JP2000005999A - ワイヤソーのグルーブローラ - Google Patents
ワイヤソーのグルーブローラInfo
- Publication number
- JP2000005999A JP2000005999A JP17719198A JP17719198A JP2000005999A JP 2000005999 A JP2000005999 A JP 2000005999A JP 17719198 A JP17719198 A JP 17719198A JP 17719198 A JP17719198 A JP 17719198A JP 2000005999 A JP2000005999 A JP 2000005999A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- groove
- roller
- tension
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ダンサローラによるテンション変動を抑えるこ
とができ、且つ、グルーブローラ外のワイヤを低張力に
することができるワイヤソーのグルーブローラを提供す
ること。 【解決手段】グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周面に
は、溝４６と溝４８とからなる多数の溝が一定ピッチで
形成される。これらの溝のうち、中央部に形成された溝
４６は、両端部の溝４８より大きい直径Ｄで形成され、
この溝４６に巻きかけられたワイヤ１４が切断部を形成
する。
とができ、且つ、グルーブローラ外のワイヤを低張力に
することができるワイヤソーのグルーブローラを提供す
ること。 【解決手段】グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周面に
は、溝４６と溝４８とからなる多数の溝が一定ピッチで
形成される。これらの溝のうち、中央部に形成された溝
４６は、両端部の溝４８より大きい直径Ｄで形成され、
この溝４６に巻きかけられたワイヤ１４が切断部を形成
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのグルー
ブローラに係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス
等の脆性材料を切断するワイヤソーのグルーブローラに
関する。
ブローラに係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス
等の脆性材料を切断するワイヤソーのグルーブローラに
関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、複数個のグルーブローラ
にワイヤを巻きかけてワイヤ列を形成し、このワイヤを
走行させると共に前記ワイヤ列に被加工物を押し当てて
ウェーハに切断する装置である。従って、ワイヤ列を走
行するワイヤには、被加工物を切断するのに必要な一定
の張力を付与する必要がある。
にワイヤを巻きかけてワイヤ列を形成し、このワイヤを
走行させると共に前記ワイヤ列に被加工物を押し当てて
ウェーハに切断する装置である。従って、ワイヤ列を走
行するワイヤには、被加工物を切断するのに必要な一定
の張力を付与する必要がある。
【０００３】従来のワイヤソーでは、グルーブローラ
外、即ち、グルーブローラとリールとの間にダンサロー
ラを設けて、ワイヤに一定の張力を付与していた。
外、即ち、グルーブローラとリールとの間にダンサロー
ラを設けて、ワイヤに一定の張力を付与していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ダンサ
ローラは、走行するワイヤにテンション変動を発生させ
ることがあり、従来のワイヤソーでは、このテンション
変動によって、グルーブローラの溝（特に、ワイヤを巻
きかけている両側の最初の溝）が深溝を生じやすいとい
う欠点があった。深溝を生じると、切断したウェーハの
精度が悪化するため、前記ダンサローラに定トルク装置
を設置して前記テンション変動を抑える必要があった。
ローラは、走行するワイヤにテンション変動を発生させ
ることがあり、従来のワイヤソーでは、このテンション
変動によって、グルーブローラの溝（特に、ワイヤを巻
きかけている両側の最初の溝）が深溝を生じやすいとい
う欠点があった。深溝を生じると、切断したウェーハの
精度が悪化するため、前記ダンサローラに定トルク装置
を設置して前記テンション変動を抑える必要があった。
【０００５】また、従来のワイヤソーでは、グルーブロ
ーラ外で張力を付与するため、グルーブローラ外のワイ
ヤの張力も大きくなり、リールやワイヤに大きな負荷が
かかるという欠点があった。この結果、ダンサローラが
急激な位置変動をした際に断線するという欠点があっ
た。また、キャプスタン等の特別な機構を設けることな
く、低テンションリールを用いることができないという
欠点があった。
ーラ外で張力を付与するため、グルーブローラ外のワイ
ヤの張力も大きくなり、リールやワイヤに大きな負荷が
かかるという欠点があった。この結果、ダンサローラが
急激な位置変動をした際に断線するという欠点があっ
た。また、キャプスタン等の特別な機構を設けることな
く、低テンションリールを用いることができないという
欠点があった。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ダンサローラによるテンション変動を抑えるこ
とができ、且つ、グルーブローラ外のワイヤを低張力に
することができるワイヤソーのグルーブローラを提供す
ることを目的とする。
もので、ダンサローラによるテンション変動を抑えるこ
とができ、且つ、グルーブローラ外のワイヤを低張力に
することができるワイヤソーのグルーブローラを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛
けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させると共に
前記ワイヤ列の切断部に被加工物を押し当てることによ
り、多数枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーにお
いて、前記グルーブローラは、外周面にワイヤを巻きか
ける多数の溝が形成され、該多数の溝のうち前記切断部
を形成するワイヤが巻きかけられた中央部の溝の直径
は、端部の溝の直径よりも大きな径で形成されることを
特徴とする。
するために、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛
けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させると共に
前記ワイヤ列の切断部に被加工物を押し当てることによ
り、多数枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーにお
いて、前記グルーブローラは、外周面にワイヤを巻きか
ける多数の溝が形成され、該多数の溝のうち前記切断部
を形成するワイヤが巻きかけられた中央部の溝の直径
は、端部の溝の直径よりも大きな径で形成されることを
特徴とする。
【０００８】また、本発明は前記目的を達成するため
に、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイ
ヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させると共に前記ワイ
ヤ列の切断部に被加工物を押し当てることにより、多数
枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーにおいて、前
記グルーブローラは、外周面に形成された溝の直径が前
記ワイヤの供給側から抜け側にかけて徐々に大きく形成
されることを特徴とする。
に、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイ
ヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させると共に前記ワイ
ヤ列の切断部に被加工物を押し当てることにより、多数
枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーにおいて、前
記グルーブローラは、外周面に形成された溝の直径が前
記ワイヤの供給側から抜け側にかけて徐々に大きく形成
されることを特徴とする。
【０００９】本発明によれば、グルーブローラ内を走行
するワイヤは、グルーブローラの溝の直径が増大するこ
とによって周速が増大し、被加工物の切断に必要な張力
が付与される。このように、グルーブローラ内でワイヤ
に張力を付与するので、グルーブローラ外に設置された
ダンサローラは、ワイヤが弛まない程度の張力を付与す
れば良いことになる。従って、リールにかかる負荷が小
さくなり、キャプスタン等を用いなくても低テンション
リールを用いることができる。また、ダンサローラの位
置を走行するワイヤの負荷も小さくなるので、ダンサロ
ーラが激しく位置変動した際に、ワイヤの断線が発生し
にくくなる。
するワイヤは、グルーブローラの溝の直径が増大するこ
とによって周速が増大し、被加工物の切断に必要な張力
が付与される。このように、グルーブローラ内でワイヤ
に張力を付与するので、グルーブローラ外に設置された
ダンサローラは、ワイヤが弛まない程度の張力を付与す
れば良いことになる。従って、リールにかかる負荷が小
さくなり、キャプスタン等を用いなくても低テンション
リールを用いることができる。また、ダンサローラの位
置を走行するワイヤの負荷も小さくなるので、ダンサロ
ーラが激しく位置変動した際に、ワイヤの断線が発生し
にくくなる。
【００１０】また、ダンサローラによって生じたワイヤ
のテンション変動は、グルーブローラの端部で吸収され
る。従って、定トルク装置等を用いなくても、切断部を
走行するワイヤの張力は安定し、精度良く被加工物を切
断することができる。
のテンション変動は、グルーブローラの端部で吸収され
る。従って、定トルク装置等を用いなくても、切断部を
走行するワイヤの張力は安定し、精度良く被加工物を切
断することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのグルーブローラの好ましい実施の形態に
ついて詳説する。まず、本発明の第１の実施の形態のグ
ルーブローラが適用されるワイヤソーについて説明す
る。
るワイヤソーのグルーブローラの好ましい実施の形態に
ついて詳説する。まず、本発明の第１の実施の形態のグ
ルーブローラが適用されるワイヤソーについて説明す
る。
【００１２】図１は、ワイヤソー１０の全体構成を示す
斜視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２に
巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１
６、…で形成されるワイヤ走行路を経て、３本のグルー
ブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻きかけられ、平行
なワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワ
イヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成され
た他方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリール
に巻き取られる。なお、３本のグルーブローラ１８Ａ〜
１８Ｃの具体的な構成については、後に詳説する。
斜視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２に
巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１
６、…で形成されるワイヤ走行路を経て、３本のグルー
ブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻きかけられ、平行
なワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワ
イヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成され
た他方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリール
に巻き取られる。なお、３本のグルーブローラ１８Ａ〜
１８Ｃの具体的な構成については、後に詳説する。
【００１３】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ワイヤ洗浄装置２６は、走行するワイヤ１４に洗浄液を
噴射してワイヤ１４に付着したスラリをワイヤ１４から
除去する。ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト
（図示せず）が架設されていて、走行するワイヤ１４に
このウェイトで一定の張力を付与し、前記ワイヤリール
１２とグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃとの間のワイヤ１
４の弛みを防止している。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ワイヤ洗浄装置２６は、走行するワイヤ１４に洗浄液を
噴射してワイヤ１４に付着したスラリをワイヤ１４から
除去する。ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト
（図示せず）が架設されていて、走行するワイヤ１４に
このウェイトで一定の張力を付与し、前記ワイヤリール
１２とグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃとの間のワイヤ１
４の弛みを防止している。
【００１４】前記一対のワイヤリール１２及びグルーブ
ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図
示せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモ
ータを駆動することにより、一対のワイヤリール１２間
を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、
ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィー
ドテーブル２８が設置されている。ワークフィードテー
ブル２８にはチルチングユニット３０が備えられてお
り、インゴット３２は、このチルチングユニット３０の
下部に保持される。チルチングユニット３０は、インゴ
ット３２を水平方向及び垂直方向に傾斜自在に保持し、
これにより、インゴット３２の結晶方位合わせがなされ
る。
ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図
示せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモ
ータを駆動することにより、一対のワイヤリール１２間
を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、
ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィー
ドテーブル２８が設置されている。ワークフィードテー
ブル２８にはチルチングユニット３０が備えられてお
り、インゴット３２は、このチルチングユニット３０の
下部に保持される。チルチングユニット３０は、インゴ
ット３２を水平方向及び垂直方向に傾斜自在に保持し、
これにより、インゴット３２の結晶方位合わせがなされ
る。
【００１５】図２は、グルーブローラ１８Ａの正面図で
ある。なお、グルーブローラ１８Ｂ、１８Ｃも同様の構
成であり、説明を省略する。グルーブローラ１８Ａは、
軸芯４２とローラ４４で形成されている。軸芯４２は、
円筒状又は円柱状に形成され、ワイヤソーの本体フレー
ム（図示せず）に固定された一対のスピンドルブラケッ
トに回動自在に支持されている。
ある。なお、グルーブローラ１８Ｂ、１８Ｃも同様の構
成であり、説明を省略する。グルーブローラ１８Ａは、
軸芯４２とローラ４４で形成されている。軸芯４２は、
円筒状又は円柱状に形成され、ワイヤソーの本体フレー
ム（図示せず）に固定された一対のスピンドルブラケッ
トに回動自在に支持されている。
【００１６】一方、ローラ４４は、円筒状に形成され、
前記軸芯４２の外周面に固着される。ローラ４４の外周
面には、溝４６と溝４８から成る多数の溝が一定ピッチ
で形成され、これらの溝にワイヤ１４が巻きかけられて
前記ワイヤ列２０が形成される。これらの溝のうち溝４
８は、直径ｄで形成され、グルーブローラの両端部に設
けられる。また、溝４６は、溝４８より大径の直径Ｄで
形成され、この溝４６に巻きかけられたワイヤ１４がイ
ンゴット３２を切断する切断部を形成する。
前記軸芯４２の外周面に固着される。ローラ４４の外周
面には、溝４６と溝４８から成る多数の溝が一定ピッチ
で形成され、これらの溝にワイヤ１４が巻きかけられて
前記ワイヤ列２０が形成される。これらの溝のうち溝４
