JPH10337648A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
- Publication number
- JPH10337648A JPH10337648A JP14682397A JP14682397A JPH10337648A JP H10337648 A JPH10337648 A JP H10337648A JP 14682397 A JP14682397 A JP 14682397A JP 14682397 A JP14682397 A JP 14682397A JP H10337648 A JPH10337648 A JP H10337648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- wire saw
- rollers
- pair
- saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】構造が簡単でコンパクトなワイヤソーを提供す
る。 【解決手段】本発明のワイヤソー１０は、砥粒が表面に
固定された多数本のワイヤ２４、２４…を、一対の溝付
きローラ１４、１６のみで張架することにより一対の溝
付きローラ１４、１６間にワイヤ列を形成している。そ
して、前記ワイヤソー１０は、一対のローラ１４、１６
を回転駆動してワイヤ列を走行させ、このワイヤ列に半
導体インゴット２６を押接することにより半導体インゴ
ット２６を多数のウェーハ２８、２８…に切断する。
る。 【解決手段】本発明のワイヤソー１０は、砥粒が表面に
固定された多数本のワイヤ２４、２４…を、一対の溝付
きローラ１４、１６のみで張架することにより一対の溝
付きローラ１４、１６間にワイヤ列を形成している。そ
して、前記ワイヤソー１０は、一対のローラ１４、１６
を回転駆動してワイヤ列を走行させ、このワイヤ列に半
導体インゴット２６を押接することにより半導体インゴ
ット２６を多数のウェーハ２８、２８…に切断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は円柱状の半導体イン
ゴット、セラミック、ガラス等のワークを走行するワイ
ヤ列で薄板状のウェーハに切断するワイヤソーに係り、
特にダイヤモンド砥粒が電着固定されたワイヤでワーク
を切断するワイヤソーに関する。
ゴット、セラミック、ガラス等のワークを走行するワイ
ヤ列で薄板状のウェーハに切断するワイヤソーに係り、
特にダイヤモンド砥粒が電着固定されたワイヤでワーク
を切断するワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のワイヤソーとして特開平
５−２４０３４号公報、米国特許第４，７２７，８５２
号公報に開示されたものがある。特開平５−２４０３４
号公報のワイヤソーは、２個のボビンと複数の溝付きロ
ーラとを備えており、２個のボビンの間に張架されたワ
イヤを複数の溝付きローラに巻回してワイヤ列を形成し
ている。そして、このワイヤソーは、２個のボビンの回
転で前記ワイヤ列を走行させて、このワイヤ列にワーク
を押接することによりワークをウェーハに切断する。
５−２４０３４号公報、米国特許第４，７２７，８５２
号公報に開示されたものがある。特開平５−２４０３４
号公報のワイヤソーは、２個のボビンと複数の溝付きロ
ーラとを備えており、２個のボビンの間に張架されたワ
イヤを複数の溝付きローラに巻回してワイヤ列を形成し
ている。そして、このワイヤソーは、２個のボビンの回
転で前記ワイヤ列を走行させて、このワイヤ列にワーク
を押接することによりワークをウェーハに切断する。
【０００３】一方、米国特許第４，７２７，８５２号公
報のワイヤソーは、複数本のワイヤをフレームに張架し
てワイヤ列を形成すると共に、このフレームの長手方向
両側部をガイドレールに移動自在に支持し、そして、前
記フレームをガイドレールに沿って往復移動させるクラ
ンク式の移動機構を備えている。このワイヤソーによれ
ば、移動機構でフレームを往復移動させることによりワ
イヤ列を走行させて、このワイヤ列にワークを押接する
ことによりワークをウェーハに切断する。
報のワイヤソーは、複数本のワイヤをフレームに張架し
てワイヤ列を形成すると共に、このフレームの長手方向
両側部をガイドレールに移動自在に支持し、そして、前
記フレームをガイドレールに沿って往復移動させるクラ
ンク式の移動機構を備えている。このワイヤソーによれ
ば、移動機構でフレームを往復移動させることによりワ
イヤ列を走行させて、このワイヤ列にワークを押接する
