JPH1110509A - ワイヤソーの張力付与機構 - Google Patents
ワイヤソーの張力付与機構Info
- Publication number
- JPH1110509A JPH1110509A JP9167308A JP16730897A JPH1110509A JP H1110509 A JPH1110509 A JP H1110509A JP 9167308 A JP9167308 A JP 9167308A JP 16730897 A JP16730897 A JP 16730897A JP H1110509 A JPH1110509 A JP H1110509A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- dancer
- rollers
- tension
- wire saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0069—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for tensioning saw wires
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤの加速または減速に伴って、そのワイ
ヤが緊張または弛緩された場合でも、ダンサアームが大
きく回動されることがなく、ガイドローラ等の周辺のロ
ーラが早期に摩耗するおそれを防止することができる張
力付与機構を提供する。 【解決手段】 回動可能なダンサアーム３７の先端に、
複数のダンサローラ４０を回転可能に支持する。それら
のダンサローラ４０に対向して複数のガイドローラ４１
を配設し、これらのガイドローラ４１を介してダンサロ
ーラ４０上に１本のワイヤ１８を順に案内する。付勢部
材３６によりダンサアーム３７を一方向に回動付勢し
て、ワイヤ１８に所定の張力を付与する。
ヤが緊張または弛緩された場合でも、ダンサアームが大
きく回動されることがなく、ガイドローラ等の周辺のロ
ーラが早期に摩耗するおそれを防止することができる張
力付与機構を提供する。 【解決手段】 回動可能なダンサアーム３７の先端に、
複数のダンサローラ４０を回転可能に支持する。それら
のダンサローラ４０に対向して複数のガイドローラ４１
を配設し、これらのガイドローラ４１を介してダンサロ
ーラ４０上に１本のワイヤ１８を順に案内する。付勢部
材３６によりダンサアーム３７を一方向に回動付勢し
て、ワイヤ１８に所定の張力を付与する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばワイヤソ
ー装置に使用されるワイヤに、所定の張力を付与する張
力付与機構に関するものである。
ー装置に使用されるワイヤに、所定の張力を付与する張
力付与機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体材料、磁性材料、セラミック等の
硬脆材料よりなるワークに対して、切削加工を施す場合
には、ワイヤソーが使用されている。このワイヤソーで
は、複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、そ
れらのローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形
成されている。また、各加工用ローラ間において、環状
溝には１本のワイヤが順に巻回され、そのワイヤに対し
て張力付与機構により所定の張力が付与されている。そ
して、ワイヤが走行されながら、そのワイヤ上に遊離砥
粒を含むスラリが供給され、この状態でワイヤに対しワ
ークが押し付け接触されて、ワークに切削加工が施され
るようになっている。
硬脆材料よりなるワークに対して、切削加工を施す場合
には、ワイヤソーが使用されている。このワイヤソーで
は、複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、そ
れらのローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形
成されている。また、各加工用ローラ間において、環状
溝には１本のワイヤが順に巻回され、そのワイヤに対し
て張力付与機構により所定の張力が付与されている。そ
して、ワイヤが走行されながら、そのワイヤ上に遊離砥
粒を含むスラリが供給され、この状態でワイヤに対しワ
ークが押し付け接触されて、ワークに切削加工が施され
るようになっている。
【０００３】従来のこの種のワイヤソーにおける張力付
与機構では、図１１に示すように、ウエイトＷを調整可
能に取り付けた回動可能なダンサアーム５１の先端に
は、１つのダンサローラ５２が回転可能に支持され、ダ
ンサローラ５２に直接ウエイトＷを設けて、ワイヤ５４
に張力を付与している。そのダンサローラ５２と対向す
るように２つのガイドローラ５３が配設され、これらの
ガイドローラ５３を介してダンサローラ５２上に１本の
ワイヤ５４が掛装されている。ダンサアーム５１の先端
にはウエイトＷが取り付けられ、このウエイトＷにより
ダンサローラ５２がガイドローラ５３から離間する方向
に回動付勢されて、ワイヤ５４に所定の張力が付与され
るようになっている。
与機構では、図１１に示すように、ウエイトＷを調整可
能に取り付けた回動可能なダンサアーム５１の先端に
は、１つのダンサローラ５２が回転可能に支持され、ダ
ンサローラ５２に直接ウエイトＷを設けて、ワイヤ５４
に張力を付与している。そのダンサローラ５２と対向す
るように２つのガイドローラ５３が配設され、これらの
ガイドローラ５３を介してダンサローラ５２上に１本の
ワイヤ５４が掛装されている。ダンサアーム５１の先端
にはウエイトＷが取り付けられ、このウエイトＷにより
ダンサローラ５２がガイドローラ５３から離間する方向
に回動付勢されて、ワイヤ５４に所定の張力が付与され
るようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の張力
付与機構においては、一個のダンサローラ５２上にガイ
ドローラ５３を介してワイヤ５４が案内されるようにな
っている。このため、ワイヤ５４の急激な加速または減
速に伴って、そのワイヤ５４が緊張または弛緩されたと
き、ダンサローラ５２がワイヤ５４の緊張量または弛緩
量の半分に相当する大きな振幅で上下に振動（ハンチン
グ）される。そして、この大きな振動がワイヤ５４を介
してガイドローラ５３や加工用ローラ（図示しない）に
伝達されて、それらのローラを早期に摩耗させたり、ダ
ンサアーム５１の振動により、加工用ローラに振動が伝
わり、加工精度が低下したりするという問題があった。
さらに、振動が急激な場合にはワイヤ５４が切断される
こともあった。
付与機構においては、一個のダンサローラ５２上にガイ
ドローラ５３を介してワイヤ５４が案内されるようにな
っている。このため、ワイヤ５４の急激な加速または減
速に伴って、そのワイヤ５４が緊張または弛緩されたと
き、ダンサローラ５２がワイヤ５４の緊張量または弛緩
量の半分に相当する大きな振幅で上下に振動（ハンチン
グ）される。そして、この大きな振動がワイヤ５４を介
してガイドローラ５３や加工用ローラ（図示しない）に
