JPH0929609A - ワイヤソーのワイヤトラバース装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤトラバース装置Info
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- JPH0929609A JPH0929609A JP17491695A JP17491695A JPH0929609A JP H0929609 A JPH0929609 A JP H0929609A JP 17491695 A JP17491695 A JP 17491695A JP 17491695 A JP17491695 A JP 17491695A JP H0929609 A JPH0929609 A JP H0929609A
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- reel
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- wire reel
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H54/00—Winding, coiling, or depositing filamentary material
- B65H54/02—Winding and traversing material on to reels, bobbins, tubes, or like package cores or formers
- B65H54/28—Traversing devices; Package-shaping arrangements
- B65H54/2848—Arrangements for aligned winding
- B65H54/2854—Detection or control of aligned winding or reversal
- B65H54/2857—Reversal control
- B65H54/286—Reversal control by detection that the material has reached the flange or the reel end
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/30—Handled filamentary material
- B65H2701/35—Ropes, lines
- B65H2701/354—Cutting lines, e.g. for grass cutting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業者の手間を省き、また、人為的ミスによ
るトラブルやワイヤリールの変形でワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤの断線を防止する。 【構成】 近接センサ７４、７６が検出した両端部の位
置にワイヤ１４が到達したとき、読取り部７８で両端部
の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部８０
に格納した。そして、この座標位置にワイヤ１４が到達
したとき、制御部８０でワイヤ１４を案内方向と逆方向
に移動する。これにより、ワイヤリール２６の巻取り範
囲Ｌの両端部を自動的に設定する。さらに、スケール部
７８で読み取った値に基づいてワイヤリール２６の巻取
り範囲Ｌの両端部を設定するので、ワイヤリール２６が
摩耗やテンション等で変形等した場合でも、座標位置が
変位しない。従って、ワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌ
の両端部が変動しないので、ワイヤ１４のトラバース不
良の発生を防止する。
るトラブルやワイヤリールの変形でワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤの断線を防止する。 【構成】 近接センサ７４、７６が検出した両端部の位
置にワイヤ１４が到達したとき、読取り部７８で両端部
の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部８０
に格納した。そして、この座標位置にワイヤ１４が到達
したとき、制御部８０でワイヤ１４を案内方向と逆方向
に移動する。これにより、ワイヤリール２６の巻取り範
囲Ｌの両端部を自動的に設定する。さらに、スケール部
７８で読み取った値に基づいてワイヤリール２６の巻取
り範囲Ｌの両端部を設定するので、ワイヤリール２６が
摩耗やテンション等で変形等した場合でも、座標位置が
変位しない。従って、ワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌ
の両端部が変動しないので、ワイヤ１４のトラバース不
良の発生を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
トラバース装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーのワイ
ヤトラバース装置に関する。
トラバース装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーのワイ
ヤトラバース装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
【０００３】この場合、一方のワイヤリールの下流側と
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のワ
イヤトラバース装置及び他方のワイヤトラバース装置が
設けられている。一方のワイヤトラバース装置には一対
のタッチローラが一方のワイヤリールの軸線方向に移動
自在に支持され、一方のワイヤリールから繰り出された
ワイヤは一対のタッチローラ間で案内されて複数個の溝
