JP4510473B2 - ワイヤのこ引き装置 - Google Patents

Description

本発明は、少なくとも２つのワイヤガイドシリンダ相互間に張り渡され、上記ワイヤガイドシリンダの表面に設けられた溝によって定位置に保持されたワイヤの少なくとも１つの層を有するワイヤのこ引き装置であって、上記溝が、ワイヤの上記ワイヤ層のワイヤ相互間の間隔、それ故、のこ引きギャップだけ互いに離されるのこ引きスライスの厚さを定め、ワイヤが支持テーブルに固定されたのこ引きされるべき少なくとも１つの加工物に当接した状態で往復運動又は連続運動で動くようになっているワイヤのこ引き装置に関する。

特に、フェライト、石英及びシリカで作られる電子部品業界において、例えば、多結晶質シリコン又は単結晶質シリコン、或いは新材料ＧａＡｓ、Ｉｎｐ、ＧＧＧ又は他の石英、合成サファイア、セラミック材料のような材料の薄いスライスを得るために、ワイヤ層のワイヤ又はのこ引きされるべき加工物を動かす上述したタイプのワイヤのこ引き装置が既に知られている。材料が高価なので、ワイヤのこ引き法は、他の技術、例えばダイヤモンドディスクのこ引き法と比べて魅力がある。

公知の装置では、のこ引き領域は、少なくとも２つのシリンダの組立体によって構成される。ワイヤガイドと呼ばれるこれらシリンダには、層のワイヤ相互間の間隔、即ち、スライスの厚さを定める溝が設けられている。のこ引きされるべき加工物は、ワイヤ層に垂直に動く支持テーブルに固定されている。運動速度により切断速度が定まる。ワイヤの更新及びその張力の制御は、厳密に言った場合のいわゆるのこ引き領域を越えて位置するワイヤのいわゆる管理領域で行われる。切断を行う作用物質は、ワイヤに固定された研磨剤又はスリップの形態で提供される自由研磨剤のいずれかである。ワイヤは、キャリアとして働くに過ぎない。薄いスライスへののこ引きされるべき加工物の切断中、張力が加えられたワイヤは、ワイヤガイドシリンダによってガイドされると共に引っ張られる。

多くの用途に関し、のこ引きされたスライス又はウェーハは、のこ引きされるべき加工物の直径と比較して非常に小さな厚さのものである。かくして、のこ引きされたスライスは、相当な可撓性を呈するので撓んで湾曲し、隣りのスライスに接触する場合がある。この撓みは、切断の精度及び平坦度にとって望ましくなく、この撓みにより、のこ引きされたスライスの表面に起伏、縦じわ及び望ましくない凹凸が生じる場合がある。これら凹凸は、たとえ数ミクロンのものであっても、スライスを或る特定の用途、例えば、太陽電池業界のシリコンや半導体に関して使いものにならないようにするに足る。スライスの変形が原因となって、特にスライスの支持体へのこれらスライスの固定場所の近くで大小の割れ又は破断が生じる場合がある。

さらに、スライスの位置のばらつき、のこ引きギャップの幅のばらつきは、のこ引きギャップ内の自由研磨剤の量及び分布状態に悪影響を及ぼすようになっており、これが原因となって、スライスの厚さのばらつき、のこ引き速度のばらつき、ワイヤに対する摩耗のばらつき、それ故、得られるスライスの表面の凹凸の割増及びワイヤ切断の恐れの増大が生じる。

ワイヤ切断の場合、ワイヤを補修し、ワイヤを、互いに接触し又はのこ引きギャップが非常に僅かになっているスライス相互間に再び入れるようにするのは非常に困難であり、又は不可能な場合さえある。かくして、ワイヤ切断の場合、のこ引きされるべき加工物を破棄して新品の加工物で再びのこ引きを開始する必要があり、これにより、非常に厄介な場合の多い材料の相当な損失及びのこ引き時間がかなり無駄になる。

本発明は、これら重要な欠点を解決することを目的としており、本発明は、この目的のため、のこ引き装置が、のこ引き中、部分的又は完全にのこ引きされたスライスを互いに実質的に平行に維持し、スライスののこ引き中、のこ引きギャップの幅を実質的に一定に保つように構成された保持装置を有することを特徴としている。

かかる特徴により、起伏、縦じわ及び望ましくない凹凸の無い高い平坦度を備えたスライスを得ることが可能である。大小の割り又は破断は完全に回避される。

のこ引きギャップが一定幅に維持されるので、自由研磨剤の一定の量及び分布状態が得られ、それ故、起伏の無い状態で１つののこ引きスロットから次ののこ引きスロットへの一定速度の規則的なのこ引きが得られる。

ワイヤは更に、一様な摩耗作用を受け、したがって、切断が起こる恐れが低い。切断が起こった場合、本発明の装置を用いることにより、ワイヤの容易な補修が行えると共に、ワイヤをのこ引きギャップ内へ再び配置することができ、それ故、ワイヤが切れても、のこ引きされるべき加工物を破棄するのが回避される。

好ましくは、保持装置は、のこ引き中、スライスの少なくとも一部と協働するようになった保持部材を有する。
かくして、のこ引き中、スライスの効果的な保持が得られる。

好ましい実施形態によれば、保持装置は、支持テーブルに取り付けられたガイド要素を有し、保持要素は、非作動位置からのこ引き中にスライスと協働する作動位置に動かされたり、この逆に動かされるようガイド要素に可動的に取り付けられている。
これら特徴により、高信頼度の且つ正確な構成が可能になる。

好ましくは、保持部材は、弾性部材により静止当接部の方向に押圧される。
これら特徴により、部品の数を少なくした状態で保持装置の自動運転が得られる。

有利には、保持部材は、非作動位置では静止当接部に当接し、作動位置ではのこ引きされるべき１又は複数の加工物と協働するよう静止当接部から間隔を置いて位置する。

有利な実施形態では、保持部材は、のこ引きされるべき加工物に沿ってワイヤガイドシリンダに対し実質的に平行な方向に延びる少なくとも１本のバーを有し、このバーは、のこ引きされるべき加工物のスライスに押しつけられるようになったエラストマーの少なくとも１つの被膜を備えている。

好ましくは、上記バーは、ワイヤガイドシリンダに平行な回動軸線回りに回動できるようガイド要素に摺動自在に取り付けられたクロスピースに取り付けられている。
上述の特徴により、保持装置は、特に効果的且つ高信頼度の作動及び簡単でしかも扱いにくいことはない構成を可能にする。

別の実施形態によれば、保持部材は、用いられる機械加工液よりも密度の高い濃厚な液体又はゲルを有し、濃厚液体又はゲルは、作動位置に保持されたバット内に入れられていて、スライスの上記一部が、濃厚な液体又はゲル内に少なくとも部分的に浸漬されてスライスを動かないようにしている。
保持装置のこれら特徴により、上述の表面起伏及び凹凸に関する欠点を解決する新規且つ安価な解決策が得られる。

変形例として、保持装置は、保持部材として、スライス相互間ののこ引きギャップ内に少なくとも部分的に導入されてスライスを維持するようになった分離要素を更に有するのがよく、これら分離要素は、少なくとも１つの支持体に取り付けられている。
これら特徴により、スライス相互間の間隔は、のこ引きを受けているスライスに加わる外力があっても非常に正確に一定に維持できる。

有利には、分離要素は、のこ引きギャップ内に導入されるようになった適当な厚さのワイヤ、ストリップ、ブレード又は壁で構成されている。
かくして、のこ引きスライスの保持及び分離は、簡単且つ効果的な方法で行なわれる。

好ましい実施形態によれば、上記少なくとも１つの支持体は、上記フレームに取り付けられた少なくとも１つのバット内に配置されている。
これら特徴により、生産系統内へののこ引きスライスの容易な組込みが可能になる。

