JP3109384B2 - ワイヤーソー - Google Patents
ワイヤーソーInfo
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- JP3109384B2 JP3109384B2 JP15602794A JP15602794A JP3109384B2 JP 3109384 B2 JP3109384 B2 JP 3109384B2 JP 15602794 A JP15602794 A JP 15602794A JP 15602794 A JP15602794 A JP 15602794A JP 3109384 B2 JP3109384 B2 JP 3109384B2
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- reel
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- grooved roller
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】本発明はワイヤーソーに係り、特に円柱状
の半導体インゴット、セラミック、ガラス等の被加工物
を走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに切断す
るワイヤーソーに関する。
の半導体インゴット、セラミック、ガラス等の被加工物
を走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに切断す
るワイヤーソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
【０００３】このワイヤーソーの駆動は、溝付ローラに
設置したモータの１軸駆動と繰り出し側と巻取り側との
ワイヤーリールに設置したモータの２軸駆動により行っ
ており、前記３つのモータ間では、ワイヤーリールに設
置した２つのモータが、溝付ローラに設置した１つのモ
ータと同期回転するように制御されている。すなわち、
これら３つのモータが同期回転しないと、ワイヤーに過
大な張力が加わり破断する恐れがある。従って、ワイヤ
ーソーの駆動径では、途中でダンサローラを配置し、こ
のダンサローラの上下動でワイヤーの緊張又は緩みを除
去すると共に、ダンサローラの上下変移量に基づいてワ
イヤーリールのモータを適正な回転数にするようにフィ
ードバック制御している。
設置したモータの１軸駆動と繰り出し側と巻取り側との
ワイヤーリールに設置したモータの２軸駆動により行っ
ており、前記３つのモータ間では、ワイヤーリールに設
置した２つのモータが、溝付ローラに設置した１つのモ
ータと同期回転するように制御されている。すなわち、
これら３つのモータが同期回転しないと、ワイヤーに過
大な張力が加わり破断する恐れがある。従って、ワイヤ
ーソーの駆動径では、途中でダンサローラを配置し、こ
のダンサローラの上下動でワイヤーの緊張又は緩みを除
去すると共に、ダンサローラの上下変移量に基づいてワ
イヤーリールのモータを適正な回転数にするようにフィ
ードバック制御している。
【０００４】しかし、ワイヤーソーの始動時は、ダンサ
ローラのフィードバック制御ができず、前記３つのモー
タの立ち上げ速度を作業者が設定する必要がある。この
モータの立ち上げ速度の設定は溝付ローラ及びワイヤー
リールのワイヤー巻径をモータの駆動制御を行っている
ＣＰＵに入力することによりする。また、再始動時にも
ワイヤーリール及び溝付ローラのワイヤー巻径をＣＰＵ
に入力する必要がある。
ローラのフィードバック制御ができず、前記３つのモー
タの立ち上げ速度を作業者が設定する必要がある。この
モータの立ち上げ速度の設定は溝付ローラ及びワイヤー
リールのワイヤー巻径をモータの駆動制御を行っている
ＣＰＵに入力することによりする。また、再始動時にも
ワイヤーリール及び溝付ローラのワイヤー巻径をＣＰＵ
に入力する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被加工
物の大型化に伴いワイヤーリールのワイヤー巻量も増加
するようになり、作業者がスケールで径を測定すること
は困難になってきた。また、スケールで測定する際は読
み取りを目測で行う為、正確な測定値が得られず誤った
径で立ち上げ速度を設定してしまいワイヤーが破断する
という問題があった。
物の大型化に伴いワイヤーリールのワイヤー巻量も増加
するようになり、作業者がスケールで径を測定すること
は困難になってきた。また、スケールで測定する際は読
み取りを目測で行う為、正確な測定値が得られず誤った
径で立ち上げ速度を設定してしまいワイヤーが破断する
という問題があった。
【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻
径を自動で測定することにより、作業者の負担を軽減さ
せるワイヤーソーを提供することを目的とする。
たもので、溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻
径を自動で測定することにより、作業者の負担を軽減さ
せるワイヤーソーを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰
り出して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成
して他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤー列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前
記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前
記ワイヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤ
ーソーであって、前記ワイヤーソーは、前記溝付ローラ
及び前記ワイヤーリールのワイヤー巻径を検出するワイ
ヤー巻径検出装置を有し、前記ワイヤー巻径検出装置
は、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールの回転量測
定手段と、前記溝付ローラを回転する駆動モータを停止
して前記溝付ローラを固定した状態で前記ワイヤーリー
ルを回転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリー
ルとの間の前記ワイヤーの移動量を測定するとともに、
前記ワイヤーリールを回転する駆動モータを停止して前
記ワイヤーリールを固定した状態で前記溝付ローラを回
転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリールとの
間の前記ワイヤーの移動量を測定するワイヤー移動量測
定手段と、前記回転量測定手段の測定値（Ｎ）と前記ワ
イヤー移動量測定手段の測定値（Ｌ）を信号として取り
入れ、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールのワイヤ
ー巻径（Ｄ）を次式Ｄ＝（Ｌ／πＮ）の演算を実行して
算出する演算手段と、からなり、前記ワイヤーソーの始
動時又は再始動時に前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリ
ールのワイヤー巻径を自動で検出して設定することを特
徴とする。
成するために、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰
り出して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成
して他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤー列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前
記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前
記ワイヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤ
ーソーであって、前記ワイヤーソーは、前記溝付ローラ
及び前記ワイヤーリールのワイヤー巻径を検出するワイ
ヤー巻径検出装置を有し、前記ワイヤー巻径検出装置
は、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールの回転量測
定手段と、前記溝付ローラを回転する駆動モータを停止
して前記溝付ローラを固定した状態で前記ワイヤーリー
ルを回転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリー
ルとの間の前記ワイヤーの移動量を測定するとともに、
前記ワイヤーリールを回転する駆動モータを停止して前
記ワイヤーリールを固定した状態で前記溝付ローラを回
転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリールとの
間の前記ワイヤーの移動量を測定するワイヤー移動量測
定手段と、前記回転量測定手段の測定値（Ｎ）と前記ワ
イヤー移動量測定手段の測定値（Ｌ）を信号として取り
入れ、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールのワイヤ
ー巻径（Ｄ）を次式Ｄ＝（Ｌ／πＮ）の演算を実行して
算出する演算手段と、からなり、前記ワイヤーソーの始
動時又は再始動時に前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリ
ールのワイヤー巻径を自動で検出して設定することを特
徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、ワイヤーソーの始動時又は再
始動時に溝付ローラ又はワイヤーリールを固定した状態
で、ワイヤーリール又は溝付ローラを回転させた時の溝
付ローラとワイヤーリールの間のワイヤーの移動量
（Ｌ）を測定するとともに、このワイヤーの移動量
（Ｌ）に対するワイヤーリール又は溝付ローラの回転量
（Ｎ）を測定し、ワイヤーの移動量（Ｌ）とワイヤーリ
ール又は溝付ローラ回転量（Ｎ）からワイヤーリール及
び溝付ローラのワイヤー巻径（Ｄ）を次式Ｄ＝（Ｌ／π
Ｎ）の演算を実行して検出し設定する。すなわち、ワイ
ヤーの移動量（Ｌ）に対するワイヤーリール又は溝付ロ
ーラの回転量（Ｎ）を測定することにより、両者間にあ
る上式の関係を利用してワイヤーリール及び溝付ローラ
のワイヤー巻径を自動で検出して設定する。
始動時に溝付ローラ又はワイヤーリールを固定した状態
で、ワイヤーリール又は溝付ローラを回転させた時の溝
付ローラとワイヤーリールの間のワイヤーの移動量
（Ｌ）を測定するとともに、このワイヤーの移動量
（Ｌ）に対するワイヤーリール又は溝付ローラの回転量
（Ｎ）を測定し、ワイヤーの移動量（Ｌ）とワイヤーリ
ール又は溝付ローラ回転量（Ｎ）からワイヤーリール及
び溝付ローラのワイヤー巻径（Ｄ）を次式Ｄ＝（Ｌ／π
Ｎ）の演算を実行して検出し設定する。すなわち、ワイ
ヤーの移動量（Ｌ）に対するワイヤーリール又は溝付ロ
ーラの回転量（Ｎ）を測定することにより、両者間にあ
る上式の関係を利用してワイヤーリール及び溝付ローラ
のワイヤー巻径を自動で検出して設定する。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーの好ましい実施例について詳説する。まず、ワイヤ
ーソー１０について概説する。図１に示すように、一方
のリール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワイヤー案
内装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダン
サローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２２、２
２、２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を形成し
た後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサロー
ラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール２６
に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
ソーの好ましい実施例について詳説する。まず、ワイヤ
ーソー１０について概説する。図１に示すように、一方
のリール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワイヤー案
内装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダン
サローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２２、２
２、２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を形成し
た後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサロー
ラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール２６
に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
【００１０】前記ダンサローラ２０には、所定重量の錘
４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置４６
が設けられ、このワイヤー洗浄装置４６によってワイヤ
ー１４に付着した加工液４０がワイヤー１４から除去さ
れる。また、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な
駆動モータ２８、３０に連結されると共に、３本のうち
の１本の溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ
３２に連結される。これにより、一方のリール１２から
繰り出されたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に
高速走行（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２
６に巻き取られる。また、他方のリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のリール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４
は一方のリール１２と他方のリール２６の間を往復走行
する。また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８
に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノ
ズル４２から供給される。２本の砥液供給ノズル４２を
設けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるた
めである。
４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置４６
が設けられ、このワイヤー洗浄装置４６によってワイヤ
ー１４に付着した加工液４０がワイヤー１４から除去さ
れる。また、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な
駆動モータ２８、３０に連結されると共に、３本のうち
の１本の溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ
３２に連結される。これにより、一方のリール１２から
繰り出されたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に
高速走行（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２
６に巻き取られる。また、他方のリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のリール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４
は一方のリール１２と他方のリール２６の間を往復走行
する。また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８
に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノ
ズル４２から供給される。２本の砥液供給ノズル４２を
設けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるた
めである。
【００１１】また、前記ワイヤー列２４の下方には、ワ
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
【００１２】次に、本発明に係るワイヤーソーの第１実
施例を図２に従って説明する。ワイヤーソーは、溝付ロ
ーラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径を検出するワイ
ヤー巻径検出装置を有している。このワイヤー巻径検出
装置は、変位測定器６０、パルスジェネレータ６２、６
４、６６、及びＣＰＵ６８から構成される。変位測定器
６０は、ダンサローラ２０の近傍に設置され、ワイヤー
ソー１０の運転時におけるダンサローラ２０の変位を検
出し、その変位量を示す情報をＣＰＵ６８に出力してい
る。
施例を図２に従って説明する。ワイヤーソーは、溝付ロ
ーラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径を検出するワイ
ヤー巻径検出装置を有している。このワイヤー巻径検出
装置は、変位測定器６０、パルスジェネレータ６２、６
４、６６、及びＣＰＵ６８から構成される。変位測定器
６０は、ダンサローラ２０の近傍に設置され、ワイヤー
ソー１０の運転時におけるダンサローラ２０の変位を検
出し、その変位量を示す情報をＣＰＵ６８に出力してい
る。
【００１３】パルスジェネレータ６２、６４、６６は、
駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動モー
タ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスをＣＰ
Ｕ６８に出力する。ＣＰＵ６８は、駆動モータ２８、３
０、３２を駆動制御すると共に、変位測定器６０から出
力された変位量を示す情報とパルスジェネレータ６２、
６４、６６から出力された情報とに基づいてワイヤー巻
径を検出する。
駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動モー
タ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスをＣＰ
Ｕ６８に出力する。ＣＰＵ６８は、駆動モータ２８、３
０、３２を駆動制御すると共に、変位測定器６０から出
力された変位量を示す情報とパルスジェネレータ６２、
６４、６６から出力された情報とに基づいてワイヤー巻
径を検出する。
【００１４】次に、ＣＰＵ６８によるワイヤー巻径検出
方法について説明する。まず、ＣＰＵ６８は、溝付ロー
ラ２２が回転しないように駆動モータ３２を停止する。
そして、ＣＰＵ６８は、変位測定器６０から出力される
ダンサローラ２０の位置情報に基づいてダンサローラ２
０の位置を確認し、ダンサローラ２０が、例えば変位測
定器６０の中央の位置に設定した基準点Ａに位置するよ
うに駆動モータ２８を駆動して、ワイヤー１４を繰り出
し又は巻き取る。そして、ＣＰＵ６８は、ダンサローラ
２０がＡに位置した時に駆動モータ２８を停止する。
方法について説明する。まず、ＣＰＵ６８は、溝付ロー
ラ２２が回転しないように駆動モータ３２を停止する。
そして、ＣＰＵ６８は、変位測定器６０から出力される
ダンサローラ２０の位置情報に基づいてダンサローラ２
０の位置を確認し、ダンサローラ２０が、例えば変位測
定器６０の中央の位置に設定した基準点Ａに位置するよ
うに駆動モータ２８を駆動して、ワイヤー１４を繰り出
し又は巻き取る。そして、ＣＰＵ６８は、ダンサローラ
２０がＡに位置した時に駆動モータ２８を停止する。
【００１５】次に、ＣＰＵ６８はダンサローラ２０が、
例えば変位測定器６０の上限位置近傍Ｂ（距離Ｌ）に位
置するまで駆動モータ２８を駆動させてワイヤー１４を
巻き取る。この時、ＣＰＵ６８はパルスジェネレータ６
２から出力されるパルスをカウントしダンサローラ２０
がＡ─Ｂまで移動した時の総パルス数を算出し、この総
パルス数に基づいて駆動モータ２８の回転量、すなわ
ち、ワイヤーリール１２の回転量Ｎを算出する。
例えば変位測定器６０の上限位置近傍Ｂ（距離Ｌ）に位
置するまで駆動モータ２８を駆動させてワイヤー１４を
巻き取る。この時、ＣＰＵ６８はパルスジェネレータ６
２から出力されるパルスをカウントしダンサローラ２０
がＡ─Ｂまで移動した時の総パルス数を算出し、この総
パルス数に基づいて駆動モータ２８の回転量、すなわ
ち、ワイヤーリール１２の回転量Ｎを算出する。
【００１６】そして、ＣＰＵ６８は下記の式よりワイヤ
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。
【００１７】
【数１】Ｄ＝（２Ｌ／πＮ） これにより、ワイヤーリール１２のワイヤー巻径の検出
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。また、他
方のワイヤーリール２６のワイヤー巻径の検出について
も同様の操作により検出することができる。
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。また、他
方のワイヤーリール２６のワイヤー巻径の検出について
も同様の操作により検出することができる。
【００１８】また、溝付ローラ２２のワイヤー巻径につ
いては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と
溝付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイ
ヤーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回
転させてダンサローラ２０を移動させる。そして、ワイ
ヤーソー１０をこの状態から再始動する場合には、スタ
ート時の回転数を検出したワイヤー巻径から決定し、こ
の情報を各駆動モータ２８、３０、３２に出力させれば
よい。
いては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と
溝付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイ
ヤーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回
転させてダンサローラ２０を移動させる。そして、ワイ
ヤーソー１０をこの状態から再始動する場合には、スタ
ート時の回転数を検出したワイヤー巻径から決定し、こ
の情報を各駆動モータ２８、３０、３２に出力させれば
よい。
【００１９】このように、本実施例のワイヤーソーによ
れば、溝付ローラ２２及びワイヤーリール１２、２６の
ワイヤー巻径を自動で測定することができるので、作業
者の負担が軽減すると共に、始動時のセッティングを迅
速に行うことができる。また、本装置を用いることによ
り、ワイヤー巻径を正確に測定することができ、これに
より、安定したワイヤーソーの始動を行うことができ
る。
れば、溝付ローラ２２及びワイヤーリール１２、２６の
ワイヤー巻径を自動で測定することができるので、作業
者の負担が軽減すると共に、始動時のセッティングを迅
速に行うことができる。また、本装置を用いることによ
り、ワイヤー巻径を正確に測定することができ、これに
より、安定したワイヤーソーの始動を行うことができ
る。
【００２０】また、本実施例ではワイヤー１４の移動量
を基準にして測定するようにしたので、ダンサローラ２
０は変位測定器６０の測定範囲を越えることがない。す
なわち、ワイヤーリール２６又は溝付ローラ２２の回転
量を基準にして測定すると、変位測定器６０の測定範囲
を越えてワイヤーリール２６又は溝付ローラ２２を回転
させてしまうことがあり、この為に変位測定器６０が破
損又はワイヤー１４が断線する恐れがある。
を基準にして測定するようにしたので、ダンサローラ２
０は変位測定器６０の測定範囲を越えることがない。す
なわち、ワイヤーリール２６又は溝付ローラ２２の回転
量を基準にして測定すると、変位測定器６０の測定範囲
を越えてワイヤーリール２６又は溝付ローラ２２を回転
させてしまうことがあり、この為に変位測定器６０が破
損又はワイヤー１４が断線する恐れがある。
【００２１】図３には、本発明に係るワイヤーソーの第
２実施例が示され、図１、図２に示した第１実施例と同
一、若しくは類似の部材については同一の符号を付して
その説明は省略する。第２実施例のワイヤーソーのワイ
ヤー巻径検出装置は、エンコーダ７０、パルスジェネレ
ータ６２、６４、６６、及びＣＰＵ６８から構成され
る。
２実施例が示され、図１、図２に示した第１実施例と同
一、若しくは類似の部材については同一の符号を付して
その説明は省略する。第２実施例のワイヤーソーのワイ
ヤー巻径検出装置は、エンコーダ７０、パルスジェネレ
ータ６２、６４、６６、及びＣＰＵ６８から構成され
る。
【００２２】エンコーダ７０は、ワイヤー１４に係合し
て回転するガイドローラ１８Ａを有し、このガイドロー
ラ１８Ａの回転量を検出する。そして、前記回転量を示
すデータはＣＰＵ６８に出力され、そして、ＣＰＵ６８
は前記データに基づいてワイヤー１４の移動量を算出す
る。また、前記パルスジェネレータ６２、６４、６６
は、駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動
モータ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスが
ＣＰＵ６８に出力される。ＣＰＵ６８は、前記パルス数
をカウントすることにより駆動モータ２８、３０、３２
の回転量を各モータ毎に算出する。
て回転するガイドローラ１８Ａを有し、このガイドロー
ラ１８Ａの回転量を検出する。そして、前記回転量を示
すデータはＣＰＵ６８に出力され、そして、ＣＰＵ６８
は前記データに基づいてワイヤー１４の移動量を算出す
る。また、前記パルスジェネレータ６２、６４、６６
は、駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動
モータ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスが
ＣＰＵ６８に出力される。ＣＰＵ６８は、前記パルス数
をカウントすることにより駆動モータ２８、３０、３２
の回転量を各モータ毎に算出する。
【００２３】ＣＰＵ６８は、駆動モータ２８、３０、３
２を駆動制御すると共に、エンコーダ７０から出力され
た情報に基づいてワイヤー巻径を検出する。次に、前記
のごとく構成された第２実施例のワイヤーソーのワイヤ
ー巻径検出方法について説明する。まず、ＣＰＵ６８
は、溝付ローラ２２が回転しないように駆動モータ２８
を停止する。そして、駆動モータ２８を駆動してワイヤ
ー１４の繰り出し又は巻き取りを行う。そして、ワイヤ
ー１４が走行すると、ガイドローラ１８Ａはワイヤー１
４に係合して回転するので、この回転をエンコーダ７０
で検出する。そして、例えばガイドローラ１８が１０回
転したらＣＰＵ６８は駆動モータ２８の回転を停止す
る。この時、ＣＰＵ６８はパルスジェネレータ６２から
出力されるパルスをカウントしガイドローラ１８Ａが１
０回転（ワイヤー１４の移動量Ｌ）した時の総パルス数
を算出し、この総パルス数に基づいて駆動モータ２８の
回転量、すなわち、ワイヤーリール１２の回転量Ｎを算
出する。
２を駆動制御すると共に、エンコーダ７０から出力され
た情報に基づいてワイヤー巻径を検出する。次に、前記
のごとく構成された第２実施例のワイヤーソーのワイヤ
ー巻径検出方法について説明する。まず、ＣＰＵ６８
は、溝付ローラ２２が回転しないように駆動モータ２８
を停止する。そして、駆動モータ２８を駆動してワイヤ
ー１４の繰り出し又は巻き取りを行う。そして、ワイヤ
ー１４が走行すると、ガイドローラ１８Ａはワイヤー１
４に係合して回転するので、この回転をエンコーダ７０
で検出する。そして、例えばガイドローラ１８が１０回
転したらＣＰＵ６８は駆動モータ２８の回転を停止す
る。この時、ＣＰＵ６８はパルスジェネレータ６２から
出力されるパルスをカウントしガイドローラ１８Ａが１
０回転（ワイヤー１４の移動量Ｌ）した時の総パルス数
を算出し、この総パルス数に基づいて駆動モータ２８の
回転量、すなわち、ワイヤーリール１２の回転量Ｎを算
出する。
【００２４】そして、ＣＰＵ６８は下記の式よりワイヤ
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。
【００２５】
【数２】Ｄ＝（Ｌ／πＮ） これにより、ワイヤーリール１２のワイヤー巻径の検出
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。また、他
方のワイヤーリール２６のワイヤー巻径の検出について
も同様の操作により検出することができる。
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。また、他
方のワイヤーリール２６のワイヤー巻径の検出について
も同様の操作により検出することができる。
【００２６】また、溝付ローラ２２のワイヤー巻径につ
いては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と
溝付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイ
ヤーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回
転させてダンサローラ２０を移動させる。そして、ワイ
ヤーソー１０をこの状態から再始動する場合には、スタ
ート時の回転数を検出したワイヤー巻径から決定し、こ
の情報を各駆動モータ２８、３０、３２に出力させれば
よい。
いては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と
溝付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイ
ヤーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回
転させてダンサローラ２０を移動させる。そして、ワイ
ヤーソー１０をこの状態から再始動する場合には、スタ
ート時の回転数を検出したワイヤー巻径から決定し、こ
の情報を各駆動モータ２８、３０、３２に出力させれば
よい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径を自動で
測定することができるので、作業者の負担を軽減するこ
とができる。
溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径を自動で
測定することができるので、作業者の負担を軽減するこ
とができる。
【図１】図１は、ワイヤーソーの全体構成図
【図２】図２は、本発明に係るワイヤーソーの第１実施
例の構成図
例の構成図
【図３】図３は、本発明に係るワイヤーソーの第２実施
例の構成図
例の構成図
１０…ワイヤーソー １２、２６…ワイヤーリール １４…ワイヤー １８、１８Ａ…ガイドローラ ２０…ダンサローラ ２２…溝付ローラ ２８、３０、３２…駆動モータ ６０…変位測定器 ６２、６４、６６…パルスジェネレータ ６８…ＣＰＵ ７０…エンコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04 B28D 1/08 B65H 59/38
Claims (3)
- 【請求項１】ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り
出して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前記
ワイヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤー
ソーであって、 前記ワイヤーソーは、前記溝付ローラ及び前記ワイヤー
リールのワイヤー巻径を検出するワイヤー巻径検出装置
を有し、 前記ワイヤー巻径検出装置は、 前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールの回転量測定手
段と、 前記溝付ローラを回転する駆動モータを停止して前記溝
付ローラを固定した状態で前記ワイヤーリールを回転さ
せた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリールとの間の
前記ワイヤーの移動量を測定するとともに、前記ワイヤ
ーリールを回転する駆動モータを停止して前記ワイヤー
リールを固定した状態で前記溝付ローラを回転させた時
の前記溝付ローラと前記ワイヤーリールとの間の前記ワ
イヤーの移動量を測定するワイヤー移動量測定手段と、 前記回転量測定手段の測定値（Ｎ）と前記ワイヤー移動
量測定手段の測定値（Ｌ）を信号として取り入れ、前記
溝付ローラ及び前記ワイヤーリールのワイヤー巻径
（Ｄ）を次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） の演算を実行して算出する演算手段と、 からなり、前記ワイヤーソーの始動時又は再始動時に前
記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールのワイヤー巻径を
自動で検出して設定することを特徴とするワイヤーソ
ー。 - 【請求項２】 前記ワイヤーの移動量測定手段は、前記ワ
イヤー走行路中に設けられたダンサローラの変位を測定
する変位測定器であることを特徴とする請求項１のワイ
ヤーソー。 - 【請求項３】 前記ワイヤーの移動量測定手段は、前記ワ
イヤー走行路中に設けられ前記ワイヤーに係合して回転
するガイドローラの回転量を測定するエンコーダである
ことを特徴とする請求項１のワイヤーソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15602794A JP3109384B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | ワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15602794A JP3109384B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | ワイヤーソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0819953A JPH0819953A (ja) | 1996-01-23 |
| JP3109384B2 true JP3109384B2 (ja) | 2000-11-13 |
Family
ID=15618717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15602794A Expired - Fee Related JP3109384B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | ワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3109384B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103273581A (zh) * | 2013-06-25 | 2013-09-04 | 南通皋鑫电子股份有限公司 | 硅叠切断装置 |
| KR101386388B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2014-04-17 | 뉴마테크 주식회사 | 와이어 쏘 장치의 트래버서 |
-
1994
- 1994-07-07 JP JP15602794A patent/JP3109384B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0819953A (ja) | 1996-01-23 |
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Legal Events
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| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |