JPH0871911A

JPH0871911A - ワイヤーソーのトラバース装置

Info

Publication number: JPH0871911A
Application number: JP20860194A
Authority: JP
Inventors: Shiyouzou Katamachi; 省三片町; Yasuhiro Takahashi; 康弘高橋
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1994-09-01
Filing date: 1994-09-01
Publication date: 1996-03-19

Abstract

(57)【要約】【目的】安定したワイヤーの案内を行うワイヤーソーの
トラバース装置の提供。【構成】ワイヤーリール２６の近傍にワイヤーリール２
６の軸と平行してリニアモータスケール６０を配置する
と共に、このリニアモータスケール６０に配設したガイ
ドレール６２、６２上にリニアモータスライダ６４をス
ライド自在に設置した。また、リニアモータスライダ６
４には、ワイヤー１４を支持するガイドプーリ７０を設
けると共に、前記ワイヤーリール２６との間にワイヤー
１４の傾斜量を検出するレーザ測定器７６、７８を前記
ワイヤーリールの軸と平行するように配置した。そし
て、ワイヤー１４を繰り出す際は、ガイドプーリ７０を
ワイヤーリール２６の回転に応じて往復移動させると共
に、レーザ測定器７６、７８でワイヤー１４の傾斜量を
非接触で検出する。そして、検出された傾斜量に応じて
制御部８２により前記ワイヤー１４の傾きをなくすよう
にガイドプーリ７０の移動速度を増減させるようにし
た。これにより、ワイヤーはワイヤーリールから略直角
に繰り出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのトラバー
ス装置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラミ
ック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤーで多数の
薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおいて、ワ
イヤーリールからワイヤーがワイヤーリールの長手方向
に対して略直角に繰り出されるように案内すると共に、
ワイヤーリールに巻き取られるワイヤーが所定ピッチで
巻き取られるように案内するワイヤーソーのトラバース
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。

【０００３】上記したワイヤーソーのトラバース装置と
しては、特公平５─３４１２３に開示されているものが
ある。このトラバース装置は、ワイヤーリールに沿って
設けられたネジ桿にワイヤー案内用ガイドプーリを備え
た走行体を螺合し、該走行体をネジ桿の回動により一定
速度で往復移行させてワイヤーを前記ワイヤーリールか
ら繰り出すようにしている。一方、走行体にはワイヤー
リールから繰り出されるワイヤーの傾斜の有無を検知す
る検知手段が設けられ、該検知手段にワイヤーの傾斜が
検出された際は、ネジ桿の回転数を制御して、ワイヤー
をワイヤーリールの長手方向に対して繰り出し角度が略
直角になるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のトラバース装置は、ワイヤーの繰り出し位置に
対する傾斜を検知手段で検知して補正しているものの、
検知手段にワイヤーが接触しないとどれだけ傾斜したか
の傾斜量がわからない。このため、仮にワイヤーリール
に巻きかけられたワイヤーの巻きピッチが急激に粗くな
っていた時等に適正な制御ができないという問題があ
る。

【０００５】また、検知手段が接触式であるため、高速
で往復走行するワイヤーが接触すればその接触部は磨耗
し、その磨耗により生じた接触部の溝にワイヤーが引っ
掛かればワイヤーが断線する事態も発生する。本発明
は、このような事情に鑑みてなされたもので、非接触で
ワイヤーの繰り出し位置に対するワイヤーの傾斜量を検
出することにより、安定したワイヤーの案内をすること
ができるワイヤーソーのトラバース装置を提供すること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一対のワイヤーリールの間を走行するワイ
ヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥
粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板状
のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワイ
ヤーリールから前記ワイヤーを繰り出す際に、前記ワイ
ヤーを前記ワイヤーリールの長手方向に対して繰り出し
角度が略直角になるように案内するワイヤーソーのトラ
バース装置において、前記ワイヤーリールの長手方向に
平行に配設されたガイド部材と、前記ガイド部材に往復
移動自在に設けられた走行体と、前記走行体を前記ガイ
ド部材上で往復移動させる駆動手段と、前記走行体に設
けられ前記ワイヤーリールから繰り出されるワイヤーを
係合支持するガイドプーリと、前記ワイヤーリールから
繰り出されるワイヤーの前記略直角な繰り出し角度に対
する傾斜量を検出する非接触式の検出手段と、前記検出
手段で検出された前記ワイヤーの傾斜量に応じて前記駆
動手段を制御して前記傾斜量をなくすように前記走行体
の移動速度を変化させる制御手段と、を備えていること
を特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明によれば、ワイヤーリールからワイヤー
の繰り出しを行う際は、ガイドプーリをワイヤーリール
の回転に応じて往復移動させると共に、検出器でワイヤ
ーの傾斜量を検出する。そして、制御手段は、検出され
た傾斜量に応じて前記ワイヤーの傾きをなくすようにガ
イドプーリの移動速度を増減させるようにした。これに
より、ワイヤーリールから繰り出されるワイヤーに走行
体の移動を追従させることができるので、ワイヤーをワ
イヤーリールから略直角に繰り出すことができる。一
方、ワイヤーの巻き取りを行う際は、ワイヤーの案内を
行うガイドプーリをワイヤーリールの回転に応じて往復
移動させる。これにより、ワイヤーをワイヤーリールに
一定ピッチで巻き付けることができる。

