JP5355249B2 - ワイヤーソー装置 - Google Patents
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ワイヤーと、前記ワイヤーが巻かれた複数の溝を表面に有するメインローラと、を備え、前記溝の断面形状が台形であり、前記溝の開口角度Aが30度以上38度以下であり、前記溝の底面の長さをBとした場合、B/Dが下記式を満足することを特徴とする。
(1/cos(A/2)−tan(A/2))<B/D≦0.800
なお、ここでB/Dの有効数字は小数点以下3桁までとする。
以下、より具体的な実施例について説明する。まず、ガラス板からなるスライスベースにエポキシ系接着剤を塗布し、156mm×156mm×300mmの直方体の多結晶シリコンブロックをスライスベースに設置し接着剤を硬化させた。
3 :ワイヤー
5 :メインローラ
7 :供給リール
8 :巻取リール
Claims (3)
- 表面に砥粒が固着され、かつ平均直径Dのワイヤーと、
前記ワイヤーが巻かれた複数の溝を表面に有するメインローラと、を備え、
前記溝の断面形状が台形であり、前記溝の開口角度Aが30度以上38度以下であり、前記溝の底面の長さをBとした場合、B/Dが下記式を満足することを特徴とするワイヤーソー装置。
(1/cos(A/2)−tan(A/2))<B/D≦0.800 - 前記溝の深さをCとした場合、C/Dが1.5以上1.85以下であることを特徴とする請求項1に記載のワイヤーソー装置。
- 前記溝間に形成された仕切壁の上面幅を0.05mm以上とすることを特徴とする請求項1または2に記載のワイヤーソー装置。
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