伝達されて、それらのローラを早期に摩耗させたり、ダ
ンサアーム５１の振動により、加工用ローラに振動が伝
わり、加工精度が低下したりするという問題があった。
さらに、振動が急激な場合にはワイヤ５４が切断される
こともあった。
【０００５】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワイヤの加速または減速に伴って、その
ワイヤが緊張または弛緩された場合でも、ガイドローラ
等の周辺のローラが早期に摩耗したり、加工精度が低下
したりするおそれを防止することができるワイヤソーの
張力付与機構を提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワイヤの加速または減速に伴って、その
ワイヤが緊張または弛緩された場合でも、ガイドローラ
等の周辺のローラが早期に摩耗したり、加工精度が低下
したりするおそれを防止することができるワイヤソーの
張力付与機構を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の張力付与機構の発明では、走行
するワイヤによりワークに対して切削加工を施すように
したワイヤソーにおいて、ダンサローラと、このダンサ
ローラ上に１本のワイヤを順に案内するように、ダンサ
ローラに対向して配設された複数のガイドローラと、ダ
ンサローラを一方向に付勢してワイヤに張力を付与する
付勢手段とを備えたものである。
めに、請求項１に記載の張力付与機構の発明では、走行
するワイヤによりワークに対して切削加工を施すように
したワイヤソーにおいて、ダンサローラと、このダンサ
ローラ上に１本のワイヤを順に案内するように、ダンサ
ローラに対向して配設された複数のガイドローラと、ダ
ンサローラを一方向に付勢してワイヤに張力を付与する
付勢手段とを備えたものである。
【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の張力付与機構において、前記ダンサローラは複数設
けられ、各ダンサローラは回動可能なダンサアームに支
持され、このダンサアームの先端に、同ダンサアームの
回動軸線と平行な軸線の周りで回転可能に支持されてい
るものである。
載の張力付与機構において、前記ダンサローラは複数設
けられ、各ダンサローラは回動可能なダンサアームに支
持され、このダンサアームの先端に、同ダンサアームの
回動軸線と平行な軸線の周りで回転可能に支持されてい
るものである。
【０００８】請求項３に記載の発明では、請求項１に記
載の張力付与機構において、前記ダンサアームの先端に
第１回動支持部材を回動自在に支持し、その第１回動支
持部材に複数のダンサローラが同ダンサアームの回動軸
線と平行な軸線の周りで回転可能に支持されているもの
である。
載の張力付与機構において、前記ダンサアームの先端に
第１回動支持部材を回動自在に支持し、その第１回動支
持部材に複数のダンサローラが同ダンサアームの回動軸
線と平行な軸線の周りで回転可能に支持されているもの
である。
【０００９】請求項４に記載の発明では、請求項３に記
載のワイヤソーの張力付与機構において、前記第１回動
支持部材はＶ形状に形成されているものである。請求項
５に記載の発明では、請求項１ないし請求項３のいずれ
かに記載のワイヤソーの張力付与機構において、前記各
ガイドローラは第２回動支持部材に支持され、同第２回
動支持部材はＶ形状に形成されているものである。
載のワイヤソーの張力付与機構において、前記第１回動
支持部材はＶ形状に形成されているものである。請求項
５に記載の発明では、請求項１ないし請求項３のいずれ
かに記載のワイヤソーの張力付与機構において、前記各
ガイドローラは第２回動支持部材に支持され、同第２回
動支持部材はＶ形状に形成されているものである。
【００１０】請求項６に記載の発明では、請求項１ない
し請求項５のいずれかに記載の張力付与機構において、
前記付勢手段はモータからなるものである。
し請求項５のいずれかに記載の張力付与機構において、
前記付勢手段はモータからなるものである。
【００１１】
（第１の実施形態）以下、この発明を具体化した第１の
実施形態を、図１〜図４に基づいて説明する。
実施形態を、図１〜図４に基づいて説明する。
【００１２】まず、ワイヤソーの構成について述べる
と、図１及び図２に示すように、装置基台１１上にはコ
ラム１２が立設されている。コラム１２には切削機構１
３がブラケット１４を介して装設されている。この切削
機構１３は所定間隔をおいて平行に延びる複数の加工用
ローラ１５，１６，１７を備え、それらの外周には環状
溝１５ａ，１６ａ，１７ａが所定ピッチで形成されてい
る。なお、図面においては理解を容易にするために、環
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａの数を実際よりも少なく描
いてある。
と、図１及び図２に示すように、装置基台１１上にはコ
ラム１２が立設されている。コラム１２には切削機構１
３がブラケット１４を介して装設されている。この切削
機構１３は所定間隔をおいて平行に延びる複数の加工用
ローラ１５，１６，１７を備え、それらの外周には環状
溝１５ａ，１６ａ，１７ａが所定ピッチで形成されてい
る。なお、図面においては理解を容易にするために、環
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａの数を実際よりも少なく描
いてある。
【００１３】前記加工用ローラ１５，１６，１７の各環
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａには、１本のワイヤ１８が
連続的に巻回されている。ブラケット１４にはワイヤ走
行用モータ１９が配設され、このモータ１９により図示
しない伝達機構を介して加工用ローラ１５，１６，１７
が回転される。そして、これらの加工用ローラ１５，１
６，１７の回転によって、ワイヤ１８が所定の走行速度
で走行される。このワイヤ１８の走行は、一定量前進
（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例えば９ｍ）を繰り
返し、全体として歩進的に前進するように行われる。
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａには、１本のワイヤ１８が
連続的に巻回されている。ブラケット１４にはワイヤ走
行用モータ１９が配設され、このモータ１９により図示
しない伝達機構を介して加工用ローラ１５，１６，１７
が回転される。そして、これらの加工用ローラ１５，１
６，１７の回転によって、ワイヤ１８が所定の走行速度
で走行される。このワイヤ１８の走行は、一定量前進
（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例えば９ｍ）を繰り
返し、全体として歩進的に前進するように行われる。
【００１４】前記切削機構１３の上方に位置するよう
に、ブラケット１４上にはスラリ供給機構２０が配設さ
れ、このスラリ供給機構２０から加工用ローラ１５，１
６，１７間のワイヤ１８上に、遊離砥粒を含む水性また
は油性のスラリが供給される。スラリ供給機構２０の上
