JPH10225857A - ワイヤソー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤソー装置において、ワイヤによるワー
クの加工位置が変化した場合でも、ワークの加工位置付
近のワイヤ上にスラリを的確に供給できるようにする。
また、ワークの加工中に加工負荷が変動した場合でも、
負荷変動に応じてスラリ供給口の開度を変更できるよう
にする。 【解決手段】 ワイヤ１５上に遊離砥粒を含むスラリを
供給するスラリ供給機構２３には、ワイヤ１５によるワ
ークの加工位置の変化に伴って、スラリの供給方向を変
更する供給方向変更装置５６を設ける。また、スラリ供
給機構２３には、ワーク１５の加工中の負荷変動に応じ
て、スラリ供給口５０の開度を変更する開度変更装置５
７を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークに対し、切断等の加工を施すワイヤソー装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のワイヤソー装置においては、複
数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、それらの
ローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形成され
ている。また、各加工用ローラ間において、環状溝には
１本のワイヤが順に巻回されている。そして、ワイヤが
走行されながら、そのワイヤ上にスラリ供給機構から遊
離砥粒を含むスラリが供給され、この状態でワイヤに対
しワークが押し付け接触されて、ワークに切断等の加工
が施されるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のワイ
ヤソー装置においては、スラリ供給機構が１本の供給パ
イプから構成され、その供給パイプの下部に所定開度の
スラリ供給口が形成されている。そして、ワイヤによる
ワークの加工位置の変化、及びワークの加工中の負荷変
動に関係なく、供給パイプのスラリ供給口からワイヤに
向かって、常に一定の供給方向及び量で、スラリが供給
されるようになっている。

【０００４】このため、例えば断面円形のワークを切断
加工する場合のように、ワイヤによるワークの加工範囲
が逐次変化するときには、スラリがワークの加工位置付
近のワイヤ上に的確に供給されないで、ワークを効率良
く加工することができないという問題があった。即ち、
ワイヤはワーク断面の弦位置を切断するため、加工の進
行にともない加工範囲が変化する。

【０００５】また、同様に断面円形のワークを切断加工
する場合のように、ワークの加工長の変化に伴い、即
ち、断面の弦の長さの変化に伴い、加工負荷が変動する
ときでも、常に一定量のスラリがスラリ供給口から供給
されて、ワークを効率良く加工することができないとい
う問題があった。

【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その第１の
目的は、ワイヤによるワークの加工位置が変化した場合
でも、常にそのワークの加工位置付近のワイヤ上にスラ
リを的確に供給することができて、ワークを効率良く加
工することができるワイヤソー装置を提供することにあ
る。

【０００７】この発明の第２の目的は、ワークの加工中
に加工負荷が変動した場合でも、その負荷変動に応じて
スラリ供給口の開度を変更することができて、ワークを
効率良く加工することができるワイヤソー装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明においては、スラリ供給機
構に設けられスラリの供給方向を変更する供給方向変更
手段と、前記供給方向変更手段を制御するための制御手
段とを設けた。

【０００９】請求項２に記載の発明においては、スラリ
供給機構に設けられスラリ供給口の開度を変更する開度
変更手段と、前記開度変更手段を制御するための制御手
段とを設けた。

【００１０】請求項３に記載の発明においては、前記ス
ラリ供給機構に設けられスラリの供給方向を変更する供
給方向変更手段及びスラリ供給口の開度を変更する開度
変更手段と、前記供給方向変更手段及び前記開度変更手
段を制御するための制御手段とを設けた。

【００１１】請求項４に記載の発明においては、請求項
１または請求項３に記載の発明において、前記スラリ供
給機構はワイヤの走行方向と直交する方向に延びるスラ
リ供給口を備えたパイプにより構成した。

【００１２】請求項５に記載の発明においては、請求項
４に記載のワイヤソー装置の発明において、制御手段
は、ワイヤによるワークの加工位置の変化に伴って、ス
ラリ供給口の向きを変更することによりスラリの供給方
向を変更するように制御する。

【００１３】請求項６に記載の発明においては、請求項
２または請求項３に記載の発明において、制御手段は、
ワークの加工中の負荷変動に応じて、スラリ供給口の開
度を変更するように制御する。

【００１４】請求項７に記載の発明においては、請求項
６に記載の発明において、ワークの加工中の負荷変動を
検出するための負荷検出手段を設け、前記制御手段は負
荷検出手段の検出結果に基づいて、スラリ供給口の開度
を変更させる。

【００１５】請求項８に記載の発明においては、請求項
２または請求項３に記載のワイヤソー装置において、前
記スラリ供給機構はスラリ供給口を備えた内外一対の供
給パイプを同心状に配置し、その外側供給パイプは同心
状をなす２本の調整パイプにより構成し、前記開度変更
手段は外側供給パイプの調整パイプを相対回動させるよ
うに構成した。

【００１６】請求項９に記載の発明においては、請求項
８に記載のワイヤソー装置において、前記スラリ供給機
構の内側供給パイプのスラリ供給口が上向きである。請
求項１０に記載の発明においては、請求項７に記載のワ
イヤソー装置において、前記負荷検出手段がワイヤ走行
用モータに流れる電流値の変動を測定する電流計で構成
した。

【００１７】請求項１１に記載の発明においては、請求
項７に記載のワイヤソー装置において、前記負荷検出手
段がスラリの温度を探知する温度センサで構成した。請
求項１２に記載の発明においては、複数の加工用ローラ
間に所定ピッチで巻回されたワイヤを走行させながら、
そのワイヤ上にスラリ供給機構から遊離砥粒を含むスラ
リを供給し、ワイヤに対しワークを接触させて、加工を
施すようにしたワイヤソー装置において、前記スラリ供
給機構に設けられ、スラリの供給方向を変更する供給方
向変更手段及びスラリ供給口の開度を変更する開度変更
手段を備えた。

【００１８】従って、請求項１，３に記載の発明によれ
ば、例えば円柱状のワークを切断加工する際には、ワー
クの切断経過に伴ってワイヤによるワークの加工位置が
逐次変化する。このような場合には、制御手段によって
供給方向変更手段が制御され、スラリの供給方向が変更
されるため、常にワークの加工位置付近のワイヤ上にス
ラリが的確に供給されて、常にワークを効率良く加工す
ることができる。

【００１９】請求項２，３に記載の発明によれば、例え
ば円柱状のワークを切断加工する際には、ワークの加工
中に加工負荷が変動する。このような場合には、制御手
段によって開度変更手段が制御される。このため、スラ
リ供給口の開度が変更されるとともに、スラリ供給口の
開度が常に加工負荷に適合した状態に変更されて、ワー
クを効率良く加工することができる。

【００２０】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
または請求項３に記載の発明の作用に加えて、スラリが
ワイヤの走行方向と直交する方向に延びるスラリ供給口
から供給される。

【００２１】請求項５に記載の発明によれば、請求項４
に記載の発明の作用に加えて、ワークの加工位置の変化
にともない、スラリ供給口の向きが変更されてスラリの
供給方向が変更される。

【００２２】請求項６に記載の発明によれば、請求項２
または請求項３に記載の発明の作用に加えて、ワークの
加工中の負荷変動に応じて、スラリ供給口の開度が変更
される。

【００２３】請求項７に記載の発明によれば、請求項６
に記載の発明の作用に加えて、負荷検出手段によりワー
クの加工中の負荷変動が検出され、その負荷検出手段の
基づいて、スラリ供給口の開度が変更される。

【００２４】請求項８に記載の発明によれば、請求項２
または請求項３に記載の発明の作用に加えて、外側供給
パイプにおける調整パイプの相対により、スラリ供給口
の開度を加工負荷の変動に応じて適切に変更することが
できる。

【００２５】請求項９に記載の発明によれば、請求項８
に記載の発明の作用に加えて、内側供給パイプの上向き
のスラリ供給口からスラリが上方に向かって吐出され
る。請求項１０に記載の発明によれば、請求項７に記載
の発明の作用に加えて、負荷変動の検出を電流計により
容易に行われる。