ことによりワークをウェーハに切断する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
５−２４０３４号公報のワイヤソーは、２個のボビンや
複数の溝付きローラを有しているので、部品点数が多く
構造が複雑になるという欠点がある。また、米国特許第
４，７２７，８５２号公報のワイヤソーは、フレームを
移動させてワイヤ列を走行させる構造なので装置が大型
化し、また、フレームとガイドレールとの機械的接触に
よりフレームの移動中に騒音が発生するという欠点があ
る。
５−２４０３４号公報のワイヤソーは、２個のボビンや
複数の溝付きローラを有しているので、部品点数が多く
構造が複雑になるという欠点がある。また、米国特許第
４，７２７，８５２号公報のワイヤソーは、フレームを
移動させてワイヤ列を走行させる構造なので装置が大型
化し、また、フレームとガイドレールとの機械的接触に
よりフレームの移動中に騒音が発生するという欠点があ
る。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、構造が簡単でコンパクトなワイヤソーを提供す
ることを目的とする。
もので、構造が簡単でコンパクトなワイヤソーを提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、砥粒が表面に固定された多数本のワイヤ
を、一対の溝付きローラに張架することにより該一対の
溝付きローラ間にワイヤ列を形成し、該一対のローラを
回転駆動して前記ワイヤ列を走行させ、該ワイヤ列にワ
ークを押接することによりワークを多数のウェーハに切
断することを特徴としている。
するために、砥粒が表面に固定された多数本のワイヤ
を、一対の溝付きローラに張架することにより該一対の
溝付きローラ間にワイヤ列を形成し、該一対のローラを
回転駆動して前記ワイヤ列を走行させ、該ワイヤ列にワ
ークを押接することによりワークを多数のウェーハに切
断することを特徴としている。
【０００７】請求項１記載のワイヤソーは、一対の溝付
きローラのみでワイヤ列を形成すると共に、一対の溝付
きローラの回転でワイヤ列を走行させる構造としてい
る。したがって、本発明のワイヤソーは、ワイヤ巻取用
の２個のボビンを備えた特開平５−２４０３４号公報の
ワイヤソーや、ワイヤ列をフレームに形成してこのフレ
ームを往復移動させる米国特許第４，７２７，８５２号
公報のワイヤソーと比較して、構造が簡単でコンパクト
になる。
きローラのみでワイヤ列を形成すると共に、一対の溝付
きローラの回転でワイヤ列を走行させる構造としてい
る。したがって、本発明のワイヤソーは、ワイヤ巻取用
の２個のボビンを備えた特開平５−２４０３４号公報の
ワイヤソーや、ワイヤ列をフレームに形成してこのフレ
ームを往復移動させる米国特許第４，７２７，８５２号
公報のワイヤソーと比較して、構造が簡単でコンパクト
になる。
【０００８】請求項２記載の発明は、前記ワイヤとして
無端状のワイヤを適用したものである。この発明によれ
ば、一対の溝付きローラでワイヤを周回移動させるだけ
でワイヤ列を走行させることができる。また、無端状の
ワイヤを適用することで、ワイヤを一方向にエンドレス
で周回させることができるので、ワイヤを往復走行させ
るワイヤソーと比較して構造、制御系を簡素化できる。
無端状のワイヤを適用したものである。この発明によれ
ば、一対の溝付きローラでワイヤを周回移動させるだけ
でワイヤ列を走行させることができる。また、無端状の
ワイヤを適用することで、ワイヤを一方向にエンドレス
で周回させることができるので、ワイヤを往復走行させ
るワイヤソーと比較して構造、制御系を簡素化できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破
断を含む正面図である。同図に示すワイヤソー１０は、
装置本体を構成するカバー１２内に一対の溝付きローラ
１４、１６が各々の回転軸１８、２０を水平にして設置
されている。溝付きローラ１４の回転軸１８は、図２に
示すように駆動モータ２２の図示しない出力軸に連結さ
れ、駆動モータ２２からの回転力によって溝付きローラ
１４が一定の回転速度で回転されるように設定されてい
る。また、同様に溝付きローラ１６の回転軸２０も図示
しない駆動モータの出力軸に連結され、この駆動モータ
からの回転力によって溝付きローラ１６が一定の回転速
度で回転されるように設定されている。
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破
断を含む正面図である。同図に示すワイヤソー１０は、
装置本体を構成するカバー１２内に一対の溝付きローラ
１４、１６が各々の回転軸１８、２０を水平にして設置
されている。溝付きローラ１４の回転軸１８は、図２に
示すように駆動モータ２２の図示しない出力軸に連結さ
れ、駆動モータ２２からの回転力によって溝付きローラ
１４が一定の回転速度で回転されるように設定されてい
る。また、同様に溝付きローラ１６の回転軸２０も図示
しない駆動モータの出力軸に連結され、この駆動モータ
からの回転力によって溝付きローラ１６が一定の回転速
度で回転されるように設定されている。
【００１０】本実施の形態では、溝付きローラ１４、１
６の双方に前記駆動モータを設けたが、これに限られる
ものではなく、一方の溝付きローラにのみ駆動モータを
設けても良い。また、本実施の形態の如く、溝付きロー
ラ１４、１６の双方に駆動モータを設ける場合には、溝
付きローラ１４、１６の回転速度に所定の速度差を生じ
させて、後述するワイヤ２４に速度差による張力を与え
るようにすれば良い。例えば、溝付きローラ１４をワイ
ヤ２４の繰り出し側に設定し、溝付きローラ１６をワイ
ヤ２４の巻き取り側に設定した場合には、溝付きローラ
１４よりも溝付きローラ１６の回転速度を若干速くすれ
ば良い。この場合、溝付きローラ１４の回転軸１８と駆
動モータ２２の出力軸との間に、滑りクラッチを設けて
過剰の張力がワイヤ２４に加わった時に、滑りクラッチ
の作用で溝付きローラ１４を空回りさせれば、過剰の張
力によるワイヤ２４の損傷を防止することができる。
６の双方に前記駆動モータを設けたが、これに限られる
ものではなく、一方の溝付きローラにのみ駆動モータを
設けても良い。また、本実施の形態の如く、溝付きロー
ラ１４、１６の双方に駆動モータを設ける場合には、溝
付きローラ１４、１６の回転速度に所定の速度差を生じ
させて、後述するワイヤ２４に速度差による張力を与え
るようにすれば良い。例えば、溝付きローラ１４をワイ
ヤ２４の繰り出し側に設定し、溝付きローラ１６をワイ
ヤ２４の巻き取り側に設定した場合には、溝付きローラ
１４よりも溝付きローラ１６の回転速度を若干速くすれ
ば良い。この場合、溝付きローラ１４の回転軸１８と駆
動モータ２２の出力軸との間に、滑りクラッチを設けて
過剰の張力がワイヤ２４に加わった時に、滑りクラッチ
の作用で溝付きローラ１４を空回りさせれば、過剰の張
力によるワイヤ２４の損傷を防止することができる。
【００１１】ところで、前記ワイヤ２４は複数本揃えら
れて、溝付きローラ１４の外周面に一定のピッチで形成
された多数の溝１５、１５…、及び溝付きローラ１６の
外周面に一定のピッチで形成された多数の溝（図示せ
ず）に張架されている。これらのワイヤ２４、２４…
は、その表面にダイヤモンド砥粒が電着された固定砥粒
ワイヤである。また、前記ワイヤ２４は、溝付きローラ
１４、１６間を周回移動するように無端状に形成されて
いる。これにより、溝付きローラ１４、１６間には、多
数のワイヤ２４、２４…から成るワイヤ列が形成され、
このワイヤ列の走行によって柱状体の半導体インゴット
（ワーク）２６が多数枚のウェーハ２８、２８…に切断
される。
れて、溝付きローラ１４の外周面に一定のピッチで形成
された多数の溝１５、１５…、及び溝付きローラ１６の
外周面に一定のピッチで形成された多数の溝（図示せ
ず）に張架されている。これらのワイヤ２４、２４…
は、その表面にダイヤモンド砥粒が電着された固定砥粒
ワイヤである。また、前記ワイヤ２４は、溝付きローラ
１４、１６間を周回移動するように無端状に形成されて
いる。これにより、溝付きローラ１４、１６間には、多
数のワイヤ２４、２４…から成るワイヤ列が形成され、
このワイヤ列の走行によって柱状体の半導体インゴット
（ワーク）２６が多数枚のウェーハ２８、２８…に切断
される。
【００１２】前記半導体インゴット２６は、スライスベ
ース３０を上方に向けて設置されると共に、スライスベ
ース３０を介してワーク保持部材３２の下端部に固定さ
れている。このワーク保持部材３２は、上端部が揺動用
モータ３４の出力軸３６を介して昇降用ベース３８に揺
動自在に支持されている。前記揺動用モータ３４の出力
軸３６は、昇降用ベース３８に回動自在に支持されてい
る。したがって、揺動用モータ３４を駆動すると、ワー
ク保持部材３２を介して半導体インゴット２６を図１中
矢印で示す方向に揺動させることができる。これによ
り、半導体インゴット２６の揺動切断が可能となる。
ース３０を上方に向けて設置されると共に、スライスベ
ース３０を介してワーク保持部材３２の下端部に固定さ
れている。このワーク保持部材３２は、上端部が揺動用
モータ３４の出力軸３６を介して昇降用ベース３８に揺
動自在に支持されている。前記揺動用モータ３４の出力
軸３６は、昇降用ベース３８に回動自在に支持されてい
る。したがって、揺動用モータ３４を駆動すると、ワー
ク保持部材３２を介して半導体インゴット２６を図１中
矢印で示す方向に揺動させることができる。これによ
り、半導体インゴット２６の揺動切断が可能となる。
【００１３】前記昇降用ベース３８は、カバー１２上に
立設された門型コラム４０のリニアガイド４２、４２に
支持されている。前記リニアガイド４２、４２は、コラ
ム４０の内側面に上下方向に形成され、このリニアガイ
ド４２、４２に前記昇降用ベース３８の両側面に形成さ
れたガイド４４、４４が支持されている。これにより昇
降用ベース３８が、即ち半導体インゴット２６がリニア
ガイド４２、４２に沿って上下移動自在に支持される。
立設された門型コラム４０のリニアガイド４２、４２に
支持されている。前記リニアガイド４２、４２は、コラ
ム４０の内側面に上下方向に形成され、このリニアガイ
ド４２、４２に前記昇降用ベース３８の両側面に形成さ
れたガイド４４、４４が支持されている。これにより昇
降用ベース３８が、即ち半導体インゴット２６がリニア
ガイド４２、４２に沿って上下移動自在に支持される。
【００１４】前記コラム４０の上部には昇降用モータ４
６が設置され、この昇降用モータ４６は出力軸を下方に
向けて設置されている。前記出力軸にはねじ棒４８が連
結され、このねじ棒４８が前記昇降用ベース３８に螺合
されている。したがって、昇降用モータ４６でねじ棒４
８を回転させると、ねじ棒４８の送り作用とリニアガイ
ド４２、４２の直進ガイド作用とによって昇降用ベース
３８が、即ち半導体インゴット２６が上下移動される。
６が設置され、この昇降用モータ４６は出力軸を下方に
向けて設置されている。前記出力軸にはねじ棒４８が連
結され、このねじ棒４８が前記昇降用ベース３８に螺合
されている。したがって、昇降用モータ４６でねじ棒４
８を回転させると、ねじ棒４８の送り作用とリニアガイ
ド４２、４２の直進ガイド作用とによって昇降用ベース
３８が、即ち半導体インゴット２６が上下移動される。
【００１５】図１において、テンショナー用ガイドロー
ラ５０、５０が半導体インゴット２６を挟む位置に設け
られる。このガイドローラ５０、５０はワイヤ列に下側
から当接してワイヤ列に張力を付与するものであり、ア
ーム５２を介して駆動部５４に連結されている。駆動部
５４でアーム５２の回動位置を調節し、ガイドローラ５
０、５０の位置を可変することでワイヤ列に付与する張
力を調節することができる。
ラ５０、５０が半導体インゴット２６を挟む位置に設け
られる。このガイドローラ５０、５０はワイヤ列に下側
から当接してワイヤ列に張力を付与するものであり、ア
ーム５２を介して駆動部５４に連結されている。駆動部
５４でアーム５２の回動位置を調節し、ガイドローラ５
０、５０の位置を可変することでワイヤ列に付与する張
力を調節することができる。
【００１６】次に、前記の如く構成されたワイヤソー１
０の作用について説明する。まず、切断前の半導体イン
ゴット２６のスライスベース３０をワーク保持部材３２
に固定して、半導体インゴット２６をワイヤソー１０に
固定する。この状態が図１の状態である。なお、半導体
インゴット２６はワイヤソー１０への固定前に、その結
晶軸方位が予め検出されており、結晶軸に対して直交す
る方向に切断されるようにワーク保持部材３２に位置決
め固定される。
０の作用について説明する。まず、切断前の半導体イン
ゴット２６のスライスベース３０をワーク保持部材３２
に固定して、半導体インゴット２６をワイヤソー１０に
固定する。この状態が図１の状態である。なお、半導体
インゴット２６はワイヤソー１０への固定前に、その結
晶軸方位が予め検出されており、結晶軸に対して直交す
る方向に切断されるようにワーク保持部材３２に位置決
め固定される。
【００１７】次に、溝付きローラ１４、１６を回転させ
てワイヤ列を図１中時計回り方向に一定の速度で周回移
動させると共に、昇降用モータ４６でねじ棒４８を回転
させて半導体インゴット２６を下降移動させ、半導体イ
ンゴット２６を走行中のワイヤ列に押接する。そして、
半導体インゴット２６を下方向に送り移動させながら、
揺動用モータ３４で半導体インゴット２６を図１中矢印
方向に揺動して揺動切断を開始する。これによって、半
導体インゴット２６がワイヤ列で徐々に切断されてい
く。この切断動作を継続してワイヤ列が半導体インゴッ
ト２６を完全に切断し、そして、スライスベース３０を
所定量切断した時に切断動作を終了する。この状態が図
２の状態である。これによって、本実施の形態のワイヤ
ソー１０は、半導体インゴット２６から多数枚のウェー
ハ２８、２８…を切断することができる。
てワイヤ列を図１中時計回り方向に一定の速度で周回移
動させると共に、昇降用モータ４６でねじ棒４８を回転
させて半導体インゴット２６を下降移動させ、半導体イ
ンゴット２６を走行中のワイヤ列に押接する。そして、
半導体インゴット２６を下方向に送り移動させながら、
揺動用モータ３４で半導体インゴット２６を図１中矢印
方向に揺動して揺動切断を開始する。これによって、半
導体インゴット２６がワイヤ列で徐々に切断されてい
く。この切断動作を継続してワイヤ列が半導体インゴッ
ト２６を完全に切断し、そして、スライスベース３０を
所定量切断した時に切断動作を終了する。この状態が図
２の状態である。これによって、本実施の形態のワイヤ
ソー１０は、半導体インゴット２６から多数枚のウェー
ハ２８、２８…を切断することができる。
【００１８】したがって、前記ワイヤソー１０は、一対
の溝付きローラ１４、１６のみでワイヤ列を形成すると
共に、一対の溝付きローラ１４、１６の回転でワイヤ列
を走行させる構造なので、ワイヤ巻取用の２個のボビン
を備えた特開平５−２４０３４号公報のワイヤソーや、
ワイヤ列をフレームに形成してこのフレームを往復移動
させる米国特許第４，７２７，８５２号公報のワイヤソ
ーと比較して、構造が簡単でコンパクトになる。
の溝付きローラ１４、１６のみでワイヤ列を形成すると
共に、一対の溝付きローラ１４、１６の回転でワイヤ列
を走行させる構造なので、ワイヤ巻取用の２個のボビン
を備えた特開平５−２４０３４号公報のワイヤソーや、
ワイヤ列をフレームに形成してこのフレームを往復移動
させる米国特許第４，７２７，８５２号公報のワイヤソ
ーと比較して、構造が簡単でコンパクトになる。
【００１９】また、前記ワイヤソー１０は、ワイヤ２４
として無端状のワイヤを適用したので、一対の溝付きロ
ーラ１４、１６でワイヤ２４を周回移動させるだけでワ
イヤ列を走行させることができる。また、無端状のワイ
ヤ２４を適用することで、ワイヤ２４を一方向にエンド
レスで周回させることができるので、ワイヤを往復走行
させるワイヤソーと比較して構造、制御系を簡素化でき
る。
として無端状のワイヤを適用したので、一対の溝付きロ
ーラ１４、１６でワイヤ２４を周回移動させるだけでワ
イヤ列を走行させることができる。また、無端状のワイ
ヤ２４を適用することで、ワイヤ２４を一方向にエンド
レスで周回させることができるので、ワイヤを往復走行
させるワイヤソーと比較して構造、制御系を簡素化でき
る。
【００２０】なお、ワイヤ２４を無端状に連結するため
の連結部２５（図１参照）が、ワイヤ２４の周回移動に
おいて溝付きローラ１４、１６の溝に悪影響を与える
（例えば、溝を破損させる）大きさ、形状であれば、ワ
イヤ２４を一方向に周回移動させないで、前記連結部２
５が溝に接触しない範囲でワイヤ２４を往復移動させれ
ば良い。
の連結部２５（図１参照）が、ワイヤ２４の周回移動に
おいて溝付きローラ１４、１６の溝に悪影響を与える
（例えば、溝を破損させる）大きさ、形状であれば、ワ
イヤ２４を一方向に周回移動させないで、前記連結部２
５が溝に接触しない範囲でワイヤ２４を往復移動させれ
ば良い。
【００２１】また、本実施の形態ではワイヤ２４として
無端状ワイヤを適用したが、これに限られるものではな
く、図３に示す有端状のワイヤ６０を適用しても良い。
この場合、ワイヤ６０の走行長を確保するために、ワイ
ヤ６０の両端を溝付きローラ１４、１６に所定量巻回す
る必要がある。図３では、溝付きローラ１４、１６の外
周の約３／４にワイヤ６０の両端を巻回し、ワイヤ６０
の両端部を連結具６０Ａ、６０Ｂで溝付きローラ１４、
１６に連結しているが、ワイヤ６０の両端を溝付きロー
ラ１４、１６に数周巻回させても良い。また、ローラ１
４、１６の径Ｄは、ワイヤ６０の切断有効長（往復移動
距離）をＬとするとＤ＞Ｌ／πに設定するのが好まし
い。
無端状ワイヤを適用したが、これに限られるものではな
く、図３に示す有端状のワイヤ６０を適用しても良い。
この場合、ワイヤ６０の走行長を確保するために、ワイ
ヤ６０の両端を溝付きローラ１４、１６に所定量巻回す
る必要がある。図３では、溝付きローラ１４、１６の外
周の約３／４にワイヤ６０の両端を巻回し、ワイヤ６０
の両端部を連結具６０Ａ、６０Ｂで溝付きローラ１４、
１６に連結しているが、ワイヤ６０の両端を溝付きロー
ラ１４、１６に数周巻回させても良い。また、ローラ１
４、１６の径Ｄは、ワイヤ６０の切断有効長（往復移動
距離）をＬとするとＤ＞Ｌ／πに設定するのが好まし
い。
【００２２】一方、本実施の形態のワイヤソー１０は、
溝付きローラ１４、１６の配置間隔を、半導体インゴッ
ト２６を切断することができる最小限の間隔まで狭くす
ることができるので、従来のワイヤソーと比較してさら
にコンパクト化を図ることができる。
溝付きローラ１４、１６の配置間隔を、半導体インゴッ
ト２６を切断することができる最小限の間隔まで狭くす
ることができるので、従来のワイヤソーと比較してさら
にコンパクト化を図ることができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソーによれば、一対の溝付きローラのみでワイヤ列を形
成すると共に、一対の溝付きローラの回転でワイヤ列を
走行させる構造としたので、構造が簡単でコンパクトに
なる。また、本発明はワイヤとして無端状のワイヤを適
用したので、ワイヤを一方向にエンドレスで周回させる
ことができる。したがって、本発明は、ワイヤを往復走
行させるワイヤソーと比較して構造、制御系を簡素化で
きる。
ソーによれば、一対の溝付きローラのみでワイヤ列を形
成すると共に、一対の溝付きローラの回転でワイヤ列を
走行させる構造としたので、構造が簡単でコンパクトに
なる。また、本発明はワイヤとして無端状のワイヤを適
用したので、ワイヤを一方向にエンドレスで周回させる
ことができる。したがって、本発明は、ワイヤを往復走
行させるワイヤソーと比較して構造、制御系を簡素化で
きる。
【図１】本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破
断部分を含む正面図
断部分を含む正面図
【図２】図１に示したワイヤソーでワークが切断された
直後の状態を示す側面図
直後の状態を示す側面図
【図３】ワイヤとして有端状のワイヤが適用されたワイ
ヤソーの概略構造図
ヤソーの概略構造図
１０…ワイヤソー １４、１６…溝付きローラ ２４、６０…ワイヤ ２６…半導体インゴット ２８…ウェーハ ３０…スライスベース ３４…揺動用モータ ３８…昇降用ベース ４０…コラム
Claims (2)
- 【請求項１】砥粒が表面に固定された多数本のワイヤ
を、一対の溝付きローラに張架することにより該一対の
溝付きローラ間にワイヤ列を形成し、該一対のローラを
回転駆動して前記ワイヤ列を走行させ、該ワイヤ列にワ
ークを押接することによりワークを多数のウェーハに切
断することを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項２】前記ワイヤは、無端状のワイヤであること
を特徴とする請求項１記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682397A JPH10337648A (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682397A JPH10337648A (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10337648A true JPH10337648A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15416343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14682397A Pending JPH10337648A (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10337648A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007160462A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Takatori Corp | ワイヤソー |
| JP2007245340A (ja) * | 2007-04-09 | 2007-09-27 | Dowa Holdings Co Ltd | 焼結希土類磁石合金の切断法 |
| KR101056939B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2011-08-23 | (주) 이레테크 | 텍스쳐링 효과를 가지는 와이어 소오 머신 |
| CN103921360A (zh) * | 2014-04-24 | 2014-07-16 | 上海日进机床有限公司 | 一种金刚线开方机 |
| CN104002242A (zh) * | 2014-06-18 | 2014-08-27 | 安庆联控机电科技发展有限公司 | 一种活塞环钢环切断机砂轮补偿装置 |
-
1997
- 1997-06-04 JP JP14682397A patent/JPH10337648A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007160462A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Takatori Corp | ワイヤソー |
| JP2007245340A (ja) * | 2007-04-09 | 2007-09-27 | Dowa Holdings Co Ltd | 焼結希土類磁石合金の切断法 |
| KR101056939B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2011-08-23 | (주) 이레테크 | 텍스쳐링 효과를 가지는 와이어 소오 머신 |
| CN103921360A (zh) * | 2014-04-24 | 2014-07-16 | 上海日进机床有限公司 | 一种金刚线开方机 |
| CN103921360B (zh) * | 2014-04-24 | 2016-06-15 | 上海日进机床有限公司 | 一种金刚线开方机 |
| CN104002242A (zh) * | 2014-06-18 | 2014-08-27 | 安庆联控机电科技发展有限公司 | 一种活塞环钢环切断机砂轮补偿装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3435815A (en) | Wafer dicer | |
| JPH0635107B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JPH0985736A (ja) | ワイヤ式切断装置 | |
| KR100394223B1 (ko) | 와이어 톱 | |
| JPH10337648A (ja) | ワイヤソー | |
| KR20010021539A (ko) | 다이아몬드 함유 와이어를 이용하여 작업물을 얇게절단하기 위한 장치 및 방법 | |
| JPH04201066A (ja) | エンドレスベルトの偏倚防止装置及び該装置を用いたベルト加工装置 | |
| JP2011110643A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3032125B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| KR102179186B1 (ko) | 다이아몬드 와이어 커팅 장치. | |
| JPH11151655A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JPH11138412A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
| JP2007111823A (ja) | ワイヤ式切断装置 | |
| JP2002052457A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH10328999A (ja) | スライスベース切断装置付きワイヤソー | |
| JP2000094298A (ja) | ワイヤソー | |
| JP4005199B2 (ja) | 細線ワイヤソー装置 | |
| JPH11221749A (ja) | ワイヤーソー切断方法及び装置 | |
| JPH0929608A (ja) | ワイヤソーのワイヤリール駆動構造 | |
| JP3256155B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP2000288905A (ja) | ワイヤソー用溝ローラ | |
| JP2000108012A (ja) | ワイヤソー | |
| JP2575844Y2 (ja) | ガイドローラの自動交換装置 | |
| JP4179647B2 (ja) | Ｖリブドベルトの幅カット装置 | |
| JPH0818243B2 (ja) | ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置 |