別の実施形態は、保持装置は、Ｕ字形フレームによって構成され、Ｕ字形フレームの長手方向枝部は、弾性部材によってのこ引きされたスライスに側方に押しつけられるようになっていることを特徴とする。
加工物ののこ引き中、かかるフレームを横方向変位により取り付けたり取り外すことができ、それ故、この実施形態は、のこ引きワイヤの切断の場合に特に有用である。補修中、スライス相互間の距離をこの装置により一定に維持することができ、ワイヤを、補修後スライス相互間に容易に再び配置して再び導入することができる。さらに又、フレームは、のこ引き後、スライスを一時的切断支持体上に保持する手段としての屑片の切断前及び切断中、加工物を運搬するのに使用することもできる。一定間隔で互いに分離されたスライスは、隣りのスライスにくっ付くことはなく、かかるスライスを非常に容易にクリーニングして外すことができる。

他の利点は、従属項に記載の特徴及び図面を参照して本発明を詳細に説明した本文から明らかになろう。なお、図面は、幾つかの実施形態及び変形例を概略的に且つ例示的に示している。

図１〜図３を参照すると、第１の実施形態としてののこ引き装置は、フレーム１０及びこのフレームに軸線を互いに平行にした状態で取り付けられたワイヤガイドシリンダ１１，１２（この実施形態では、数は２つである）を有している。当然のことながら、この装置は、３以上のワイヤガイドシリンダを有していてもよい。

ワイヤ１４は、供給ボビン（図示せず）から巻き出され、次に、任意の考えられる巻回方法に従ってワイヤガイドシリンダに巻き掛けされ、のこ引き領域において互いに平行なワイヤから成る少なくとも１つの層１５を形成する。次に、ワイヤは、適当な装置（図示せず）、例えば受取りボビン又は収集バットに戻される。

１、２又は３以上ののこ引きされるべき加工物１７、例えば、硬質材料のインゴットを一時的支持体１９によって支持テーブル１８に取り付ける。この支持テーブル１８を柱２１及びモータ２０によりＺ方向に垂直に動かすと、のこ引きされるべき加工物１７をワイヤの層１５に押しつけることができる。

ワイヤガイドシリンダ１１，１２の周囲には溝が設けられ、これら溝は、ワイヤ層１５の隣り合うワイヤ相互間の間隔、それ故、のこ引きされるスライスの厚さを定める。これらスライスは、スロット又はのこ引きギャップだけ互いに離される。

ワイヤ１４は、前後に交互に動き又は連続的に動くようワイヤガイドシリンダによって張り渡された状態でガイドされると共に引っ張られる。このワイヤは好ましくは、硬質材料のブロック又は特定の組成物、例えば、シリコン、セラミック、第ＩＩＩ族〜Ｖ族及び第ＩＩ〜ＶＩ族の元素の化合物、ＧＧＧ（ガドリニウム・ガリウム・ガーネット）、サファイア等のブロックを厚さ約０．１〜５ｍｍのスライスの状態にのこ引きするよう０．１〜０．２ｍｍの直径を持つばね鋼で構成される。研磨剤は市販の製品であり、これは、フィラメントに固定された形態又は研磨粒子の運搬手段又はキャリアとして役立つ液体中に懸濁させた自由な形態にあるダイヤモンド、炭化珪素、アルミナ等であるのがよい。

本発明ののこ引き装置は、のこ引き中、部分的又は完全にのこ引きされたスライス２３を実質的に互いに平行に保持し、スライスののこ引き中、のこ引きギャップ２４の幅が実質的に一定に維持されるよう構成された保持装置２２を有する。

保持装置２２は、この目的のため、のこ引き中、スライスの少なくとも一部２６と協働するようになった保持部材２５を有する。この部分２６はこの場合、のこ引きされるべき加工物１７の部分２７と反対側に位置し、この部分２７により、加工物１７は支持テーブル１８に固定される。

これら保持部材２５は、図１〜図３の実施形態では、長手方向バー３０を有し、のこ引きされるべき加工物は、ワイヤ層１５のワイヤに実質的に垂直な方向でこの長手方向バーに沿って延びている。バー３０は、のこ引きされるべき加工物のスライスに押しつけられるようになったエラストマーの被膜３１を備えている。