【００２６】請求項１１に記載の発明によれば、請求項
７に記載の発明の作用に加えて、スラリ温度より負荷変
動の検出が行われる。請求項１２に記載の発明によれ
ば、スラリの供給方向及び供給量を手動で調節すること
ができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図面に基づいて説明する。図１及び図２に示すよう
に、切断機構１１は装置基台１２上に装設されている。
この切断機構１１は平行に延びる加工用駆動ローラ１３
及び加工用被動ローラ１４を備え、それらの外周には環
状溝１３ａ，１４ａが所定ピッチで形成されている。な
お、図面においては理解を容易にするために、環状溝１
３ａ，１４ａの数を実際よりも少なく描いてある。

【００２８】１本の線材よりなるワイヤ１５は前記加工
用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに連続的
に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１６は装置基台
１２上に配設され、このモータ１６により加工用駆動ロ
ーラ１３が直接回転されるとともに、複数のプーリ１７
及びベルト１８を介して加工用被動ローラ１４が回転さ
れる。そして、これらの加工用ローラ１３，１４の回転
によって、ワイヤ１５が所定の走行速度で走行される。
このワイヤ１５の走行は、一定量前進（例えば１０ｍ）
及び一定量後退（例えば９ｍ）を繰り返し、全体として
歩進的に前進するように行われる。

【００２９】ワーク支持機構１９は前記切断機構１１の
上方に位置するように、装置基台１２上に立設されたコ
ラム２０に上下動可能に支持され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク２１が着脱自在にセットされる。ワー
ク昇降用モータ２２はコラム２０上に配設され、このモ
ータ２２により図示しないボールスクリュー等を介して
ワーク支持機構１９が上下動される。

【００３０】一対のスラリ供給機構２３は前記両加工用
ローラ１３，１４間のワイヤ１５の上方に対向位置する
ように、装置基台１２上に所定間隔をおいて配設されて
いる。また、これらのスラリ供給機構１９から両加工用
ローラ１３，１４間のワイヤ１５に向けて、遊離砥粒を
含む水性または油性のスラリが供給されるようになって
いる。

【００３１】そして、このワイヤソー装置の運転時に
は、ワイヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１３，１
４間で走行されながら、ワーク支持機構１９が切断機構
１１に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２３により、ワイヤ１５上へ遊離砥粒を含むスラリが供
給されるとともに、そのワイヤ１５に対しワーク２１が
押し付け接触され、ラッピング作用によってワーク２１
がスライス状に切断加工される。

【００３２】リール機構２４は前記装置基台１２上に装
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２５
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２６とを
備えている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ２７，２８は
装置基台１２に配設され、それらのモータ軸には図示し
ない伝達機構を介してリール２５，２６が連結されてい
る。

【００３３】トラバース機構２９は繰出しリール２５か
らのワイヤ１５の繰出し及び巻取りリール２６へのワイ
ヤ１５の巻取りを、上下にトラバースしながら案内す
る。そして、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間
に巻回されたワイヤ１５の両端が、各ガイドローラ３２
を介して張力付与機構３０に掛装され、張力付与機構３
０により、加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所
定の張力が付与されるようになっている。

【００３４】次に、前記スラリ供給機構２３について詳
細に説明する。図３〜図６に示すように、各スラリ供給
機構２３はワイヤ１５の走行方向と直交する方向に延び
る内側供給パイプ３７と外側供給パイプ３８とから構成
されている。そして、内側供給パイプ３７の両端には支
軸部３９が突設されるとともに、上面には複数のスラリ
供給孔４０が形成されている。

【００３５】前記外側供給パイプ３８は２つの調整パイ
プ４１，４２により構成されている。内側の第１調整パ
イプ４１の両端には筒状軸部４３及び被動歯車４４が突
設され、外周には幅広溝状の開口４５が形成されてい
る。外側の第２調整パイプ４２の両端には筒状軸部４６
及び被動歯車４７が突設され、外周には幅広溝状の開口
４８が形成されている。

