JPH1110510A - ワイヤソー装置及びワーク切削方法 - Google Patents
ワイヤソー装置及びワーク切削方法Info
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- JPH1110510A JPH1110510A JP9162977A JP16297797A JPH1110510A JP H1110510 A JPH1110510 A JP H1110510A JP 9162977 A JP9162977 A JP 9162977A JP 16297797 A JP16297797 A JP 16297797A JP H1110510 A JPH1110510 A JP H1110510A
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- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T83/929—Tool or tool with support
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】加工精度を向上することができるワイヤソー装
置を提供する。 【解決手段】ワイヤ１７が走行用モータの回転によって
右方向Ｒに進むとき、ワイヤ１７はワーク２１の内部か
ら右側外周に向かって走行されるように傾動され、ワー
ク２１の切削開始点はワーク２１の内部の点Ｃとなる。
また、ワイヤ１７が走行用モータの回転によって左方向
Ｌに進むとき、ワイヤ１７はワーク２１の内部から左側
外周に向かって走行されるように傾動され、ワーク２１
の切削開始点はワーク２１の内部の点Ｃとなる。そし
て、ワーク２１はワイヤ１７上に供給された遊離砥粒を
含む十分なスラリによって切削開始点Ｃから切削され
る。
置を提供する。 【解決手段】ワイヤ１７が走行用モータの回転によって
右方向Ｒに進むとき、ワイヤ１７はワーク２１の内部か
ら右側外周に向かって走行されるように傾動され、ワー
ク２１の切削開始点はワーク２１の内部の点Ｃとなる。
また、ワイヤ１７が走行用モータの回転によって左方向
Ｌに進むとき、ワイヤ１７はワーク２１の内部から左側
外周に向かって走行されるように傾動され、ワーク２１
の切削開始点はワーク２１の内部の点Ｃとなる。そし
て、ワーク２１はワイヤ１７上に供給された遊離砥粒を
含む十分なスラリによって切削開始点Ｃから切削され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料、磁性
材料、セラミック等の硬脆材料のワークを切削加工する
ためのワイヤソー装置に関するものである。
材料、セラミック等の硬脆材料のワークを切削加工する
ためのワイヤソー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソー装置においては、複数の加工
用ローラが所定間隔おきに配設され、加工用ローラには
正回転及び逆回転させるための走行用モータが連結され
ている。また、加工用ローラの外周には複数の環状溝が
所定ピッチで形成され、各加工用ローラ間において、環
状溝には１本のワイヤが順に巻回されている。そして、
制御部からの制御信号によりモータが正回転及び逆回転
されることによってワイヤが一定量前進されるととも
に、一定量後退され、全体として歩進的に前進する。こ
のとき、そのワイヤ上に遊離砥粒を含む水性または油性
のスラリが供給され、この状態でワイヤに対しワークが
押し付け接触されて、そのワークが切削されてウェハ状
にスライス加工される。
用ローラが所定間隔おきに配設され、加工用ローラには
正回転及び逆回転させるための走行用モータが連結され
ている。また、加工用ローラの外周には複数の環状溝が
所定ピッチで形成され、各加工用ローラ間において、環
状溝には１本のワイヤが順に巻回されている。そして、
制御部からの制御信号によりモータが正回転及び逆回転
されることによってワイヤが一定量前進されるととも
に、一定量後退され、全体として歩進的に前進する。こ
のとき、そのワイヤ上に遊離砥粒を含む水性または油性
のスラリが供給され、この状態でワイヤに対しワークが
押し付け接触されて、そのワークが切削されてウェハ状
にスライス加工される。
【０００３】このようなワイヤソー装置では、一般にワ
イヤとワークとの間に遊離砥粒を含むスラリが多く供給
されるとともに、それらの間から切粉が円滑に排出され
るほど、ワークの切削効率がよくなる。このため、ワイ
ヤをワークの切削面に対し傾斜させることにより、スラ
リの供給と切粉の排出とを円滑にするようにしたワイヤ
ソー装置が提案されている。
イヤとワークとの間に遊離砥粒を含むスラリが多く供給
されるとともに、それらの間から切粉が円滑に排出され
るほど、ワークの切削効率がよくなる。このため、ワイ
ヤをワークの切削面に対し傾斜させることにより、スラ
リの供給と切粉の排出とを円滑にするようにしたワイヤ
ソー装置が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のワイ
ヤソー装置において、図７に示すように、ワイヤ１０１
の走行に伴ってワーク１００の円周上の２点Ａ，Ｂが切
削開始点となるようにワイヤ１０１が傾斜されるとす
る。すると、図８に示すように、ワイヤ１０１が左から
右に向かって進行する場合には、切削開始点Ａ付近はワ
イヤ１０１上に供給された遊離砥粒を含む十分な量のス
ラリによってワイヤ１０１の直径以上に切削され、ワー
ク１００の切削方向における中間部以降においてはスラ
リ不足となる。また、ワイヤ１０１が右から左に向かっ