付ローラに導かれる。この一対のタッチローラは、一方
のワイヤリールから繰り出されたワイヤに追従してワイ
ヤリールの軸線方向に移動してワイヤを案内する。
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のワ
イヤトラバース装置及び他方のワイヤトラバース装置が
設けられている。一方のワイヤトラバース装置には一対
のタッチローラが一方のワイヤリールの軸線方向に移動
自在に支持され、一方のワイヤリールから繰り出された
ワイヤは一対のタッチローラ間で案内されて複数個の溝
付ローラに導かれる。この一対のタッチローラは、一方
のワイヤリールから繰り出されたワイヤに追従してワイ
ヤリールの軸線方向に移動してワイヤを案内する。
【０００４】また、他方のワイヤトラバース装置の上流
側にも、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸
線方向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で
案内されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られ
る。この一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに
巻き取られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸
線方向に移動してワイヤを案内する。
側にも、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸
線方向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で
案内されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られ
る。この一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに
巻き取られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸
線方向に移動してワイヤを案内する。
【０００５】この場合、ワイヤがワイヤリールの巻取り
範囲の一端又は他端に到達したとき、ワイヤは案内方向
に対して逆方向に移動され、これにより、ワイヤがワイ
ヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。このように、
ワイヤリールの巻取り範囲内でワイヤを往復移動するた
めに、ワイヤリールをワイヤソーにセットしたとき、こ
のワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定する必要が
ある。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設
定する場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の
両端部に位置するまで作業者が手動でワイヤトラバース
装置を移動し、ワイヤが両端部に到達したときのワイヤ
トラバース装置の座標位置を読み取り、読み取ったそれ
ぞれの座標位置を操作パネルで入力する。そして、操作
パネルで入力された座標位置に基づいてワイヤトラバー
ス装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。
範囲の一端又は他端に到達したとき、ワイヤは案内方向
に対して逆方向に移動され、これにより、ワイヤがワイ
ヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。このように、
ワイヤリールの巻取り範囲内でワイヤを往復移動するた
めに、ワイヤリールをワイヤソーにセットしたとき、こ
のワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定する必要が
ある。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設
定する場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の
両端部に位置するまで作業者が手動でワイヤトラバース
装置を移動し、ワイヤが両端部に到達したときのワイヤ
トラバース装置の座標位置を読み取り、読み取ったそれ
ぞれの座標位置を操作パネルで入力する。そして、操作
パネルで入力された座標位置に基づいてワイヤトラバー
ス装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。
【０００６】また、読み取ったワイヤトラバース装置の
座標位置を入力しないで、ワイヤトラバース装置の移動
範囲をリミットスイッチで設定することも可能である。
この場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の両
端部まで作業者が手動でワイヤトラバース装置を移動
し、それぞれの位置でリミットスイッチが作動するよう
にリミットスイッチの位置を調整する。そして、リミッ
トスイッチのオン、オフ動作に基づいて、ワイヤトラバ
ース装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動す
る。
座標位置を入力しないで、ワイヤトラバース装置の移動
範囲をリミットスイッチで設定することも可能である。
この場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の両
端部まで作業者が手動でワイヤトラバース装置を移動
し、それぞれの位置でリミットスイッチが作動するよう
にリミットスイッチの位置を調整する。そして、リミッ
トスイッチのオン、オフ動作に基づいて、ワイヤトラバ
ース装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動す
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では作業者がワイヤリールの巻取り範囲の両端部ま
で手動でワイヤトラバース装置を移動して、ワイヤリー
ルの巻取り範囲の両端部を設定するので作業者の手間が
かかるという問題がある。また、作業者が手動でワイヤ
トラバース装置の移動範囲を設定する際に人為的ミスに
よるトラブルが発生し、ワイヤのトラバース不良が生じ
ワイヤが断線するという問題がある。
方法では作業者がワイヤリールの巻取り範囲の両端部ま
で手動でワイヤトラバース装置を移動して、ワイヤリー
ルの巻取り範囲の両端部を設定するので作業者の手間が
かかるという問題がある。また、作業者が手動でワイヤ
トラバース装置の移動範囲を設定する際に人為的ミスに
よるトラブルが発生し、ワイヤのトラバース不良が生じ
ワイヤが断線するという問題がある。
【０００８】一方、ワイヤトラバース装置の移動範囲を
リミットスイッチで設定する場合、ワイヤリールが摩耗
やテンション等で変形等した場合にリミットスイッチの
作動位置が変動するのでワイヤリールの巻取り範囲の両
端部の位置が変動し、ワイヤのトラバース不良が生じて
ワイヤが断線するという問題がある。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、作業者の手間をかけず
にワイヤトラバース装置の移動範囲を設定することがで
き、かつ、トラバース不良によるワイヤの断線を防止す
ることができるワイヤソーのワイヤトラバース装置を提
供することを目的とする。
リミットスイッチで設定する場合、ワイヤリールが摩耗
やテンション等で変形等した場合にリミットスイッチの
作動位置が変動するのでワイヤリールの巻取り範囲の両
端部の位置が変動し、ワイヤのトラバース不良が生じて
ワイヤが断線するという問題がある。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、作業者の手間をかけず
にワイヤトラバース装置の移動範囲を設定することがで
き、かつ、トラバース不良によるワイヤの断線を防止す
ることができるワイヤソーのワイヤトラバース装置を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するワイヤソーのワイヤトラバース装置に於い
て、前記ワイヤリールのワイヤ巻取り範囲の両端部を検
出する検出部と、該検出部が検出した両端部の座標位置
を読み取る読取り部と、該読取り部で読み取られた両端
部の座標位置を格納し、該格納された両端部の座標位置
に前記ワイヤが到達したとき前記ワイヤを案内方向と逆
方向に移動する制御部と、を備えたことを特徴としてい
る。
成するために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するワイヤソーのワイヤトラバース装置に於い
て、前記ワイヤリールのワイヤ巻取り範囲の両端部を検
出する検出部と、該検出部が検出した両端部の座標位置
を読み取る読取り部と、該読取り部で読み取られた両端
部の座標位置を格納し、該格納された両端部の座標位置
に前記ワイヤが到達したとき前記ワイヤを案内方向と逆
方向に移動する制御部と、を備えたことを特徴としてい
る。
【００１０】本発明によれば、検出部が検出した両端部
の位置にワイヤが到達したとき、読取り部でワイヤの座
標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部に格納し
た。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部の座標
位置にワイヤが到達したとき、制御部でワイヤを案内方
向と逆方向に移動する。これにより、ワイヤリールの巻
取り範囲の両端部を自動的に設定することができる。
の位置にワイヤが到達したとき、読取り部でワイヤの座
標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部に格納し
た。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部の座標
位置にワイヤが到達したとき、制御部でワイヤを案内方
向と逆方向に移動する。これにより、ワイヤリールの巻
取り範囲の両端部を自動的に設定することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤトラバース装置の実施の形態につ
いて詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール１２に巻回された
ワイヤ１４は、後述するワイヤトラバース装置１６、複
数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を
経由して３本の溝付ローラ２２、２２、２２に順次巻き
掛けられてワイヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイ
ドローラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤトラバ
ース装置１６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取ら
れる。
るワイヤソーのワイヤトラバース装置の実施の形態につ
いて詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール１２に巻回された
ワイヤ１４は、後述するワイヤトラバース装置１６、複
数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を
経由して３本の溝付ローラ２２、２２、２２に順次巻き
掛けられてワイヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイ
ドローラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤトラバ
ース装置１６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取ら
れる。
【００１２】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。
【００１３】前記ワイヤリール１２、２６には、それぞ
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。
【００１４】前記ワイヤ列２４には、加工液貯留タンク
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
【００１５】以下、前述したワイヤトラバース装置１６
について説明する。ワイヤトラバース装置１６は、一方
のワイヤリール１２及び他方のワイヤリール２６の近傍
にそれぞれ設けられているが、これらのワイヤトラバー
ス装置１６は同様に構成されているので、ワイヤリール
２６の近傍に設けられたワイヤトラバース装置１６につ
いて説明して、ワイヤリール１２の近傍に設けられたワ
イヤトラバース装置１６については説明を省略する。
について説明する。ワイヤトラバース装置１６は、一方
のワイヤリール１２及び他方のワイヤリール２６の近傍
にそれぞれ設けられているが、これらのワイヤトラバー
ス装置１６は同様に構成されているので、ワイヤリール
２６の近傍に設けられたワイヤトラバース装置１６につ
いて説明して、ワイヤリール１２の近傍に設けられたワ
イヤトラバース装置１６については説明を省略する。
【００１６】図２に示すように、ワイヤトラバース装置
１６のリニアモータ６０はワイヤリール２６の左側に平
行に配設されている。リニアモータ６０のステータ６２
は、両側部にガイドレール６４、６４が設けられ、ガイ
ドレール６４、６４にはスライダ６６が矢印Ｙ1 −Ｙ2
方向に移動自在に支持されている。そして、スライダ６
６の巻線に励磁電流を流すことによりスライダ６６がガ
イドレール６４、６４に沿って矢印Ｙ1 −Ｙ2 方向に移
動する。
１６のリニアモータ６０はワイヤリール２６の左側に平
行に配設されている。リニアモータ６０のステータ６２
は、両側部にガイドレール６４、６４が設けられ、ガイ
ドレール６４、６４にはスライダ６６が矢印Ｙ1 −Ｙ2
方向に移動自在に支持されている。そして、スライダ６
６の巻線に励磁電流を流すことによりスライダ６６がガ
イドレール６４、６４に沿って矢印Ｙ1 −Ｙ2 方向に移
動する。
【００１７】スライダ６６には上部タッチローラ６８及
び下部タッチローラ７０が回動自在に支持され、上部タ
ッチローラ６８と下部タッチローラ７０との間にはワイ
ヤリール２６から繰り出されたワイヤ１４が配される。
そして、上部タッチローラ６８と下部タッチローラ７０
を経たワイヤ１４はガイドローラ７２を介して、図１上
で説明した固定ガイドローラ１８に案内される。
び下部タッチローラ７０が回動自在に支持され、上部タ
ッチローラ６８と下部タッチローラ７０との間にはワイ
ヤリール２６から繰り出されたワイヤ１４が配される。
そして、上部タッチローラ６８と下部タッチローラ７０
を経たワイヤ１４はガイドローラ７２を介して、図１上
で説明した固定ガイドローラ１８に案内される。
【００１８】このワイヤトラバース装置１６は、上部近
接センサ（検出部）７４、下部近接センサ（検出部）７
６、読取り部７８及び制御部８０を備えている。上部近
接センサ７４はＬ字型のブラケット８２の先端部に取り
付けられている。上部近接センサ７４は、ワイヤ１４が
ワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの上端部に到達したと
き、ワイヤリール２６の上部フランジ８４に形成された
溝８４Ａのエッジ部８４Ｂを検出するように位置決めさ
れている（図３参照）。
接センサ（検出部）７４、下部近接センサ（検出部）７
６、読取り部７８及び制御部８０を備えている。上部近
接センサ７４はＬ字型のブラケット８２の先端部に取り
付けられている。上部近接センサ７４は、ワイヤ１４が
ワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの上端部に到達したと
き、ワイヤリール２６の上部フランジ８４に形成された
溝８４Ａのエッジ部８４Ｂを検出するように位置決めさ
れている（図３参照）。
【００１９】また、下部近接センサ７６はＬ字型のブラ
ケット８６の先端部に取り付けられている。下部近接セ
ンサ７６は、上部近接センサ７４と同様に、ワイヤ１４
がワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの下端部に到達した
とき、ワイヤリール２６の下部フランジ８８に形成され
た溝８８Ａのエッジ部８８Ｂを検出するように位置決め
されている（図３参照）。
ケット８６の先端部に取り付けられている。下部近接セ
ンサ７６は、上部近接センサ７４と同様に、ワイヤ１４
がワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの下端部に到達した
とき、ワイヤリール２６の下部フランジ８８に形成され
た溝８８Ａのエッジ部８８Ｂを検出するように位置決め
されている（図３参照）。
【００２０】読取り部７８は、Ｙ1 −Ｙ2 方向に移動す
るスライダ６６の座標位置を読み取る。制御部８０は、
上部近接センサ７４及び下部近接センサ７６がそれぞれ
エッジ部８４Ｂ及びエッジ部８８Ｂを検出したときのそ
れぞれの検出信号を入力する。また、制御部８０は、上
部近接センサ７４がエッジ部８４Ｂを検出したときに、
読取り部７８で読み取られたスライダ６６の座標位置
（以下、上限位置と称す）を格納し、また、下部近接セ
ンサ７６がエッジ部８８Ｂを検出したときに、読取り部
７８で読み取られたスライダ６６の座標位置（以下、下
限位置と称す）を格納する。
るスライダ６６の座標位置を読み取る。制御部８０は、
上部近接センサ７４及び下部近接センサ７６がそれぞれ
エッジ部８４Ｂ及びエッジ部８８Ｂを検出したときのそ
れぞれの検出信号を入力する。また、制御部８０は、上
