JPH044095B2 - - Google Patents
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- JPH044095B2 JPH044095B2 JP59221873A JP22187384A JPH044095B2 JP H044095 B2 JPH044095 B2 JP H044095B2 JP 59221873 A JP59221873 A JP 59221873A JP 22187384 A JP22187384 A JP 22187384A JP H044095 B2 JPH044095 B2 JP H044095B2
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- JP
- Japan
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- wire
- groove
- main shaft
- roller unit
- grooved
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 25
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高硬度脆性材料例えば半導体材料、
磁性材料、セラミツクス等をワイヤにて切断（切
込みを含む）するワイヤ式切断装置に関するもの
である。
磁性材料、セラミツクス等をワイヤにて切断（切
込みを含む）するワイヤ式切断装置に関するもの
である。
〔従来の技術〕
従来、例えば半導体材料のインゴツトをウエハ
ー状に切断する手段の一つとしてワイヤを利用す
るワイヤ式切断機がある。この切断機は３個もし
くはそれ以上の溝ローラにワイヤを多数回所定間
隔を存して巻付け、これに被切断部材を押し付
け、砥粒を含む切削液を注ぎつつ往復移行せし
め、いわゆるラツピング作用にて切断する方式が
採られている。（例えば特公昭52−12954号公報）。
ー状に切断する手段の一つとしてワイヤを利用す
るワイヤ式切断機がある。この切断機は３個もし
くはそれ以上の溝ローラにワイヤを多数回所定間
隔を存して巻付け、これに被切断部材を押し付
け、砥粒を含む切削液を注ぎつつ往復移行せし
め、いわゆるラツピング作用にて切断する方式が
採られている。（例えば特公昭52−12954号公報）。
上記溝ローラへのワイヤ巻付けは、一般に手作
業により巻付ける方法が採られているが、溝ロー
ラに刻設されるワイヤ嵌挿溝の相互間隔はきわめ
て狭く、かつワイヤ巻付回数は100回以上にも及
ぶ場合があり、この溝にワイヤを順次巻付けるこ
とはきわめて困難で手数を要する欠点がある。
業により巻付ける方法が採られているが、溝ロー
ラに刻設されるワイヤ嵌挿溝の相互間隔はきわめ
て狭く、かつワイヤ巻付回数は100回以上にも及
ぶ場合があり、この溝にワイヤを順次巻付けるこ
とはきわめて困難で手数を要する欠点がある。
このため機械的に自動的にワイヤを巻付ける巻
付装置も提案されている（例えば実開昭55−
142243号公報）。
付装置も提案されている（例えば実開昭55−
142243号公報）。
しかし何れの場合においても、ワイヤの巻付作
業時は、切断作業ができず、きわめて非能率的で
ある。特に切断作業中にワイヤが切断したとき、
切断ワイヤの取外しと新規ワイヤの巻付けにきわ
めて手数を要する等の問題がある。
業時は、切断作業ができず、きわめて非能率的で
ある。特に切断作業中にワイヤが切断したとき、
切断ワイヤの取外しと新規ワイヤの巻付けにきわ
めて手数を要する等の問題がある。
本発明はかかる点に鑑み、溝ローラに対するワ
イヤの巻付けを迅速かつ確実に行うことのできる
ワイヤ巻付装置を提供することを目的とする。
イヤの巻付けを迅速かつ確実に行うことのできる
ワイヤ巻付装置を提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するためになしたもの
で、複数の溝ローラを対をなす面板間に回転可能
に配備し、これをワイヤ式切断機に対し着脱可能
な溝ローラユニツトとし、この溝ローラユニツト