各バー３０は、ワイヤガイドシリンダ１１，１２に平行な回動軸線３２回りに回動自在にクロスピース３３に取り付けられている。かくして、被膜３１は、のこ引きされるべき加工物１７に最適な態様で適合することができる。クロスピース３３は、支持テーブル１８に固定された案内要素として役立つロッド３４上でこれに沿って摺動する。コイルばね３５の形態をした弾性手段が、クロスピース３３及び長手方向バー３０を一方においてはのこ引きされるべき加工物１７の方向に、他方においてはフレーム１０に固定された静止当接部４０の方向に押圧する。

のこ引きされるべき加工物がワイヤ層１５から間隔を置いた上方位置にあるとき、クロスピース３３は静止当接部４０に当たり、保持部材２５は、この非作動位置では、のこ引きされるべき加工物１７から間隔を置いて位置する。

のこ引きされるべき加工物１７は、のこ引きのため下げられてワイヤ層１５と接触するようになる。最小距離、例えば１センチメートルのこ引きした後、エラストマー被膜３１は、のこ引きされるべき加工物に接触し、この作動位置においては、のこ引きされたスライスをばね３５の作用によりしっかりと定位置に保持し、この場合、静止当接部４０は、クロスピース３３から間隔を置いて位置している。静止当接部４０に設けられた調整ねじ４１は、保持部材２１が稼動する位置を正確に求めることができるようにする。

次に、のこ引きは、のこ引きされたスライス２３が定位置に維持された状態で加工物の反対側の端部がのこ引きされるまで続行可能であり、それにより、スライスの横方向運動に起因する起伏、縦じわ及び他の凹凸を回避することができる。スロット又はのこ引きギャップ２４は、一定の幅を有し、それにより、研磨粒子の定期的供給及び一定ののこ引き速度を可能にする。

図４に示す実施形態は、図１〜図３の実施形態と類似しており、これは、別の形式の保持装置２２であるに過ぎない。かくして、保持部材２５は、この場合、用いられる機械加工液よりも密度の高い液体又はゲル４５を有している。この濃厚な液体又はゲルは、バット４６内に入れられており、このバット４６は、ロッド３４に摺動自在に取り付けられたクロスピース３３に固定されている。例えば、適当な粘度のシリコーンを用いるのがよい。

クロスピース３３は、コイルばね３５の作用を受け、停止リング４７によって作動位置に留まった状態にされ、したがって、スライスの下方部分２６が少なくとも部分的に濃厚液又はゲル中に浸漬されるようになり、この下方部分は部分的にのこ引きギャップ２４内へ入り込み、かくしてのこ引きされたスライスを互いに平行な位置に動かないようにする。

図５及び図６に示す第３の実施形態は、保持部材２５として、スライス２３相互間のギャップ２４内に少なくとも部分的に導入されてスライスを保持するようになった分離要素５４を有している。図示の実施形態では、一連のワイヤ５０が、フレーム５１上に張り渡され、ワイヤ層１５のワイヤに平行に配置される。作動位置では、これらワイヤ５０は、スライス２３相互間ののこ引きギャップ２４内に導入され、これらスライス相互間の間隔を正確に維持する。フレーム５１は、非作動位置で静止当接部４０と協働してワイヤ５０をのこ引きされるべき加工物からばね３４の作用に抗して離隔させる。支持テーブル１８とのこ引きされるべき加工物１７とロッド３４とフレーム５１の組立体が作動位置に向かって下降し、のこ引きが始まると、フレーム５１は、ロッド３４に設けられた停止リング４７に当接し、かくして、のこ引きされるべき加工物の下方部分２６と協働するようのこ引きされるべき加工物１７に対し固定位置のままである。また、ワイヤ５０に代えてスライスののこ引きギャップ２４内に導入されるブレード、リボン、ストリップ適当な厚さの壁を用いてもよく、スライスはかくして、相互接触を行わないで定位置に保持される。