【００３６】そして、前記外側供給パイプ３８は第１調
整パイプ４１を第２調整パイプ４２内に相対回転可能に
嵌合した状態で、両端において一対のブラケット４９に
より、装置基台１２の一部に回動可能に支持されてい
る。この状態で、両調整パイプ４１，４２の開口４５，
４８により、外側供給パイプ３８のスラリ供給口５０が
確定されるようになっている。また、内側供給パイプ３
７は外側供給パイプ３８内に所定間隔をおいて同心状に
嵌挿配設され、その一端支軸部３９が固定板５１を介し
て一方のブラケット４９に固定されている。

【００３７】前記スラリ供給孔４０，開口４５，４８は
ワイヤ１５の走行方向と直交する方向に延びている。第
１の変更用モータ５２は前記装置基台１２上に配設さ
れ、そのモータ軸には第１調整パイプ４１上の被動歯車
４４に噛合可能な駆動歯車５３が取り付けられている。
第２の変更用モータ５４は第１の変更用モータ５２に隣
接して装置基台１２上に配設され、そのモータ軸には第
２調整パイプ４２上の被動歯車４７に噛合可能な駆動歯
車５５が取り付けられている。

【００３８】そして、前記第１，第２の変更用モータ５
２，５４及びこのモータ５２，５４による外側供給パイ
プ３７の第１，第２の調整パイプ４１，４２の回動構成
により、スラリの供給方向を変更するための供給方向変
更手段としての供給方向変更装置５６が構成されてい
る。また、両変更用モータ５２，５４及びこれらのモー
タ５２，５４による外側供給パイプ３８の第１調整パイ
プ４１及び第２調整パイプ４２の回動構成により、外側
供給パイプ３８のスラリ供給口５０の開度を変更するた
めの開度変更手段としての開度変更装置５７が構成され
ている。

【００３９】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置のスラリ供給機構２３に関連する制御回路について
説明する。図９に示すように、制御手段としての制御装
置６１はスラリ供給機構２３を含むワイヤソー装置全体
の動作を制御する。メモリ６２はワーク２１の切断加工
の進行に伴って変化する加工位置データを、ワーク２１
の種類別に記憶している。負荷検出手段としての電流計
６３はワーク２１の切断加工中に、ワイヤ走行用モータ
１６に流れる電流値を測定することにより、ワイヤ１５
に作用する加工負荷の変動を検出するようになってい
る。

【００４０】そして、前記制御装置６１は、ワーク２１
の切断加工時に、メモリ６２に記憶されたワイヤ１５に
よるワーク２１の加工位置の変化に応じて、第１及び第
２の変更用モータ５２，５４を回転制御する。これによ
り、第１，第２の調整パイプ４１，４２が一体的に同方
向へ回動されて、外側供給パイプ３８のスラリ供給口５
０の向きを変えて、常にスラリの供給方向をワーク２１
の加工位置付近へ指向するように変更する。

【００４１】また、前記制御装置６１は、ワーク２１の
切断加工時に、電流計６３から負荷検出信号を入力し、
その負荷検出信号に応じて第１及び第２の変更用モータ
５２，５４を回転制御する。これにより、第１，第２の
調整パイプ４１，４２が互いの逆方向へ回動され、外側
供給パイプ３８のスラリ供給口５０の開度を変えて、ス
ラリの供給量及び供給圧力を加工負荷と適合するように
変更する。

【００４２】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置について動作を説明する。さて、このワイヤソー装
置においては、ワイヤ１５がリール機構２４の繰出しリ
ール２５から繰り出され、切断機構１１の加工用ローラ
１３，１４間において歩進的に走行された後、巻取りリ
ール２６に巻き取られる。そして、スラリ供給機構２３
により、加工用ローラ１３，１４間におけるワーク２１
の前後両側においてワイヤ１５上に遊離砥粒を含むスラ
リが供給されながら、ワーク支持機構１９の下降によ
り、ワイヤ１５に対してワーク２１が押し付け接触され
る。これにより、ワーク２１が所定の厚さに切断加工さ
れる。

【００４３】このワーク２１の切断加工時において、例
えばワーク２１の形状が円柱状である場合には、ワーク
２１の切断経過に伴って、ワイヤ１５によるワーク２１
の加工範囲、即ち加工位置が、図７及び図８に示すよう
にワーク２１の円弧に沿って逐次変化する。このような
場合には、制御装置６１によりメモリ６２に記憶された
加工位置のデータに基づいて、第１及び第２の変更用モ
ータ５２，５４が回転制御され、外側供給パイプ３８の
両調整パイプ４１，４２が一体的に回動される。これに
より、外側供給パイプ３８のスラリ供給口５０の向きが
変更されて、常にスラリの供給方向がワーク２１の加工
位置の両端付近へ指向するように変更される。

【００４４】また、この円柱状のワーク２１を切断加工
する際には、図７及び図８から明らかなように、加工長
が逐次変化してワーク２１の加工中に加工負荷が変動す
る。このような場合には、制御装置６１により電流計６
３からの負荷検出信号に応じて、第１及び第２の変更用
モータ５２，５４が回転制御され、外側供給パイプ３８
の第１調整パイプ４１と第２調整パイプ４２とが互いの
反対方向に相対回動される。これにより、外側供給パイ
プ３８のスラリ供給口５０の開度が変更され、スラリの
供給量及び供給圧力が加工負荷と適合するように変更さ
れる。

【００４５】次に、本実施形態によって期待できる効果
について、以下に記載する。 ・この実施形態のワイヤソー装置においては、供給方向
変更手段としての供給方向変更装置５６により、ワーク
２１の加工位置の変化に伴って、スラリの供給方向が変
更されるようになっている。このため、ワーク２１の形
状に拘わらず、切断加工時は常にワーク２１の加工位置
付近のワイヤ１５上に、スラリを的確に供給することが
できて、ワーク２１を効率良く加工することができる。

【００４６】・この実施形態のワイヤソー装置では、供
給方向変更手段が外側供給パイプ３８の回動構成からな
っている。このため、供給方向変更手段の簡単な構成に
より、スラリの供給方向をワーク２１の加工位置の変化
に応じて適切に変更することができる。

【００４７】・この実施形態のワイヤソー装置において
は、開度変更手段としての開度変更装置５７により、ワ
ーク２１の加工中の負荷変動に応じて、スラリ供給口５
０の開度が変更されるようになっている。このため、ス
ラリ供給口５０の開度を常に加工負荷に適合した状態に
変更することができて、ワーク２１を効率良く加工する
ことができる。

【００４８】・この実施形態のワイヤソー装置では、開
度変更手段が外側供給パイプ３８における第１調整パイ
プ４１と第２調整パイプ４２との相対回動構成からなっ
ている。このため、開度変更手段の簡単な構成により、
スラリ供給口５０の開度を加工負荷の変動に応じて適切
に変更することができる。

【００４９】・この実施形態のワイヤソー装置では、ス
ラリ供給機構２３の内側供給パイプ３７のスラリ供給孔
４０が上向きに開口している。このため、スラリが内側
供給パイプ３７のスラリ供給孔４０から第１，第２の調
整パイプ４１，４２の開口４５，４８から外部へ直接供
給されることがなく、内側供給パイプ３７と外側供給パ
イプ３８との間の空間にいったん貯留される。従って、
開口４５，４８の長さ方向においてスラリを均一に供給
することができる。

【００５０】なお、前記実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・前記実施形態における電流計６３に代えて、図９に２
点鎖線で示すように、負荷検出手段としての温度センサ
６５を、例えば内側供給パイプ３７の直近上流側に設
け、この温度センサ６５にてスラリの温度を測定するこ
とにより、加工負荷を検出するように構成すること。即
ち、加工負荷が増大すると、ワイヤに係る負荷も増大し
て、スラリ温度が上昇する。そして、ワーク２１の切断
加工に使用されたスラリは回収されて再利用される。こ
のため、内側供給パイプ３７の直近上流側に温度センサ
６５を設けると、スラリの温度変化で加工負荷を検出す
ることができる。