を取付ける回転主軸と、この回転主軸と平行の螺
子桿と、この螺子桿に螺合される走行体とを備
え、走行体の先端には繰出されるワイヤを溝ロー
ラの溝位置に導くワイヤガイドプーリを取付け、
回転主軸は溝ローラ軸心と平行とし溝ローラユニ
ツトを回転すると共に、螺子桿は回転主軸の回動
に関連駆動される駆動モータに接続され、回転主
軸の回転に関連して間歇回動し、走行体を間歇移
動して該走行体に取付けられるワイヤガイドプー
リを溝ローラの溝位置に対向して順次移行するこ
とを要旨とする。
で、複数の溝ローラを対をなす面板間に回転可能
に配備し、これをワイヤ式切断機に対し着脱可能
な溝ローラユニツトとし、この溝ローラユニツト
を取付ける回転主軸と、この回転主軸と平行の螺
子桿と、この螺子桿に螺合される走行体とを備
え、走行体の先端には繰出されるワイヤを溝ロー
ラの溝位置に導くワイヤガイドプーリを取付け、
回転主軸は溝ローラ軸心と平行とし溝ローラユニ
ツトを回転すると共に、螺子桿は回転主軸の回動
に関連駆動される駆動モータに接続され、回転主
軸の回転に関連して間歇回動し、走行体を間歇移
動して該走行体に取付けられるワイヤガイドプー
リを溝ローラの溝位置に対向して順次移行するこ
とを要旨とする。
溝ローラユニツトをワイヤ式切断機から取外
し、主軸に取付け、主軸を回転する。
し、主軸に取付け、主軸を回転する。
これに関連して螺子桿を回動する。これにより
螺合する走行体に設けたワイヤガイドプーリを介
してワイヤを溝ローラに所定ピツチを以て巻付け
る。
螺合する走行体に設けたワイヤガイドプーリを介
してワイヤを溝ローラに所定ピツチを以て巻付け
る。
第１図は本発明に係るワイヤ巻付装置の正面図
である。ワイヤ巻付装置１は、溝ローラユニツト
２を支持し回転せしめる回転手段３とワイヤガイ
ド部４とよりなる。
である。ワイヤ巻付装置１は、溝ローラユニツト
２を支持し回転せしめる回転手段３とワイヤガイ
ド部４とよりなる。
上記溝ローラユニツト２は、複数例えば３個の
溝ローラ５，６，７とこれら各溝ローラを回転自
在に支持する前部面板１０及び後部面板１１とよ
りなり、両面板１０，１１は間隔保持用リブ１２
により所定間隔を存して連結されている。
溝ローラ５，６，７とこれら各溝ローラを回転自
在に支持する前部面板１０及び後部面板１１とよ
りなり、両面板１０，１１は間隔保持用リブ１２
により所定間隔を存して連結されている。
上記溝ローラ５，６，７は対称的または非対称
的に配備され、それぞれ同一の微小ピツチにて多
数の溝５ａ，６ａ，７ａが刻設され、そのうちの
１個の溝ローラ５は駆動ローラとし、駆動軸１３
を前部面板１０を貫通して突出せしめる。ワイヤ
１５はこれら各溝ローラ５，６，７の溝５ａ，６
ａ，７ａに亘つて巻付けられ、溝ローラ６，７間
には後述する如く被切断部材を切断するためのワ
イヤ列１５ａが形成される。両面板１０，１１は
中央下部に切欠部１６が形成され、かつ前部面板
１０には回転手段３に着脱可能に取付けられる取
付フランジ１７を備える。この取付フランジ１７
は好ましくは各溝ローラ５，６，７により形成さ
れる多角形の中心に位置して設けられる。１８は
前部面板１０に穿孔され、後述する切断機本体４
０に取付けるための取付孔である。回転手段３は
駆動モータ２０及びこの駆動モータ２０と減速機
２１を介して連結される主軸２２とを備え、主軸
２２はフレーム２３に設けられる対をなす軸受２
４，２４により回転自在に支承され、先端には前
記溝ローラユニツト２の取付フランジ１７に止着
される駆動フランジ２５を備える。ワイヤガイド
部４はワイヤ１５を巻付けるリール３０と、ワイ
ヤ１５を導く案内機構３１とよりなる。リール３
０は軸受３２に回転自在に支持されかつ制動部材
３３を備え、ワイヤ１５の引き出しに所要の抵抗
が付与される。
的に配備され、それぞれ同一の微小ピツチにて多
数の溝５ａ，６ａ，７ａが刻設され、そのうちの
１個の溝ローラ５は駆動ローラとし、駆動軸１３
を前部面板１０を貫通して突出せしめる。ワイヤ
１５はこれら各溝ローラ５，６，７の溝５ａ，６
ａ，７ａに亘つて巻付けられ、溝ローラ６，７間
には後述する如く被切断部材を切断するためのワ
イヤ列１５ａが形成される。両面板１０，１１は
