JP3106416B2 - ワイヤソーのワイヤ走行制御方法 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ走行制御方法Info
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- JP3106416B2 JP3106416B2 JP24977896A JP24977896A JP3106416B2 JP 3106416 B2 JP3106416 B2 JP 3106416B2 JP 24977896 A JP24977896 A JP 24977896A JP 24977896 A JP24977896 A JP 24977896A JP 3106416 B2 JP3106416 B2 JP 3106416B2
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- Japan
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
走行制御方法に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ走行制
御方法に関する。
走行制御方法に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ走行制
御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、走行するワイヤ列に被加
工物を押し付け、そのワイヤ列と被加工物との接触部に
砥粒を含む加工液を供給することにより、ワイヤのラッ
ピング作用で被加工物を切断する装置である。したがっ
て、切断に使用するワイヤも切断に際してラップされて
細くなる。このため、ワイヤ列には常に新しいワイヤを
供給して、ワイヤ径の変化による切断精度の低下を防ぐ
必要がある。
工物を押し付け、そのワイヤ列と被加工物との接触部に
砥粒を含む加工液を供給することにより、ワイヤのラッ
ピング作用で被加工物を切断する装置である。したがっ
て、切断に使用するワイヤも切断に際してラップされて
細くなる。このため、ワイヤ列には常に新しいワイヤを
供給して、ワイヤ径の変化による切断精度の低下を防ぐ
必要がある。
【０００３】ところで、ワイヤソーのワイヤ走行方式と
しては、ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出してそ
のまま他方のワイヤリールに巻き取る方式（一方向送り
方式）と、一方のワイヤリールから繰り出したワイヤを
往復走行させながら他方のワイヤリールに巻き取る方式
（双方向送り方式）の２つの方式がある。ここで、一方
向送り方式の場合は、常に新しいワイヤがワイヤ列に供
給されるため、ワイヤ径の変化による切断精度の低下と
いう問題はないが、双方向送り方式の場合は、往方向の
送り量と復方向の送り量をいかに設定するか、すなわち
実際に他方のワイヤリールに巻き取るワイヤの量（新線
供給量）を如何に設定するかで、切断されるウェーハの
精度に差が出るため問題となる。
しては、ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出してそ
のまま他方のワイヤリールに巻き取る方式（一方向送り
方式）と、一方のワイヤリールから繰り出したワイヤを
往復走行させながら他方のワイヤリールに巻き取る方式
（双方向送り方式）の２つの方式がある。ここで、一方
向送り方式の場合は、常に新しいワイヤがワイヤ列に供
給されるため、ワイヤ径の変化による切断精度の低下と
いう問題はないが、双方向送り方式の場合は、往方向の
送り量と復方向の送り量をいかに設定するか、すなわち
実際に他方のワイヤリールに巻き取るワイヤの量（新線
供給量）を如何に設定するかで、切断されるウェーハの
精度に差が出るため問題となる。
【０００４】従来、この双方向送り方式における新線供
給量は、切断する被加工物の径や使用するワイヤの径、
被加工物の切断送り量等から、オペレータがワイヤの磨
耗量を想定し、その想定値に基づいて設定していた。
給量は、切断する被加工物の径や使用するワイヤの径、
被加工物の切断送り量等から、オペレータがワイヤの磨
耗量を想定し、その想定値に基づいて設定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際の
磨耗量は想定値とかけ離れていることが多く、このた
め、過不足が生じやすく、ウェーハの切断精度の低下の
原因となっていた。また、双方向送り方式の場合、ワイ
ヤは一度使用したものは廃棄しているため、想定値で制
御した場合、まだ使用できるワイヤを使用不可能と判断
して巻き取ってしまう等、ワイヤの使用に無駄が多く、
きわめて不経済であった。