て進行する場合には、切削開始点Ｂ付近はワイヤ１０１
上に供給された遊離砥粒を含む十分な量のスラリによっ
てワイヤ１０１の直径以上に切削され、ワーク１００の
切削方向における中間部以降においてはスラリ供給が不
足となる。従って、切削されたウェハ１０２の両表面は
中間部において凸面となってしまい、所定均一厚さのウ
ェハ１０２を得ることがむずかしく、加工精度が低下す
るという問題がある。
ヤソー装置において、図７に示すように、ワイヤ１０１
の走行に伴ってワーク１００の円周上の２点Ａ，Ｂが切
削開始点となるようにワイヤ１０１が傾斜されるとす
る。すると、図８に示すように、ワイヤ１０１が左から
右に向かって進行する場合には、切削開始点Ａ付近はワ
イヤ１０１上に供給された遊離砥粒を含む十分な量のス
ラリによってワイヤ１０１の直径以上に切削され、ワー
ク１００の切削方向における中間部以降においてはスラ
リ不足となる。また、ワイヤ１０１が右から左に向かっ
て進行する場合には、切削開始点Ｂ付近はワイヤ１０１
上に供給された遊離砥粒を含む十分な量のスラリによっ
てワイヤ１０１の直径以上に切削され、ワーク１００の
切削方向における中間部以降においてはスラリ供給が不
足となる。従って、切削されたウェハ１０２の両表面は
中間部において凸面となってしまい、所定均一厚さのウ
ェハ１０２を得ることがむずかしく、加工精度が低下す
るという問題がある。
【０００５】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点を解決するためになされたものであって、その
目的は、切削加工の加工精度を向上することができるワ
イヤソー装置を提供することにある。
る問題点を解決するためになされたものであって、その
目的は、切削加工の加工精度を向上することができるワ
イヤソー装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、複数の加工用ローラ間に
巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行させるとと
もに、ワイヤとワークとを相対的に傾動させ、そのワイ
ヤ上に砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対しワーク
を接触させてそのワークを切削するようにしたワイヤソ
ー装置において、ワイヤの走行に伴うワークの切削開始
点が該ワークの外周以外の内部の点になるようにワイヤ
とワークとを相対的に傾動させるようにしたワイヤソー
装置をその要旨とする。
め、請求項１に記載の発明は、複数の加工用ローラ間に
巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行させるとと
もに、ワイヤとワークとを相対的に傾動させ、そのワイ
ヤ上に砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対しワーク
を接触させてそのワークを切削するようにしたワイヤソ
ー装置において、ワイヤの走行に伴うワークの切削開始
点が該ワークの外周以外の内部の点になるようにワイヤ
とワークとを相対的に傾動させるようにしたワイヤソー
装置をその要旨とする。
【０００７】請求項２に記載の発明は、複数の加工用ロ
ーラ間に巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行さ
せるとともに、傾動機構によってワイヤとワークとを相
対的に傾動させ、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリを供
給し、ワイヤに対しワークを接触させてそのワークを切
削するようにしたワイヤソー装置において、ワイヤの走
行方向を制御するとともに、ワイヤの走行方向の切り換
え時においてワークの切削開始点が該ワークの外周以外
の内部の点になるようにワイヤとワークとを相対的に傾
動させるように傾動機構を制御する制御手段を設けたワ
イヤソー装置をその要旨とする。
ーラ間に巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行さ
せるとともに、傾動機構によってワイヤとワークとを相
対的に傾動させ、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリを供
給し、ワイヤに対しワークを接触させてそのワークを切
削するようにしたワイヤソー装置において、ワイヤの走
行方向を制御するとともに、ワイヤの走行方向の切り換
え時においてワークの切削開始点が該ワークの外周以外
の内部の点になるようにワイヤとワークとを相対的に傾
動させるように傾動機構を制御する制御手段を設けたワ
イヤソー装置をその要旨とする。
【０００８】請求項３に記載の発明は、複数の加工用ロ
ーラ間に巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行さ
せるとともに、ワイヤとワークとを相対的に傾動させ、
そのワイヤ上に砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対
しワークを接触させてそのワークを切削するようにした
ワーク切削方法において、ワイヤの走行に伴うワークの
切削開始点が該ワークの外周以外の内部の点になるよう
にワイヤとワークとを相対的に傾動させるようにしたワ
ーク切削方法をその要旨とする。
ーラ間に巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行さ