中央下部に切欠部１６が形成され、かつ前部面板
１０には回転手段３に着脱可能に取付けられる取
付フランジ１７を備える。この取付フランジ１７
は好ましくは各溝ローラ５，６，７により形成さ
れる多角形の中心に位置して設けられる。１８は
前部面板１０に穿孔され、後述する切断機本体４
０に取付けるための取付孔である。回転手段３は
駆動モータ２０及びこの駆動モータ２０と減速機
２１を介して連結される主軸２２とを備え、主軸
２２はフレーム２３に設けられる対をなす軸受２
４，２４により回転自在に支承され、先端には前
記溝ローラユニツト２の取付フランジ１７に止着
される駆動フランジ２５を備える。ワイヤガイド
部４はワイヤ１５を巻付けるリール３０と、ワイ
ヤ１５を導く案内機構３１とよりなる。リール３
０は軸受３２に回転自在に支持されかつ制動部材
３３を備え、ワイヤ１５の引き出しに所要の抵抗
が付与される。
案内機構３１は平行に設けられた螺子桿３４と
ガイドバー３５とを備え、螺子桿３４は駆動モー
タ３６に連結され、ガイドプーリ３８を備えた走
行体３７は螺子桿３４に螺合され、かつバイドバ
ー３５を貫挿し、駆動モータ３６の回転により走
行体３７はガイドバー３５に沿つて往復走行され
る。この駆動モータ３６は回転手段３の主軸２２
と同期して回転され、主軸２２の１回転毎に走行
体３７を溝ローラ５，６，７の駆動用軸の適当な
位置に設置したリミツトスイツチにより例えばス
テツピングモータ３６により溝のピツチ長分を間
欠的に移行するようにしたものである。あるいは
駆動モータ３６として例えば可変速電動機が用い
られ、適宜の制御装置により回転を制御するよう
にしてもよい。あるいは駆動モータ２０と共にサ
ーボモータを用いてもよい。
ガイドバー３５とを備え、螺子桿３４は駆動モー
タ３６に連結され、ガイドプーリ３８を備えた走
行体３７は螺子桿３４に螺合され、かつバイドバ
ー３５を貫挿し、駆動モータ３６の回転により走
行体３７はガイドバー３５に沿つて往復走行され
る。この駆動モータ３６は回転手段３の主軸２２
と同期して回転され、主軸２２の１回転毎に走行
体３７を溝ローラ５，６，７の駆動用軸の適当な
位置に設置したリミツトスイツチにより例えばス
テツピングモータ３６により溝のピツチ長分を間
欠的に移行するようにしたものである。あるいは
駆動モータ３６として例えば可変速電動機が用い
られ、適宜の制御装置により回転を制御するよう
にしてもよい。あるいは駆動モータ２０と共にサ
ーボモータを用いてもよい。
上記構成において、溝ローラユニツト２に対し
ワイヤ１５を巻付けるに際しては、先ず溝ローラ
ユニツト２を主軸２２の駆動フランジ２５に取付
け、リール３０に巻かれたワイヤ１５を引き出
し、ガイドプーリ３８を介してワイヤ１５の先端
を溝ローラユニツト２の適所に係止し起動せしめ
る。これにより溝ローラユニツト２は溝ローラ
５，６，７と平行の軸心を中心として回転され、
ワイヤ１５は走行体３７の移行により各溝ローラ
５，６，７に亘りそれぞれの溝５ａ，６ａ，７ａ
に巻付けられる。尚この場合、ワイヤ１５は必ず
しも切断用ワイヤを用いる必要はなく、適宜のワ
イヤ用いることができる。
ワイヤ１５を巻付けるに際しては、先ず溝ローラ
ユニツト２を主軸２２の駆動フランジ２５に取付
け、リール３０に巻かれたワイヤ１５を引き出
し、ガイドプーリ３８を介してワイヤ１５の先端
を溝ローラユニツト２の適所に係止し起動せしめ
る。これにより溝ローラユニツト２は溝ローラ
５，６，７と平行の軸心を中心として回転され、
ワイヤ１５は走行体３７の移行により各溝ローラ
５，６，７に亘りそれぞれの溝５ａ，６ａ，７ａ
に巻付けられる。尚この場合、ワイヤ１５は必ず
しも切断用ワイヤを用いる必要はなく、適宜のワ
イヤ用いることができる。
なお上記ワイヤの巻付けに当たつては、下部の
溝ローラ６，７間にワイヤを張るときは、走行体
３７は移動させず、溝ローラ７，５間あるいは溝
ローラ５，６間にワイヤを張るときに、ワイヤピ
ツチ分だけ走行体３７を移動させればよい。
溝ローラ６，７間にワイヤを張るときは、走行体
３７は移動させず、溝ローラ７，５間あるいは溝
ローラ５，６間にワイヤを張るときに、ワイヤピ
ツチ分だけ走行体３７を移動させればよい。