部近接センサ７４がエッジ部８４Ｂを検出したときに、
読取り部７８で読み取られたスライダ６６の座標位置
（以下、上限位置と称す）を格納し、また、下部近接セ
ンサ７６がエッジ部８８Ｂを検出したときに、読取り部
７８で読み取られたスライダ６６の座標位置（以下、下
限位置と称す）を格納する。
【００２１】そして、制御部８０は、読取り部７８で読
み取られたスライダ６６の座標位置が上限位置又は下限
位置になったとき、スライダ６６を進行方向と逆方向に
移動するように制御する。前記の如く構成された前記実
施の形態のワイヤソーのワイヤトラバース装置の作用を
説明する。先ず、スライダ６６を矢印Ｙ1 方向に移動し
て、上部近接センサ７４が上部フランジ８４のエッジ部
８４Ｂを検出したときスライダ６６を停止する。この状
態で、読取り部７８で読み取られたスライダ６６の上限
位置を制御部８０に格納する。この場合、ワイヤ１４は
ワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの上端部に位置する
（図３参照）。
み取られたスライダ６６の座標位置が上限位置又は下限
位置になったとき、スライダ６６を進行方向と逆方向に
移動するように制御する。前記の如く構成された前記実
施の形態のワイヤソーのワイヤトラバース装置の作用を
説明する。先ず、スライダ６６を矢印Ｙ1 方向に移動し
て、上部近接センサ７４が上部フランジ８４のエッジ部
８４Ｂを検出したときスライダ６６を停止する。この状
態で、読取り部７８で読み取られたスライダ６６の上限
位置を制御部８０に格納する。この場合、ワイヤ１４は
ワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの上端部に位置する
（図３参照）。
【００２２】次に、スライダ６６を矢印Ｙ2 方向に移動
して、下部近接センサ７６で下部フランジ８８のエッジ
部８８Ｂを検出したときスライダ６６を停止する。この
状態で、読取り部７８で読み取られたスライダ６６の下
限位置を制御部８０に格納する。この場合、ワイヤ１４
はワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの下端部に位置す
る。これにより、スライダ６６の上限位置及び下限位置
の設定が完了する。
して、下部近接センサ７６で下部フランジ８８のエッジ
部８８Ｂを検出したときスライダ６６を停止する。この
状態で、読取り部７８で読み取られたスライダ６６の下
限位置を制御部８０に格納する。この場合、ワイヤ１４
はワイヤリール２６の巻取り範囲Ｌの下端部に位置す
る。これにより、スライダ６６の上限位置及び下限位置
の設定が完了する。
【００２３】スライダ６６の上限位置及び下限位置の設
定完了後、ワイヤソー１０を駆動すると、ワイヤリール
２６からワイヤ１４を繰り出し又は巻き取られ、スライ
ダ６６がＹ1 −Ｙ2 方向に移動する。そして、スライダ
６６の位置は読取り部７８で読み取られて制御部８０に
入力され、制御部８０は読取り部７８で読み取られたス
ライダ６６の座標位置が上限位置又は下限位置に位置し
たときスライダ６６が進行方向に対して逆方向に移動す
る。これにより、スライダ６６が上限位置と下限位置と
の間で往復移動するので、ワイヤ１４がワイヤリール２
６の巻取り範囲Ｌの上端部と下端部との間で往復移動す
る。
定完了後、ワイヤソー１０を駆動すると、ワイヤリール
２６からワイヤ１４を繰り出し又は巻き取られ、スライ
ダ６６がＹ1 −Ｙ2 方向に移動する。そして、スライダ
６６の位置は読取り部７８で読み取られて制御部８０に
入力され、制御部８０は読取り部７８で読み取られたス
ライダ６６の座標位置が上限位置又は下限位置に位置し
たときスライダ６６が進行方向に対して逆方向に移動す
る。これにより、スライダ６６が上限位置と下限位置と
の間で往復移動するので、ワイヤ１４がワイヤリール２
６の巻取り範囲Ｌの上端部と下端部との間で往復移動す
る。
【００２４】前記実施例では、スライダ６６の上限位置
を設定した後下限位置を設定する場合について説明した
が、これに限らず、スライダ６６の下限位置を設定した
後上限位置を設定してもよい。前記実施例では、スライ
ダ６６の上限位置及び下限位置を検出するために上部近
接センサ７４及び下部近接センサ７６を２個使用した場
合について説明したが、これに限らず、スライダ６６の
上限位置及び下限位置を１個の近接センサで検出するよ
うにしてもよい。
を設定した後下限位置を設定する場合について説明した
が、これに限らず、スライダ６６の下限位置を設定した
後上限位置を設定してもよい。前記実施例では、スライ
ダ６６の上限位置及び下限位置を検出するために上部近
接センサ７４及び下部近接センサ７６を２個使用した場
合について説明したが、これに限らず、スライダ６６の
上限位置及び下限位置を１個の近接センサで検出するよ
うにしてもよい。
【００２５】また、前記実施例では、スライダ６６の上
限位置及び下限位置を検出するために近接センサ７４、
７６を使用した場合について説明したが、これに限ら
ず、近接センサ以外の超音波センサ、レーザセンサ及び
ＣＣＤカメラなどのその他のセンサを使用してもよい。
限位置及び下限位置を検出するために近接センサ７４、
７６を使用した場合について説明したが、これに限ら
ず、近接センサ以外の超音波センサ、レーザセンサ及び
ＣＣＤカメラなどのその他のセンサを使用してもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソーのワイヤトラバース装置によれば、検出部が検出し
た両端部の位置にワイヤが到達したとき、読取り部で両
端部の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部
に格納した。そして、座標位置にワイヤが到達したと
き、制御部でワイヤを案内方向と逆方向に移動する。こ
れにより、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を自動的
に設定することができる。
ソーのワイヤトラバース装置によれば、検出部が検出し