せるとともに、ワイヤとワークとを相対的に傾動させ、
そのワイヤ上に砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対
しワークを接触させてそのワークを切削するようにした
ワーク切削方法において、ワイヤの走行に伴うワークの
切削開始点が該ワークの外周以外の内部の点になるよう
にワイヤとワークとを相対的に傾動させるようにしたワ
ーク切削方法をその要旨とする。
【０００９】請求項４に記載の発明は、複数の加工用ロ
ーラ間に巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行さ
せるとともに、傾動機構によってワイヤとワークとを相
対的に傾動させ、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリを供
給し、ワイヤに対しワークを接触させてそのワークを切
削するようにしたワーク切削方法において、ワイヤの走
行方向を制御するとともに、ワイヤの走行方向の切り換
え時においてワークの切削開始点が該ワークの外周以外
の内部の点になるようにワイヤとワークとを相対的に傾
動させるように傾動機構を制御するようにしたワーク切
削方法をその要旨とする。
ーラ間に巻回されたワイヤを正方向及び逆方向に走行さ
せるとともに、傾動機構によってワイヤとワークとを相
対的に傾動させ、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリを供
給し、ワイヤに対しワークを接触させてそのワークを切
削するようにしたワーク切削方法において、ワイヤの走
行方向を制御するとともに、ワイヤの走行方向の切り換
え時においてワークの切削開始点が該ワークの外周以外
の内部の点になるようにワイヤとワークとを相対的に傾
動させるように傾動機構を制御するようにしたワーク切
削方法をその要旨とする。
【００１０】なお、以下に述べる発明の実施の形態にお
いて、特許請求の範囲または課題を解決するための手段
に記載の「制御手段」は制御部３５に相当し、同じく
「傾動機構」は回動部材３１及び回動用モータ３２に相
当する。
いて、特許請求の範囲または課題を解決するための手段
に記載の「制御手段」は制御部３５に相当し、同じく
「傾動機構」は回動部材３１及び回動用モータ３２に相
当する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態のワイヤソー装置を図１〜図６に従って説明する。
形態のワイヤソー装置を図１〜図６に従って説明する。
【００１２】図１及び図２に示すように、切断機構１０
は装置基台１１上に立設されたコラム１２に装設されて
いる。この切断機構１０は回動部材３１を備え、回動部
材３１は回動用モータ３２によって、図３に示すように
時計方向及び反時計方向に回動される。回動部材３１は
互いに平行に延びる加工用駆動ローラ１３，１４及び加
工用被動ローラ１５，１６を備え、それらの外周には環
状溝１３ａ〜１６ａが所定ピッチで形成されている。な
お、図面においては理解を容易にするために、環状溝１
３ａ〜１６ａの数を実際よりも少なく描いてある。
は装置基台１１上に立設されたコラム１２に装設されて
いる。この切断機構１０は回動部材３１を備え、回動部
材３１は回動用モータ３２によって、図３に示すように
時計方向及び反時計方向に回動される。回動部材３１は
互いに平行に延びる加工用駆動ローラ１３，１４及び加
工用被動ローラ１５，１６を備え、それらの外周には環
状溝１３ａ〜１６ａが所定ピッチで形成されている。な
お、図面においては理解を容易にするために、環状溝１
３ａ〜１６ａの数を実際よりも少なく描いてある。
【００１３】１本の線材よりなるワイヤ１７は前記加工
用ローラ１３〜１６の各環状溝１３ａ〜１６ａに連続的
に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１８，１９は装
置基台１１上に配設され、このモータ１８，１９により
加工用駆動ローラ１３，１４が直接回転されると、ワイ
ヤ１７を介して加工用被動ローラ１５，１６が回転され
る。そして、これらの加工用ローラ１３〜１６の回転に
よって、ワイヤ１７が所定の走行速度で正方向（前進方
向）及び逆方向（後退方向）に走行される。このワイヤ
１７の走行は、一定量前進（例えば１０ｍ）及び一定量
後退（例えば９ｍ）を繰り返し、全体として歩進的に前
進するように行われる。また、図３において回動部材３
１が実線で示す位置から時計方向及び反時計方向に回動
されると、ワイヤ１７は図５に示すように、右及び左に
傾動される。
用ローラ１３〜１６の各環状溝１３ａ〜１６ａに連続的
に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１８，１９は装
置基台１１上に配設され、このモータ１８，１９により
加工用駆動ローラ１３，１４が直接回転されると、ワイ
ヤ１７を介して加工用被動ローラ１５，１６が回転され
る。そして、これらの加工用ローラ１３〜１６の回転に
よって、ワイヤ１７が所定の走行速度で正方向（前進方
向）及び逆方向（後退方向）に走行される。このワイヤ
１７の走行は、一定量前進（例えば１０ｍ）及び一定量
後退（例えば９ｍ）を繰り返し、全体として歩進的に前
進するように行われる。また、図３において回動部材３
１が実線で示す位置から時計方向及び反時計方向に回動
されると、ワイヤ１７は図５に示すように、右及び左に
傾動される。
【００１４】ワーク支持機構２０は前記切断機構１０の
上方に位置するように、装置基台１１上に立設されたコ