これらは主軸２２の回転と駆動モータ３６の間
歇回動により任意に行うことができる。
歇回動により任意に行うことができる。
ワイヤ１５の巻付けを終わつた溝ローラユニツ
ト２のワイヤ式切断機への取付要領の１例を第６
図に示す。上記溝ローラユニツト２は取付孔１８
を利用して取付ビス３９により切断機本体４０に
取付けられ、駆動軸１３は該本体４０の駆動部
（図示省略）に連結される。Ｍは該駆動部に連結
されるモータである。被切断部材Ｗは溝ローラユ
ニツト２の切欠部１６の下方に位置せしめる。ワ
イヤ１５の一端は、予め切断機本体４０の一側に
設けられる供給リール４２に巻かれた切断用ワイ
ヤ４３に、また他端は切断機本体４０の他側に設
けられる巻取リール４４に巻かれた補助ワイヤ４
５に接続し、切断機を運転することにより、予め
巻付けられたワイヤ１５は巻取リール４４に巻取
られ、溝ローラユニツト２には切断用ワイヤ４３
が張設され、直ちに切断作業に移ることができ
る。
ト２のワイヤ式切断機への取付要領の１例を第６
図に示す。上記溝ローラユニツト２は取付孔１８
を利用して取付ビス３９により切断機本体４０に
取付けられ、駆動軸１３は該本体４０の駆動部
（図示省略）に連結される。Ｍは該駆動部に連結
されるモータである。被切断部材Ｗは溝ローラユ
ニツト２の切欠部１６の下方に位置せしめる。ワ
イヤ１５の一端は、予め切断機本体４０の一側に
設けられる供給リール４２に巻かれた切断用ワイ
ヤ４３に、また他端は切断機本体４０の他側に設
けられる巻取リール４４に巻かれた補助ワイヤ４
５に接続し、切断機を運転することにより、予め
巻付けられたワイヤ１５は巻取リール４４に巻取
られ、溝ローラユニツト２には切断用ワイヤ４３
が張設され、直ちに切断作業に移ることができ
る。
本発明によれば複数の溝ローラを対をなす面板
間に挟んで溝ローラユニツトを形成してワイヤ式
切断機に着脱可能とし、このユニツトを回転手段
により溝ローラと平行の軸心を中心として回転せ
しめると共にワイヤガイドプーリを取付けた走行
体を螺入する螺子桿を駆動モータにより溝ローラ
ユニツトの回転に関連して間歇回動し、走行体を
間歇移動して該走行体に取付けられるワイヤガイ
ドプーリを溝ローラの溝位置に対向して順次移行
し巻付けるようにしたから、ワイヤの巻付けが正
確かつ迅速にしかも自動的に行うことができる。
またワイヤの巻付作業は、ワイヤ式切断機から取
外して別個の場所において行われるからワイヤ式
切断機の能率向上を計ることができる。
間に挟んで溝ローラユニツトを形成してワイヤ式
切断機に着脱可能とし、このユニツトを回転手段
により溝ローラと平行の軸心を中心として回転せ
しめると共にワイヤガイドプーリを取付けた走行
体を螺入する螺子桿を駆動モータにより溝ローラ
ユニツトの回転に関連して間歇回動し、走行体を
間歇移動して該走行体に取付けられるワイヤガイ
ドプーリを溝ローラの溝位置に対向して順次移行
し巻付けるようにしたから、ワイヤの巻付けが正
確かつ迅速にしかも自動的に行うことができる。
またワイヤの巻付作業は、ワイヤ式切断機から取
外して別個の場所において行われるからワイヤ式
切断機の能率向上を計ることができる。
第１図は本発明に係るワイヤ式切断装置の全体
正面図、第２図は第１図における左側面図、第３
図は溝ローラユニツトの正面図、第４図は第１図
におけるＸ−Ｘ線に沿う溝ローラユニツトの縦断
面図、第５図は一部切欠した溝ローラユニツトの
斜視図、第６図は溝ローラユニツトの使用要領の
説明図である。 １はワイヤ巻付装置、２は溝ローラユニツト、
３は回転手段、４はワイヤガイド部、５，６，７
は溝ローラ、１０は前部面板、１１は後部面板で
ある。
正面図、第２図は第１図における左側面図、第３
図は溝ローラユニツトの正面図、第４図は第１図
におけるＸ−Ｘ線に沿う溝ローラユニツトの縦断
面図、第５図は一部切欠した溝ローラユニツトの
斜視図、第６図は溝ローラユニツトの使用要領の
説明図である。 １はワイヤ巻付装置、２は溝ローラユニツト、
３は回転手段、４はワイヤガイド部、５，６，７
は溝ローラ、１０は前部面板、１１は後部面板で
ある。
Claims (1)
- １ 複数の溝ローラを対をなす面板間に回転可能