図７に示す変形例は、第１の実施形態と第２の実施形態の保持装置２２の組合せである。この変形例は、保持部材２５として、一方においてばね３５によってのこ引きされるべき加工物１７に押しつけられるエラストマーの被膜３１を備える２本の長手方向ロッド３０及び他方においてのこ引きギャップ２４内に位置するワイヤ５０を備えたフレーム５１を有している。フレーム５１は、インターフィンガリング（inter-fingering ）装置５２によってクロスピース３３に固定されており、これらインターフィンガリング装置５２は、ばね３５及び静止当接部４０と協働する。この変形例は、外部軸受及びワイヤのインターフィンガリングによりのこ引きされたスライスを二重に保持するので特に有効である。
こののこ引き装置の他の構成部品及びその作動は、第１の実施形態と類似した状態のままである。

図８及び図９に示す第４の実施形態は、Ｕ字形フレーム６０を有する保持装置２２から成っている。このフレームの長手方向脚部６１は、弾性部材６２によってのこ引きされるべき加工物１７ののこ引きスライス２３に側方に当接するようになっている。当接保持力は、空気圧装置６３によって得ることができ、この空気圧装置６３は、弾性部材６２を膨らますことができる入口導管６４及び内部導管６５を有している。当接力は、他の手段、例えば、機械的、空気圧又は油圧制御によって長手方向枝部６１を互いに向かって機械的に掴むことによっても得ることができる。

ワイヤ切断の際、フレーム６０を取っ手６６により容易に配備し、次に掴み作用を与えることにより動かないようにすることができる。

ワイヤの補修後、ワイヤをのこ引きギャップ２４内に配置することができる。というのは、これらのこ引きギャップの幅は一定のままだからである。フレーム６０の取外し後、のこ引きが実施可能である。保持装置６２が設けられていなければ、この場合もワイヤをのこ引きギャップ内へ通すことは不可能であり、かくして、加工物は、破棄されなければならないであろう。

第５の実施形態が、図１０〜図１３に示されている。この実施形態では、保持装置２２は、のこ引き装置のフレーム１０に取り付けられており、この保持装置は、バット７０を有し、このバットの底部及び（又は）壁には、流れ手段が穴あけされ又は流れ手段を備えるのがよく、したがって、のこ引き用液及び研磨剤をバットから取り出すことができるようになっている。このバットは、固定要素７１によってフレーム７４上に保持され、このバットは、のこ引きされたスライス２３相互間ののこ引きギャップ２４内に導入されてスライス相互間の間隔を正確に維持するようになった分離要素７２を備えている。

分離要素７２は、この実施形態では、フレーム７４上に張り渡された一連のワイヤ７３によって構成されている。図示の実施形態は、２つの重なり合ったフレーム７４を有しているが、１〜５つの任意他の数のフレームをバット７０内に設けてもよい。
かくして、のこ引きを、のこ引きされたスライス２３が一定間隔で保持された状態で一時的支持体１９（図１３）まで行うことができ、それにより、起伏、縦じわ及び凹凸の無い高品質の製品が得られる。さらに、のこ引きされたスライスは既に互いに分離されており、これにより、加工が容易になると共に最終的な取扱いが可能になる。
スライスを例えばのこ引き装置から直接バット７０内へ移動させてもよい。

図１４に示す好ましい実施形態によれば、２つの引出し８１，８２をフレーム１０に固定されたバット８０内に摺動自在に配置するのがよい。
これら引出しは各々、のこ引きされたインゴット１７の一方又は他方のスライスの保持装置２２を構成する。
これら引出し８１，８２の底部及び側壁に穴あけしてのこ引き液を流すことができるようにしてもよい。のこ引き液をバット８０内に保持し、弁８５付きの流れ手段８４を通して排出してもよい。