【０００８】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのトラバース装置の好ましい実施例について詳説す
る。本発明のワイヤーソーのトラバース装置の第１実施
例を説明する前に、ワイヤーソー１０の全体構成を図１
に従って説明する。

【０００９】ワイヤーソー１０のワイヤー１４は、次の
ようなワイヤー走行路を形成する。一方のワイヤーリー
ル１２に巻回されたワイヤー1 ４は、トラバース装置１
６、複数の固定ガイドローラ１８、１８、…、ダンサロ
ーラ２０を経由して３本の溝付きローラ２２、２２、２
２に順次巻き掛けられる。そして、３本の溝付ローラ２
２、２２、２２でワイヤー列２４を形成した後、他方側
の複数のガイドローラ１８、１８、…、ダンサローラ２
０、トラバース装置１６を経て他方のワイヤーリール２
６に巻き取られる。

【００１０】上記したワイヤー走行路を構成するダンサ
ローラ２０には、所定重量の錘４４が吊設されており、
これにより、走行するワイヤー１４は、常に所定の張力
が付与される。また、上記したワイヤー走行路の途中に
は、ワイヤー洗浄装置４６が設けられており、加工液４
０が付着したワイヤー１４はここで洗浄されてからワイ
ヤーリール１２、２６に巻き取られる。

【００１１】また、上記したワイヤー走行路を走行する
ワイヤー１４の駆動は、ワイヤーリール１２、２６及び
３本の内１本の溝付きローラ２２に連結された正逆回転
可能なモータ２８、３０、３２により行われる。これに
より、一方のワイヤーリール１２から繰り出されたワイ
ヤー１４は、図中実線矢印３４方向に高速走行（６００
ｍ／分以上）しながら他方のワイヤーリール２６に巻き
取られる。また、他方のワイヤーリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のワイヤーリール１２に巻き取られる。即ち、ワイ
ヤー１４は一方のワイヤーリール１２と他方のワイヤー
リール２６の間を往復走行する。

【００１２】また、前記ワイヤー列２４には、砥液貯留
タンク３８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯
１０００程度のものが使用される）を含む加工液４０が
砥液供給ノズル４２から供給される。３本の溝付ローラ
２２、２２、２２で形成されるワイヤー列２４の下方に
は、ワーク送りテーブル４８が設けられている。このワ
ーク送りテーブル４８にはモータ５０で回動するネジ桿
５２が連結されており、ワーク送りテーブル４８は、前
記ネジ桿５２を回動させることにより切断送り方向（図
中Ｙ−Ｙ方向）に進退移動する。また、ワーク送りテー
ブル４８のワイヤー列２４側には、被加工物である半導
体インゴット５４がワークブロック５６とスライスベー
ス５８を介して支持される。

【００１３】これにより、ワーク送りテーブル４８を切
断送り方向（ワイヤー列２４側）に移動させると、半導
体インゴット５４は高速走行するワイヤー列２４に押し
当てられる。そして、ワイヤー列２４に押し当てられた
半導体インゴット５４は、ワイヤー列２４に供給される
加工液４０の砥粒によるラッピング作用により多数の薄
板状のウェーハに切断される。