方において、コラム１２にはワーク支持機構２１が上下
動可能に支持され、その下部には硬脆材料よりなるワー
ク２２が着脱自在にセットされる。コラム１２上にはワ
ーク昇降用モータ２３が配設され、このモータ２３によ
り図示しないボールスクリュー等を介してワーク支持機
構２１が上下動される。
に、ブラケット１４上にはスラリ供給機構２０が配設さ
れ、このスラリ供給機構２０から加工用ローラ１５，１
６，１７間のワイヤ１８上に、遊離砥粒を含む水性また
は油性のスラリが供給される。スラリ供給機構２０の上
方において、コラム１２にはワーク支持機構２１が上下
動可能に支持され、その下部には硬脆材料よりなるワー
ク２２が着脱自在にセットされる。コラム１２上にはワ
ーク昇降用モータ２３が配設され、このモータ２３によ
り図示しないボールスクリュー等を介してワーク支持機
構２１が上下動される。
【００１５】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が切削機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２１が切削機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２０からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対しワーク２２が押し
付け接触され、ラッピング作用によってワーク２２がウ
ェハ状に切削加工される。
イヤ１８が切削機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２１が切削機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２０からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対しワーク２２が押し
付け接触され、ラッピング作用によってワーク２２がウ
ェハ状に切削加工される。
【００１６】前記装置基台１１上にはリール機構２４が
装設され、ワイヤ１８を繰り出すための繰出しリール２
５と、ワイヤ１８を巻き取るための巻取りリール２６と
を備えている。装置基台１１には回転方向及び回転速度
を変更可能なサーボモータよりなる一対のリール回転用
モータ２７，２８が配設され、それらのモータ軸には図
示しない伝達機構を介して両リール２５，２６が連結さ
れている。
装設され、ワイヤ１８を繰り出すための繰出しリール２
５と、ワイヤ１８を巻き取るための巻取りリール２６と
を備えている。装置基台１１には回転方向及び回転速度
を変更可能なサーボモータよりなる一対のリール回転用
モータ２７，２８が配設され、それらのモータ軸には図
示しない伝達機構を介して両リール２５，２６が連結さ
れている。
【００１７】前記装置基台１１上にはリール機構２４に
隣接して一対のトラバース機構２９が装設され、繰出し
リール２５からのワイヤ１８の繰出し及び巻取りリール
２６へのワイヤ１８の巻取りを、上下にトラバースしな
がら案内する。そして、前記リール機構２４の両リール
２５，２６の回転により、繰出しリール２５から切削機
構１３へワイヤ１８が繰り出されるとともに、加工後の
ワイヤ１８が巻取りリール２６に巻き取られる。
隣接して一対のトラバース機構２９が装設され、繰出し
リール２５からのワイヤ１８の繰出し及び巻取りリール
２６へのワイヤ１８の巻取りを、上下にトラバースしな
がら案内する。そして、前記リール機構２４の両リール
２５，２６の回転により、繰出しリール２５から切削機
構１３へワイヤ１８が繰り出されるとともに、加工後の
ワイヤ１８が巻取りリール２６に巻き取られる。
【００１８】前記リール機構２４と切削機構１３との間
には、各一対の張力付与機構３０及びガイド機構３１が
配設されている。そして、切削機構１３の加工用ローラ
１５，１６，１７間に巻回されたワイヤ１８の両端が、
ガイド機構３１の各ガイドローラ３２を介して張力付与
機構３０に掛装されている。この状態で、張力付与機構
３０により、加工用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ
１８に所定の張力が付与されるようになっている。
には、各一対の張力付与機構３０及びガイド機構３１が
配設されている。そして、切削機構１３の加工用ローラ
１５，１６，１７間に巻回されたワイヤ１８の両端が、
ガイド機構３１の各ガイドローラ３２を介して張力付与
機構３０に掛装されている。この状態で、張力付与機構
３０により、加工用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ
１８に所定の張力が付与されるようになっている。
【００１９】次に、前記張力付与機構３０の構成を、さ
らに詳細に説明する。図１〜図４に示すように、前記装
置基台１１上には支持フレーム３５が配設され、その外
側部にはワイヤ１８に張力を付与する付勢手段としての
付勢部材を構成するトルクモータ３６が装着されてい
る。トルクモータ３６のモータ軸３６ａにはダンサアー
ム３７がその基端にて取り付けられ、そのモータ軸３６
ａとともに、基端の回動軸線Ｐを中心に回動されるよう
になっている。
らに詳細に説明する。図１〜図４に示すように、前記装
置基台１１上には支持フレーム３５が配設され、その外
側部にはワイヤ１８に張力を付与する付勢手段としての
付勢部材を構成するトルクモータ３６が装着されてい
る。トルクモータ３６のモータ軸３６ａにはダンサアー
ム３７がその基端にて取り付けられ、そのモータ軸３６
ａとともに、基端の回動軸線Ｐを中心に回動されるよう
になっている。
【００２０】前記ダンサアーム３７の先端には取付ブロ
ック３８が固定され、その外面には支持板３９が取り付
けられている。支持板３９の外面には一対のダンサロー
ラ４０が、ダンサアーム３７の回動軸線Ｐと平行な軸線
の周りでそれぞれ回転可能に支持され、それらの外周面
にはワイヤ１８を掛装するための一対の環状溝４０ａが
形成されている。
ック３８が固定され、その外面には支持板３９が取り付
けられている。支持板３９の外面には一対のダンサロー
ラ４０が、ダンサアーム３７の回動軸線Ｐと平行な軸線
の周りでそれぞれ回転可能に支持され、それらの外周面
にはワイヤ１８を掛装するための一対の環状溝４０ａが
形成されている。
【００２１】前記ダンサローラ４０の上方に所定間隔を
おいて対向するように、支持フレーム３５には３つのガ
イドローラ４１が、ダンサローラ４０の回動軸線と平行
な軸線の周りで回転可能に支持され、それらの外周には
ワイヤ１８を掛装するための一対の環状溝４１ａが形成
されている。そして、これらのガイドローラ４１とダン
サローラ４０との間にワイヤ１８が交互に掛装されて、
ダンサローラ４０上へワイヤ１８が順に案内されるよう
になっている。
おいて対向するように、支持フレーム３５には３つのガ
イドローラ４１が、ダンサローラ４０の回動軸線と平行
な軸線の周りで回転可能に支持され、それらの外周には
ワイヤ１８を掛装するための一対の環状溝４１ａが形成
されている。そして、これらのガイドローラ４１とダン
サローラ４０との間にワイヤ１８が交互に掛装されて、
ダンサローラ４０上へワイヤ１８が順に案内されるよう
になっている。
【００２２】なお、前記のようにダンサローラ４０及び
ガイドローラ４１はそれぞれ一対の環状溝４０ａ，４１
ａを有しているが、ワイヤ１８は環状溝４０ａ，４１ａ
の一方に掛装される。他方の環状溝４０ａ或いは環状溝
４１ａは予備である。
ガイドローラ４１はそれぞれ一対の環状溝４０ａ，４１
ａを有しているが、ワイヤ１８は環状溝４０ａ，４１ａ
の一方に掛装される。他方の環状溝４０ａ或いは環状溝
４１ａは予備である。
【００２３】前記トルクモータ３６の後部にはエンコー
ダ４２が装着され、その検出軸４２ａがカップリング４
３を介してモータ軸３６ａに連結されている。そして、
トルクモータ３６によりダンサアーム３７が図３の時計
方向に回動付勢されて、ワイヤ１８に所定の張力が付与
されるとともに、そのトルクモータ３６の回動位置がエ
ンコーダ４２により検出されるようになっている。
ダ４２が装着され、その検出軸４２ａがカップリング４
３を介してモータ軸３６ａに連結されている。そして、
トルクモータ３６によりダンサアーム３７が図３の時計
方向に回動付勢されて、ワイヤ１８に所定の張力が付与
されるとともに、そのトルクモータ３６の回動位置がエ
ンコーダ４２により検出されるようになっている。
【００２４】次に、前記のように構成されたワイヤソー
について動作を説明する。さて、このワイヤソーにおい
ては、ワイヤ１８がリール機構２４の繰出しリール２５
から繰り出され、切削機構１３の加工用ローラ１５，１
６，１７間において歩進的に往復走行された後、最終的
に巻取りリール２６に巻き取られる。そして、スラリ供
給機構２０により、加工用ローラ１５，１６，１７間の
ワイヤ１８上に遊離砥粒を含むスラリが供給されなが
ら、ワーク支持機構２１の下降により、ワイヤ１８に対
してワーク２２が押し付け接触される。これにより、ワ
ーク２２が所定の厚さに切削加工される。
について動作を説明する。さて、このワイヤソーにおい
ては、ワイヤ１８がリール機構２４の繰出しリール２５
から繰り出され、切削機構１３の加工用ローラ１５，１
６，１７間において歩進的に往復走行された後、最終的
に巻取りリール２６に巻き取られる。そして、スラリ供
給機構２０により、加工用ローラ１５，１６，１７間の
ワイヤ１８上に遊離砥粒を含むスラリが供給されなが
ら、ワーク支持機構２１の下降により、ワイヤ１８に対
してワーク２２が押し付け接触される。これにより、ワ
ーク２２が所定の厚さに切削加工される。
【００２５】このワーク２２の切削加工時には、張力付
与機構３０において、トルクモータ３６によりダンサア
ーム３７が図３の時計方向に回動付勢されて、ワイヤ１
８に所定の張力が付与される。そして、ワイヤ１８の走
行速度が急激に加速または減速された場合において、そ
のワイヤ１８に緊張または弛緩が生じると、図３に鎖線
で示すように、ダンサアーム３７がダンサアーム３７の
回動軸線Ｐを中心に上下に回動される。これにより、ワ
イヤ１８の緊張または弛緩に伴う張力変動が吸収され
る。
与機構３０において、トルクモータ３６によりダンサア
ーム３７が図３の時計方向に回動付勢されて、ワイヤ１
８に所定の張力が付与される。そして、ワイヤ１８の走
行速度が急激に加速または減速された場合において、そ
のワイヤ１８に緊張または弛緩が生じると、図３に鎖線
で示すように、ダンサアーム３７がダンサアーム３７の
回動軸線Ｐを中心に上下に回動される。これにより、ワ
イヤ１８の緊張または弛緩に伴う張力変動が吸収され
る。
【００２６】このとき、ダンサアーム３７の先端には２
つのダンサローラ４０が支持されて、それらのダンサロ
ーラ４０上に３つのガイドローラ４１を介して、ワイヤ
１８が順に案内されるようになっている。このため、こ
の例ではダンサアーム３７及びダンサローラ４０は、ワ
イヤ１８の緊張量または弛緩量の１／４に相当する小さ
な振幅で回動されることになる。よって、ダンサローラ
４０一個の場合に比較して、ダンサアーム３７の振動が
小さくなり、ワイヤ１８を介して張力付与機構３０のガ
イドローラ４１、ガイド機構３１のガイドローラ３２、
及び切削機構１３の加工用ローラ１５，１６，１７に大
きな振動が伝達されることはない。
つのダンサローラ４０が支持されて、それらのダンサロ
ーラ４０上に３つのガイドローラ４１を介して、ワイヤ
１８が順に案内されるようになっている。このため、こ
の例ではダンサアーム３７及びダンサローラ４０は、ワ
イヤ１８の緊張量または弛緩量の１／４に相当する小さ
な振幅で回動されることになる。よって、ダンサローラ
４０一個の場合に比較して、ダンサアーム３７の振動が
小さくなり、ワイヤ１８を介して張力付与機構３０のガ
イドローラ４１、ガイド機構３１のガイドローラ３２、
及び切削機構１３の加工用ローラ１５，１６，１７に大
きな振動が伝達されることはない。
【００２７】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態の張力付与機構においては、回動可能
なダンサアーム３７の先端に、複数のダンサローラ４０
が回転可能に支持されている。また、それらのダンサロ
ーラ４０に対向して複数のガイドローラ４１が配設さ
れ、これらのガイドローラ４１を介してダンサローラ４
０上に、１本のワイヤ１８が順に案内されるようになっ
ている。さらに、付勢手段としてのトルクモータ３６に
よりダンサアーム３７が一方向に回動付勢されて、ワイ
ヤ１８に所定の張力が付与されるようになっている。
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態の張力付与機構においては、回動可能
なダンサアーム３７の先端に、複数のダンサローラ４０
が回転可能に支持されている。また、それらのダンサロ
ーラ４０に対向して複数のガイドローラ４１が配設さ
れ、これらのガイドローラ４１を介してダンサローラ４
０上に、１本のワイヤ１８が順に案内されるようになっ
ている。さらに、付勢手段としてのトルクモータ３６に
よりダンサアーム３７が一方向に回動付勢されて、ワイ
ヤ１８に所定の張力が付与されるようになっている。
【００２８】このため、ワイヤ１８の加速または減速に
伴って、そのワイヤ１８が緊張または弛緩された場合で
も、ダンサアーム３７が大きく回動されることがなく、
ガイドローラ４１等の周辺のローラが早期に摩耗した
り、加工精度が低下したりするおそれを防止することが
できる。
伴って、そのワイヤ１８が緊張または弛緩された場合で
も、ダンサアーム３７が大きく回動されることがなく、
ガイドローラ４１等の周辺のローラが早期に摩耗した
り、加工精度が低下したりするおそれを防止することが
できる。
【００２９】・ この実施形態の張力付与機構において
は、複数のダンサローラ４０がダンサアーム３７の先端
に、その回動軸線Ｐと平行な軸線の周りで回転可能に支
持されている。このため、各ガイドローラ４１とダンサ
ローラ４０との間で、１本のワイヤ１８が各ローラ４
０，４１の回転軸線方向へ偏倚することなく、ワイヤ１
８を案内することができる。従って、それらのローラ４
０，４１に偏摩耗が生じるのを防止することができる。
は、複数のダンサローラ４０がダンサアーム３７の先端
に、その回動軸線Ｐと平行な軸線の周りで回転可能に支
持されている。このため、各ガイドローラ４１とダンサ
