JPH1142547A - 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 - Google Patents
固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法Info
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- JPH1142547A JPH1142547A JP20184897A JP20184897A JPH1142547A JP H1142547 A JPH1142547 A JP H1142547A JP 20184897 A JP20184897 A JP 20184897A JP 20184897 A JP20184897 A JP 20184897A JP H1142547 A JPH1142547 A JP H1142547A
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- fixed
- reel
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】固定砥粒付ワイヤの長寿命化を図ることができ
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の提
供。 【解決手段】ワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワイヤ
１２を捩じりながら走行させてインゴット２２を切断す
る。これにより、固定砥粒付ワイヤ１２に固着されてい
る全周の砥粒でインゴット２２を切断することができ
る。したがって、砥粒１個当たりの負荷が低減し、直進
走行させて切断する場合に比べて固定砥粒付ワイヤ１２
の寿命が延びる。
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の提
供。 【解決手段】ワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワイヤ
１２を捩じりながら走行させてインゴット２２を切断す
る。これにより、固定砥粒付ワイヤ１２に固着されてい
る全周の砥粒でインゴット２２を切断することができ
る。したがって、砥粒１個当たりの負荷が低減し、直進
走行させて切断する場合に比べて固定砥粒付ワイヤ１２
の寿命が延びる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固定砥粒ワイヤソー
及びその被加工物切断方法に係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料の被加工物を切断する固
定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法に関する。
及びその被加工物切断方法に係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料の被加工物を切断する固
定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコン、ガラス、セラミック等の硬脆
性材料の被加工物を切断する切断装置の一つに固定砥粒
ワイヤソーがある。この固定砥粒ワイヤソーは、表面に
砥粒が固着されたワイヤ（以下、「固定砥粒付ワイヤ」
という。）を複数のグルーブローラに巻きかけてワイヤ
列を形成し、そのワイヤ列を走行させることにより、ワ
イヤ列に押し当てられた被加工物をウェーハに切断する
装置である。
性材料の被加工物を切断する切断装置の一つに固定砥粒
ワイヤソーがある。この固定砥粒ワイヤソーは、表面に
砥粒が固着されたワイヤ（以下、「固定砥粒付ワイヤ」
という。）を複数のグルーブローラに巻きかけてワイヤ
列を形成し、そのワイヤ列を走行させることにより、ワ
イヤ列に押し当てられた被加工物をウェーハに切断する
装置である。
【０００３】従来、この固定砥粒ワイヤソーでは、固定
砥粒付ワイヤを直進させて被加工物を切断していた。こ
のため、固定砥粒付ワイヤは、常に同じ箇所が被加工物
に接触していた。
砥粒付ワイヤを直進させて被加工物を切断していた。こ
のため、固定砥粒付ワイヤは、常に同じ箇所が被加工物
に接触していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定砥
粒付ワイヤは、ワイヤの周面全体に砥粒が固着された構
成であるため、上記のように同じ箇所で被加工物を切断
した場合には、その部分ばかりが磨耗してしまい、寿命
が短くなるという欠点がある。本発明は、このような事
情に鑑みてなされたもので、固定砥粒付ワイヤの長寿命
化を図ることができる固定砥粒ワイヤソー及びその被加
工物切断方法を提供することを目的とする。
粒付ワイヤは、ワイヤの周面全体に砥粒が固着された構
成であるため、上記のように同じ箇所で被加工物を切断
した場合には、その部分ばかりが磨耗してしまい、寿命
が短くなるという欠点がある。本発明は、このような事