保持装置２２は、のこ引きギャップ内に導入されるようになった分離要素７２を更に有している。これら分離要素は、１、２又は数個のフレーム８６上に張り渡された、水平の、斜めの及び（又は）直交したワイヤによって構成できる。かくして、ワイヤは、交差したワイヤの２つの層を構成する。
分離要素は又、引出しの側壁に固定された垂直壁によっても構成できる。のこ引き後、引出し８１，８２をインゴットの各々ののこ引きスライスを保持した状態でのこ引き装置から取り出すことができる。

当然のことながら、上述の実施形態は、本発明を限定するものではなく、請求項１に記載された本発明の範囲に属する任意所望の変形例の内容である。特に、１、２又は数個の支持テーブル１８は、のこ引きされるべき１又は３以上の加工物１７を支持できる。

また、１又は複数の支持テーブル１８とワイヤの層１５の相対運動を、ワイヤの層を運動させると共に任意適当な機械的、空気圧又は油圧手段によって行うことができる。のこ引き運動は又、垂直以外の任意他の空間方向で行うことができる。

図１〜図３の第１の実施形態は、垂直のこ引き手段に代えて、横方向のこ引き手段を有してもよい。

保持装置２２は、のこ引きされるべき加工物の形状に合わせて改造できる。この加工物の断面が円形である場合、保持を円筒面にマッチしたバー３０によって行うことができる。

当接力の制御は、静止当接部を設けようと設けなくても、いかなる機械的手段、空気圧手段及び油圧手段によって実施できる。

図６のフレーム５１はそのワイヤ又はストリップを備えた状態で図４のバット４６上に取り付け可能であり、これは第２の実施形態と第３の実施形態を組み合わせたものである。

数個の保持部材２５及びフレーム５１又は６０を重ね合わせると、非常に難しいのこ引き条件下でも完全な保持を行うことができる。

バット７０又は引出し８０内に設けられる分離要素７２は、互いに平行なワイヤ、斜めのワイヤ、直交したワイヤ、完全な又は部分的な壁、ストリップ、クロスピース等であってもよい。

本発明の第１の実施形態の正面図である。 この第１の実施形態の拡大部分正面図である。 図２の保持装置の側面図である。 第２の実施形態の部分正面図である。 第３の実施形態の部分正面図である。 第３の実施形態の部分斜視図である。 第１の実施形態と第３の実施形態を組み合わせた変形例の部分正面図である。 第４の実施形態の斜視図である。 第４の実施形態の部分正面図である。 第４の実施形態の斜視図である。 第４の実施形態の側面図である。 のこ引きの開始時における第４の実施形態の正面図である。 のこ引きの終了時における第４の実施形態の正面図である。 第４の実施形態の変形例を示す図である。

符号の説明

１１，１２ ワイヤガイドシリンダ
１５ ワイヤの層
１７ 加工物
１８ 支持テーブル
１９ 一時的支持体
２２ 保持装置
２３ スライス
２４ のこ引きギャップ
２５ 保持部材
３０ バー
３１ 被膜
３３ クロスピース
３４ 案内要素
３５ 弾性部材
４０ 静止当接部
４６ バット

Claims (13)