【００１４】図２及び図３には、本発明に係るワイヤー
ソーのトラバース装置の第１実施例の構成が示されてい
る。トラバース装置１６は、上記したワイヤーソー１０
において、一方のワイヤーリール１２と他方のワイヤー
リール２６の近傍にそれぞれ設けられ、ワイヤー１４の
繰り出し時は、ワイヤー１４がワイヤーリール１２、２
６の長手方向に対して略直角に繰り出されるように案内
し、ワイヤー１４の巻き取り時は、ワイヤー１４がワイ
ヤーリール１２、２６に所定ピッチで巻き取られるよう
に案内するものである。

【００１５】尚、一方のワイヤーリール１２と他方のワ
イヤーリール２６に配設されるトラバース装置１６は同
一構造であるため、ワイヤーリール２６側のトラバース
装置１６でその第１実施例を説明する。トラバース装置
１６の駆動は、リニアモータ機構５９により行いその構
成は、次のようになっている。

【００１６】前記ワイヤーリール２６の近傍に、該ワイ
ヤーリール２６の軸と平行になるようにリニアモータス
ケール６０が配置される。このリニアモータスケール６
０の長手方向の両縁には、一対のガイドレール６２、６
２が配設されており、このガイドレール６２、６２上
を、リニアモータスライダ６４がその下面６４Ａに形成
された溝部６６、６６を介してスライド自在に設置され
ている。

【００１７】上記のように構成されたリニアモータ機構
５９は、リニアモータスケール６０を駆動することによ
り、リニアモータスライダ６４がガイドレール６２、６
２上をスライドする。また、一方のガイドレール６２近
傍には、該ガイドレール６２に沿って一対のリミットス
イッチ６８、６８が配設されており、このリミットスイ
ッチ６８、６８により前記リニアモータスライダ６４
は、そのスライド区間が規制される。また、リニアモー
タスライダ６４は、前記ワイヤーリール２６の回転量に
応じて移動すると共に、リミットスイッチ６８、６８に
当接するとスライド方向が切り換えられる。

【００１８】上記リニアモータ機構５９のリニアモータ
スライダ６４の上方には、ワイヤー１４を支持すると共
に、リニアモータスライダ６４のスライドに応じてワイ
ヤー１４の案内をするガイドプーリ７０が設けられてい
る。このガイドプーリ７０はその回転軸７０ＡをＬ字状
のブラケット７２の支持部７２Ａに回動自在に支持され
ており、該ブラケット７２は、その連結部７２Ｂをリニ
アモータスライダ６４の上面６４Ｂにボルト７４、７
４、…を介してボルト止めされている。

【００１９】また、リニアモータスライダ６４とワイヤ
ーリール２６の間には、ワイヤーリール２６から直角に
繰り出されるワイヤー１４の前方及び後方にそれぞれワ
イヤー１４の傾斜量を検出する所定間隔の隙間７５を有
して、左右一対から成るレーザ測定器７６、７８が前記
ワイヤーリール２６の軸に平行するように配置されてい
る。このレーザ測定器７６、７８は、前記ワイヤー１４
を挟んで上方に設けられレーザ光を発光する発光部７６
Ａ、７８Ａと、前記ワイヤー１４の下方に設けられ前記
レーザ光を受光する受光部７６Ｂ、７８Ｂとから構成さ
れている。そして、発光部７６Ａ、７８Ａ及び受光部７
６Ｂ、７８Ｂはそれぞれ一方側の端部をＬ字状のアーム
８０、８０の支持部８０Ａ、８０Ａにボルト８２、８
２、…を介してボルト止めされている。また、アーム８
０は、その連結部８０Ｂ、８０Ｂを前記リニアモータス
ライダ６４の側面６４Ｃ、６４Ｃにボルト８４、８４、
…を介してボルト止めされている。このように、レーザ
測定器７６、７８は、リニアモータスライダ６４に連結
されているため、該リニアモータスライダ６４のスライ
ド移動に伴ってスライド移動する。

【００２０】上述したレーザ測定器７６、７８による前
記ワイヤー１４の傾斜量検出方法は次のように行われ
る。図４には、レーザ測定器７６の要部拡大図の側面図
が示されており、同図に示されるように、発光部７６Ａ
から受光部７６Ｂに向かってレーザ光が発光されてい
る。ワイヤー１４がワイヤーリール２６から略直角に繰
り出されていれば、図５にその状態の平面図が示される
ように、ワイヤー１４はレーザ測定器７６を横切らな
い。しかし、図６に示されるように、ワイヤー１４がワ
イヤーリール２６から傾いて繰り出されると、ワイヤー
１４は前記隙間６５に位置してレーザ測定器７６を横切
る。ワイヤー１４がレーザ測定器７６を横切ると、その
横切ったワイヤー１４の面積分（横切った長さｌ×ワイ
ヤー１４の直径ｄ）だけ発光部７６Ａから発光されるレ
ーザ光が遮光され受光部７６Ｂに入るエネルギが減少す
る。このエネルギ減少量はワイヤー１４の傾き比例し、
その傾きが大きい程、横切る長さｌも長くなりのでエネ
ルギ減少量も大きくなる。このように、ワイヤー１４の
傾斜量は、受光部７６Ｂで受けるエネルギの減少量から
求められる。

【００２１】次に、上記の如く構成された本発明に係る
トラバース装置の実施例の作用を説明する。トラバース
装置１６の駆動制御は制御部８２により次のように行わ
れる。トラバース装置１６のリニアモータスケール６０
は、ワイヤーリール２６の回転量に応じて駆動され、図
３に示されるように、ガイドプーリ７０で案内されるワ
イヤー１４がワイヤーリール２６の軸方向に対して略直
角に繰り出されるようにリニアモータスライダ６４を移
動させている。

【００２２】しかし、常にワイヤー１４を略直角に保っ
て案内することは困難であり、ガイドプーリ７０は若干
の遅れ又は進みをもってワイヤー１４を案内する（図３
において点線でしめされるワイヤー１４）。このよう
に、ガイドプーリ７０がワイヤーリール２６から繰り出
されるワイヤー１４に追従できないと、ワイヤー１４は
傾いて案内される。

【００２３】図６には、ガイドプーリ７０に遅れが生じ
て、ワイヤー１４が左に傾いて案内されている状態が示
されている。ワイヤー１４が傾いて案内されると、案内
されたワイヤー１４はレーザ測定器７６の発光部７６Ａ
と受光部７６Ｂの間を横切る。レーザ測定器７６を横切
ったワイヤー１４は、その横切った面積分だけレーザ光
線を遮光するので、受光部７６Ｂに入るエネルギは減少
する。受光部７６Ｂは、前記エネルギの減少量を検出す
ると、そのエネルギの減少量を信号として制御部８２に
送信し、該信号を受信した制御部８２は、このエネルギ
減少量に応じた分だけリニアモータスライダ６４のスピ
ードを上げ、ワイヤー１４の傾きを補正する。また、図
６において点線で示されるように、ワイヤー１４が更に
左側に傾いている場合は、ワイヤー１４がレーザ測定器
７６を横切る長さｌ’も長くなるため、更にリニアモー
タスライダ６４のスピードを上げて、ワイヤー１４の傾
きを補正する。

【００２４】図７には、ガイドプーリ７０に進みが生じ
て、ワイヤー１４が右に傾いて案内されている状態が示
されている。上記ガイドプーリ７０が遅れたときと同様
に、ワイヤー１４が傾くとワイヤー１４はレーザ測定器
７８間を横切る。そして、その横切ったワイヤー１４の
面積分だけレーザ測定器７８間のレーザ光線を遮光する
ので、受光部７８Ｂに入るエネルギは減少する。受光部
７８Ｂは、前記エネルギの減少量を検出すると、そのエ
ネルギの減少量を信号として制御部８２に送信し、信号
を受信した制御部８２は、このエネルギ減少量に応じた
分だけリニアモータスライダ６４のスピードを下げ、ワ
イヤー１４の傾きを補正する。

【００２５】このように、本第１実施例のワイヤーソー
のトラバース装置によれば、常にワイヤー１４の傾斜量
をレーザ測定器７６、７８で検出して、その都度ワイヤ
ー１４の傾斜を補正しているため、ワイヤー１４がワイ
ヤーリール２６から常に略直角の状態で案内される。ま
た、ワイヤー１４の傾きを検出する手段として、非接触
でワイヤー１４の傾きを測定するレーザ測定器７６、７
８を用いたため、測定器が磨耗することがない。従っ
て、測定器の磨耗による交換の必要がないので、交換等
の手間が省けると共に経済的でもある。