【００５１】・前記実施形態における開度変更手段とし
ての開度変更装置５７を省略すること。例えば、外側供
給パイプ３８を２つの調整パイプ４１，４２を用いるこ
となく、所定開度のスラリ供給口５０を備えた１つのパ
イプで構成する。そして、この外側供給パイプ３８を内
側パイプ３７に対して相対回動させて、スラリ供給口５
０からのスラリの供給方向のみを変更するように構成す
ること。

【００５２】・前記実施形態における供給方向変更手段
としての供給方向変更装置５６を省略すること。例え
ば、外側供給パイプ３８の第１調整パイプ４１と第２調
整パイプ４２とのいずれか一方のパイプを静止状態に保
持するとともに、他方のパイプを一方のパイプに対して
相対回動させるように構成する。そして、この相対回動
によって、外側供給パイプ３８のスラリ供給口５０の開
度のみを変更するように構成すること。

【００５３】・第１，第２の変更用モータ５２，５４等
を省略し、スラリ供給口５０の方向変更及び開度変更を
手動によりできるように構成すること。

【００５４】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１，３に記載
の発明によれば、ワイヤによるワークの加工位置が変化
した場合でも、加工位置の変化に応じてスラリ供給方向
を変更することができ、常にそのワークの加工位置付近
のワイヤ上にスラリを的確に供給することができて、ワ
ークを効率良く加工することができる。

【００５５】請求項２，３に記載の発明によれば、ワー
クの加工中に加工負荷が変動した場合でも、その負荷変
動に応じてスラリ供給口の開度を変更することができ
て、ワークを効率良く加工することができる。

【００５６】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
または請求項３に記載の効果に加えて、供給方向変更手
段の簡単な構成によって、スラリの供給方向を適切に変
更することができる。

【００５７】請求項５に記載の発明によれば、請求項４
に記載の発明の効果に加えて、ワークの加工位置の変化
に伴って、スラリ供給口の向きを変更することで、スラ
リの供給方向を容易に変更することができる。

【００５８】請求項６に記載の発明によれば、請求項２
または請求項３に記載の発明の効果に加えて、ワークの
加工中の負荷変動に応じて、スラリ供給口の開度を変更
することができる。

【００５９】請求項７に記載の発明によれば、請求項６
に記載の発明の効果に加えて、負荷検出手段によってワ
ークの加工中の負荷変動が検出され、その検出手段に基
づいて、スラリ供給口の開度を変更することができる。

【００６０】請求項８に記載の発明によれば、請求項２
または請求項３に記載の発明の効果に加えて、開度変更
手段の簡単な構成によって、スラリ供給口の開度を適切
に変更することができる。

【００６１】請求項９に記載の発明によれば、請求項８
に記載の発明の効果に加えて、ワイヤに対してスラリを
均一に供給することができる。請求項１０に記載の発明
によれば、請求項７に記載の発明の効果に加えて、電流
計によって、負荷が検出される。そして、この検出によ
ってスラリ供給口の開度が変更される。

【００６２】請求項１１に記載の発明によれば、請求項
７に記載の発明の効果に加えて、温度センサによって、
負荷が検出される。そして、この検出によってスラリ供
給口の開度が変更される。

【００６３】請求項１２に記載の発明によれば、スラリ
の供給方向及び供給量を手動で調節することができ、構
成が簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のワイヤソー装置の一実施形態を示
す正面図。

【図２】 そのワイヤソー装置の平面図。

【図３】 スラリ供給機構を拡大して示す斜視図。

【図４】 スラリ供給機構を分解して示す斜視図。

【図５】 スラリ供給機構の正断面図。

【図６】 スラリ供給機構の側断面図。

【図７】 スラリ供給機構の動作を説明するための要部
断面図。

【図８】 スラリ供給機構の異なった動作を説明するた
めの要部断面図。

【図９】 スラリ供給機構に関連する制御回路を示すブ
ロック図。

【符号の説明】

１１…切断機構、１３…加工用駆動ローラ、１４…加工
用被動ローラ、１３ａ，１４ａ…環状溝、１５…ワイ
ヤ、１９…ワーク支持機構、２１…ワーク、２３…スラ
リ供給機構、３７…内側供給パイプ、３８…外側供給パ
イプ、４０…スラリ供給孔、４１…第１調整パイプ、４
２…第２調整パイプ、５０…スラリ供給口、５２…第１
の変更用モータ、５４…第２の変更用モータ、５６…供
給方向変更手段としての供給方向変更装置、５７…開度
変更手段としての開度変更装置、６１…制御手段として
の制御装置、６２…メモリ、６３…負荷検出手段として
の電流計、６５…負荷検出手段としての温度センサ。

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
   回されたワイヤを走行させながら、そのワイヤ上にスラ
   リ供給機構から遊離砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤ
   に対しワークを接触させて、加工を施すようにしたワイ
   ヤソー装置において、 前記スラリ供給機構に設けられ、スラリの供給方向を変
   更する供給方向変更手段と、 前記供給方向変更手段を制御するための制御手段とを設
   けたワイヤソー装置。
2. 【請求項２】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
   回されたワイヤを走行させながら、そのワイヤ上にスラ
   リ供給機構から遊離砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤ
   に対しワークを接触させて、加工を施すようにしたワイ
   ヤソー装置において、 前記スラリ供給機構に設けられ、スラリ供給口の開度を
   変更する開度変更手段と、 前記開度変更手段を制御するための制御手段とを設けた
   ワイヤソー装置。
3. 【請求項３】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
   回されたワイヤを走行させながら、そのワイヤ上にスラ
   リ供給機構から遊離砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤ
   に対しワークを接触させて、加工を施すようにしたワイ
   ヤソー装置において、 前記スラリ供給機構に設けられ、スラリの供給方向を変
   更する供給方向変更手段及びスラリ供給口の開度を変更
   する開度変更手段と、 前記供給方向変更手段及び前記開度変更手段を制御する
   ための制御手段とを設けたワイヤソー装置。
4. 【請求項４】 前記スラリ供給機構はワイヤの走行方向
   と直交する方向に延びるスラリ供給口を備えたパイプに
   より構成した請求項１または請求項３に記載のワイヤソ
   ー装置。
5. 【請求項５】 制御手段は、ワイヤによるワークの加工
   位置の変化に伴って、スラリ供給口の向きを変更するこ
   とによりスラリの供給方向を変更するように制御する請
   求項４に記載のワイヤソー装置。
6. 【請求項６】 制御手段は、ワークの加工中の負荷変動
   に応じて、スラリ供給口の開度を変更するように制御す
   る請求項２または請求項３に記載のワイヤソー装置。
7. 【請求項７】 ワークの加工中の負荷変動を検出するた
   めの負荷検出手段を設け、前記制御手段は負荷検出手段
   の検出結果に基づいて、スラリ供給口の開度を変更する
   請求項６に記載のワイヤソー装置。
8. 【請求項８】 前記スラリ供給機構はスラリ供給口を備
   えた内外一対の供給パイプを同心状に配置して構成し、
   その外側供給パイプは同心状をなす２本の調整パイプに
   より構成し、前記開度変更手段は外側供給パイプの調整
   パイプを相対回動させるように構成した請求項２または
   請求項３に記載のワイヤソー装置。
9. 【請求項９】 前記スラリ供給機構の内側供給パイプの
   スラリ供給口が上向きである請求項８に記載のワイヤソ
   ー装置。
10. 【請求項１０】 前記負荷検出手段がワイヤ走行用モー
    タに流れる電流値の変動を測定する電流計で構成した請
    求項７に記載のワイヤソー装置。
11. 【請求項１１】 前記負荷検出手段がスラリの温度を探
    知する温度センサで構成した請求項７に記載のワイヤソ
    ー装置。
12. 【請求項１２】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで
    巻回されたワイヤを走行させながら、そのワイヤ上にス
    ラリ供給機構から遊離砥粒を含むスラリを供給し、ワイ
    ヤに対しワークを接触させて、加工を施すようにしたワ
    イヤソー装置において、 前記スラリ供給機構に設けられ、スラリの供給方向を変
    更する供給方向変更手段及びスラリ供給口の開度を変更
    する開度変更手段を備えたワイヤソー装置。