1. 少なくとも２つのワイヤガイドシリンダ（１１，１２）相互間に張り渡され、前記ワイヤガイドシリンダ（１１，１２）の表面に設けられた溝によって定位置に保持されたワイヤの少なくとも１つの層（１５）を有するワイヤのこ引き装置であって、前記溝は、ワイヤの前記ワイヤ層のワイヤ相互間の間隔、それ故、のこ引きギャップ（２４）だけ互いに離されるのこ引きスライス（２３）の厚さを定め、ワイヤは、支持テーブル（１８）に固定されたのこ引きされるべき少なくとも１つの加工物（１７）に当接した状態で往復運動又は連続運動で動くようになっており、のこ引きされるべき加工物（１７）とワイヤの層（１５）の相対運動を行わせる手段（２０，２１）が設けられているワイヤのこ引き装置において、のこ引き中、部分的又は完全にのこ引きされたスライス（２３）を互いに実質的に平行に維持し、スライスののこ引き中、のこ引きギャップ（２４）の幅を実質的に一定に保つように構成された保持装置（２２）を有し、
   保持装置（２２）は、のこ引き中、スライスの少なくとも一部と協働するようになった保持部材（２５）を有し、
   保持装置（２２）は、支持テーブル（１８）に取り付けられたガイド要素（３４）を有し、保持要素（２５）は、非作動位置からのこ引き中にスライス（２３）と協働する作動位置に動かされたり、この逆に動かされるようガイド要素（３４）に可動的に取り付けられ、
   保持部材（２５）は、弾性部材（３５）により静止当接部（４０）の方向に押圧され、
   保持部材（２５）は、非作動位置では静止当接部（４０）に当接し、作動位置ではのこ引きされるべき１又は複数の加工物（１７）と協働するよう静止当接部（４０）から間隔を置いて位置し、
   保持部材（２５）は、のこ引きされるべき加工物（１７）に沿ってワイヤガイドシリンダ（１１，１２）に対し実質的に平行な方向に延びる少なくとも１本のバー（３０）を有し、このバー（３０）は、のこ引きされるべき加工物のスライス（２３）に押しつけられるようになったエラストマーの少なくとも１つの被膜（３１）を備え、
   前記バー（３０）は、ワイヤガイドシリンダ（１１，１２）に平行な回動軸線（３２）回りに回動できるようガイド要素（３４）に摺動自在に取り付けられたクロスピース（３３）に取り付けられていることを特徴とするワイヤのこ引き装置。
2. 保持部材（２５）は、用いられる機械加工液よりも密度の高い濃厚な液体又はゲル（４５）を有し、濃厚液体又はゲル（４５）は、作動位置に保持されたバット（４６）内に入れられていて、スライスの前記一部（２６）が、濃厚な液体又はゲル（４５）内に少なくとも部分的に浸漬されてスライス（２３）を動かないようにしていることを特徴とする請求項１記載ののこ引き装置。
3. 少なくとも２つのワイヤガイドシリンダ（１１，１２）相互間に張り渡され、前記ワイヤガイドシリンダ（１１，１２）の表面に設けられた溝によって定位置に保持されたワイヤの少なくとも１つの層（１５）を有するワイヤのこ引き装置であって、前記溝は、ワイヤの前記ワイヤ層のワイヤ相互間の間隔、それ故、のこ引きギャップ（２４）だけ互いに離されるのこ引きスライス（２３）の厚さを定め、ワイヤは、支持テーブル（１８）に固定されたのこ引きされるべき少なくとも１つの加工物（１７）に当接した状態で往復運動又は連続運動で動くようになっており、のこ引きされるべき加工物（１７）とワイヤの層（１５）の相対運動を行わせる手段（２０，２１）が設けられているワイヤのこ引き装置において、のこ引き中、部分的又は完全にのこ引きされたスライス（２３）を互いに実質的に平行に維持し、スライスののこ引き中、のこ引きギャップ（２４）の幅を実質的に一定に保つように構成された保持装置（２２）を有し、
   保持装置（２２）は、のこ引き中、スライスの少なくとも一部と協働するようになった保持部材（２５）を有し、
   保持装置（２２）は、支持テーブル（１８）に取り付けられたガイド要素（３４）を有し、保持要素（２５）は、非作動位置からのこ引き中にスライス（２３）と協働する作動位置に動かされたり、この逆に動かされるようガイド要素（３４）に可動的に取り付けられ、
   保持部材（２５）は、弾性部材（３５）により静止当接部（４０）の方向に押圧され、