磨耗量は想定値とかけ離れていることが多く、このた
め、過不足が生じやすく、ウェーハの切断精度の低下の
原因となっていた。また、双方向送り方式の場合、ワイ
ヤは一度使用したものは廃棄しているため、想定値で制
御した場合、まだ使用できるワイヤを使用不可能と判断
して巻き取ってしまう等、ワイヤの使用に無駄が多く、
きわめて不経済であった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、最適な新線供給を行うことができるワイヤソ
ーのワイヤ走行制御方法を提供することを目的とする。
たもので、最適な新線供給を行うことができるワイヤソ
ーのワイヤ走行制御方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、一方のワイヤリールから繰り出され、往
復走行しながら他方のワイヤリールに巻き取られるワイ
ヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成
し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加
工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、前記被加工物切断
後のワイヤの径を測定し、その被加工物切断後のワイヤ
が予め設定された摩耗量となるように、前記往復走行す
るワイヤの往方向の送り量と復方向の送り量を調整して
前記ワイヤの新線供給量を調整し、前記ワイヤが摩耗し
過ぎの場合は前記ワイヤの新線供給量を増やし、摩耗不
足の場合は前記ワイヤの新線供給量を減らすことを特徴
とする。
成するために、一方のワイヤリールから繰り出され、往
復走行しながら他方のワイヤリールに巻き取られるワイ
ヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成
し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加
工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、前記被加工物切断
後のワイヤの径を測定し、その被加工物切断後のワイヤ
が予め設定された摩耗量となるように、前記往復走行す
るワイヤの往方向の送り量と復方向の送り量を調整して
前記ワイヤの新線供給量を調整し、前記ワイヤが摩耗し
過ぎの場合は前記ワイヤの新線供給量を増やし、摩耗不
足の場合は前記ワイヤの新線供給量を減らすことを特徴
とする。
【０００８】本発明は、被加工物切断後の実際のワイヤ
の径を測定し、その値が一定になるように、往復走行す
るワイヤの往方向の送り量と復方向の送り量を調整し
て、ワイヤの新線供給量をコントロールする。これによ
り、ワイヤ列を形成するワイヤの径が常に一定となり、
切断されるウェーハの精度が向上する。また、過不足な
くワイヤを供給することができるので、きわめて経済的
な運転が可能になる。
の径を測定し、その値が一定になるように、往復走行す
るワイヤの往方向の送り量と復方向の送り量を調整し
て、ワイヤの新線供給量をコントロールする。これによ
り、ワイヤ列を形成するワイヤの径が常に一定となり、
切断されるウェーハの精度が向上する。また、過不足な
くワイヤを供給することができるので、きわめて経済的
な運転が可能になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ走行制御方法の好ましい実施の形
態について詳説する。まず、ワイヤソーの全体構成につ
いて説明する。図１に示すように、一方のワイヤリール
１２Ａから繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられる。この
３本の溝付ローラ１８、１８、１８の外周部には、それ
ぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、前記ワイ
ヤ１４は、この溝付ローラ１８の溝に順次巻き掛けられ
て水平なワイヤ列２０を形成する。そして、ワイヤ列２
０を形成したワイヤ１４は、前記３本の溝付ローラ１
８、１８、１８を挟んで左右対称に形成された他方側の
ワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール１２Ｂに巻
き取られる。
るワイヤソーのワイヤ走行制御方法の好ましい実施の形
態について詳説する。まず、ワイヤソーの全体構成につ
いて説明する。図１に示すように、一方のワイヤリール
１２Ａから繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられる。この
３本の溝付ローラ１８、１８、１８の外周部には、それ
ぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、前記ワイ
