JPH0819953A - ワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置Info
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- JPH0819953A JPH0819953A JP15602794A JP15602794A JPH0819953A JP H0819953 A JPH0819953 A JP H0819953A JP 15602794 A JP15602794 A JP 15602794A JP 15602794 A JP15602794 A JP 15602794A JP H0819953 A JPH0819953 A JP H0819953A
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径
を自動で測定することにより、作業者の負担を軽減させ
る。 【構成】溝付ローラ２２を固定した状態でワイヤーリー
ル１２を回転させた時の溝付ローラ２２とワイヤーリー
ル１２間のワイヤー移動量（Ｌ）を測定し、このワイヤ
ー移動量に対するワイヤーリール１２の回転量（Ｎ）を
測定し、ワイヤー移動量（Ｌ）とワイヤーリール１２回
転量（Ｎ）からワイヤーリールのワイヤー巻径（Ｄ）を
次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） により算出する。
を自動で測定することにより、作業者の負担を軽減させ
る。 【構成】溝付ローラ２２を固定した状態でワイヤーリー
ル１２を回転させた時の溝付ローラ２２とワイヤーリー
ル１２間のワイヤー移動量（Ｌ）を測定し、このワイヤ
ー移動量に対するワイヤーリール１２の回転量（Ｎ）を
測定し、ワイヤー移動量（Ｌ）とワイヤーリール１２回
転量（Ｎ）からワイヤーリールのワイヤー巻径（Ｄ）を
次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） により算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー
巻径検出方法及びその装置に係り、特に円柱状の半導体
インゴット、セラミック、ガラス等の被加工物を走行す
るワイヤーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
ーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置に関する。
巻径検出方法及びその装置に係り、特に円柱状の半導体
インゴット、セラミック、ガラス等の被加工物を走行す
るワイヤーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
ーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
【０００３】このワイヤーソーの駆動は、溝付ローラに
設置したモータの１軸駆動と繰り出し側と巻取り側との
ワイヤーリールに設置したモータの２軸駆動により行っ
ており、前記３つのモータ間では、ワイヤーリールに設
置した２つのモータが、溝付ローラに設置した１つのモ
ータと同期回転するように制御されている。すなわち、
これら３つのモータが同期回転しないと、ワイヤーに過
大な張力が加わり破断する恐れがある。従って、ワイヤ
ーソーの駆動径では、途中でダンサローラを配置し、こ
のダンサローラの上下動でワイヤーの緊張又は緩みを除
去すると共に、ダンサローラの上下変移量に基づいてワ
イヤーリールのモータを適正な回転数にするようにフィ
ードバック制御している。
設置したモータの１軸駆動と繰り出し側と巻取り側との
ワイヤーリールに設置したモータの２軸駆動により行っ
ており、前記３つのモータ間では、ワイヤーリールに設
置した２つのモータが、溝付ローラに設置した１つのモ
ータと同期回転するように制御されている。すなわち、
これら３つのモータが同期回転しないと、ワイヤーに過
大な張力が加わり破断する恐れがある。従って、ワイヤ
ーソーの駆動径では、途中でダンサローラを配置し、こ
のダンサローラの上下動でワイヤーの緊張又は緩みを除
去すると共に、ダンサローラの上下変移量に基づいてワ
イヤーリールのモータを適正な回転数にするようにフィ
ードバック制御している。
【０００４】しかし、ワイヤーソーの始動時は、ダンサ
ローラのフィードバックが制御できず、前記３つのモー
タの立ち上げ速度を作業者が設定する必要がある。この
モータの立ち上げ速度の設定は溝付ローラ及びワイヤー
リールのワイヤー巻径をモータの駆動制御を行っている
ＣＰＵに入力することによりする。また、再始動時にも
ワイヤーリール及び溝付ローラのワイヤー巻径をＣＰＵ
に入力する必要がある。
ローラのフィードバックが制御できず、前記３つのモー
タの立ち上げ速度を作業者が設定する必要がある。この
モータの立ち上げ速度の設定は溝付ローラ及びワイヤー
リールのワイヤー巻径をモータの駆動制御を行っている
ＣＰＵに入力することによりする。また、再始動時にも
ワイヤーリール及び溝付ローラのワイヤー巻径をＣＰＵ
に入力する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被加工
物の大型化に伴いワイヤーリールのワイヤー巻量も増加
するようになり、作業者がスケールで径を測定すること
は困難になってきた。また、スケールで測定する際は読
み取りを目測で行う為、正確な測定値が得られず誤った
径で立ち上げ速度を設定してしまいワイヤーが破断する
という問題があった。
物の大型化に伴いワイヤーリールのワイヤー巻量も増加