８は、直径ｄで形成され、グルーブローラの両端部に設
けられる。また、溝４６は、溝４８より大径の直径Ｄで
形成され、この溝４６に巻きかけられたワイヤ１４がイ
ンゴット３２を切断する切断部を形成する。
【００１７】なお、本実施の形態では、溝４８をグルー
ブローラ１８Ａ〜１８Ｃの両端に３本ずつ設けたが、こ
れに限定するものではなく、何本であってもよい。ま
た、溝４８、４８…のピッチは、溝４６、４６…のピッ
チと異なってもよい。次に、前記の如く構成された本発
明に係るグルーブローラの第１の実施の形態の作用につ
いて説明する。
ブローラ１８Ａ〜１８Ｃの両端に３本ずつ設けたが、こ
れに限定するものではなく、何本であってもよい。ま
た、溝４８、４８…のピッチは、溝４６、４６…のピッ
チと異なってもよい。次に、前記の如く構成された本発
明に係るグルーブローラの第１の実施の形態の作用につ
いて説明する。
【００１８】上述したワイヤソー１０では、ワイヤリー
ル１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転させること
によりワイヤ１４を高速走行させ、ワイヤ列２０の切断
部にインゴット３２を押し当てて切断する。このとき、
切断部を高速走行するワイヤ１４には、グルーブローラ
１８Ａ〜１８Ｃ内で、切断に必要な張力が付与される。
即ち、ワイヤ１４は、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの
溝４８から溝４６の位置に移行する際に、溝の直径の増
大に伴って、ワイヤ１４の周速が増大し、所定の張力が
付与される。また、切断部を走行したワイヤ１４は、溝
４６から溝４８の位置を走行する際に、溝の直径の縮小
に伴って周速が低下し、張力が減少する。
ル１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転させること
によりワイヤ１４を高速走行させ、ワイヤ列２０の切断
部にインゴット３２を押し当てて切断する。このとき、
切断部を高速走行するワイヤ１４には、グルーブローラ
１８Ａ〜１８Ｃ内で、切断に必要な張力が付与される。
即ち、ワイヤ１４は、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの
溝４８から溝４６の位置に移行する際に、溝の直径の増
大に伴って、ワイヤ１４の周速が増大し、所定の張力が
付与される。また、切断部を走行したワイヤ１４は、溝
４６から溝４８の位置を走行する際に、溝の直径の縮小
に伴って周速が低下し、張力が減少する。
【００１９】このように、本実施の形態では、グルーブ
ローラ１８Ａ〜１８Ｃ内でワイヤ１４に張力を付与する
と共にグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ内で張力を減少さ
せるので、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ外では、ワイ
ヤ１４は低張力となる。従って、ワイヤリール１２にか
かる負荷は小さくなり、キャプスタン等の特別な機構を
設けなくても低テンションリールを用いることができ
る。また、ダンサローラ２４には、弛まない程度の張力
を付与する軽量の錘が吊設すればよいので、ダンサロー
ラ２４が急激な位置変動をしても、ワイヤ１４の断線は
生じにくくなる。
ローラ１８Ａ〜１８Ｃ内でワイヤ１４に張力を付与する
と共にグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ内で張力を減少さ
せるので、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ外では、ワイ
ヤ１４は低張力となる。従って、ワイヤリール１２にか
かる負荷は小さくなり、キャプスタン等の特別な機構を
設けなくても低テンションリールを用いることができ
る。また、ダンサローラ２４には、弛まない程度の張力
を付与する軽量の錘が吊設すればよいので、ダンサロー
ラ２４が急激な位置変動をしても、ワイヤ１４の断線は
生じにくくなる。
【００２０】また、ダンサローラ２４によって発生する
ワイヤ１４のテンション変動は、溝４８にワイヤ１４を
巻きかけることにより、切断部には伝わらなくなる。従
って、定トルク装置をダンサローラに取り付けなくて
も、インゴット３２を精度良く切断することができる。
なお、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃは、図３に示すよ
うに、溝の深さが等しくなるようにローラ４４を形成し
てもよい。更に、図４に示すように、ローラ４４を分割
して形成し、一方に溝４６を形成し、他方に溝４８を形
成してもよい。
ワイヤ１４のテンション変動は、溝４８にワイヤ１４を
巻きかけることにより、切断部には伝わらなくなる。従
って、定トルク装置をダンサローラに取り付けなくて
も、インゴット３２を精度良く切断することができる。
なお、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃは、図３に示すよ
うに、溝の深さが等しくなるようにローラ４４を形成し
てもよい。更に、図４に示すように、ローラ４４を分割
して形成し、一方に溝４６を形成し、他方に溝４８を形
成してもよい。
【００２１】次に、本発明のグルーブローラの第２の実
施の形態について説明する。図５は、第２の実施の形態
のグルーブローラの側面図である。なお、図２で示した
第１の実施の形態と同一若しくは類似の部材について
は、同一の符号を付してその説明を省略する。第２の実
施の形態のグルーブローラ５０は、ワイヤ１４を一方向
に走行させる方式のワイヤソー、例えば固定砥粒付エン
ドレスワイヤソーにおいて用いられる。このワイヤソー
では、複数のグルーブローラ５０、５０、…にワイヤ１
４を巻きかけることにより、インゴット３２を切断する
ワイヤ列２０が形成される。
施の形態について説明する。図５は、第２の実施の形態
のグルーブローラの側面図である。なお、図２で示した
第１の実施の形態と同一若しくは類似の部材について
は、同一の符号を付してその説明を省略する。第２の実
施の形態のグルーブローラ５０は、ワイヤ１４を一方向
に走行させる方式のワイヤソー、例えば固定砥粒付エン
ドレスワイヤソーにおいて用いられる。このワイヤソー
では、複数のグルーブローラ５０、５０、…にワイヤ１
４を巻きかけることにより、インゴット３２を切断する
ワイヤ列２０が形成される。
【００２２】図５に示すように、グルーブローラ５０
は、軸芯４２と、軸芯４２の外周に固着されたローラ５
２で形成される。ローラ５２は、ワイヤ１４の供給側か
ら抜け側にかけて直径が増大するようなテーパ状に形成
され、外周面に多数の溝５４、５４、…が、一定ピッチ
で且つ同じ深さで形成されている。即ち、多数の溝５
４、５４、…は、ワイヤ１４の供給側から抜け側にかけ
て直径が徐々に大きくなるように形成されている。
は、軸芯４２と、軸芯４２の外周に固着されたローラ５
２で形成される。ローラ５２は、ワイヤ１４の供給側か
ら抜け側にかけて直径が増大するようなテーパ状に形成
され、外周面に多数の溝５４、５４、…が、一定ピッチ
で且つ同じ深さで形成されている。即ち、多数の溝５
４、５４、…は、ワイヤ１４の供給側から抜け側にかけ
て直径が徐々に大きくなるように形成されている。
【００２３】上記の如く構成された第２の実施の形態で
は、グルーブローラ５０内を走行するワイヤ１４は、溝
５４の直径の増大に伴って周速が増大し、徐々に張力が
付与される。このように、第２の実施の形態では、グル
ーブローラ５０内でワイヤ１４に張力が付与されるの
で、第１の実施の形態と同様の効果を得られる。
は、グルーブローラ５０内を走行するワイヤ１４は、溝
５４の直径の増大に伴って周速が増大し、徐々に張力が
付与される。このように、第２の実施の形態では、グル
ーブローラ５０内でワイヤ１４に張力が付与されるの
で、第１の実施の形態と同様の効果を得られる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
グルーブローラ内で張力を付与するので、グルーブロー
ラ外のワイヤを低張力にすることができる。また、ワイ
ヤをグルーブローラ端部の溝に巻きかけた後に中央部の
溝に巻きかけるので、ワイヤのテンション変動を端部で
吸収し、中央部に伝わるのを阻止することができる。
グルーブローラ内で張力を付与するので、グルーブロー
ラ外のワイヤを低張力にすることができる。また、ワイ
ヤをグルーブローラ端部の溝に巻きかけた後に中央部の
溝に巻きかけるので、ワイヤのテンション変動を端部で
吸収し、中央部に伝わるのを阻止することができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成を示す斜視図
【図２】本発明の第１の実施の形態のグルーブローラの
側面図
側面図
【図３】図２の別形状のグルーブローラの側面図
【図４】図２の別形状のグルーブローラの側面図
【図５】本発明の第２の実施の形態のグルーブローラの
側面図
側面図
１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ４２…軸芯 ４４…ローラ ４６、４８…溝
Claims (2)
- 【請求項１】 ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させると共
に前記ワイヤ列の切断部に被加工物を押し当てることに
より、多数枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーに
おいて、 前記グルーブローラは、外周面にワイヤを巻きかける多
数の溝が形成され、該多数の溝のうち前記切断部を形成
するワイヤを巻きかける中央部の溝の直径は、端部の溝
の直径よりも大きな径で形成されることを特徴とするワ
イヤソーのグルーブローラ。 - 【請求項２】 ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させると共
に前記ワイヤ列の切断部に被加工物を押し当てることに
より、多数枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーに
おいて、 前記グルーブローラは、外周面に形成された溝の直径が
前記ワイヤの供給側から抜け側にかけて徐々に大きく形
成されることを特徴とするワイヤソーのグルーブロー
ラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17719198A JP2000005999A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | ワイヤソーのグルーブローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17719198A JP2000005999A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | ワイヤソーのグルーブローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000005999A true JP2000005999A (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=16026778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17719198A Pending JP2000005999A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | ワイヤソーのグルーブローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000005999A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007175784A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