ローラ４０との間で、１本のワイヤ１８が各ローラ４
０，４１の回転軸線方向へ偏倚することなく、ワイヤ１
８を案内することができる。従って、それらのローラ４
０，４１に偏摩耗が生じるのを防止することができる。
【００３０】・ この実施形態の張力付与機構において
は、ダンサアーム３７を回動付勢するための付勢手段
が、トルクモータ３６から構成されている。このため、
ワーク２２の材質や大きさが変更された場合等におい
て、ワイヤ１８に付与する張力を容易に設定変更するこ
とができるとともに、ワイヤ１８の脱着交換時等におい
て、そのワイヤ１８に対する張力の付与を解放すること
もできる。
は、ダンサアーム３７を回動付勢するための付勢手段
が、トルクモータ３６から構成されている。このため、
ワーク２２の材質や大きさが変更された場合等におい
て、ワイヤ１８に付与する張力を容易に設定変更するこ
とができるとともに、ワイヤ１８の脱着交換時等におい
て、そのワイヤ１８に対する張力の付与を解放すること
もできる。
【００３１】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。
【００３２】さて、この第２の実施形態においては、図
５及び図６に示すように、ダンサアーム３７の先端の取
付ブロック３８に、第１回動支持部材としての回動支持
板４７が回動軸４８及び一対のベアリング４９を介して
回動可能に支持されている。また、この回動支持板４７
の外面には、一対のダンサローラ４０が回動軸４８と平
行な軸線の周りで回転可能に支持されている。
５及び図６に示すように、ダンサアーム３７の先端の取
付ブロック３８に、第１回動支持部材としての回動支持
板４７が回動軸４８及び一対のベアリング４９を介して
回動可能に支持されている。また、この回動支持板４７
の外面には、一対のダンサローラ４０が回動軸４８と平
行な軸線の周りで回転可能に支持されている。
【００３３】そして、これらのダンサローラ４０とガイ
ドローラ４１との間にワイヤ１８が掛装された状態で、
そのワイヤ１８に張力変動が生じた場合には、まず回動
支持板４７が回動軸４８とともに回動され、一対のダン
サローラ４０が傾斜されて、ワイヤ１８の張力変動が素
早く吸収されるようになっている。
ドローラ４１との間にワイヤ１８が掛装された状態で、
そのワイヤ１８に張力変動が生じた場合には、まず回動
支持板４７が回動軸４８とともに回動され、一対のダン
サローラ４０が傾斜されて、ワイヤ１８の張力変動が素
早く吸収されるようになっている。
【００３４】従って、この第２の実施形態においても、
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮させる
ことができる。また、この第２の実施形態では、ダンサ
アーム３７の先端に回動支持板４７が回動自在に支持さ
れ、その回動支持板４７上に複数のダンサローラ４０が
回動軸４８と平行な軸線の周りで回転可能に支持されて
いる。このため、ワイヤ１８に張力変動が生じた場合、
そのワイヤ１８の張力変動を回動支持板４７の回動によ
りまず吸収することができ、ダンサアーム３７は水平に
保たれる。そして、ダンサアーム３７の急激な振動を防
止できるとともに、ワイヤ１８に対し常に所定の張力を
付与することができる。
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮させる
ことができる。また、この第２の実施形態では、ダンサ
アーム３７の先端に回動支持板４７が回動自在に支持さ
れ、その回動支持板４７上に複数のダンサローラ４０が
回動軸４８と平行な軸線の周りで回転可能に支持されて
いる。このため、ワイヤ１８に張力変動が生じた場合、
そのワイヤ１８の張力変動を回動支持板４７の回動によ
りまず吸収することができ、ダンサアーム３７は水平に
保たれる。そして、ダンサアーム３７の急激な振動を防
止できるとともに、ワイヤ１８に対し常に所定の張力を
付与することができる。
【００３５】（第３の実施形態）次に、この発明の第３
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。
【００３６】さて、この第３の実施形態においては、図
７に示すように、ダンサアーム３７の先端に取付ブロッ
ク３８を介して支持板３９が取り付けられている。ま
た、この支持板３９の外面には一対のダンサローラ４０
が、同一軸線上でそれぞれ回転可能に支持されている。
そして、これらのダンサローラ４０上に、ガイドローラ
４１を介してワイヤ１８が順に案内されるようになって
いる。
７に示すように、ダンサアーム３７の先端に取付ブロッ
ク３８を介して支持板３９が取り付けられている。ま
た、この支持板３９の外面には一対のダンサローラ４０
が、同一軸線上でそれぞれ回転可能に支持されている。
そして、これらのダンサローラ４０上に、ガイドローラ
４１を介してワイヤ１８が順に案内されるようになって
いる。
【００３７】従って、この第３の実施形態においても、
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮させる
ことができる。なお、この発明は、次のように変更して
具体化することも可能である。
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮させる
ことができる。なお、この発明は、次のように変更して
具体化することも可能である。
【００３８】・ ダンサローラ４０の個数を、１個又は
３個以上の複数個に変更すること。 ・ ダンサアーム３７を回動付勢するための付勢手段と
して、前記実施形態のトルクモータ３６に代えて、ダン
サアーム３７の先端に所定重量のウエイトを取り付ける
こと。
３個以上の複数個に変更すること。 ・ ダンサアーム３７を回動付勢するための付勢手段と
して、前記実施形態のトルクモータ３６に代えて、ダン
サアーム３７の先端に所定重量のウエイトを取り付ける
こと。
【００３９】・ ダンサアーム３７をワイヤ１８の繰り
出し側及び巻き取り側においてそれぞれ一対設け、各ダ
ンサアーム３７に一つのダンサローラ４０をそれぞれ設
けること。
出し側及び巻き取り側においてそれぞれ一対設け、各ダ
ンサアーム３７に一つのダンサローラ４０をそれぞれ設
けること。
【００４０】・ 図８（ａ）に示すように、前記第２実
施形態で説明した回動支持板４７の形状を逆Ｖ字状に形
成すること。この構成にすれば、ワイヤ１８の張力変動
による回動支持板４７の振動の吸収安定性を高めること
ができる。
施形態で説明した回動支持板４７の形状を逆Ｖ字状に形
成すること。この構成にすれば、ワイヤ１８の張力変動
による回動支持板４７の振動の吸収安定性を高めること
ができる。
【００４１】・ 図８（ｂ）に示すように、図８（ａ）
に示す回動支持板４７の形状をＶ字状に変更すること。 ・ 前記第２実施形態では各ガイドローラ４１をそれぞ
れ支持フレーム３５に回転可能にもうけたが、図９
（ａ）に示すように、支持フレーム３５にＶ字状をなす
第２回動支持部材としての回動支持板５０を回動可能に
支持する。そして、この回動支持板５０に各ガイドロー
ラ４１を回転可能に支持し、回動支持板５０の回動軸線
と、中央に位置するガイドローラ４０の回転軸線とを一
致させる。この構成によれば、ワイヤ１８の張力変動に
よる回動支持板５０の振動の吸収安定性を高めることが
できる。
に示す回動支持板４７の形状をＶ字状に変更すること。 ・ 前記第２実施形態では各ガイドローラ４１をそれぞ
れ支持フレーム３５に回転可能にもうけたが、図９
（ａ）に示すように、支持フレーム３５にＶ字状をなす
第２回動支持部材としての回動支持板５０を回動可能に
支持する。そして、この回動支持板５０に各ガイドロー
ラ４１を回転可能に支持し、回動支持板５０の回動軸線
と、中央に位置するガイドローラ４０の回転軸線とを一
致させる。この構成によれば、ワイヤ１８の張力変動に
よる回動支持板５０の振動の吸収安定性を高めることが
できる。
【００４２】・ 図９（ｂ）に示すように、図９（ａ）
に示す回動支持板５０の形状を逆Ｖ字状に変更するこ
と。 ・ 図１０に示すように、各ダンサローラ４０をＶ字状
をなす回動支持板４７に回転可能に支持するとともに、
各ガイドローラ４１を逆Ｖ字状をなす回動支持板５０に
回転可能に支持すること。この構成にすれば、ワイヤ１
８の張力変動による回動支持板４７，５０の振動の吸収
性をより一層高めることができる。
に示す回動支持板５０の形状を逆Ｖ字状に変更するこ
と。 ・ 図１０に示すように、各ダンサローラ４０をＶ字状
をなす回動支持板４７に回転可能に支持するとともに、
各ガイドローラ４１を逆Ｖ字状をなす回動支持板５０に
回転可能に支持すること。この構成にすれば、ワイヤ１
８の張力変動による回動支持板４７，５０の振動の吸収
性をより一層高めることができる。
【００４３】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ワイヤの加速または減速に伴って、そのワ
イヤが緊張または弛緩された場合でも、ガイドローラ等
の周辺のローラが早期に摩耗したり、加工精度が低下し
たりするおそれを防止することができる。
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ワイヤの加速または減速に伴って、そのワ
イヤが緊張または弛緩された場合でも、ガイドローラ等
の周辺のローラが早期に摩耗したり、加工精度が低下し
たりするおそれを防止することができる。
【００４４】請求項２に記載の発明によれば、各ガイド
ローラとダンサローラとの間で、１本のワイヤが各ロー
ラの軸線方向へ偏倚することなく順に案内することがで
きて、それらのローラに偏摩耗が生じるのを防止するこ
とができる。
ローラとダンサローラとの間で、１本のワイヤが各ロー
ラの軸線方向へ偏倚することなく順に案内することがで
きて、それらのローラに偏摩耗が生じるのを防止するこ
とができる。
【００４５】請求項３に記載の発明によれば、ワイヤに
張力変動が生じた場合、そのワイヤの張力変動を第１回
動支持部材の回動により吸収することができて、ワイヤ
に対し常に所定の張力を付与することができる。
張力変動が生じた場合、そのワイヤの張力変動を第１回
動支持部材の回動により吸収することができて、ワイヤ
に対し常に所定の張力を付与することができる。
【００４６】請求項４に記載の発明によれば、ワイヤの
張力変動による第１回動支持部材の振動の吸収安定性を
高めることができる。請求項５に記載の発明によれば、
ワイヤの張力変動による第２回動支持部材の振動の吸収
安定性を高めることができる。
張力変動による第１回動支持部材の振動の吸収安定性を
高めることができる。請求項５に記載の発明によれば、
ワイヤの張力変動による第２回動支持部材の振動の吸収
安定性を高めることができる。
【００４７】請求項６に記載の発明によれば、必要に応
じてワイヤに付与する張力を設定変更することができる
とともに、その張力の付与を解放することもでき、ワイ
ヤの張力を適正に維持できる。
じてワイヤに付与する張力を設定変更することができる
とともに、その張力の付与を解放することもでき、ワイ
ヤの張力を適正に維持できる。
【図１】 この発明の第１の実施形態を示すワイヤソー
の正面図。
の正面図。
【図２】 そのワイヤソーの平面図。
【図３】 張力付与機構を拡大して示す要部正面図。
【図４】 同じく張力付与機構の要部平面図。
【図５】 張力付与機構の第２の実施形態を示す要部断
面図。
面図。
【図６】 その張力付与機構の要部正面図。
【図７】 張力付与機構の第３の実施形態を示す要部平
面図。
面図。
【図８】 （ａ），（ｂ）はダンサローラを支持する回
動支持板の形状を変更した別の実施形態を示す概略図。
動支持板の形状を変更した別の実施形態を示す概略図。
【図９】 （ａ），（ｂ）はガイドローラを支持する回
動支持板の形状を変更した別の実施形態を示す概略図。
動支持板の形状を変更した別の実施形態を示す概略図。
【図１０】 ダンサローラとガイドローラを支持する回
動支持板の形状を変更した別の実施形態を示す概略図。
動支持板の形状を変更した別の実施形態を示す概略図。
【図１１】 従来の技術を示す張力付与機構の説明図。
１３…切削機構、１５，１６，１７…加工用ローラ、１
８…ワイヤ、３０…張力付与機構、３６…付勢手段とし
ての付勢部材を構成するモータ、３７…ダンサアーム、
４０…ダンサローラ、４１…ガイドローラ、４７…回動
支持板（第１回動支持部材）、５０…回動支持板（第２
回動支持部材）、Ｐ…ダンサアームの回動軸線。
８…ワイヤ、３０…張力付与機構、３６…付勢手段とし
ての付勢部材を構成するモータ、３７…ダンサアーム、
４０…ダンサローラ、４１…ガイドローラ、４７…回動
支持板（第１回動支持部材）、５０…回動支持板（第２
回動支持部材）、Ｐ…ダンサアームの回動軸線。
Claims (6)
- 【請求項１】 走行するワイヤによりワークに対して切
削加工を施すようにしたワイヤソーにおいて、 ダンサローラと、このダンサローラ上に１本のワイヤを
順に案内するように、ダンサローラに対向して配設され
た複数のガイドローラと、ダンサローラを一方向に付勢
してワイヤに張力を付与する付勢手段とを備えたワイヤ
ソーの張力付与機構。 - 【請求項２】 前記ダンサローラは複数設けられ、各ダ
ンサローラは回動可能なダンサアームに支持され、この
ダンサアームの先端に、同ダンサアームの回動軸線と平
行な軸線の周りで回転可能に支持されている請求項１に
記載のワイヤソーの張力付与機構。 - 【請求項３】 前記ダンサアームの先端に第１回動支持
部材を回動自在に支持し、その第１回動支持部材に複数
のダンサローラが同ダンサアームの回動軸線と平行な軸
線の周りで回転可能に支持されている請求項１に記載の
ワイヤソーの張力付与機構。 - 【請求項４】 前記第１回動支持部材はＶ形状に形成さ
れている請求項３に記載のワイヤソーの張力付与機構。 - 【請求項５】 前記各ガイドローラは第２回動支持部材
に支持され、同第２回動支持部材はＶ形状に形成されて
いる請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のワイヤ
ソーの張力付与機構。 - 【請求項６】 前記付勢手段はモータからなる請求項１
ないし請求項５のいずれかに記載のワイヤソーの張力付
与機構。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9167308A JPH1110509A (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | ワイヤソーの張力付与機構 |