情に鑑みてなされたもので、固定砥粒付ワイヤの長寿命
化を図ることができる固定砥粒ワイヤソー及びその被加
工物切断方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウ
ェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記固
定砥粒付ワイヤに捩じりを与えて回転させながら走行さ
せて、前記被加工物を切断することを特徴とする。
成するために、固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウ
ェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記固
定砥粒付ワイヤに捩じりを与えて回転させながら走行さ
せて、前記被加工物を切断することを特徴とする。
【０００６】本発明によれば、固定砥粒付ワイヤを捩じ
りながら走行させて被加工物を切断する。これにより、
固定砥粒付ワイヤに固着されている全周の砥粒で被加工
物を切断することができる。したがって、砥粒１個当た
りの負荷が低減し、固定砥粒付ワイヤを直進走行させて
切断する場合に比べ、固定砥粒付ワイヤの寿命が延び
る。
りながら走行させて被加工物を切断する。これにより、
固定砥粒付ワイヤに固着されている全周の砥粒で被加工
物を切断することができる。したがって、砥粒１個当た
りの負荷が低減し、固定砥粒付ワイヤを直進走行させて
切断する場合に比べ、固定砥粒付ワイヤの寿命が延び
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の実施
の形態について詳説する。図１は、本発明に係る固定砥
粒ワイヤソー１０の実施の形態の全体構成図である。
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の実施
の形態について詳説する。図１は、本発明に係る固定砥
粒ワイヤソー１０の実施の形態の全体構成図である。
【０００８】同図に示すように、固定砥粒付ワイヤ１２
は、一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに巻回されてお
り、この一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を複数の
ガイドローラ１６、１６、…にガイドされながら図中左
方向（ワイヤリール１４Ａからワイヤリール１４Ｂに向
かう方向）に走行する。前記一対のワイヤリール１４
Ａ、１４Ｂには、それぞれワイヤ繰出装置１５Ａ、１５
Ｂが設けられており、前記ワイヤリール１４Ａに巻回さ
れた固定砥粒付ワイヤ１２は、繰出装置１５Ａによって
捩じりを与えられながらワイヤリール１４Ａから繰り出
される。また、前記ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる
固定砥粒付ワイヤ１２は、繰出装置１５Ｂによって捩じ
りを無くされながらワイヤリール１４Ｂに巻き取られ
る。なお、このワイヤ繰出装置１５Ａ、１５Ｂの構成に
ついては、後に更に詳述する。
は、一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに巻回されてお
り、この一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を複数の
ガイドローラ１６、１６、…にガイドされながら図中左
方向（ワイヤリール１４Ａからワイヤリール１４Ｂに向
かう方向）に走行する。前記一対のワイヤリール１４
Ａ、１４Ｂには、それぞれワイヤ繰出装置１５Ａ、１５
Ｂが設けられており、前記ワイヤリール１４Ａに巻回さ
れた固定砥粒付ワイヤ１２は、繰出装置１５Ａによって
捩じりを与えられながらワイヤリール１４Ａから繰り出
される。また、前記ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる
固定砥粒付ワイヤ１２は、繰出装置１５Ｂによって捩じ
りを無くされながらワイヤリール１４Ｂに巻き取られ
る。なお、このワイヤ繰出装置１５Ａ、１５Ｂの構成に
ついては、後に更に詳述する。
【０００９】前記一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間
には、周面に多数の溝が一定ピッチで形成された三本の
グルーブローラ１８、１８、１８が逆三角形をなすよう
に配置されている。そして、この三本のグルーブローラ
１８、１８、１８に前記固定砥粒付ワイヤ１２が巻き掛
けられることにより、水平なワイヤ列２０が形成され
る。
には、周面に多数の溝が一定ピッチで形成された三本の
グルーブローラ１８、１８、１８が逆三角形をなすよう
に配置されている。そして、この三本のグルーブローラ
１８、１８、１８に前記固定砥粒付ワイヤ１２が巻き掛
けられることにより、水平なワイヤ列２０が形成され
る。
【００１０】前記ワイヤ列２０の上方には、被加工物で
あるインゴット２２が装着されるワークフィードテーブ
ル２４が設置されている。このワークフィードテーブル
２４は、前記ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動し、
その送りはワーク送り機構２６によって与えられる。前
記ワーク送り機構２６は、ワイヤ列２０に対して垂直に
設置されたベース２８を有している。このベース２８は
図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレームに固定さ
れており、その前面部に一対のガイドレール３０、３０
が敷設されている。前記ワークフィードテーブル２４
は、このガイドレール３０、３０上をスライド自在に支
持されている。
あるインゴット２２が装着されるワークフィードテーブ
ル２４が設置されている。このワークフィードテーブル
２４は、前記ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動し、
その送りはワーク送り機構２６によって与えられる。前
記ワーク送り機構２６は、ワイヤ列２０に対して垂直に
設置されたベース２８を有している。このベース２８は
図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレームに固定さ
れており、その前面部に一対のガイドレール３０、３０
が敷設されている。前記ワークフィードテーブル２４
は、このガイドレール３０、３０上をスライド自在に支
持されている。
【００１１】また、前記ベース２８の前面部には、前記
ガイドレール３０、３０に沿ってネジ棒３２が回動自在
に支持されている。このネジ棒３２は、ベース２８の頂
部に設置されたモータ３４と連結されており、このモー
タ３４を駆動することにより回動する。前記ワークフィ
ードテーブル２４は、このネジ棒３２に螺合された図示
しないナット部材と連結されており、前記モータ３４を
駆動することにより、回転するネジ棒３２とナット部材
の作用によってガイドレール３０、３０上をスライド移
動する。
ガイドレール３０、３０に沿ってネジ棒３２が回動自在
に支持されている。このネジ棒３２は、ベース２８の頂
部に設置されたモータ３４と連結されており、このモー
タ３４を駆動することにより回動する。前記ワークフィ
ードテーブル２４は、このネジ棒３２に螺合された図示
しないナット部材と連結されており、前記モータ３４を
駆動することにより、回転するネジ棒３２とナット部材
の作用によってガイドレール３０、３０上をスライド移
動する。
【００１２】前記インゴット２２は、この昇降移動する
ワークフィードテーブル２４の下部にスライスベース３
６を介して着脱自在に取り付けられる。前記ワイヤ列２
０の両側に形成されるワイヤ走行路には、それぞれダン
サローラ３７Ａ、３７Ｂが配設されており、このダンサ
ローラ３７Ａ、３７Ｂによって走行する固定砥粒付ワイ
ヤ１２に一定の張力が付与される。
ワークフィードテーブル２４の下部にスライスベース３
６を介して着脱自在に取り付けられる。前記ワイヤ列２
０の両側に形成されるワイヤ走行路には、それぞれダン
サローラ３７Ａ、３７Ｂが配設されており、このダンサ
ローラ３７Ａ、３７Ｂによって走行する固定砥粒付ワイ
ヤ１２に一定の張力が付与される。
【００１３】図２は、前記ワイヤリール１４Ａに設置さ
れたワイヤ繰出装置１５Ａの構成を示す側面図である。
同図に示すように、ワイヤリール１４Ａは、ベース３８
Ａ上に設置された架台４０Ａ上に載置されている。そし
て、その軸心部を貫通するボルト４２Ａによって架台４
０Ａ上に固定されている。
れたワイヤ繰出装置１５Ａの構成を示す側面図である。
同図に示すように、ワイヤリール１４Ａは、ベース３８
Ａ上に設置された架台４０Ａ上に載置されている。そし
て、その軸心部を貫通するボルト４２Ａによって架台４
０Ａ上に固定されている。
【００１４】前記ベース３８Ａ上には、架台４０Ａ上に
固定されたワイヤリール１４Ａを囲うように門型に形成
されたハウジング４４Ａが設置されている。このハウジ
ング４４Ａの上辺部中央には、リング状に形成された突
起部４４ａが形成されており、この突起部４４ａに回転
アーム４６Ａが回動自在に支持されている。前記回転ア
ーム４６Ａは、前記突起部４４ａとの結合部をリング状
に形成されており、その結合部の外周にはギア４６ａが
形成されている。この結合部の外周に形成されたギア４
６ａは、タイミングベルト４８Ａを介して駆動ギア５０
Ａと連結されており、該駆動ギア５０Ａは、前記ハウジ
ング４４Ａの上辺部に回動自在に支持されている。
固定されたワイヤリール１４Ａを囲うように門型に形成
されたハウジング４４Ａが設置されている。このハウジ
ング４４Ａの上辺部中央には、リング状に形成された突
起部４４ａが形成されており、この突起部４４ａに回転
アーム４６Ａが回動自在に支持されている。前記回転ア
ーム４６Ａは、前記突起部４４ａとの結合部をリング状
に形成されており、その結合部の外周にはギア４６ａが
形成されている。この結合部の外周に形成されたギア４
６ａは、タイミングベルト４８Ａを介して駆動ギア５０
Ａと連結されており、該駆動ギア５０Ａは、前記ハウジ
ング４４Ａの上辺部に回動自在に支持されている。