ラム１２に上下動可能に支持され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク２１が着脱自在にセットされる。ワー
ク昇降用モータ２２はコラム１２上に配設され、このモ
ータ２２により図示しないボールスクリュー等を介して
ワーク支持機構２０が上下動される。
上方に位置するように、装置基台１１上に立設されたコ
ラム１２に上下動可能に支持され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク２１が着脱自在にセットされる。ワー
ク昇降用モータ２２はコラム１２上に配設され、このモ
ータ２２により図示しないボールスクリュー等を介して
ワーク支持機構２０が上下動される。
【００１５】スラリ貯留タンク２３は、遊離砥粒（例え
ばＳｉＣ等）を含む水性または油性のスラリを貯留し、
装置基台１１下部に収容されている。スラリ供給機構３
０は切断機構１０の上方に対向配置され、加工用ローラ
１５，１６と平行に延び、ワーク２１の前後両側に位置
している。
ばＳｉＣ等）を含む水性または油性のスラリを貯留し、
装置基台１１下部に収容されている。スラリ供給機構３
０は切断機構１０の上方に対向配置され、加工用ローラ
１５，１６と平行に延び、ワーク２１の前後両側に位置
している。
【００１６】そして、このワイヤソー装置の運転時に
は、ワイヤ１７が切断機構１０の加工用ローラ１３〜１
６間で走行されながら、ワーク支持機構２０が切断機構
１０に向かって下降される。このとき、スラリ貯留タン
ク２３内のスラリがスラリ供給機構３０を介してワイヤ
１７上へ供給されるとともに、そのワイヤ１７に対しワ
ーク２１が押し付け接触され、ラッピング作用によって
ワーク２１がウェハ状にスライス加工される。
は、ワイヤ１７が切断機構１０の加工用ローラ１３〜１
６間で走行されながら、ワーク支持機構２０が切断機構
１０に向かって下降される。このとき、スラリ貯留タン
ク２３内のスラリがスラリ供給機構３０を介してワイヤ
１７上へ供給されるとともに、そのワイヤ１７に対しワ
ーク２１が押し付け接触され、ラッピング作用によって
ワーク２１がウェハ状にスライス加工される。
【００１７】リール機構４０は前記装置基台１１上に装
設され、ワイヤ１７を繰り出すための繰出しリール４１
と、ワイヤ１７を巻き取るための巻取りリール４２とを
備えている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ４３，４４は
装置基台１１に配設され、それらのモータ軸には図示し
ない伝達機構を介してリール４１，４２が連結されてい
る。
設され、ワイヤ１７を繰り出すための繰出しリール４１
と、ワイヤ１７を巻き取るための巻取りリール４２とを
備えている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ４３，４４は
装置基台１１に配設され、それらのモータ軸には図示し
ない伝達機構を介してリール４１，４２が連結されてい
る。
【００１８】トラバース機構５０は前記リール機構４０
に隣接して装置基台１１上に装設され、繰出しリール４
１からのワイヤ１７の繰出し及び巻取りリール４２への
ワイヤ１７の巻取りを、トラバース用モータ５１，５２
により、上下にトラバースしながら案内する。そして、
前記リール機構４０の両リール４１，４２の回転によ
り、繰出しリール４１から切断機構１０へワイヤ１７が
繰り出されるとともに、加工後のワイヤ１７が巻取りリ
ール４２に巻き取られる。
に隣接して装置基台１１上に装設され、繰出しリール４
１からのワイヤ１７の繰出し及び巻取りリール４２への
ワイヤ１７の巻取りを、トラバース用モータ５１，５２
により、上下にトラバースしながら案内する。そして、
前記リール機構４０の両リール４１，４２の回転によ
り、繰出しリール４１から切断機構１０へワイヤ１７が
繰り出されるとともに、加工後のワイヤ１７が巻取りリ
ール４２に巻き取られる。
【００１９】張力付与機構６０は、前記リール機構４０
と切断機構１０との間に配設されている。そして、切断
機構１０の加工用ローラ１３〜１６間に巻回されたワイ
ヤ１７の両端が、各ガイドローラ６１を介して張力付与
機構６０に掛装されている。この状態で、張力付与機構
６０の張力付与モータ６２，６３により、加工用ローラ
１３〜１６間のワイヤ１７に所定の張力が付与される。
と切断機構１０との間に配設されている。そして、切断
機構１０の加工用ローラ１３〜１６間に巻回されたワイ
ヤ１７の両端が、各ガイドローラ６１を介して張力付与
機構６０に掛装されている。この状態で、張力付与機構
６０の張力付与モータ６２，６３により、加工用ローラ
１３〜１６間のワイヤ１７に所定の張力が付与される。
【００２０】制御手段としての制御部３５は図示しない
制御盤内に設けられ、ワイヤ走行用モータ１８，１９、
ワーク昇降用モータ２２、リール回転用モータ４３，４
４、トラバース用モータ５１，５２、及び回動用モータ
３２の回転（回転方向及び回転数）を制御する。本実施
形態において、制御部３５は、ワイヤ走行用モータ１
８，１９の回転方向の切り換えに同期して回動用モータ
３２を回動させ、ワイヤ１７の進行に伴うワーク２１の
切削開始点が該ワーク２１の内部の点Ｃとなるように、
ワイヤ１７を傾動させる。
制御盤内に設けられ、ワイヤ走行用モータ１８，１９、
ワーク昇降用モータ２２、リール回転用モータ４３，４
４、トラバース用モータ５１，５２、及び回動用モータ
３２の回転（回転方向及び回転数）を制御する。本実施
形態において、制御部３５は、ワイヤ走行用モータ１
８，１９の回転方向の切り換えに同期して回動用モータ
３２を回動させ、ワイヤ１７の進行に伴うワーク２１の
切削開始点が該ワーク２１の内部の点Ｃとなるように、
ワイヤ１７を傾動させる。
【００２１】次に、上記のように構成されたワイヤソー
装置について動作を説明する。ワーク支持機構２０の降
下に伴って、ワーク２１がワイヤ１７に接触してワーク
２１の切削が開始される。このとき、ワイヤ１７は走行
用モータ１８，１９によって、正回転あるいは逆回転
し、全体として歩進的に前進する。すなわち、ワイヤ１
７は走行用モータ１８，１９によって一定量前進（正回
転）した後、一旦停止して、一定量後退（逆回転）す
る。
装置について動作を説明する。ワーク支持機構２０の降
下に伴って、ワーク２１がワイヤ１７に接触してワーク
２１の切削が開始される。このとき、ワイヤ１７は走行
用モータ１８，１９によって、正回転あるいは逆回転
し、全体として歩進的に前進する。すなわち、ワイヤ１
７は走行用モータ１８，１９によって一定量前進（正回
転）した後、一旦停止して、一定量後退（逆回転）す
る。
【００２２】ワイヤ１７が走行用モータ１８，１９の回
転によって図５において右方向Ｒに進むとき、回動用モ
ータ３２によって回動部材３１は図３に実線で示される
位置から反時計方向に回動され、ワイヤ１７は図５に示
すように、ワーク２１の内部から右側外周に向かって走
行されるように傾動される。この結果、ワーク２１の切
削開始点はワーク２１の内部の点Ｃとなる。そして、ワ
ーク２１はワイヤ１７上に供給された遊離砥粒を含む十
分なスラリによって切削開始点Ｃから切削される。
転によって図５において右方向Ｒに進むとき、回動用モ
ータ３２によって回動部材３１は図３に実線で示される
位置から反時計方向に回動され、ワイヤ１７は図５に示
すように、ワーク２１の内部から右側外周に向かって走
行されるように傾動される。この結果、ワーク２１の切
削開始点はワーク２１の内部の点Ｃとなる。そして、ワ
ーク２１はワイヤ１７上に供給された遊離砥粒を含む十
分なスラリによって切削開始点Ｃから切削される。
【００２３】また、ワイヤ１７が走行用モータ１８，１
９の回転によって図５において左方向Ｌに進むとき、回
動用モータ３２によって回動部材３１は図３に実線で示
される位置から時計方向に回動され、ワイヤ１７は図５
に示すように、ワーク２１の内部から左側外周に向かっ
て走行されるように傾動される。この結果、ワーク２１
の切削開始点は同様にワーク２１の内部の点Ｃとなる。
そして、ワーク２１はワイヤ１７上に供給された遊離砥
粒を含む十分なスラリによって切削開始点Ｃから切削さ
れる。従って、切削されたウェハ３６の両表面は平面と
なり、中央部が凸面になるのが防止され、所定均一厚さ
のウェハ３６が得られる。
９の回転によって図５において左方向Ｌに進むとき、回
動用モータ３２によって回動部材３１は図３に実線で示
される位置から時計方向に回動され、ワイヤ１７は図５
に示すように、ワーク２１の内部から左側外周に向かっ
て走行されるように傾動される。この結果、ワーク２１
の切削開始点は同様にワーク２１の内部の点Ｃとなる。
そして、ワーク２１はワイヤ１７上に供給された遊離砥
粒を含む十分なスラリによって切削開始点Ｃから切削さ
れる。従って、切削されたウェハ３６の両表面は平面と
なり、中央部が凸面になるのが防止され、所定均一厚さ
のウェハ３６が得られる。
【００２４】以上、詳述したように本実施形態によれ
ば、次のような効果を得ることができる。 ・ワーク２１の切削開始点が該ワーク２１の円周以外の
内部の点Ｃになるようにワイヤ１７を傾動させるように
したことにより、ワーク２１を内部から切削することが
でき、ウェハ３６の加工精度を向上することができる。
ば、次のような効果を得ることができる。 ・ワーク２１の切削開始点が該ワーク２１の円周以外の
内部の点Ｃになるようにワイヤ１７を傾動させるように
したことにより、ワーク２１を内部から切削することが
でき、ウェハ３６の加工精度を向上することができる。
【００２５】・ワイヤ１７はワーク２１の既切削部に案
内されてワーク２１を内部から切削するため、ワーク２
１の外周に発生するスラリ供給過多による切削キズを低
減することができる。
内されてワーク２１を内部から切削するため、ワーク２
１の外周に発生するスラリ供給過多による切削キズを低
減することができる。
【００２６】・制御部３５は、ワイヤ走行用モータ１
８，１９の回転方向の切り換えに同期して回動用モータ
３２を回動させるようにしているので、ワーク２１の切
削開始点が該ワーク２１の内部の点Ｃとなるように、ワ
イヤ１７の傾動タイミングを容易かつ確実に設定するこ
とができる。
８，１９の回転方向の切り換えに同期して回動用モータ
３２を回動させるようにしているので、ワーク２１の切
削開始点が該ワーク２１の内部の点Ｃとなるように、ワ
イヤ１７の傾動タイミングを容易かつ確実に設定するこ
とができる。
【００２７】なお、前記実施形態は次のように変更して
具体化することも可能である。 ・上記実施形態では、回動部材３１に加工用駆動ローラ
１３，１４及び加工用被動ローラ１５，１６を設け、回
動部材３１を回動させることによりワイヤ１７を傾動さ
せるようにしたが、これに限定されるものではなく、ワ
イヤ１７とワーク２１とを相対的に傾動させることがで
きる任意の機構を用いることができる。
具体化することも可能である。 ・上記実施形態では、回動部材３１に加工用駆動ローラ
１３，１４及び加工用被動ローラ１５，１６を設け、回
動部材３１を回動させることによりワイヤ１７を傾動さ
せるようにしたが、これに限定されるものではなく、ワ
イヤ１７とワーク２１とを相対的に傾動させることがで