するようになり、作業者がスケールで径を測定すること
は困難になってきた。また、スケールで測定する際は読
み取りを目測で行う為、正確な測定値が得られず誤った
径で立ち上げ速度を設定してしまいワイヤーが破断する
という問題があった。
【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻
径を自動で測定することにより、作業者の負担を軽減さ
せるワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置
を提供することを目的とする。
たもので、溝付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻
径を自動で測定することにより、作業者の負担を軽減さ
せるワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成して
他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤー
列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前記ワ
イヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤーソ
ーであって、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールの
ワイヤー巻径を検出するワイヤーソーのワイヤー巻径検
出方法において、前記溝付ローラ又は前記ワイヤーリー
ルを固定した状態で前記ワイヤーリール又は前記溝付ロ
ーラを回転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリ
ール間の前記ワイヤーの移動量（Ｌ）を測定し、前記ワ
イヤーの移動量に対する前記ワイヤーリール又は前記溝
付ローラの回転量（Ｎ）を測定し、前記ワイヤーの移動
量（Ｌ）と前記ワイヤーリール又は前記溝付ローラの回
転量（Ｎ）から前記ワイヤーリール又は前記溝付ローラ
の前記ワイヤー巻径（Ｄ）を次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） により算出することを特徴とする。
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成して
他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤー
列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前記ワ
イヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤーソ
ーであって、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールの
ワイヤー巻径を検出するワイヤーソーのワイヤー巻径検
出方法において、前記溝付ローラ又は前記ワイヤーリー
ルを固定した状態で前記ワイヤーリール又は前記溝付ロ
ーラを回転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリ
ール間の前記ワイヤーの移動量（Ｌ）を測定し、前記ワ
イヤーの移動量に対する前記ワイヤーリール又は前記溝
付ローラの回転量（Ｎ）を測定し、前記ワイヤーの移動
量（Ｌ）と前記ワイヤーリール又は前記溝付ローラの回
転量（Ｎ）から前記ワイヤーリール又は前記溝付ローラ
の前記ワイヤー巻径（Ｄ）を次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） により算出することを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明のワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法
及びその装置によれば、始動時又は再始動時、溝付ロー
ラ又はワイヤーリールを固定した状態で、ワイヤーリー
ル又は溝付ローラを回転させた時の溝付ローラとワイヤ
ーリールの間のワイヤーの移動量（Ｌ）を測定し、この
ワイヤー移動量に対するワイヤーリール又は溝付ローラ
の回転量（Ｎ）を測定し、ワイヤー移動量（Ｌ）とワイ
ヤーリール又は溝付ローラ回転量（Ｎ）の測定値からワ
イヤーリール又は溝付ローラのワイヤー巻径（Ｄ）を次
式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） の演算を実行して検出する。すなわち、ワイヤーの移動
量に対するワイヤーリール又は溝付ローラの回転量を測
定することにより両者間にある上式の関係を利用してワ
イヤーリール又は溝付ローラのワイヤー巻径を検出す
る。
及びその装置によれば、始動時又は再始動時、溝付ロー
ラ又はワイヤーリールを固定した状態で、ワイヤーリー
ル又は溝付ローラを回転させた時の溝付ローラとワイヤ
ーリールの間のワイヤーの移動量（Ｌ）を測定し、この
ワイヤー移動量に対するワイヤーリール又は溝付ローラ
の回転量（Ｎ）を測定し、ワイヤー移動量（Ｌ）とワイ
ヤーリール又は溝付ローラ回転量（Ｎ）の測定値からワ
イヤーリール又は溝付ローラのワイヤー巻径（Ｄ）を次
式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） の演算を実行して検出する。すなわち、ワイヤーの移動
量に対するワイヤーリール又は溝付ローラの回転量を測
定することにより両者間にある上式の関係を利用してワ
イヤーリール又は溝付ローラのワイヤー巻径を検出す
る。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置の好ましい実
施例について詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤ
ー巻径検出装置の第１実施例を説明する前に、先ずワイ
ヤーソー１０の全体構成を図１に従って説明する。図１
に示すように、一方のリール１２に巻回されたワイヤー
1 ４は、ワイヤー案内装置１６、複数の固定ガイドロー
ラ１８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付
きローラ２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤ
ー列２４を形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、
１８、ダンサローラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て
他方のリール２６に巻き取られるワイヤー走行路を形成
する。
ソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置の好ましい実
施例について詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤ
ー巻径検出装置の第１実施例を説明する前に、先ずワイ
ヤーソー１０の全体構成を図１に従って説明する。図１
に示すように、一方のリール１２に巻回されたワイヤー
1 ４は、ワイヤー案内装置１６、複数の固定ガイドロー
ラ１８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付
きローラ２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤ
ー列２４を形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、
１８、ダンサローラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て
他方のリール２６に巻き取られるワイヤー走行路を形成
する。
【００１０】前記ダンサローラ２０には、所定重量の錘
４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置４６
が設けられ、このワイヤー洗浄装置４６によってワイヤ
ー１４に付着した加工液４０がワイヤー１４から除去さ
れる。また、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な
駆動モータ２８、３０に連結されると共に、３本のうち
の１本の溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ
３２に連結される。これにより、一方のリール１２から
繰り出されたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に
高速走行（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２
６に巻き取られる。また、他方のリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のリール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４
は一方のリール１２と他方のリール２６の間を往復走行
する。また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８
に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノ
ズル４２から供給される。２本の砥液供給ノズル４２を
設けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるた
めである。
４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置４６
が設けられ、このワイヤー洗浄装置４６によってワイヤ
ー１４に付着した加工液４０がワイヤー１４から除去さ
れる。また、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な
駆動モータ２８、３０に連結されると共に、３本のうち
の１本の溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ
３２に連結される。これにより、一方のリール１２から
繰り出されたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に
高速走行（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２
６に巻き取られる。また、他方のリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のリール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４
は一方のリール１２と他方のリール２６の間を往復走行
する。また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８
に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノ
ズル４２から供給される。２本の砥液供給ノズル４２を
設けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるた
めである。
【００１１】また、前記ワイヤー列２４の下方には、ワ
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
【００１２】次に、本発明のワイヤーソーのワイヤー巻
径検出装置の第１実施例を図２に従って説明する。前記
ワイヤー巻径検出装置は、変位測定器６０、パルスジェ
ネレータ６２、６４、６６、及びＣＰＵ６８から構成さ
れる。変位測定器６０は、ダンサローラ２０の近傍に設
置され、ワイヤーソー１０の運転時におけるダンサロー
ラ２０の変位を検出し、その変位量を示す情報をＣＰＵ
６８に出力している。
径検出装置の第１実施例を図２に従って説明する。前記
ワイヤー巻径検出装置は、変位測定器６０、パルスジェ
ネレータ６２、６４、６６、及びＣＰＵ６８から構成さ
れる。変位測定器６０は、ダンサローラ２０の近傍に設
置され、ワイヤーソー１０の運転時におけるダンサロー
ラ２０の変位を検出し、その変位量を示す情報をＣＰＵ
６８に出力している。
【００１３】パルスジェネレータ６２、６４、６６は、
駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動モー
タ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスをＣＰ
Ｕ６８に出力する。ＣＰＵ６８は、駆動モータ２８、３
０、３２を駆動制御すると共に、変位測定器６０から出
力された変位量を示す情報とパルスジェネレータ６２、
６４、６６から出力された情報とに基づいてワイヤー巻
径を検出する。
駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動モー
タ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスをＣＰ
Ｕ６８に出力する。ＣＰＵ６８は、駆動モータ２８、３
０、３２を駆動制御すると共に、変位測定器６０から出
力された変位量を示す情報とパルスジェネレータ６２、
６４、６６から出力された情報とに基づいてワイヤー巻
径を検出する。
【００１４】次に、前記ＣＰＵ６８によるワイヤーソー
のワイヤー巻径検出方法について説明する。まず、ＣＰ
Ｕ６８は、溝付ローラ２２が回転しないように駆動モー
タ３２を停止する。そして、ＣＰＵ６８は、変位検出器
６０から出力されるダンサローラ２０の位置情報に基づ
いてダンサローラ２０の位置を確認し、ダンサローラ２
０が、例えば変位測定器６０の中央の位置に設定した基
準点Ａに位置するように駆動モータ２８を駆動して、ワ
イヤー１４を繰り出し又は巻き取る。そして、ＣＰＵ６
８は、ダンサローラ２０がＡに位置した時に駆動モータ
２８を停止する。
のワイヤー巻径検出方法について説明する。まず、ＣＰ
Ｕ６８は、溝付ローラ２２が回転しないように駆動モー
タ３２を停止する。そして、ＣＰＵ６８は、変位検出器
６０から出力されるダンサローラ２０の位置情報に基づ
いてダンサローラ２０の位置を確認し、ダンサローラ２
０が、例えば変位測定器６０の中央の位置に設定した基
準点Ａに位置するように駆動モータ２８を駆動して、ワ
イヤー１４を繰り出し又は巻き取る。そして、ＣＰＵ６
８は、ダンサローラ２０がＡに位置した時に駆動モータ
２８を停止する。
【００１５】次に、ＣＰＵ６８はダンサローラ２０が、
例えば変位測定器６０の上限位置近傍Ｂ（距離Ｌ）に位
置するまで駆動モータ２８を駆動させてワイヤー１４を
巻き取る。この時、ＣＰＵ６８はパルスジェネレータ６
２から出力されるパルスをカウントしダンサローラ２０
がＡ─Ｂまで移動した時の総パルス数を算出し、この総
パルス数に基づいて駆動モータ２８の回転量、すなわ
ち、ワイヤーリール１２の回転量Ｎを算出する。
例えば変位測定器６０の上限位置近傍Ｂ（距離Ｌ）に位
置するまで駆動モータ２８を駆動させてワイヤー１４を
巻き取る。この時、ＣＰＵ６８はパルスジェネレータ６
２から出力されるパルスをカウントしダンサローラ２０
がＡ─Ｂまで移動した時の総パルス数を算出し、この総
パルス数に基づいて駆動モータ２８の回転量、すなわ
ち、ワイヤーリール１２の回転量Ｎを算出する。
【００１６】そして、ＣＰＵ６８は下記の式よりワイヤ
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。 Ｄ＝（２Ｌ／πＮ） これにより、ワイヤーリール１２のワイヤー巻径の検出
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。 Ｄ＝（２Ｌ／πＮ） これにより、ワイヤーリール１２のワイヤー巻径の検出
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。
【００１７】また、他方のワイヤーリール２６のワイヤ
ー巻径の検出についても同様の操作により検出すること
ができる。また、溝付ローラ２２のワイヤー巻径につい
ては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と溝
付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイヤ
ーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回転
させてダンサローラ２０を移動させる。
ー巻径の検出についても同様の操作により検出すること
ができる。また、溝付ローラ２２のワイヤー巻径につい
ては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と溝
付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイヤ
ーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回転
させてダンサローラ２０を移動させる。
【００１８】そして、ワイヤーソー１０をこの状態から
再始動する場合には、スタート時の回転数を検出したワ
イヤー巻径から決定し、この情報を各駆動モータ２８、
３０、３２に出力させればよい。このように、本実施例
のワイヤーソーのワイヤー巻径検出装置によれば、溝付
ローラ２２及びワイヤーリール１２、２６のワイヤー巻
径を自動で測定することができるので、作業者の負担が
軽減すると共に、始動時のセッティングを迅速に行うこ
とができる。また、本装置を用いることにより、ワイヤ
ー巻径を正確に測定することができ、これにより、安定
したワイヤーソーの始動を行うことができる。
再始動する場合には、スタート時の回転数を検出したワ
イヤー巻径から決定し、この情報を各駆動モータ２８、
３０、３２に出力させればよい。このように、本実施例
のワイヤーソーのワイヤー巻径検出装置によれば、溝付
ローラ２２及びワイヤーリール１２、２６のワイヤー巻
径を自動で測定することができるので、作業者の負担が
軽減すると共に、始動時のセッティングを迅速に行うこ
とができる。また、本装置を用いることにより、ワイヤ
ー巻径を正確に測定することができ、これにより、安定
したワイヤーソーの始動を行うことができる。
【００１９】また、本実施例ではワイヤー１４の移動量
を基準にして測定するようにしたので、ダンサローラ２
０は変位測定器６０の測定範囲を越えることがない。す
なわち、ワイヤーリール１６又は溝付ローラ２２の回転
量を基準にして測定すると、変位測定器６０の測定範囲
を越えてワイヤーリール１６又は溝付ローラ２２を回転
させてしまうことがあり、この為に変位検出器６０が破
損又はワイヤー１４が断線する恐れがある。
を基準にして測定するようにしたので、ダンサローラ２
０は変位測定器６０の測定範囲を越えることがない。す
なわち、ワイヤーリール１６又は溝付ローラ２２の回転
量を基準にして測定すると、変位測定器６０の測定範囲
を越えてワイヤーリール１６又は溝付ローラ２２を回転
させてしまうことがあり、この為に変位検出器６０が破
損又はワイヤー１４が断線する恐れがある。
【００２０】図３には、本発明に係わるワイヤーソーの
ワイヤーリール巻径検出装置の第２実施例が示され、図
１、図２に示した第１実施例と同一、若しくは類似の部
材については同一の符号を付してその説明は省略する。
前記ワイヤー巻径検出装置は、エンコーダ７０、パルス
ジェネレータ６２、６４、６６、及びＣＰＵ６８から構
成される。
ワイヤーリール巻径検出装置の第２実施例が示され、図
１、図２に示した第１実施例と同一、若しくは類似の部
材については同一の符号を付してその説明は省略する。
前記ワイヤー巻径検出装置は、エンコーダ７０、パルス
ジェネレータ６２、６４、６６、及びＣＰＵ６８から構
成される。
【００２１】エンコーダ７０は、ワイヤー１４に係合し
て回転するガイドローラ１８Ａを有し、このガイドロー
ラ１８Ａの回転量を検出する。そして、前記回転量を示
すデータはＣＰＵ６８に出力され、そして、ＣＰＵ６８
は前記データに基づいてワイヤー１４の移動量を算出す
る。また、前記パルスジェネレータ６２、６４、６６
は、駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動
モータ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスが
ＣＰＵ６８に出力される。ＣＰＵ６８は、前記パルス数
をカウントすることにより駆動モータ２８、３０、３２
の回転量を各モータ毎に算出する。
て回転するガイドローラ１８Ａを有し、このガイドロー
ラ１８Ａの回転量を検出する。そして、前記回転量を示
すデータはＣＰＵ６８に出力され、そして、ＣＰＵ６８
は前記データに基づいてワイヤー１４の移動量を算出す
る。また、前記パルスジェネレータ６２、６４、６６
は、駆動モータ２８、３０、３２に取り付けられ、駆動
モータ２８、３０、３２の回転量に応じた数のパルスが
ＣＰＵ６８に出力される。ＣＰＵ６８は、前記パルス数
をカウントすることにより駆動モータ２８、３０、３２
の回転量を各モータ毎に算出する。
【００２２】ＣＰＵ６８は、駆動モータ１８、３０、３
２を駆動制御すると共に、エンコーダ７０から出力され
た情報に基づいてワイヤー巻径を検出する。次に、ワイ
ヤーソーのワイヤー巻径検出方法の第２実施例について
説明する。まず、ＣＰＵ６８は、溝付ローラ２２が回転
しないように駆動モータ２８を停止する。そして、駆動
モータ２８を駆動してワイヤー１４の繰り出し又は巻き
取りを行う。そして、ワイヤー１４が走行すると、ガイ
ドローラ１８Ａはワイヤー１４に係合して回転するの
で、この回転をエンコーダ７０で検出する。そして、例
えばガイドローラ１８が１０回転したらＣＰＵ６８は駆
動モータ２８の回転を停止する。この時、ＣＰＵ６８は
パルスジェネレータ６２から出力されるパルスをカウン
トしガイドローラ１８Ａが１０回転（ワイヤー１４の移
動量Ｌ）した時の総パルス数を算出し、この総パルス数
に基づいて駆動モータ２８の回転量、すなわち、ワイヤ
ーリール１２の回転量Ｎを算出する。
２を駆動制御すると共に、エンコーダ７０から出力され
た情報に基づいてワイヤー巻径を検出する。次に、ワイ
ヤーソーのワイヤー巻径検出方法の第２実施例について
説明する。まず、ＣＰＵ６８は、溝付ローラ２２が回転
しないように駆動モータ２８を停止する。そして、駆動
モータ２８を駆動してワイヤー１４の繰り出し又は巻き
取りを行う。そして、ワイヤー１４が走行すると、ガイ
ドローラ１８Ａはワイヤー１４に係合して回転するの
で、この回転をエンコーダ７０で検出する。そして、例
えばガイドローラ１８が１０回転したらＣＰＵ６８は駆
動モータ２８の回転を停止する。この時、ＣＰＵ６８は
パルスジェネレータ６２から出力されるパルスをカウン
トしガイドローラ１８Ａが１０回転（ワイヤー１４の移
動量Ｌ）した時の総パルス数を算出し、この総パルス数
に基づいて駆動モータ２８の回転量、すなわち、ワイヤ
ーリール１２の回転量Ｎを算出する。
【００２３】そして、ＣＰＵ６８は下記の式よりワイヤ
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） これにより、ワイヤーリール１２のワイヤー巻径の検出
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。
ーリール１２のワイヤー巻径Ｄを検出する。 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） これにより、ワイヤーリール１２のワイヤー巻径の検出
をＣＰＵ６８により自動で行うことができる。
【００２４】また、他方のワイヤーリール２６のワイヤ
ー巻径の検出についても同様の操作により検出すること
ができる。また、溝付ローラ２２のワイヤー巻径につい
ては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と溝
付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイヤ
ーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回転
させてダンサローラ２０を移動させる。
ー巻径の検出についても同様の操作により検出すること
ができる。また、溝付ローラ２２のワイヤー巻径につい
ては、上記した操作において、ワイヤーリール１２と溝
付ローラ２２の操作を逆にすればよい。つまり、ワイヤ
ーリール２６を固定した状態で、溝付ローラ２２を回転
させてダンサローラ２０を移動させる。
【００２５】そして、ワイヤーソー１０をこの状態から
再始動する場合には、スタート時の回転数を検出したワ
イヤー巻径から決定し、この情報を各駆動モータ２８、
３０、３２に出力させればよい。
再始動する場合には、スタート時の回転数を検出したワ
イヤー巻径から決定し、この情報を各駆動モータ２８、
３０、３２に出力させればよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置によれば、溝
付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径を自動で測
定することができるので、作業者の負担を軽減すること
ができる。
ソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置によれば、溝
付ローラ及びワイヤーリールのワイヤー巻径を自動で測
定することができるので、作業者の負担を軽減すること
ができる。
【図１】図１は、ワイヤーソーの全体構成図
【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー巻径
検出装置の第１実施例の構成図
検出装置の第１実施例の構成図
【図３】図３は、本発明のワイヤーソーのワイヤー巻径
検出装置の第２実施例の構成図
検出装置の第２実施例の構成図
１０…ワイヤーソー １２、２６…ワイヤーリール １４…ワイヤー １８、１８Ａ…ガイドローラ ２０…ダンサローラ ２２…溝付ローラ ２８、３０、３２…駆動モータ ６０…変位測定器 ６２、６４、６６…パルスジェネレータ ６８…ＣＰＵ ７０…エンコーダ
Claims (5)
- 【請求項１】ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り
出して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前記
ワイヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤー
ソーであって、前記ワイヤーリールのワイヤー巻径を検
出するワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法において、 前記溝付ローラを固定した状態で前記ワイヤーリールを
回転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリール間
の前記ワイヤーの移動量（Ｌ）を測定し、 前記ワイヤーの移動量に対する前記ワイヤーリールの回
転量（Ｎ）を測定し、 前記ワイヤーの移動量（Ｌ）と前記ワイヤーリールの回
転量（Ｎ）から前記ワイヤーリールの前記ワイヤー巻径
（Ｄ）を次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） により算出することを特徴とするワイヤーソーのワイヤ
ー巻径検出方法。 - 【請求項２】ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り
出して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前記
ワイヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤー
ソーであって、前記溝付ローラのワイヤー巻径を検出す
るワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法において、 前記ワイヤーリールを固定した状態で前記溝付ローラを
回転させた時の前記溝付ローラと前記ワイヤーリール間
の前記ワイヤーの移動量（Ｌ）を測定し、 前記ワイヤーの移動量に対する前記溝付ローラ回転量
（Ｎ）を測定し、 前記ワイヤーの移動量（Ｌ）と前記溝付ローラの回転量
（Ｎ）から前記溝付ローラの前記ワイヤー巻径を次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） により算出することを特徴とするワイヤーソーのワイヤ
ー巻径検出方法。 - 【請求項３】ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り
出して複数個の溝付ローラに巻掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列に被加工物を押し当て、ラッピング作用により前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断し、かつ前記
ワイヤーは前記両ワイヤーリール間を走行するワイヤー
ソーであって、前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリール
のワイヤー巻径を検出するワイヤーソーのワイヤー巻径
検出装置において、 前記溝付ローラ及び前記ワイヤーリールの回転量測定手
段と、 前記溝付ローラと前記ワイヤーリール間の前記ワイヤー
の移動量測定手段と、 前記回転量測定手段の測定値（Ｎ）と前記移動量測定手
段の測定値（Ｌ）を信号として取り入れ、前記溝付ロー
ラ又は前記ワイヤーリールの前記ワイヤー巻径（Ｄ）を
算出する次式 Ｄ＝（Ｌ／πＮ） の演算を実行する演算部と、を備えていることを特徴と
するワイヤーソーのワイヤー巻径検出装置。 - 【請求項４】前記ワイヤーの移動量測定手段は、前記ワ
イヤー走行路中に設けられたダンサローラの変位を測定
する変位測定器であることを特徴とする請求項３のワイ
ヤーソーのワイヤー巻径検出装置。 - 【請求項５】前記ワイヤーの移動量測定手段は、前記ワ
イヤー走行路中に設けられ前記ワイヤーに係合して回転
するガイドローラの回転量を測定するエンコーダである
ことを特徴とする請求項３のワイヤーソーのワイヤー巻
径検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15602794A JP3109384B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | ワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15602794A JP3109384B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | ワイヤーソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0819953A true JPH0819953A (ja) | 1996-01-23 |
| JP3109384B2 JP3109384B2 (ja) | 2000-11-13 |
Family
ID=15618717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15602794A Expired - Fee Related JP3109384B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | ワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3109384B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103273581A (zh) * | 2013-06-25 | 2013-09-04 | 南通皋鑫电子股份有限公司 | 硅叠切断装置 |
| KR101386388B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2014-04-17 | 뉴마테크 주식회사 | 와이어 쏘 장치의 트래버서 |
-
1994
- 1994-07-07 JP JP15602794A patent/JP3109384B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103273581A (zh) * | 2013-06-25 | 2013-09-04 | 南通皋鑫电子股份有限公司 | 硅叠切断装置 |
| KR101386388B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2014-04-17 | 뉴마테크 주식회사 | 와이어 쏘 장치의 트래버서 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3109384B2 (ja) | 2000-11-13 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
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| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |