１と同じ切断条件で切
断開始後、圧接板の代わりにワーク両端面に面板を当接
して切断をおこなった。
断開始後、圧接板の代わりにワーク両端面に面板を当接
して切断をおこなった。
【００４０】面板として直径５０ｍｍの円形のゴムを用
い、ボルトの先端に取り付け、切断開始後ワーク溝深さ
が６０ｍｍに達したとき、面板をワークの両端面に当接
して切断を続行した。その結果、ワーク余長部やウエハ
に割れの発生はなかった。
い、ボルトの先端に取り付け、切断開始後ワーク溝深さ
が６０ｍｍに達したとき、面板をワークの両端面に当接
して切断を続行した。その結果、ワーク余長部やウエハ
に割れの発生はなかった。
【００４１】
【発明の効果】本発明の方法によれば、マルチワイヤソ
ーによる脆性材料の切断に際し、ワイヤの巻幅をワーク
の長さ以上に設定しても、切断中のウエハの割れを防止
することができ、ワーク余長部の厚さを厚くする必要が
なくなると共に、ワークの長さに合わせてワイヤの巻幅
を変更する必要がなくなり、切断効率が向上する。
ーによる脆性材料の切断に際し、ワイヤの巻幅をワーク
の長さ以上に設定しても、切断中のウエハの割れを防止
することができ、ワーク余長部の厚さを厚くする必要が
なくなると共に、ワークの長さに合わせてワイヤの巻幅
を変更する必要がなくなり、切断効率が向上する。
【図１】本発明の圧接板を使用して切断する方法を説明
するための図で、（ａ）は切断開始直前、（ｂ）は切断
開始後の状態を示す図である。
するための図で、（ａ）は切断開始直前、（ｂ）は切断
開始後の状態を示す図である。
【図２】本発明の面板を使用して切断する方法を説明す
るための図で、（ａ）は切断開始直前、（ｂ）は切断開
始後の状態を示す図である。
るための図で、（ａ）は切断開始直前、（ｂ）は切断開
始後の状態を示す図である。
【図３】ワイヤ巻幅がワーク長さより長い場合の切断完
了の状態を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は一部を
拡大して示す側面図である。
了の状態を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は一部を
拡大して示す側面図である。
【図４】ルチワイヤソーの切断装置の加工部の斜視図で
ある。
ある。
【図５】切断途中のワーク余長部及びウエハに作用する
力の説明図である。
力の説明図である。
【図６】圧接板による摩擦力を説明するための図であ
る。
る。
【図７】圧接板の形状例を示す図である。
１、２、３ 溝ローラ ４ ワイヤ ５ ワイヤ列 ６ ワーク 6-1 ウエハ 6-2 ワーク余長部 ８ ダミー板 ９ 鋼製ベース 13 圧接板 14-1 面板 14-2 面板支持ロッド 14-3 ロッド取付台 15 伸縮駆動機構
Claims (2)
- 【請求項１】外周面に所定のピッチで溝を設けた溝ロー
ラ間でワイヤ列を張設して走行させ、このワイヤ列に被
切断物を押し当て、押し当て部に砥粒を含む砥液を供給
しながら複数のウエハに切断するマルチワイヤソーによ
る切断方法において、切断開始後、切断中に被切断物を
移動させる方向と反対の方向から、圧接板を被切断物に
圧接して切断することを特徴とするマルチワイヤソーに
よる切断方法。 - 【請求項２】外周面に所定のピッチで溝を設けた溝ロー
ラ間でワイヤ列を張設して走行させ、このワイヤ列に被
切断物を押し当て、押し当て部に砥粒を含む加工液を供
給しながら複数のウエハに切断するマルチワイヤソーに
よる切断方法において、切断途中で、切断方向と直交す
る方向から被切断物両端面に面板を当接して切断するこ
とを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8391496A JPH09272122A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8391496A JPH09272122A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09272122A true JPH09272122A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=13815878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8391496A Pending JPH09272122A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09272122A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002036090A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-05 | Nippei Toyama Corp | 間隔保持具及びこれを用いた切断方法 |
| US6381830B1 (en) | 1998-09-01 | 2002-05-07 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| US6408840B2 (en) | 1999-12-14 | 2002-06-25 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
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| JP2019048436A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-28 | 住友金属鉱山株式会社 | 単結晶の切断方法、固定冶具、及び、単結晶基板の製造方法 |
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| JP7179239B1 (ja) * | 2022-03-24 | 2022-11-28 | 三菱電機株式会社 | マルチワイヤ放電加工機、マルチワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法 |
-
1996
- 1996-04-05 JP JP8391496A patent/JPH09272122A/ja active Pending
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