きる任意の機構を用いることができる。
【００２８】・上記実施形態では、切断機構１０に回動
部材３１を設けてワイヤ１７を傾動させるようにした
が、ワーク支持機構２０に傾動機構を設けて、ワーク２
１をワイヤ１７に対して傾動させるようにしてもよい。
部材３１を設けてワイヤ１７を傾動させるようにした
が、ワーク支持機構２０に傾動機構を設けて、ワーク２
１をワイヤ１７に対して傾動させるようにしてもよい。
【００２９】さらに、本実施形態から把握される請求項
以外の技術的思想について、その効果とともに以下に記
載する。 ・請求項２に記載のワイヤソー装置において、前記複数
の加工用ローラを正回転及び逆回転させるための走行用
モータを備え、前記制御手段は、前記走行用モータの回
転方向を切り換えることによりワイヤの走行方向を切り
換え制御するワイヤソー装置。
以外の技術的思想について、その効果とともに以下に記
載する。 ・請求項２に記載のワイヤソー装置において、前記複数
の加工用ローラを正回転及び逆回転させるための走行用
モータを備え、前記制御手段は、前記走行用モータの回
転方向を切り換えることによりワイヤの走行方向を切り
換え制御するワイヤソー装置。
【００３０】このように構成すれば、制御手段は、ワー
クの切削開始点が該ワークの内部の点となるように、ワ
イヤの傾動タイミングを容易かつ確実に設定することが
できる。
クの切削開始点が該ワークの内部の点となるように、ワ
イヤの傾動タイミングを容易かつ確実に設定することが
できる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１又は２に記載の発明によれば、
ワークの外周以外の内部の点から切削が開始されるの
で、切削面が平面になり切削加工の加工精度を向上する
ことができるワイヤソー装置を提供することができる。
ワークの外周以外の内部の点から切削が開始されるの
で、切削面が平面になり切削加工の加工精度を向上する
ことができるワイヤソー装置を提供することができる。
【００３２】請求項３又は４に記載の発明によれば、ワ
ークの外周以外の内部の点から切削が開始されるので、
切削面が平面になり切削加工の加工精度を向上すること
ができる。
ークの外周以外の内部の点から切削が開始されるので、
切削面が平面になり切削加工の加工精度を向上すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態を示すワイヤソー装置の正面図
【図２】ワイヤソー装置の平面図
【図３】傾動機構を示す正面図
【図４】電気的構成を示すブロック図
【図５】ワークの切削平面における断面図
【図６】ワークの切削過程を示す部分平面図
【図７】従来のワークの切削平面における断面図
【図８】従来のワークの切削過程を示す部分平面図
１３，１４…加工用ローラとしての加工用駆動ローラ、
１５，１６…加工用ローラとしての加工用被動ローラ、
１７…ワイヤ、２１…ワーク、３１…傾動機構を構成す
る回動部材、３２…傾動機構を構成する回動用モータ、
３５…制御手段としての制御部。
１５，１６…加工用ローラとしての加工用被動ローラ、
１７…ワイヤ、２１…ワーク、３１…傾動機構を構成す
る回動部材、３２…傾動機構を構成する回動用モータ、
３５…制御手段としての制御部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木内 悦男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益半 導体工業 株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
ヤを正方向及び逆方向に走行させるとともに、ワイヤと
ワークとを相対的に傾動させ、そのワイヤ上に砥粒を含
むスラリを供給し、ワイヤに対しワークを接触させてそ
のワークを切削するようにしたワイヤソー装置におい
て、 ワイヤの走行に伴うワークの切削開始点が該ワークの外
周以外の内部の点になるようにワイヤとワークとを相対
的に傾動させるようにしたワイヤソー装置。 - 【請求項２】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
ヤを正方向及び逆方向に走行させるとともに、傾動機構
によってワイヤとワークとを相対的に傾動させ、そのワ
イヤ上に砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対しワー
クを接触させてそのワークを切削するようにしたワイヤ
ソー装置において、 前記ワイヤの走行方向を制御するとともに、前記ワイヤ
の走行方向の切り換え時においてワークの切削開始点が
該ワークの外周以外の内部の点になるようにワイヤとワ
ークとを相対的に傾動させるように前記傾動機構を制御
する制御手段を設けたワイヤソー装置。 - 【請求項３】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
ヤを正方向及び逆方向に走行させるとともに、ワイヤと
ワークとを相対的に傾動させ、そのワイヤ上に砥粒を含
むスラリを供給し、ワイヤに対しワークを接触させてそ
のワークを切削するようにしたワーク切削方法におい
て、 ワイヤの走行に伴うワークの切削開始点が該ワークの外
周以外の内部の点になるようにワイヤとワークとを相対
的に傾動させるようにしたワーク切削方法。 - 【請求項４】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
ヤを正方向及び逆方向に走行させるとともに、傾動機構
によってワイヤとワークとを相対的に傾動させ、そのワ