   保持部材（２５）は、非作動位置では静止当接部（４０）に当接し、作動位置ではのこ引きされるべき１又は複数の加工物（１７）と協働するよう静止当接部（４０）から間隔を置いて位置し、
   保持部材（２５）は、用いられる機械加工液よりも密度の高い濃厚な液体又はゲル（４５）を有し、濃厚液体又はゲル（４５）は、作動位置に保持されたバット（４６）内に入れられていて、スライスの前記一部（２６）が、濃厚な液体又はゲル（４５）内に少なくとも部分的に浸漬されてスライス（２３）を動かないようにしていることを特徴とするワイヤのこ引き装置。
4. 保持部材（２５）は、のこ引きされるべき加工物（１７）に沿ってワイヤガイドシリンダ（１１，１２）に対し実質的に平行な方向に延びる少なくとも１本のバー（３０）を有し、このバー（３０）は、のこ引きされるべき加工物のスライス（２３）に押しつけられるようになったエラストマーの少なくとも１つの被膜（３１）を備えていることを特徴とする請求項３記載ののこ引き装置。
5. 前記バー（３０）は、ワイヤガイドシリンダ（１１，１２）に平行な回動軸線（３２）回りに回動できるようガイド要素（３４）に摺動自在に取り付けられたクロスピース（３３）に取り付けられていることを特徴とする請求項４記載ののこ引き装置。
6. 少なくとも２つのワイヤガイドシリンダ（１１，１２）相互間に張り渡され、前記ワイヤガイドシリンダ（１１，１２）の表面に設けられた溝によって定位置に保持されたワイヤの少なくとも１つの層（１５）を有するワイヤのこ引き装置であって、前記溝は、ワイヤの前記ワイヤ層のワイヤ相互間の間隔、それ故、のこ引きギャップ（２４）だけ互いに離されるのこ引きスライス（２３）の厚さを定め、ワイヤは、支持テーブル（１８）に固定されたのこ引きされるべき少なくとも１つの加工物（１７）に当接した状態で往復運動又は連続運動で動くようになっており、のこ引きされるべき加工物（１７）とワイヤの層（１５）の相対運動を行わせる手段（２０，２１）が設けられているワイヤのこ引き装置において、のこ引き中、部分的又は完全にのこ引きされたスライス（２３）を互いに実質的に平行に維持し、スライスののこ引き中、のこ引きギャップ（２４）の幅を実質的に一定に保つように構成された保持装置（２２）を有し、
   保持装置（２２）は、保持部材（２５）として、スライス（２３）相互間ののこ引きギャップ（２４）内に少なくとも部分的に導入されてスライスを維持するようになった分離要素（５４，７２）を有し、これら分離要素は、少なくとも１つの支持体（５１，７４，８６）に取り付けられ、
   前記少なくとも１つの支持体（７４，８６）は、前記フレーム（１０）に取り付けられた少なくとも１つのバット（７０，８０）内に配置されていることを特徴とするワイヤのこ引き装置。
7. 分離要素は、前記のこ引きギャップ（２４）内に導入されるようになった適当な厚さのワイヤ（５０，５３）、ストリップ、ブレード又は壁で構成されていることを特徴とする請求項６記載ののこ引き装置。
8. 前記少なくとも１つの支持体（５１）は、支持テーブル（１８）に取り付けられており、前記少なくとも１つの支持体（５１）を非作動位置から作動位置に動かすことができることを特徴とする請求項６記載ののこ引き装置。
9. 前記少なくとも１つの支持体（５１）は、前記バー（３０）の上方に設けられていることを特徴とする請求項８記載ののこ引き装置。
10. 前記少なくとも１つの支持体（５１）は、バット（４６）の上方に設けられていることを特徴とする請求項８記載ののこ引き装置。
11. バット（８０）内に摺動自在に設けられている少なくとも２つの引出し（８１）内に配置された少なくとも２つの支持体（８６）を有していることを特徴とする請求項６記載ののこ引き装置。
12. ワイヤ（５０，７３）は、水平及び（又は）斜めの方向に且つ（或いは）交差したワイヤの層を形成するよう支持体（７４，８６）上に張られていることを特徴とする請求項７記載ののこ引き装置。
13. 保持装置は、Ｕ字形フレーム（６０）によって構成され、Ｕ字形フレームの長手方向枝部（６１）は、弾性部材（６２）によってのこ引きされたスライス（２３）に側方に押しつけられるようになっていることを特徴とする請求項１、３、６の何れか１項に記載ののこ引き装置。

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