| JP2010030000A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Sumco Corp | グルーブローラの構造 |
| WO2013051183A1 (ja) * | 2011-10-04 | 2013-04-11 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワイヤソー |
| CN109732797A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-10 | 东莞金坤新材料股份有限公司 | 一种用于切削导磁件的线切割机 |
-
1998
- 1998-06-24 JP JP17719198A patent/JP2000005999A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007175784A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
| JP2010030000A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Sumco Corp | グルーブローラの構造 |
| WO2013051183A1 (ja) * | 2011-10-04 | 2013-04-11 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワイヤソー |
| JP2013078824A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワークの切断方法及びワイヤソー |
| US9707635B2 (en) | 2011-10-04 | 2017-07-18 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing workpiece and wire saw |
| KR101905833B1 (ko) * | 2011-10-04 | 2018-10-08 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 워크의 절단방법 및 와이어소 |
| CN109732797A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-10 | 东莞金坤新材料股份有限公司 | 一种用于切削导磁件的线切割机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3427956B2 (ja) | ワイヤーソー装置 | |
| JPH09109013A (ja) | 鋸挽き装置 | |
| JPH08323611A (ja) | ワイヤソー | |
| KR100394223B1 (ko) | 와이어 톱 | |
| JPH1110509A (ja) | ワイヤソーの張力付与機構 | |
| JPH1110510A (ja) | ワイヤソー装置及びワーク切削方法 | |
| JP2000005999A (ja) | ワイヤソーのグルーブローラ | |
| JPH11198018A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JPH11188602A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JP2000309015A (ja) | ワイヤソーのワイヤ巻掛方法 | |
| JP3324940B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JPH11138412A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
| JPH09155858A (ja) | ワイヤソーのワーク切断装置 | |
| JPH11138414A (ja) | エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ | |
| JPH02274460A (ja) | ワイヤ式切断装置の切断速度制御方法およびその装置 | |
| JPH1158208A (ja) | ワイヤソ−用ボビン | |
| JPH0429512B2 (ja) | ||
| JPH10249699A (ja) | マルチワイヤーソー | |
| KR20010049960A (ko) | 톱와이어 및 경질의 취성가공품의 절삭랩핑방법 | |
| JPH07205141A (ja) | ワイヤーソーのウェーハ切断方法及びその装置 | |
| JP3211930B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JP2000108012A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH11348029A (ja) | ワイヤソーのワイヤ捩じり機構 | |
| JP2000042895A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH10337648A (ja) | ワイヤソー |