イヤ上に砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対しワー
クを接触させてそのワークを切削するようにしたワーク
切削方法において、 前記ワイヤの走行方向を制御するとともに、前記ワイヤ
の走行方向の切り換え時においてワークの切削開始点が
該ワークの外周以外の内部の点になるようにワイヤとワ
ークとを相対的に傾動させるように前記傾動機構を制御
するようにしたワーク切削方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9162977A JPH1110510A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | ワイヤソー装置及びワーク切削方法 |
| KR1019980022841A KR19990007070A (ko) | 1997-06-19 | 1998-06-18 | 와이어 소 및 피가공물 절삭방법 |
| EP98111255A EP0885679B1 (en) | 1997-06-19 | 1998-06-18 | Wire saw and method of cutting work |
| DE69817682T DE69817682T2 (de) | 1997-06-19 | 1998-06-18 | Drahtsäge und Schneidverfahren |
| TW087109882A TW369466B (en) | 1997-06-19 | 1998-06-19 | Wire saw and method of cutting work |
| US09/099,951 US6112737A (en) | 1997-06-19 | 1998-06-19 | Wire saw and method of cutting work |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9162977A JPH1110510A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | ワイヤソー装置及びワーク切削方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1110510A true JPH1110510A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=15764883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9162977A Pending JPH1110510A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | ワイヤソー装置及びワーク切削方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6112737A (ja) |
| EP (1) | EP0885679B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1110510A (ja) |
| KR (1) | KR19990007070A (ja) |
| DE (1) | DE69817682T2 (ja) |
| TW (1) | TW369466B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011110643A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Takatori Corp | ワイヤソー |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6279564B1 (en) | 1997-07-07 | 2001-08-28 | John B. Hodsden | Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire |
| JPH11309660A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ワイヤー式切断機及びワークを切断する方法 |
| JP2000061803A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-02-29 | Hitachi Cable Ltd | ソーワイヤ集合体及びそれを用いた切断方法及びその装置 |
| DE10052154A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Freiberger Compound Mat Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Einkristallen, Justiervorrichtung und Testverfahren zum Ermitteln einer Orientierung eines Einkristalls für ein derartiges Verfahren |
| DE10139962C1 (de) | 2001-08-14 | 2003-04-17 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem sprödharten Werkstück und Drahtsäge zur Durchführung des Verfahrens |
| GB2401031A (en) * | 2003-04-29 | 2004-11-03 | Adrian Richard Marshall | Improved cutting machinery |
| DE102007028439A1 (de) | 2007-06-18 | 2008-12-24 | Schott Ag | Verfahren zum Abtrennen einer Mehrzahl von Halbleiterscheiben von einem Halbleitermaterial-Rohblock |
| JP5412320B2 (ja) * | 2009-05-26 | 2014-02-12 | 株式会社コベルコ科研 | 被覆ソーワイヤ |
| CN102229213A (zh) * | 2011-06-23 | 2011-11-02 | 英利能源（中国）有限公司 | 一种硅块线锯机床及其硅块固定装置 |
| CN103481379A (zh) * | 2012-06-11 | 2014-01-01 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种多线切割机主轴摇摆机构 |
| MY183892A (en) * | 2012-10-15 | 2021-03-17 | Toyo Advanced Tech Co Ltd | Wire saw apparatus and cut-machining method |
| CN109664424B (zh) * | 2019-01-23 | 2021-03-16 | 福建北电新材料科技有限公司 | 多线切割方法、多线切割装置及其用途、半导体材料和功率器件 |
| KR102295965B1 (ko) | 2020-03-05 | 2021-08-30 | 김동현 | 근적외선 램프를 이용한 냉장고 제상장치 |
| KR102317538B1 (ko) | 2021-05-17 | 2021-10-26 | 김흥식 | 제상 및 제습이 가능한 근적외선 램프를 이용한 다용도 제상장치 |
| CN114474443B (zh) * | 2022-02-22 | 2023-03-21 | 河北同光半导体股份有限公司 | 晶体的偏置切割方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0635107B2 (ja) * | 1987-12-26 | 1994-05-11 | 株式会社タカトリハイテック | ワイヤソー |
| JP3071108B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2000-07-31 | 株式会社日平トヤマ | ワイヤソー装置 |
| JP3107143B2 (ja) * | 1995-07-14 | 2000-11-06 | 株式会社東京精密 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
| JPH0985736A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Toray Eng Co Ltd | ワイヤ式切断装置 |
| JP3672146B2 (ja) * | 1997-03-27 | 2005-07-13 | 三菱住友シリコン株式会社 | ワイヤソーおよびインゴット切断方法 |
-
1997
- 1997-06-19 JP JP9162977A patent/JPH1110510A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-18 EP EP98111255A patent/EP0885679B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-18 KR KR1019980022841A patent/KR19990007070A/ko not_active Application Discontinuation
- 1998-06-18 DE DE69817682T patent/DE69817682T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-19 TW TW087109882A patent/TW369466B/zh active
- 1998-06-19 US US09/099,951 patent/US6112737A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011110643A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Takatori Corp | ワイヤソー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990007070A (ko) | 1999-01-25 |
| DE69817682T2 (de) | 2004-03-11 |
| EP0885679A1 (en) | 1998-12-23 |
| DE69817682D1 (de) | 2003-10-09 |
| US6112737A (en) | 2000-09-05 |
| EP0885679B1 (en) | 2003-09-03 |
| TW369466B (en) | 1999-09-11 |
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