ヤ１４は、この溝付ローラ１８の溝に順次巻き掛けられ
て水平なワイヤ列２０を形成する。そして、ワイヤ列２
０を形成したワイヤ１４は、前記３本の溝付ローラ１
８、１８、１８を挟んで左右対称に形成された他方側の
ワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール１２Ｂに巻
き取られる。
【００１０】ここで、前記一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連結され
ており、このモータ２２Ａ、２２Ｂを同期させて駆動す
ることにより、前記ワイヤ１４は前記一対のワイヤリー
ル１２Ａ、１２Ｂ間を高速で往復走行する。前記ワイヤ
列２０の両側に形成されたワイヤ走行路には、それぞれ
ワイヤ案内装置２４Ａ、２４Ｂ、ダンサローラ２６Ａ、
２６Ｂ及びワイヤ径測定装置２８Ａ、２８Ｂが配設され
ている。ワイヤ案内装置２４Ａ、２４Ｂは、ワイヤリー
ル１２Ａ、１２Ｂからワイヤ１４を一定ピッチでガイド
し、ダンサローラ２６Ａ、２６Ｂは、所定重量のウェイ
トが吊設されて走行するワイヤ１４に所定の張力を付与
する。また、ワイヤ径測定装置２８Ａ、２８Ｂは、走行
するワイヤ１４の径を測定する。
１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連結され
ており、このモータ２２Ａ、２２Ｂを同期させて駆動す
ることにより、前記ワイヤ１４は前記一対のワイヤリー
ル１２Ａ、１２Ｂ間を高速で往復走行する。前記ワイヤ
列２０の両側に形成されたワイヤ走行路には、それぞれ
ワイヤ案内装置２４Ａ、２４Ｂ、ダンサローラ２６Ａ、
２６Ｂ及びワイヤ径測定装置２８Ａ、２８Ｂが配設され
ている。ワイヤ案内装置２４Ａ、２４Ｂは、ワイヤリー
ル１２Ａ、１２Ｂからワイヤ１４を一定ピッチでガイド
し、ダンサローラ２６Ａ、２６Ｂは、所定重量のウェイ
トが吊設されて走行するワイヤ１４に所定の張力を付与
する。また、ワイヤ径測定装置２８Ａ、２８Ｂは、走行
するワイヤ１４の径を測定する。
【００１１】前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列２
０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブル
３０が設置されている。被加工物であるインゴット３２
は、このワークフィードテーブル３０の下部に保持され
る。以上のように構成されたワイヤソー１０において、
インゴット３２の切断は、高速走行するワイヤ列２０に
インゴット３２を押し当てることにより行う。この際、
前記ワイヤ列２０には、図示しないスラリタンクからス
ラリ噴射ノズル３４、３４を介してスラリが供給され、
インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒のラ
ッピング作用でウェーハに切断される。
０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブル
３０が設置されている。被加工物であるインゴット３２
は、このワークフィードテーブル３０の下部に保持され
る。以上のように構成されたワイヤソー１０において、
インゴット３２の切断は、高速走行するワイヤ列２０に
インゴット３２を押し当てることにより行う。この際、
前記ワイヤ列２０には、図示しないスラリタンクからス
ラリ噴射ノズル３４、３４を介してスラリが供給され、
インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒のラ
ッピング作用でウェーハに切断される。
【００１２】次に、本発明に係るワイヤ走行制御方法に
ついて説明する。前述したように、本実施の形態のワイ
ヤソー１０では、ワイヤ１４を往復走行させてインゴッ
ト３２を切断している。そして、本実施の形態のワイヤ
ソー１０では、ワイヤリール１２Ａからワイヤリール１
２Ｂに向かう方向（往方向）のワイヤ送り量を、ワイヤ
リール１２Ｂからワイヤリール１２Ａに向かう方向（復
方向）のワイヤ送り量より多く設定することにより、平
均的にはワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２Ｂに
向かう方向（往方向）にワイヤ１４を供給するようにし
ている。
ついて説明する。前述したように、本実施の形態のワイ
ヤソー１０では、ワイヤ１４を往復走行させてインゴッ
ト３２を切断している。そして、本実施の形態のワイヤ
ソー１０では、ワイヤリール１２Ａからワイヤリール１
２Ｂに向かう方向（往方向）のワイヤ送り量を、ワイヤ
リール１２Ｂからワイヤリール１２Ａに向かう方向（復
方向）のワイヤ送り量より多く設定することにより、平
均的にはワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２Ｂに
向かう方向（往方向）にワイヤ１４を供給するようにし
ている。
【００１３】ここで、図２に示すように、ワイヤリール
１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）
のワイヤ送り量をＬF 、ワイヤリール１２Ｂからワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量を
ＬB とすると、ワイヤ１４は１往復することにより、Ｌ
F −ＬB だけワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２
Ｂに進むことになる。このＬF −ＬB が新線供給量であ
り、１往復（１サイクル）ごとにＬF −ＬB 分だけの未
使用のワイヤ１４が、ワイヤリール１２Ａから供給され
る。
１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）
のワイヤ送り量をＬF 、ワイヤリール１２Ｂからワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量を
ＬB とすると、ワイヤ１４は１往復することにより、Ｌ
F −ＬB だけワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２
Ｂに進むことになる。このＬF −ＬB が新線供給量であ
り、１往復（１サイクル）ごとにＬF −ＬB 分だけの未
使用のワイヤ１４が、ワイヤリール１２Ａから供給され
る。
【００１４】そして、この新線供給量を如何に設定する
かにより、切断されるウェーハの精度が左右される。す
なわち、インゴット３２の下端部を切断する場合と、イ
ンゴット３２の中央部を切断する場合とでは、ワイヤ１
４がインゴット３２に接触する距離が異なるので、ワイ
ヤ１４の磨耗量も異なってくる（インゴット３２の中央
部を切断している時の方が、インゴット３２の下端部を
切断している時に比べワイヤ１４の磨耗量が多い）。し
たがって、終始同じ新線供給量では、切断位置によりワ
イヤ径が変化し、切断精度が低下する。
かにより、切断されるウェーハの精度が左右される。す
なわち、インゴット３２の下端部を切断する場合と、イ
ンゴット３２の中央部を切断する場合とでは、ワイヤ１
４がインゴット３２に接触する距離が異なるので、ワイ
ヤ１４の磨耗量も異なってくる（インゴット３２の中央
部を切断している時の方が、インゴット３２の下端部を
切断している時に比べワイヤ１４の磨耗量が多い）。し
たがって、終始同じ新線供給量では、切断位置によりワ
イヤ径が変化し、切断精度が低下する。
【００１５】このため、次のようにワイヤ１４の新線供
給量を調整して、ワイヤ１４の走行制御を行う。まず、
新線供給量の初期値を設定する。すなわち、ウェーハと
の兼ね合いでワイヤ１４の磨耗限界値を設定し、その磨
耗限界値となるような新線供給量を設定する。例えば、
１本のインゴット内でのウェーハの厚みのバラツキの規
格を１０μｍ、使用するワイヤの径を０．１８０ｍｍと
すると、磨耗限界値が０．１８０−０．０１０＝０．１
７０ｍｍとなるので、０．１８０ｍｍのワイヤが磨耗し
て０．１７０ｍｍになるような新線供給量を設定する。
なお、この新線供給量の初期値は、ワイヤ径やインゴッ
ト３２の切断送り量、過去のデータ等からオペレータが
設定する。
給量を調整して、ワイヤ１４の走行制御を行う。まず、
新線供給量の初期値を設定する。すなわち、ウェーハと
の兼ね合いでワイヤ１４の磨耗限界値を設定し、その磨
耗限界値となるような新線供給量を設定する。例えば、
１本のインゴット内でのウェーハの厚みのバラツキの規
格を１０μｍ、使用するワイヤの径を０．１８０ｍｍと
すると、磨耗限界値が０．１８０−０．０１０＝０．１
７０ｍｍとなるので、０．１８０ｍｍのワイヤが磨耗し
て０．１７０ｍｍになるような新線供給量を設定する。
なお、この新線供給量の初期値は、ワイヤ径やインゴッ
ト３２の切断送り量、過去のデータ等からオペレータが
設定する。
【００１６】次に、設定した新線供給量となるようにモ
ータ２２Ａ、２２Ｂを駆動し、ワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂを回転させる。そして、ワイヤ１４の走行が安定し
たところで切断を開始する。すなわち、ワークフィード
テーブル３０を駆動して、インゴット３２を下降させ、
走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てる。
ータ２２Ａ、２２Ｂを駆動し、ワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂを回転させる。そして、ワイヤ１４の走行が安定し
たところで切断を開始する。すなわち、ワークフィード
テーブル３０を駆動して、インゴット３２を下降させ、
走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てる。
【００１７】このインゴット３２の切断中、巻取側（ワ
イヤリール１２Ｂ側）のワイヤ走行路に設置されたワイ
ヤ径測定装置２８Ｂでは、インゴット３２の切断を終了
し、ワイヤ列２０から繰り出されたワイヤ１４の径が測
定されている。このワイヤ径の測定値は前記モータ２２
Ａ、２２Ｂを駆動制御する制御装置３６に出力され、制
御装置３６は、その測定値に基づき新線供給量を可変す
る。すなわち、測定値を磨耗限界値と比較して、新線供
給量を増減する。
イヤリール１２Ｂ側）のワイヤ走行路に設置されたワイ
ヤ径測定装置２８Ｂでは、インゴット３２の切断を終了
し、ワイヤ列２０から繰り出されたワイヤ１４の径が測
定されている。このワイヤ径の測定値は前記モータ２２
Ａ、２２Ｂを駆動制御する制御装置３６に出力され、制
御装置３６は、その測定値に基づき新線供給量を可変す
る。すなわち、測定値を磨耗限界値と比較して、新線供
給量を増減する。
【００１８】たとえば、前記例の場合、磨耗限界値は
０．１７０ｍｍであるので、測定値が０．１７５ｍｍで
あった場合は、ワイヤ径が０．１７０ｍｍとなるように
新線供給量を減らす。すなわち、復方向（ワイヤリール
１２Ｂからワイヤリール１２Ａ）に向かう方向のワイヤ
送り量の割合を増やす。一方、測定値が０．１６０ｍｍ
であった場合は、磨耗し過ぎであるので、ワイヤ径が
０．１７０ｍｍとなるように新線供給量を増やす。すな
わち、復方向（ワイヤリール１２Ｂからワイヤリール１
２Ａ）に向かう方向のワイヤ送り量の割合を減らす。
０．１７０ｍｍであるので、測定値が０．１７５ｍｍで
あった場合は、ワイヤ径が０．１７０ｍｍとなるように
新線供給量を減らす。すなわち、復方向（ワイヤリール
１２Ｂからワイヤリール１２Ａ）に向かう方向のワイヤ
送り量の割合を増やす。一方、測定値が０．１６０ｍｍ
であった場合は、磨耗し過ぎであるので、ワイヤ径が
０．１７０ｍｍとなるように新線供給量を増やす。すな
わち、復方向（ワイヤリール１２Ｂからワイヤリール１
２Ａ）に向かう方向のワイヤ送り量の割合を減らす。
【００１９】このように、インゴット３２の切断中、常
時このワイヤ走行制御を行うことにより、ワイヤ１４の
径は終始安定し、精度の高いウェーハを切断することが
可能になる。また、この結果、ワイヤ１４を過不足なく
供給することができるので、きわめて経済的な運転が可
能になる。
時このワイヤ走行制御を行うことにより、ワイヤ１４の
径は終始安定し、精度の高いウェーハを切断することが
可能になる。また、この結果、ワイヤ１４を過不足なく
供給することができるので、きわめて経済的な運転が可
能になる。
【００２０】なお、ワイヤ１４の径を測定するワイヤ径
測定装置２８Ａ、２８Ｂには、公知のレーザ測長器やワ
イヤ磨耗量検知装置を用いる。レーザ測長器を用いる場
合は、少なくともＸ、Ｙ２方向のワイヤ径を測定し、そ
の平均からワイヤ径を求めるようにする。これにより、
精度の高い測定値を得ることができる。
測定装置２８Ａ、２８Ｂには、公知のレーザ測長器やワ
イヤ磨耗量検知装置を用いる。レーザ測長器を用いる場
合は、少なくともＸ、Ｙ２方向のワイヤ径を測定し、そ
の平均からワイヤ径を求めるようにする。これにより、
精度の高い測定値を得ることができる。
【００２１】また、ワイヤ磨耗量検知装置は、次の方法
でワイヤ径を測定する。すなわち、ワイヤ１４は往復走
行するので、その走行方向切替時にワイヤ１４の走行は
一時停止する。このワイヤ１４が一時停止している間
に、基準面上を上下動する測定子でワイヤ１４を挟み込
み、そのときの測定子の基準面からの距離を差動変圧器
で測定することにより、ワイヤ径を測定する。この方法
によれば、ワイヤ１４の径を直接計測できるので、正確
なワイヤ径を把握することができる。
でワイヤ径を測定する。すなわち、ワイヤ１４は往復走
行するので、その走行方向切替時にワイヤ１４の走行は
一時停止する。このワイヤ１４が一時停止している間
に、基準面上を上下動する測定子でワイヤ１４を挟み込
み、そのときの測定子の基準面からの距離を差動変圧器
で測定することにより、ワイヤ径を測定する。この方法
によれば、ワイヤ１４の径を直接計測できるので、正確
なワイヤ径を把握することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被加工物切断後のワイヤの径を測定し、その被加工物切
断後のワイヤの径が所定値内になるように、往復走行す
るワイヤの往方向の送り量と復方向の送り量を調整し
て、前記ワイヤの新線供給量を増減するので、ワイヤ列
を形成するワイヤの径が、被加工物の切断中、常に所定