に配備し、これをワイヤ式切断機に対し着脱可能
の溝ローラユニツトとし、この溝ローラユニツト
を取付ける回転主軸と、この回転主軸と平行の螺
子桿と、この螺子桿に螺合される走行体とを備
え、走行体の先端には繰出されるワイヤを溝ロー
ラの溝位置に導くワイヤガイドプーリを取付け、
回転主軸は溝ローラ軸心と平行とし溝ローラユニ
ツトを回転すると共に、螺子桿は回転主軸の回動
に関連駆動される駆動モータに接続され、回転主
軸の回転に関連して間歇回動し、走行体を間歇移
動して該走行体に取付けられるワイヤガイドプー
リを溝ローラの溝位置に対向して順次移行するこ
とを特徴とするワイヤ巻付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187384A JPS61100362A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ巻付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187384A JPS61100362A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ巻付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100362A JPS61100362A (ja) | 1986-05-19 |
| JPH044095B2 true JPH044095B2 (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=16773516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22187384A Granted JPS61100362A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ巻付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100362A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02198980A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-08-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ワイヤ式切断機におけるワイヤ巻付装置 |
| CN104441286B (zh) * | 2014-11-24 | 2016-01-06 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于多线切割机的全自动主辊布线装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428080A (en) * | 1977-08-04 | 1979-03-02 | Inoue Japax Res Inc | Electric-discharge processor |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55142243U (ja) * | 1979-03-30 | 1980-10-11 |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP22187384A patent/JPS61100362A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428080A (en) * | 1977-08-04 | 1979-03-02 | Inoue Japax Res Inc | Electric-discharge processor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61100362A (ja) | 1986-05-19 |
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