【００１５】前記駆動ギア５０Ａの回転軸には、前記ハ
ウジング４４Ａ上に設置されたモータ５２Ａのスピンド
ルが連結されており、このモータ５２Ａを駆動すること
により、前記回転アーム４６Ａが回転する。前記回転ア
ーム４６Ａの先端には、ワイヤリール１４Ａに巻回され
た固定砥粒付ワイヤ１２が、ワイヤリール１４Ａから一
定ピッチで繰り出されるようにガイドするトラバース装
置５４Ａが設置されている。このトラバース装置５４Ａ
は、ワイヤリール１４Ａに沿って配設されたガイドプレ
ート５６Ａを有しており、該ガイドプレート５６Ａは、
前記回転アーム４６Ａの先端に図示しないボルトによっ
て固定されている。
ウジング４４Ａ上に設置されたモータ５２Ａのスピンド
ルが連結されており、このモータ５２Ａを駆動すること
により、前記回転アーム４６Ａが回転する。前記回転ア
ーム４６Ａの先端には、ワイヤリール１４Ａに巻回され
た固定砥粒付ワイヤ１２が、ワイヤリール１４Ａから一
定ピッチで繰り出されるようにガイドするトラバース装
置５４Ａが設置されている。このトラバース装置５４Ａ
は、ワイヤリール１４Ａに沿って配設されたガイドプレ
ート５６Ａを有しており、該ガイドプレート５６Ａは、
前記回転アーム４６Ａの先端に図示しないボルトによっ
て固定されている。
【００１６】前記ガイドプレート５６Ａ上には、ガイド
プレート５６Ａに沿って一対のガイドレール６０Ａ、６
０Ａが敷設されている。このガイドレール６０Ａ、６０
Ａ上にはスライダ６２Ａがスライド自在に支持されてい
る。また、このガイドプレート５６Ａ上にはリニアモー
タの固定子６４Ａが配設されており、一方、前記スライ
ダ６２Ａには、リニアモータの可動子（図示せず）が設
けられている。前記スライダ６２Ａは、このリニアモー
タに駆動されて前記ガイドレール６０Ａ上をスライド移
動する。
プレート５６Ａに沿って一対のガイドレール６０Ａ、６
０Ａが敷設されている。このガイドレール６０Ａ、６０
Ａ上にはスライダ６２Ａがスライド自在に支持されてい
る。また、このガイドプレート５６Ａ上にはリニアモー
タの固定子６４Ａが配設されており、一方、前記スライ
ダ６２Ａには、リニアモータの可動子（図示せず）が設
けられている。前記スライダ６２Ａは、このリニアモー
タに駆動されて前記ガイドレール６０Ａ上をスライド移
動する。
【００１７】前記スライダ６２Ａには、トラバース用の
第１ガイドローラ６６Ａが回動自在に設けられており、
また、前記ガイドプレート５６Ａの頂部及び前記回転ア
ーム４６Ａの基端部には、方向転換用の第２ガイドロー
ラ６８Ａ及び第３ガイドローラ７０Ａが、それぞれ回動
自在に設けられている。前記ワイヤリール１４Ａから繰
り出された固定砥粒付ワイヤ１２は、この第１ガイドロ
ーラ６６Ａ、第２ガイドローラ６８Ａ及び第３ガイドロ
ーラ７０Ａによってワイヤリール１４Ａの上方にガイド
される。そして、前記ハウジング４４Ａに形成されたガ
イド孔７２を介して、その上方に設置されたガイドリン
グ７４Ａに通される。このガイドリング７４Ａは、前記
ハウジング４４Ａの上辺部中央に支持部材７６Ａを介し
て固定されており、前記固定砥粒付ワイヤ１２は、この
ガイドリング７４Ａに通されて９０°方向転換されたの
ち、他方側のワイヤリール１４Ｂに向けて繰り出され
る。
第１ガイドローラ６６Ａが回動自在に設けられており、
また、前記ガイドプレート５６Ａの頂部及び前記回転ア
ーム４６Ａの基端部には、方向転換用の第２ガイドロー
ラ６８Ａ及び第３ガイドローラ７０Ａが、それぞれ回動
自在に設けられている。前記ワイヤリール１４Ａから繰
り出された固定砥粒付ワイヤ１２は、この第１ガイドロ
ーラ６６Ａ、第２ガイドローラ６８Ａ及び第３ガイドロ
ーラ７０Ａによってワイヤリール１４Ａの上方にガイド
される。そして、前記ハウジング４４Ａに形成されたガ
イド孔７２を介して、その上方に設置されたガイドリン
グ７４Ａに通される。このガイドリング７４Ａは、前記
ハウジング４４Ａの上辺部中央に支持部材７６Ａを介し
て固定されており、前記固定砥粒付ワイヤ１２は、この
ガイドリング７４Ａに通されて９０°方向転換されたの
ち、他方側のワイヤリール１４Ｂに向けて繰り出され
る。
【００１８】ここで、前記トラバース装置５４Ａは、前
記回転アーム４６Ａに固定されているので、前記回転ア
ーム４６Ａが一回転すると、前記ワイヤリール１４Ａの
周囲を一回転する。一方、前記ワイヤリール１４Ａは、
架台４０Ａ上に固定されているので、前記トラバース装
置５４Ａが、このワイヤリール１４Ａの周囲を一回転す
ると、その回転するトラバース装置５４Ａによって、ワ
イヤリール１４Ａに巻回された固定砥粒付ワイヤ１２が
一周分ワイヤリール１４Ａから繰り出されることとな
る。
記回転アーム４６Ａに固定されているので、前記回転ア
ーム４６Ａが一回転すると、前記ワイヤリール１４Ａの
周囲を一回転する。一方、前記ワイヤリール１４Ａは、
架台４０Ａ上に固定されているので、前記トラバース装
置５４Ａが、このワイヤリール１４Ａの周囲を一回転す
ると、その回転するトラバース装置５４Ａによって、ワ
イヤリール１４Ａに巻回された固定砥粒付ワイヤ１２が
一周分ワイヤリール１４Ａから繰り出されることとな
る。
【００１９】したがって、前記回転アーム４６Ａを連続
的に回転させれば、ワイヤリール１４Ａに巻回された固
定砥粒付ワイヤ１２は、順次ワイヤリール１４Ａから繰
り出されてゆき、この結果、固定砥粒付ワイヤ１２がワ
イヤリール１４Ａからワイヤリール１４Ｂに向かって走
行する。また、前記トラバース装置５４Ａに設けられて
いる第１ガイドローラ６６Ａは、ワイヤリール１４Ａの
軸線に沿って移動することができるので、この第１ガイ
ドローラ６６Ａを固定砥粒付ワイヤ１２の繰出位置に追
従させて移動させれば、固定砥粒付ワイヤ１２は、常に
水平な状態でワイヤリール１４Ａから繰り出すことがで
きる。
的に回転させれば、ワイヤリール１４Ａに巻回された固
定砥粒付ワイヤ１２は、順次ワイヤリール１４Ａから繰
り出されてゆき、この結果、固定砥粒付ワイヤ１２がワ
イヤリール１４Ａからワイヤリール１４Ｂに向かって走
行する。また、前記トラバース装置５４Ａに設けられて
いる第１ガイドローラ６６Ａは、ワイヤリール１４Ａの
軸線に沿って移動することができるので、この第１ガイ
ドローラ６６Ａを固定砥粒付ワイヤ１２の繰出位置に追
従させて移動させれば、固定砥粒付ワイヤ１２は、常に
水平な状態でワイヤリール１４Ａから繰り出すことがで
きる。
【００２０】さらに、前記ガイドリング７４Ａに通され
る固定砥粒付ワイヤ１２は、回転するトラバース装置５
４Ａによってガイドリング７４Ａを中心に回転しながら
ガイドリング７４Ａに通される。したがって、前記固定
砥粒付ワイヤ１２は、このガイドリング７４Ａから繰り
出される際、ワイヤリール１４Ａが一回転するごとに一
回捩じられて繰り出されることとなる。
る固定砥粒付ワイヤ１２は、回転するトラバース装置５
４Ａによってガイドリング７４Ａを中心に回転しながら
ガイドリング７４Ａに通される。したがって、前記固定
砥粒付ワイヤ１２は、このガイドリング７４Ａから繰り
出される際、ワイヤリール１４Ａが一回転するごとに一
回捩じられて繰り出されることとなる。
【００２１】ここで、前記固定砥粒付ワイヤ１２は、前
記トラバース装置５４Ａがワイヤリール１４Ａの周囲を
連続的に回転することにより、ワイヤリール１４Ａから
順次繰り出されてゆくので、前記ワイヤリール１４Ａか
ら繰り出される固定砥粒付ワイヤ１２には、常に捩じり
が与えられながら繰り出されることとなる。したがっ
て、一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行する固
定砥粒付ワイヤ１２は、常に捩じられながら走行するこ
ととなる。
記トラバース装置５４Ａがワイヤリール１４Ａの周囲を
連続的に回転することにより、ワイヤリール１４Ａから
順次繰り出されてゆくので、前記ワイヤリール１４Ａか
ら繰り出される固定砥粒付ワイヤ１２には、常に捩じり
が与えられながら繰り出されることとなる。したがっ
て、一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行する固
定砥粒付ワイヤ１２は、常に捩じられながら走行するこ
ととなる。
【００２２】図１に示すように、他方側のワイヤリール
１４Ｂも同一の構成要素で構成されており、ガイドリン
グ７４Ｂを通された固定砥粒付ワイヤ１２は、ワイヤリ
ール１４Ｂの周囲を回転するトラバース装置５４Ｂによ
って、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる。この際、前
記トラバース装置５４Ｂに設けられている第１ガイドロ
ーラ６６Ｂは、固定砥粒付ワイヤ１２の巻取位置に追従
して移動する。したがって、固定砥粒付ワイヤ１２は、
常に水平な状態でワイヤリール１４Ｂに巻き取られるこ
ととなる。
１４Ｂも同一の構成要素で構成されており、ガイドリン
グ７４Ｂを通された固定砥粒付ワイヤ１２は、ワイヤリ
ール１４Ｂの周囲を回転するトラバース装置５４Ｂによ
って、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる。この際、前
記トラバース装置５４Ｂに設けられている第１ガイドロ
ーラ６６Ｂは、固定砥粒付ワイヤ１２の巻取位置に追従
して移動する。したがって、固定砥粒付ワイヤ１２は、
常に水平な状態でワイヤリール１４Ｂに巻き取られるこ
ととなる。
【００２３】また、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる
固定砥粒付ワイヤ１２は、ガイドリング７４Ｂを通され
てワイヤリール１４Ｂの周囲を回転しながら巻き取られ
ることにより、前記一方側のワイヤリール１４Ａから繰
り出される際に与えられた捩じりが除去される。したが
って、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる際は、一切捩
じりが無い状態でワイヤリール１４Ｂに巻き取られる。
固定砥粒付ワイヤ１２は、ガイドリング７４Ｂを通され
てワイヤリール１４Ｂの周囲を回転しながら巻き取られ
ることにより、前記一方側のワイヤリール１４Ａから繰
り出される際に与えられた捩じりが除去される。したが
って、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる際は、一切捩
じりが無い状態でワイヤリール１４Ｂに巻き取られる。
【００２４】本実施の形態の固定砥粒ワイヤソー１０
は、以上のように構成され、その作用は次の通りであ
る。まず、切断対象であるインゴット２２をスライスベ
ース３６を介してワークフィードテーブル２４に取り付
ける。次に、ワイヤ繰出装置１５Ａ、１５Ｂに設けられ
ているモータ５２Ａ、５２Ｂを同期させて駆動する。こ
れにより、トラバース装置５４Ａ、５４Ｂがワイヤリー
ル１４Ａ、１４Ｂの周囲を回転して、一方のワイヤリー
ル１４Ａから他方側のワイヤリール１４Ｂに向けて固定
砥粒付ワイヤ１２が繰り出される。
は、以上のように構成され、その作用は次の通りであ
る。まず、切断対象であるインゴット２２をスライスベ
ース３６を介してワークフィードテーブル２４に取り付
ける。次に、ワイヤ繰出装置１５Ａ、１５Ｂに設けられ
ているモータ５２Ａ、５２Ｂを同期させて駆動する。こ
れにより、トラバース装置５４Ａ、５４Ｂがワイヤリー
ル１４Ａ、１４Ｂの周囲を回転して、一方のワイヤリー
ル１４Ａから他方側のワイヤリール１４Ｂに向けて固定
砥粒付ワイヤ１２が繰り出される。
【００２５】この際、ワイヤリール１４Ａから繰り出さ
れる固定砥粒付ワイヤ１２は、トラバース装置５４Ａに
よって、常に水平な状態でワイヤリール１４Ａから繰り
出され、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる固定砥粒付
ワイヤ１２は、トラバース装置５４Ｂによって、常に水
平な状態でワイヤリール１４Ｂに巻き取られる。また、
このトラバース装置５４Ａは、ワイヤリール１４Ａの周
囲を回転しながら固定砥粒付ワイヤ１２をワイヤリール
１４Ａの軸線方向にガイドする。このため、そのイヤリ
ール１４Ａから繰り出された固定砥粒付ワイヤ１２に
は、ガイドリング７４Ａから繰り出される際に捩じりが
与えられる（トラバース装置５４Ａが一回転するごとに
一回捩じりが与えられる。）。
れる固定砥粒付ワイヤ１２は、トラバース装置５４Ａに
よって、常に水平な状態でワイヤリール１４Ａから繰り
出され、ワイヤリール１４Ｂに巻き取られる固定砥粒付
ワイヤ１２は、トラバース装置５４Ｂによって、常に水
平な状態でワイヤリール１４Ｂに巻き取られる。また、
このトラバース装置５４Ａは、ワイヤリール１４Ａの周
囲を回転しながら固定砥粒付ワイヤ１２をワイヤリール
１４Ａの軸線方向にガイドする。このため、そのイヤリ
ール１４Ａから繰り出された固定砥粒付ワイヤ１２に
は、ガイドリング７４Ａから繰り出される際に捩じりが
与えられる（トラバース装置５４Ａが一回転するごとに
一回捩じりが与えられる。）。
【００２６】このため、固定砥粒付ワイヤ１２は、捩じ
られながら一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂを間を走
行することとなり、この結果、ワイヤ列２０を構成する
固定砥粒付ワイヤ１２も捩じられながら走行することと
なる。そして、このように捩じりを与えられながら走行
するワイヤ列２０にインゴット２２を押し当てて、該イ
ンゴット２２を切断する。
られながら一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂを間を走
行することとなり、この結果、ワイヤ列２０を構成する
固定砥粒付ワイヤ１２も捩じられながら走行することと
なる。そして、このように捩じりを与えられながら走行
するワイヤ列２０にインゴット２２を押し当てて、該イ
ンゴット２２を切断する。
【００２７】すなわち、ワーク送り機構２６を駆動し
て、ワークフィードテーブル２４をワイヤ列２０に向け
て下降させる。そして、そのワークフィードテーブル２
４に取り付けられているインゴット２２をワイヤ列２０
に押し当てる。ワイヤ列２０に押し当てられたインゴッ
ト２２は、そのワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワイ
ヤ１２によって接触部を研削され、これにより、ウェー
ハに切断される。
て、ワークフィードテーブル２４をワイヤ列２０に向け
て下降させる。そして、そのワークフィードテーブル２
４に取り付けられているインゴット２２をワイヤ列２０
に押し当てる。ワイヤ列２０に押し当てられたインゴッ
ト２２は、そのワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワイ
ヤ１２によって接触部を研削され、これにより、ウェー
ハに切断される。
【００２８】ここで、固定砥粒付ワイヤ１２は、捩じり
が与えられて周方向に回転しながら走行しているので、
インゴット２２との接触面も常に変化する。したがっ
て、ワイヤに固着された全周の砥粒でインゴット２２を
切断することができる。そして、このように全周の砥粒
でインゴット２２を切断することにより、切断による砥
粒１個当たりの負荷が低減し、固定砥粒ワイヤ１２の寿
命を延ばすことができる。
が与えられて周方向に回転しながら走行しているので、
インゴット２２との接触面も常に変化する。したがっ
て、ワイヤに固着された全周の砥粒でインゴット２２を
切断することができる。そして、このように全周の砥粒
でインゴット２２を切断することにより、切断による砥
粒１個当たりの負荷が低減し、固定砥粒ワイヤ１２の寿
命を延ばすことができる。
【００２９】なお、切断を終えた固定砥粒付ワイヤ１２
は、他方側のワイヤリール１４Ｂに巻き取られるが、こ
の際、固定砥粒付ワイヤ１２は、トラバース装置５４Ｂ
によってワイヤリール１４Ｂの周囲を回転しながらワイ
ヤリール１４Ｂに巻き取られる。そして、これにより走
行時に与えられた捩じれが除去される。したがって、固
定砥粒付ワイヤ１２をワイヤリール１４Ｂに巻き取る際
は、一切捩じりが無い状態でワイヤリール１４Ｂに巻き
取ることができる。
は、他方側のワイヤリール１４Ｂに巻き取られるが、こ
の際、固定砥粒付ワイヤ１２は、トラバース装置５４Ｂ
によってワイヤリール１４Ｂの周囲を回転しながらワイ
ヤリール１４Ｂに巻き取られる。そして、これにより走
行時に与えられた捩じれが除去される。したがって、固
定砥粒付ワイヤ１２をワイヤリール１４Ｂに巻き取る際
は、一切捩じりが無い状態でワイヤリール１４Ｂに巻き
取ることができる。
【００３０】そして、一方のワイヤリール１４Ａに巻回
された固定砥粒付ワイヤ１２が、すべて他方側のワイヤ
リール１４Ｂに巻き取られたところで、各々のワイヤ繰
出装置１５Ａ、１５Ｂのモータ５２Ａ、５２Ｂの回転を
逆転させる。これにより、繰り出し側のワイヤリールと
巻き取り側のワイヤリールが切り替わるが、各々のワイ
ヤリール１４Ａ、１４Ｂに設けられているワイヤ繰出装
置１５Ａ、１５Ｂは同一構成であるため、どちら側を繰
り出し側として使用しても、固定砥粒付ワイヤ１２に捩
じりを与えながら走行させることができる。
された固定砥粒付ワイヤ１２が、すべて他方側のワイヤ
リール１４Ｂに巻き取られたところで、各々のワイヤ繰
出装置１５Ａ、１５Ｂのモータ５２Ａ、５２Ｂの回転を
逆転させる。これにより、繰り出し側のワイヤリールと
巻き取り側のワイヤリールが切り替わるが、各々のワイ
ヤリール１４Ａ、１４Ｂに設けられているワイヤ繰出装
置１５Ａ、１５Ｂは同一構成であるため、どちら側を繰
り出し側として使用しても、固定砥粒付ワイヤ１２に捩
じりを与えながら走行させることができる。
【００３１】このように、本実施の形態の固定砥粒ワイ
ヤソー１０によれば、固定砥粒付ワイヤ１２が、捩じり
を与えられて回転しながら走行するので、ワイヤに固着
された全周の砥粒でインゴット２２を切断することがで
きる。したがって、従来のように、固定砥粒付ワイヤ１
２を直進させて常に同じ箇所でインゴット２２を切断す
る場合に比べ、切断による砥粒１個当たりの負荷が低減
し、固定砥粒ワイヤ１２の寿命が飛躍的に延びる。
ヤソー１０によれば、固定砥粒付ワイヤ１２が、捩じり
を与えられて回転しながら走行するので、ワイヤに固着
された全周の砥粒でインゴット２２を切断することがで
きる。したがって、従来のように、固定砥粒付ワイヤ１
２を直進させて常に同じ箇所でインゴット２２を切断す
る場合に比べ、切断による砥粒１個当たりの負荷が低減
し、固定砥粒ワイヤ１２の寿命が飛躍的に延びる。
【００３２】なお、本実施の形態では、ガイドリング７
４Ａ、７４Ｂをワイヤリール１４Ａ、１４Ｂの上方同軸
上に配置し、図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレ
ームに固定しているが、特にこの位置に限定されるもの
ではない。
４Ａ、７４Ｂをワイヤリール１４Ａ、１４Ｂの上方同軸
上に配置し、図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレ
ームに固定しているが、特にこの位置に限定されるもの
ではない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固定砥粒付ワイヤを捩じりながら走行させて被加工物を
切断するので、固定砥粒付ワイヤに付着している全周の
砥粒で被加工物を切断することができる。したがって、
砥粒１個当たりの負荷が低減し、固定砥粒付ワイヤの寿
命が延びる。
固定砥粒付ワイヤを捩じりながら走行させて被加工物を
切断するので、固定砥粒付ワイヤに付着している全周の
砥粒で被加工物を切断することができる。したがって、
砥粒１個当たりの負荷が低減し、固定砥粒付ワイヤの寿
命が延びる。
【図１】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態
の全体構成図
の全体構成図
【図２】ワイヤ繰出装置の構成を示す側面図
１０…固定砥粒ワイヤソー １２…固定砥粒付ワイヤ １４Ａ、１４Ｂ…ワイヤリール １８…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ２２…インゴット ２４…ワークフィードテーブル ５４Ａ、５４Ｂ…トラバース装置 ７４Ａ、７４Ｂ…ガイドリング
Claims (2)
- 【請求項１】 一対のワイヤリール間を走行する固定砥
粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイ
ヤ列を形成し、そのワイヤ列に被加工物を押し当てるこ
とにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定
砥粒ワイヤソーにおいて、 固定された前記ワイヤリールの周囲を回転して、該ワイ
ヤリールに巻回された固定砥粒付ワイヤを該ワイヤリー
ルから一定ピッチで繰り出すトラバース装置と、 前記トラバース装置によって前記ワイヤリールから繰り
出された固定砥粒付ワイヤを前記ワイヤリールの軸線方
向にガイドすることによって、その固定砥粒付ワイヤに
捩じりを与えるガイド部材と、を有し、前記固定砥粒付
ワイヤに捩じりを与えて回転させながら走行させて、前
記被加工物を切断することを特徴とする固定砥粒ワイヤ
ソー。 - 【請求項２】 固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウ
ェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記固定砥粒付ワイヤに捩じりを与えて回転させながら
走行させて、前記被加工物を切断することを特徴とする
固定砥粒ワイヤソーの被加工物切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20184897A JPH1142547A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20184897A JPH1142547A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1142547A true JPH1142547A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16447899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20184897A Pending JPH1142547A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1142547A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1074366A1 (de) * | 1999-08-05 | 2001-02-07 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Sägedraht und Verfahren zum Trennläppen von sprödharten Werkstücken |
| JP2010089197A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー |
| CN107457925A (zh) * | 2017-09-03 | 2017-12-12 | 盛利维尔（中国）新材料技术股份有限公司 | 一种加扭转的螺旋线生产设备 |
-
1997
- 1997-07-28 JP JP20184897A patent/JPH1142547A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1074366A1 (de) * | 1999-08-05 | 2001-02-07 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Sägedraht und Verfahren zum Trennläppen von sprödharten Werkstücken |
| SG91278A1 (en) * | 1999-08-05 | 2002-09-17 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Saw wire and method for the cutting lapping of hard brittle workpieces |
| US6554686B1 (en) | 1999-08-05 | 2003-04-29 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Sawing wire and method for the cutting and lapping of hard brittle workpieces |
| JP2010089197A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー |
| CN107457925A (zh) * | 2017-09-03 | 2017-12-12 | 盛利维尔（中国）新材料技术股份有限公司 | 一种加扭转的螺旋线生产设备 |
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