た両端部の位置にワイヤが到達したとき、読取り部で両
端部の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部
に格納した。そして、座標位置にワイヤが到達したと
き、制御部でワイヤを案内方向と逆方向に移動する。こ
れにより、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を自動的
に設定することができる。
【００２７】従って、作業者の手間を省くことができ、
また、人為的ミスによるトラブルでワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤが断線することを防止する。さら
に、本発明によれば、読取り部で読み取った座標値に基
づいてワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定するの
で、ワイヤリールが摩耗やテンション等で変形等した場
合でも、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部が変動しな
い。従って、ワイヤリールが変形した場合でも、ワイヤ
のトラバース不良が発生することを防止してワイヤの断
線を防止する。
また、人為的ミスによるトラブルでワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤが断線することを防止する。さら
に、本発明によれば、読取り部で読み取った座標値に基
づいてワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定するの
で、ワイヤリールが摩耗やテンション等で変形等した場
合でも、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部が変動しな
い。従って、ワイヤリールが変形した場合でも、ワイヤ
のトラバース不良が発生することを防止してワイヤの断
線を防止する。
【図１】本発明に係るワイヤソーの全体を示した全体図
【図２】本発明に係るワイヤソーのワイヤトラバース装
置の要部拡大図
置の要部拡大図
【図３】本発明に係るワイヤソーの作動を説明した要部
拡大図
拡大図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ １６…ワイヤトラバース装置 ７４…上部近接センサ（検出部） ７６…下部近接センサ（検出部） ７８…読取り部 ８０…制御部 Ｌ…ワイヤ巻取り範囲
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するワイヤソーのワイヤトラバース装置に於い
て、 前記ワイヤリールのワイヤ巻取り範囲の両端部を検出す
る検出部と、 該検出部が検出した両端部の座標位置を読み取る読取り
部と、 該読取り部で読み取られた両端部の座標位置を格納し、
該格納された両端部の座標位置に前記ワイヤが到達した
とき前記ワイヤを案内方向と逆方向に移動する制御部
と、 を備えたことを特徴とするワイヤソーのワイヤトラバー
ス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17491695A JPH0929609A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17491695A JPH0929609A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0929609A true JPH0929609A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=15986957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17491695A Pending JPH0929609A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0929609A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012517904A (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ワイヤソー装置およびワイヤソー装置を動作させる方法 |
| CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
| KR101402237B1 (ko) * | 2012-11-15 | 2014-05-30 | 한국생산기술연구원 | 가이드롤러의 마멸에 따른 와이어 권취오차의 보상장치 및 그것이 설치된 와이어소 |
| JP2016203318A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法 |
-
1995
- 1995-07-11 JP JP17491695A patent/JPH0929609A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012517904A (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ワイヤソー装置およびワイヤソー装置を動作させる方法 |
| CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
| KR101402237B1 (ko) * | 2012-11-15 | 2014-05-30 | 한국생산기술연구원 | 가이드롤러의 마멸에 따른 와이어 권취오차의 보상장치 및 그것이 설치된 와이어소 |
| JP2016203318A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法 |
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