【００２６】また、非接触であるため、磨耗により生じ
る溝にワイヤー１４が引っ掛かるという問題がないた
め、ワイヤー１４の断線を防止することができる。ま
た、常にワイヤー１４の傾きを補正しているので、安定
したワイヤー１４の繰り出しが可能になると共に、ワイ
ヤー１４の張力の安定化も図れる。また、本第１実施例
のワイヤーソーのトラバース装置によるワイヤー１４の
巻き取りに際しては、前記リニアモータスケール６０を
ワイヤーリール２６の回転に応じて駆動し、ワイヤー１
４が一定ピッチでワイヤーリール２６に巻かれるように
案内する。

【００２７】次に、本発明に係るワイヤーソーのトラバ
ース装置の第２実施例を図８及び図９に従って説明す
る。尚、図１乃至図７に示した第１実施例と同一、もし
くは類似の部材については同一の符号を付してその説明
は省略する。第２実施例では、第１実施例で用いたレー
ザ測定器７６、７８の代わりに多数の発光ダイオードと
フォトトランジスタからなる傾斜量検出器８４、８６を
用いて、ワイヤー１４の傾きを検出する。

【００２８】所定間隔の隙間８３を有して左右一対から
成る傾斜量検出器８４、８６は、図９にその平面図が示
されるように、ワイヤーリール２６（図示せず）の軸に
対して直角に繰り出されるワイヤー１４（図９中０で示
されている状態）の両側に前記ワイヤーリール２６の軸
と平行するように配置される。また、傾斜量検出器８４
は、図８に示されるように、ワイヤー１４の上方に発光
素子である発光ダイオードＬ１Ａ、Ｌ２Ａ、…を所定間
隔ずつずらしながら交互に配置する（図９参照）と共
に、ワイヤー１４の下方に前記発光ダイオードＬ１Ａ、
Ｌ２Ａ、…と対向するように受光素子であるフォトトラ
ンジスタＬ１Ｂ、Ｌ２Ｂ、…が配置されている。また、
他方の傾斜量検出器８６も同様に構成され、ワイヤー１
４の上方に発光ダイオードＲ１Ａ、Ｒ２Ａ、…下方にフ
ォトトランジスタＲ１Ｂ、Ｒ２Ｂ…が所定間隔ずつずら
して配置されている。そして、それぞれの発光ダイオー
ドＬ１Ａ、Ｌ２Ａ、…、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、…及びフォト
トランジスタＬ１Ｂ、Ｌ２Ｂ…、Ｒ１Ｂ、Ｒ２Ｂ…の基
端部は、支持プレート８８、８８、…に固定され、該支
持プレート８８、８８、…は、第１実施例のレーザ測定
器７６、７８と同様にリニアモータスライダ６４（図示
せず）に連結されたＬ字状のアーム８２（図示せず）の
支持部８２Ａ（図示せず）に支持される。

【００２９】次に、上記のように構成されたワイヤー傾
斜量検出器８４、８６を備えたワイヤーソーのトラバー
ス装置の第２実施例の作用を説明する。図９に示される
ように、ガイドプーリ７０に遅れが生じると、ワイヤー
１４は傾いて案内される。この時、ワイヤー１４は、左
側に配置した発光ダイオードＬ１Ａ、Ｌ２Ａ、…とフォ
トットランジスタＬ１Ｂ、Ｌ２Ｂ、…間を横切り、発光
ダイオードＬ１Ａ、Ｌ２Ａ、…から発せられる光を遮光
する。ワイヤー１４により光を遮光された部分に配置し
たフォトトランジスタＬ１Ｂ、Ｌ２Ｂ、…は、受光量が
減少するので、この受光量の減少を検知したフォトトラ
ンジスタＬ１Ｂ、Ｌ２Ｂ、…は、直ちに制御部８２に信
号を送る。この時、制御部８２では、例えば、ワイヤー
１４が最も右側に配置した発光ダイオードＬ１Ａとフォ
トトランジスタＬ１Ｂ間を横切ったとき（図９中Ｌ１）
の信号を受信したら、リニアモータスライダ６４を１１
０％のスピードで移動するようにリニアモータスケール
６０の駆動を制御し、３番目の発光ダイオードＬ３Ａと
フォトトランジスタＬ３Ｂ間を横切ったとき（図９中Ｌ
３）の信号を受信したら、リニアモータスライダ６４を
１３０％のスピードで移動するようにリニアモータスケ
ール６０駆動を制御する。というように、ワイヤー１４
の横切った発光ダイオードとフォトトランジスタの配置
位置により、リニアモータスライダ６４のスピードの制
御量を決めておく。このようにすることにより、ワイヤ
ー１４は常にその傾きが補正され、ワイヤー１４は常に
ワイヤーリール２６から略直角に繰り出されるようにな
る。

【００３０】また、ガイドプーリ７０に進みが生じた場
合も同様であり、この場合は、ガイドプーリ７０が進ん
でいるので、左側に配置した発光ダイオードとフォトト
ランジスタ間を横切るに従い、９０、８０、７０、…％
というように、リニアモータスライダ６４のスピードを
下げるように設定しておく。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、常にワイヤーの傾斜量
を検出して、傾斜量に応じて走行体の移動速度を変化さ
せるようにしたので、ワイヤーがワイヤーリールから常
に略直角の状態で案内され、ワイヤーの案内が安定す
る。また、非接触でワイヤーの繰り出し位置に対する左
右傾斜を検出するようにしたため、検出器の磨耗がな
く、交換をする必要がない。また、ワイヤーの断線を防
止することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本実施例のワイヤーソーの全体構成図

【図２】図２は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第１実施例を説明する斜視図

【図３】図３は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第１実施例を説明する平面図

【図４】図４は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第１実施例を説明する要部を拡大した側面図

【図５】図５は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第１実施例を説明する要部を拡大した平面図

【図６】図６は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第１実施例を説明する要部を拡大した平面図

【図７】図７は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第１実施例を説明する要部を拡大した平面図

【図８】図８は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第２実施例を説明する要部を拡大した側面図

【図９】図９は、本発明に係るワイヤーソーのトラバー
ス装置の第２実施例を説明する要部を拡大した平面図

【符号の説明】

１０…ワイヤーソー１６…トラバース装置５９…リニアモータ機構６０…リニアモータスケール６４…リニアモータスライダ７０…ガイドプーリ７６、７８…レーザ測定器８２…制御部８４、８６…傾斜量検出器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対のワイヤーリールの間を走行するワイ
ヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥
粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板状
のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワイ
ヤーリールから前記ワイヤーを繰り出す際に、前記ワイ
ヤーを前記ワイヤーリールの長手方向に対して繰り出し
角度が略直角になるように案内するワイヤーソーのトラ
バース装置において、前記ワイヤーリールの長手方向に平行に配設されたガイ
ド部材と、前記ガイド部材に往復移動自在に設けられた走行体と、前記走行体を前記ガイド部材上で往復移動させる駆動手
段と、前記走行体に設けられ前記ワイヤーリールから繰り出さ
れるワイヤーを係合支持するガイドプーリと、前記ワイヤーリールから繰り出されるワイヤーの前記略
直角な繰り出し角度に対する傾斜量を検出する非接触式
の検出手段と、前記検出手段で検出された前記ワイヤーの傾斜量に応じ
て前記駆動手段を制御して前記傾斜量をなくすように前
記走行体の移動速度を変化させる制御手段と、を備えていることを特徴とするワイヤーソーのトラバー
ス装置。
【請求項２】前記検出手段は、発光部と受光部とから成
るレーザ測定器で構成され、前記発光部と前記受光部と
の間の前記ワイヤーがレーザ光を遮光する遮光量に基づ
いて前記傾斜量を検出することを特徴とする請求項１の
ワイヤーソーのトラバース装置。
【請求項３】前記測定器は、前記ワイヤーリールの長手
方向に前記ワイヤーを挟んで多数配列された発光素子と
受光素子とから構成され、前記ワイヤーの傾斜により遮
光された前記受光素子の位置により前記ワイヤーの傾斜
量を検出することを特徴とする請求項１のワイヤーソー
のトラバース装置。