| TW087110151A TW368444B (en) | 1997-06-24 | 1998-06-24 | Tension adjusting mechanism for wire saw |
| US09/103,538 US6095129A (en) | 1997-06-24 | 1998-06-24 | Tension adjusting mechanism for wire saw |
| KR1019980023798A KR19990007260A (ko) | 1997-06-24 | 1998-06-24 | 와이어 소에 사용되는 장력조절기구 |
| EP98111617A EP0887137A3 (en) | 1997-06-24 | 1998-06-24 | Tension adjusting mechanism for wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9167308A JPH1110509A (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | ワイヤソーの張力付与機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1110509A true JPH1110509A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=15847348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9167308A Pending JPH1110509A (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | ワイヤソーの張力付与機構 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6095129A (ja) |
| EP (1) | EP0887137A3 (ja) |
| JP (1) | JPH1110509A (ja) |
| KR (1) | KR19990007260A (ja) |
| TW (1) | TW368444B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013220490A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6279564B1 (en) * | 1997-07-07 | 2001-08-28 | John B. Hodsden | Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire |
| DE19822098A1 (de) | 1998-05-16 | 1999-11-18 | Ernst Behm | Türfeststeller |
| IT1303163B1 (it) * | 1998-07-21 | 2000-10-30 | Micheletti Macchine Srl | Macchina per il taglio di lastre da un blocco di materiale lapideo. |
| WO2005095076A1 (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Solaicx, Inc. | Method and apparatus for cutting ultra thin silicon wafers |
| US7052381B1 (en) * | 2005-03-15 | 2006-05-30 | Mao Shan Machinery Industrial Co., Ltd. | Belt sander having tension adjustment mechanism |
| JP4803717B2 (ja) * | 2005-12-13 | 2011-10-26 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー |
| US20100126488A1 (en) * | 2008-11-25 | 2010-05-27 | Abhaya Kumar Bakshi | Method and apparatus for cutting wafers by wire sawing |
| US8490658B2 (en) * | 2009-02-26 | 2013-07-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Automatic winding of wire field in wire slicing machine |
| CN101607421B (zh) * | 2009-06-23 | 2015-03-25 | 洛阳中冶重工机械有限公司 | 一种全自动砖石材击打塑形工艺及其装置 |
| JP5675462B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2015-02-25 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| US10882126B2 (en) * | 2017-01-13 | 2021-01-05 | ESCO Group, Inc. | Take-up and payoff system for vertical profiling cutting saw (VPX) |
| TWI713832B (zh) * | 2017-04-28 | 2020-12-21 | 友達晶材股份有限公司 | 晶圓切片機及其收放線裝置與晶圓切片的方法 |
| CN107415067B (zh) * | 2017-07-24 | 2019-03-22 | 卡姆丹克太阳能（江苏）有限公司 | 一种利用金刚线对单晶硅圆棒切割开方的方法 |
| CN107283658B (zh) * | 2017-08-09 | 2023-05-02 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 金刚石环形多线锯一体式张紧机构 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3824982A (en) * | 1971-12-20 | 1974-07-23 | Motorola Inc | Machine for cutting brittle materials |
| US4016856A (en) * | 1975-10-01 | 1977-04-12 | Laser Technology, Inc. | Wire cutting machine |
| IT1147889B (it) * | 1982-05-13 | 1986-11-26 | Gino Cervoni | Macchina tagliatrice e perforatrice automatica per marmo,travertino e simili |
| DE3532717A1 (de) * | 1985-09-13 | 1987-03-26 | Heckler & Koch Gmbh | Drahtsaege mit spannvorrichtung |
| US4903682A (en) * | 1987-04-30 | 1990-02-27 | Technoslice Ltd. | Wire saw |
| US5099615A (en) * | 1989-09-22 | 1992-03-31 | Exclusive Design Company, Inc. | Automated rigid-disk finishing system providing in-line process control |
| JP2755909B2 (ja) * | 1994-07-29 | 1998-05-25 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー |
| JP3427956B2 (ja) * | 1995-04-14 | 2003-07-22 | 信越半導体株式会社 | ワイヤーソー装置 |
| US5896851A (en) * | 1995-04-21 | 1999-04-27 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Wire saw |
| JPH0985736A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Toray Eng Co Ltd | ワイヤ式切断装置 |
| JP3105431B2 (ja) * | 1995-10-02 | 2000-10-30 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 |
| CH691292A5 (fr) * | 1995-10-03 | 2001-06-29 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil équipé d'un système de gestion de fil permettant l'utilisation de bobines de fil de très grande longueur. |
| JP3106294B2 (ja) * | 1996-07-23 | 2000-11-06 | 株式会社東京精密 | ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 |
-
1997
- 1997-06-24 JP JP9167308A patent/JPH1110509A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-24 TW TW087110151A patent/TW368444B/zh active
- 1998-06-24 US US09/103,538 patent/US6095129A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-24 KR KR1019980023798A patent/KR19990007260A/ko not_active Application Discontinuation
- 1998-06-24 EP EP98111617A patent/EP0887137A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013220490A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990007260A (ko) | 1999-01-25 |
| EP0887137A3 (en) | 2001-04-18 |
| EP0887137A2 (en) | 1998-12-30 |
| TW368444B (en) | 1999-09-01 |
| US6095129A (en) | 2000-08-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1110509A (ja) | ワイヤソーの張力付与機構 | |
| JP2011527644A5 (ja) | ||
| JPH09109013A (ja) | 鋸挽き装置 | |
| JP2980225B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JP3074007B2 (ja) | ワイヤーソー装置におけるリール駆動装置 | |
| JPH1177663A (ja) | ワークの結晶方位調整方法 | |
| JPH11188602A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JP3242050B2 (ja) | ワークの結晶方位調整方法 | |
| JP3210528B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPH0429512B2 (ja) | ||
| JPH11198021A (ja) | ワイヤソーにおけるリールの装着装置 | |
| JPH0818243B2 (ja) | ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置 | |
| JP3660124B2 (ja) | ワイヤソーによるインゴットの加工方法及びワイヤソー | |
| JPH11147218A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH1058439A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3256155B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP6562216B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPH044095B2 (ja) | ||
| JP2000061805A (ja) | ワイヤ式切断加工装置 | |
| JP2000005999A (ja) | ワイヤソーのグルーブローラ | |
| JP3071099B2 (ja) | ワイヤソーにおけるワイヤガイド装置 | |
| JPH10225857A (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JP2650393B2 (ja) | ワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整方法及びその装置 | |
| JPH10166353A (ja) | ワイヤソーにおける張力低減装置及び張力低減方法 | |
| JPH1142547A (ja) | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |