JP6562216B2 - ワイヤソー装置 - Google Patents
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Description
これにより、ワイヤによりワークを切断して設けた円板の加工精度を向上させることができ、詳しくは円板の切断面の面精度を向上させることができる。
本発明の実施の形態に係るワイヤソー装置1は、ワークW、例えば円柱状の半導体インゴットをワイヤ列により切断して多数のウエハを形成するものである。図1に示すように、本ワイヤソー装置1は、支持壁部10により、ワークWをワイヤ列によって切削加工を行う加工エリアA1と、一対のボビン3a、3b及び一対の張力調整機構4a、4bが配置される非加工エリアA2とに区画されている。なお、図1では、ワイヤ5の図示は省略されている。
そこで、例えば、各ボビン3a、3bの使用回転数が1200〜6000rpmであると、その振動数が20Hz〜100Hzとなる。そして、本実施形態では、支持台2は、主に、その材質をアルミ合金にて構成し、その板厚を適宜設定するなどして、その共振周波数が150Hz程度になるように構成される。一方、支持壁部10は、主に、その材質をステンレスまたは炭素鋼にて構成し、その板厚を適宜設定して、さらに、非加工エリアA2側の面13bに板状の補強リブ10bを設けるなどして、その共振周波数が200Hz程度になるように構成される。なお、支持壁部10の補強リブ10bは、非加工エリアA2側の面13bの幅方向略中央部を上下方向に沿って延びている。また、補強リブ10bには、複数の開口部10cが形成されている。
各サーボモータ22a、22bを駆動させることで、一対のボビン3a、3bを回転させる。すると、一方のボビン3aからワイヤ5が繰り出され、ワイヤ5は、概略、一方の張力調整機構4a、各加工用ローラ7a、7b、7c及び他方の張力調整機構4bを高速走行して、他方のボビン3bに巻き取られる。なお、ワイヤ5は一方向に連続走行させてもよいし、往復走行しながら一方向に走行させるようにしてもよい。
これにより、ワイヤ5によりワークWを切断して設けた円板の加工精度を向上させることができ、詳しくはワイヤ5による円板の切断面の面精度を向上させることができる。
Claims (1)
- 複数の加工用ローラに巻回されるワイヤによってワークを切削加工するワイヤソー装置であって、
ワイヤを繰り出して、巻き取る一対のボビンを支持する支持台と、
前記各加工用ローラを回転自在に支持すると共に、ワークを支持するワーク支持機構を前記各加工用ローラに向かって進退自在に支持する支持壁部と、を備え、
前記支持壁部により、前記支持台上を、前記ボビンが配置される非加工エリアと、前記各加工用ローラ及び前記ワーク支持機構が配置される加工エリアと、に区画して、
前記支持壁部の加工エリア側の面に前記ワーク支持機構が上下動自在に支持される共に、前記支持壁部の加工エリア側の面から前記各加工用ローラが前記加工エリアに向かって突出するように支持されており、
前記支持壁部の共振周波数が前記支持台の共振周波数よりも大きくなるように、且つ前記支持台の共振周波数が前記各ボビンの回転駆動時の振動数よりも大きくなるように、前記支持壁部及び前記支持台を構成することを特徴とするワイヤソー装置。
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