値内となり、ウェーハの切断精度を向上させることがで
きる。また、過不足なくワイヤを供給することができる
ので、きわめて経済的なワイヤソーの運転が可能にな
る。
被加工物切断後のワイヤの径を測定し、その被加工物切
断後のワイヤの径が所定値内になるように、往復走行す
るワイヤの往方向の送り量と復方向の送り量を調整し
て、前記ワイヤの新線供給量を増減するので、ワイヤ列
を形成するワイヤの径が、被加工物の切断中、常に所定
値内となり、ウェーハの切断精度を向上させることがで
きる。また、過不足なくワイヤを供給することができる
ので、きわめて経済的なワイヤソーの運転が可能にな
る。
【図１】本発明に係るワイヤ走行制御方法が適用された
ワイヤソーの全体構成図
ワイヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤの走行について説明する説明図
１０…ワイヤソー １２Ａ、１２Ｂ…ワイヤリール １４…ワイヤ １８…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２８Ａ、２８Ｂ…ワイヤ径測定装置 ３２…インゴット ３４…スラリ噴射ノズル ３６…制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 5/04 B24B 27/06
Claims (1)
- 【請求項１】 一方のワイヤリールから繰り出され、往
復走行しながら他方のワイヤリールに巻き取られるワイ
ヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成
し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加
工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、 前記被加工物切断後のワイヤの径を測定し、その被加工
物切断後のワイヤが予め設定された摩耗量となるよう
に、前記往復走行するワイヤの往方向の送り量と復方向
の送り量を調整して前記ワイヤの新線供給量を調整し、
前記ワイヤが摩耗し過ぎの場合は前記ワイヤの新線供給
量を増やし、摩耗不足の場合は前記ワイヤの新線供給量
を減らすことを特徴とするワイヤソーのワイヤ走行制御
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24977896A JP3106416B2 (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | ワイヤソーのワイヤ走行制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24977896A JP3106416B2 (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | ワイヤソーのワイヤ走行制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1086140A JPH1086140A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3106416B2 true JP3106416B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=17198095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24977896A Expired - Fee Related JP3106416B2 (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | ワイヤソーのワイヤ走行制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-09-20 JP JP24977896A patent/JP3106416B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6605750B1 (en) | 1999-04-12 | 2003-08-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method for decomposition-treating organic halogen compound and decomposing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1086140A (ja) | 1998-04-07 |
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