KR101309131B1 - 와이어 소 - Google Patents

와이어 소 Download PDF

Info

Publication number
KR101309131B1
KR101309131B1 KR1020137007780A KR20137007780A KR101309131B1 KR 101309131 B1 KR101309131 B1 KR 101309131B1 KR 1020137007780 A KR1020137007780 A KR 1020137007780A KR 20137007780 A KR20137007780 A KR 20137007780A KR 101309131 B1 KR101309131 B1 KR 101309131B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wire
bobbin
traverser
angle
processing
Prior art date
Application number
KR1020137007780A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130039776A (ko
Inventor
히데유키 시마키
타카오 히메노
아키히로 마츠다
Original Assignee
코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤 filed Critical 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
Publication of KR20130039776A publication Critical patent/KR20130039776A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101309131B1 publication Critical patent/KR101309131B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0061—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for guiding or feeding saw wires
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
    • B26D1/01—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work
    • B26D1/547—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work having a wire-like cutting member
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Forests & Forestry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

워크 가공용의 와이어(11)가 가설(架設) 상태에서 주회되는 복수의 가공용 롤러(14A, 14B)와, 한 쌍의 보빈(12A, 12B)의 축선에 평행한 방향을 따라 각각 왕복운동되며 와이어(11)의 권취 및 인출을 안내하는 한 쌍의 트래버서(16A, 16B)를 구비한다. 가공용 롤러(14A, 14B) 및 보빈(12A, 12B)의 왕복 회전에 수반되어 와이어(11)가 왕복 주행되고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이의 위치에서 와이어(11)에 의해 워크(W)에 절단 가공이 실시된다. 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 보빈(12A, 12B)의 축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도가 검출된다. 그 검출 결과에 따라서 와이어(11)의 각도가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정되며, 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정이 이루어진다.

Description

와이어 소{WIRE SAW}
본 발명은, 예를 들면 반도체 재료, 자성 재료, 세라믹 등의 재료로 이루어지는 워크(workpiece)를 와이어에 의해 절단 가공하는 와이어 소에 관한 것이다.
종래, 이런 종류의 와이어 소로는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시되는 구성이 제안되고 있다. 이와 같은 종래 구성에서는, 워크 가공용의 와이어가 권취(winding)되는 한 쌍의 보빈과, 양쪽보빈 사이에서 와이어가 가설 상태에서 주회(周回)되는 복수의 가공용 롤러가 구비되어 있다. 각 보빈에는 보빈의 축선방향을 따라 왕복운동되고, 와이어의 권취(winding) 및 인출(unwinding)을 안내하기 위한 트래버스 장치가 대향 배치되어 있다. 그리고, 와이어가 소정 사이클로 왕복 주행되는 동안에, 가공용 롤러 사이에서 와이어상에 연마입자(砥粒)를 포함하는 슬러리가 공급된다. 이 상태에서 와이어에 대하여 워크가 가압되고, 워크에 절단 가공이 실시된다.
1. 일본공개특허 평 9-70745호 공보
그러나, 와이어 소에서는 보빈의 회전축선에 대한 보빈과 트래버서와의 사이에서의 와이어의 각도가 90°가 되도록 제어되는 것이 바람직하다. 와이어의 각도가 90°이외의 각도가 된 경우, 보빈에 대해서 와이어가 적정하게 감기지 않게 되어 감긴 와이어에 권취 불량이 발생된다는 문제가 있다. 또는 보빈으로부터 인출되는 와이어에 과도한 장력이 작용하여 와이어가 단선될 우려가 있다.
또한 와이어의 주행 방향의 반전시에, 권취측으로부터 인출측으로 전환되는 보빈의 트래버서에 위치 어긋남이 발생된 경우에는, 와이어의 반전 주행의 개시시에 보빈으로부터 와이어가 적정하게 인출되도록 안내되지 못하게 되어 인출된 와이어의 장력에 불균일이 발생된다는 문제가 있다. 특히, 와이어의 주행 방향의 반전시에, 인출측으로부터 권취측으로 전환되는 보빈의 트래버서에 위치 어긋남이 발생되기 쉬워, 와이어의 권취 불량의 문제가 현저하게 나타나고 있다.
상기 특허 문헌 1의 장치에서는, 와이어를 사이에 두는 위치에 한 쌍의 터치 롤러가 설치되고, 와이어가 터치 롤러에 접촉하면, 트래버서의 트래버스 속도가 와이어 위치에 맞추어 수정된다. 그러나 이러한 구성에서는, 와이어와 터치 롤러가 단시간에 다수회 접촉하여 채터링을 일으켜 그 상태가 수속(收束)되지 않을 우려가 있다. 이러한 상태가 되면, 트래버서가 조금씩 이동하기 때문에, 트래버스 속도의 수정이 어렵고 따라서 권취 불량 등의 해소에 지장이 된다.
본 발명은, 이러한 종래의 기술에 존재하는 문제점에 착안하여 이루어진 것이다. 그 목적은, 와이어의 주행 방향의 반전시에, 트래버서에 위치 어긋남이 발생되는 것을 억제할 수 있고, 이후의 와이어의 주행 개시시에, 와이어에 권취 불량이나 장력의 불균일이 발생될 우려를 방지할 수 있는 와이어 소를 제공하는 것에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 워크 가공용의 와이어가 가설 상태에서 주회(周回)되는 복수의 가공용 롤러와, 상기 와이어의 권취 및 인출을 실시하기 위하여 축선의 둘레로 각각 왕복 회전 가능한 한 쌍의 보빈과, 각 보빈의 축선에 평행한 방향을 따라 왕복운동 되며, 이 왕복운동에 수반되어 각 보빈에 의한 와이어의 권취 및 인출을 각각 안내하는 트래버서, 를 구비하고, 상기 가공용 롤러 및 상기 보빈의 왕복 회전에 의해 와이어가 왕복 주행되어 가공용 롤러간의 위치에서 와이어에 의해 워크에 절단 가공을 실시하도록 한 와이어 소에 있어서, 와이어의 주행 방향의 반전시에 각 보빈의 축선에 대한 각 보빈과 각 트래버서와의 사이에서의 와이어의 각도를 검출하는 검출 수단과, 그 검출 수단에 의해 검출된 와이어의 각도가 90°이외일 때에는, 그 와이어의 각도가 90°로 설정되도록 적어도 어느 한쪽의 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키는 제어 수단, 을 설치하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명의 와이어 소에서는, 가공용 롤러 및 보빈의 소정 사이클의 왕복 회전에 수반되어 와이어의 주행 방향이 반전될 때, 검출 수단에 의해 보빈의 회전축선에 대한 보빈과 트래버서의 사이에서의 와이어의 각도가 검출된다. 그리고, 검출된 와이어의 각도가 90°이외일 때, 즉 90°보다 클 때 또는 작을 때에는, 제어 수단에 의해 와이어의 각도가 90°로 설정되도록 트래버서가 이동 조정되어 트래버서의 위치가 보정된다. 이로 인해, 와이어의 주행 방향의 반전시에 트래버서에 위치 어긋남이 발생되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어의 주행 개시시에, 권취측 보빈에 감기는 와이어에 권취 불량이 발생하거나 인출측 보빈으로부터 인출되는 와이어에 장력의 불균일이 발생되는 우려를 방지할 수 있다.
상기 제어 수단은, 와이어의 주행 정지시에 상기 트래버서를 이동시키도록 할 수 있다.
상기 제어 수단은, 한 쌍의 보빈 중, 와이어의 인출을 종료한 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키도록 할 수 있다.
상기 제어 수단은, 와이어의 인출을 종료한 보빈 및 권취를 종료한 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키도록 할 수 있다.
상기 가공용 롤러와 트래버서와의 사이에서 와이어의 장력을 조절하는 댄서롤러를 설치하고, 상기 검출 수단은, 댄서롤러 및 트래버서에 각각 설치되며, 댄서롤러 및 트래버서에 작용하는 와이어의 장력 하중을 검출하는 복수의 센서와, 이들 센서로부터의 검출 신호에 근거하여 와이어의 각도를 판별하는 판별 수단으로 구성될 수 있다.
상기 센서로부터의 검출 신호에 의해 나타나는 장력 하중이 미리 설정된 소정치와 동일할 경우, 상기 판별 수단은 상기 와이어의 각도가 90°라고 판별하도록 할 수 있다.
도 1은, 일 실시형태의 와이어 소를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는, 도 1의 와이어 소의 회로 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은, 동일한 와이어 소에 있어서의 와이어 관련 동작을 나타내는 순서도이다.
도 4는, 도 3의 순서도에서의 와이어의 각도 검출 동작의 상세를 나타내는 순서도이다.
도 5(a) 및 (b)는, 트래버서의 위치 조정 동작을 나타내는 구성도이다.
이하에, 본 발명을 구체화한 와이어 소의 일 실시형태를 도면에 따라 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 와이어 소에서는, 워크 가공용의 와이어(11)가 권취되는 한 쌍의 보빈(12A, 12B)이 프레임(미도시)에 상호 간격을 두고 축선 둘레로 각각 회전 가능하게 지지되고 있다. 각 보빈(12A, 12B)에는, 정역회전(正逆回轉) 가능한 보빈 회전용 모터(13A, 13B)가 연결되어 있다. 그리고, 이들 보빈 회전용 모터(13A, 13B)에 의해 각 보빈(12A, 12B)이 소정의 시간 간격으로 왕복 회전되고, 어느 한쪽의 보빈(12A, 12B)에 와이어(11)가 권취되는 동시에, 다른 쪽 보빈(12B, 12A)으로부터 와이어(11)가 인출된다.
상기 양쪽 보빈(12A, 12B) 사이의 위치에서 와이어 소의 프레임에는, 복수(실시형태에서는 한 쌍)의 가공용 롤러(14A, 14B)가 간격을 두고 회전 가능하게 지지되고 있다. 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B)의 외주면에는 복수의 환상(環狀) 홈이 소정의 피치로 형성되고, 그 가공용 롤러(14A, 14B)의 환상 홈간에 상기 와이어(11)가 가설(架設) 상태로 주회(周回)되고 있다. 그리고, 이 와이어(11)의 가설 상태에서, 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B)가 가공용 롤러 회전용 모터(미도시)에 의해, 상기 보빈(12A, 12B)과 동일한 시간 간격으로 왕복 회전되고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이에서 와이어(11)가 그 주회 방향을 따라 왕복 주행된다.
상기 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B) 사이의 와이어(11)의 상방에는 새들(미도시)이 승강 가능하게 배치되고, 그 새들의 하면(下面)에는 워크(W)가 지지판(15)에 점착된 상태로 착탈 가능하게 장착된다. 그리고, 상기와 같이 가공용 롤러(14A, 14B)간에 와이어(11)가 주회 방향을 따라 주행되면서, 그 와이어(11)상에 연마입자를 포함한 슬러리가 공급된다. 이 상태에서, 새들의 하강에 의해 워크(W)가 와이어(11)로 가압되고, 그 워크(W)에 절단 가공이 실시된다. 와이어(11)로서 다이아몬드 등의 연마입자를 유지한 것을 사용한 경우에는, 슬러리의 공급은 불필요하다.
상기 각 보빈(12A, 12B)의 근방 위치에는, 각 트래버서(16A, 16B)가 각 보빈(12A, 12B)의 축선에 평행한 방향을 따라 왕복운동 가능하게 배치된다. 각 트래버서(16A, 16B)에는, 보빈(12A, 12B)에 대한 와이어(11)의 권취 및 인출을 안내하기 위한 트래버스 롤러(17A, 17B)가 회전 가능하게 지지되고 있다. 그리고, 상기 와이어(11)의 주행시에는, 도 2에 나타내는 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 의해, 볼 나사(미도시) 등을 통하여 트래버서(16A, 16B)가 왕복운동되며 트래버스 롤러(17A, 17B)에 의해 보빈(12A, 12B)에 대한 와이어(11)의 권취 및 인출이 안내된다.
상기 각 가공용 롤러(14A, 14B)와 각 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서 프레임에는, 각 댄서암(19A, 19B)이 요동 가능하게 지지되고 있다. 각 댄서암(19A, 19B)의 선단부에는, 와이어(11)의 장력을 조절하기 위한 댄서롤러(20A, 20B)가 회전 가능하게 지지되고 있다. 각 댄서암(19A, 19B)의 기단부에는 댄서암(19A, 19B)을 회동시켜 와이어(11)의 장력을 변경하기 위한 서보모터 등으로 이루어진 댄서암 회동용 모터(21A, 21B)가 연결되어 있다. 각 댄서롤러(20A, 20B)와 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B)와의 사이에서 가공용 롤러(14A, 14B)의 근방 위치에는, 와이어(11)를 가이드하기 위한 가이드 롤러(22A, 22B)가 회전 가능하게 배치되어 있다.
상기 각 트래버스 롤러(17A, 17B)에는, 그 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중을 검출하기 위한 제 1 센서(23A, 23B)가 설치되어 있다. 각 댄서롤러(20A, 20B)에는, 그 댄서롤러(20A, 20B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중을 검출하기 위한 제 2 센서(24A, 24B)가 설치되어 있다. 그리고, 와이어(11)의 주행 중 및 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터 와이어(11)의 장력 하중을 나타내는 검출 신호가 출력된다.
다음으로, 상기와 같이 구성된 와이어 소의 회로 구성에 대하여 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제어장치(31)는 와이어 소 전체의 동작을 제어하기 위한 제어 수단을 구성하고 있다. 제어장치(31)에는, 상기 제 1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터의 검출 신호가 입력된다. 제어장치(31)로부터는 상기 보빈 회전용 모터(13A, 13B), 트래버서 이동용 모터(18A, 18B) 및 댄서암 회동용 모터(21A, 21B)에 작동 또는 정지 신호가 출력된다.
그리고, 상기 제어장치(31)는, 와이어(11)의 주행 중에 제1 센서(23A, 23B)로부터 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중에 관한 검출 신호를 입력했을 때, 그 검출 신호에 근거하여 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 작동 신호를 출력하여 트래버서(16A, 16B)의 이동 속도를 조정한다. 또한 제어장치(31)는, 와이어(11)의 주행 중에 제2 센서(24A, 24B)로부터 댄서롤러(20A, 20B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중에 관한 검출 신호를 입력했을 때, 그 검출 신호에 근거하여 댄서암 회동용 모터(21A, 21B)에 작동 신호를 출력하고, 댄서암(19A, 19B)를 회동시켜서 와이어(11)의 장력을 조절한다.
상기 제어장치(31)에는, 판별 수단으로서의 판별부(32)가 설치되어 있다. 그리고 이 판별부(32)는, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 와이어의 주행이 정지된 시점에서, 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터 와이어(11)의 장력 하중에 관한 검출 신호를 입력한다. 그리고, 이들 검출 신호에 근거하여, 도 5(a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버스 롤러(17A, 17B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도(α)를 판별한다. 즉, 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터의 와이어(11)의 장력 하중의 값이 미리 설정된 소정치와 동일한 경우에, 상기 각도(α)는 90°라고 판별된다. 또한 그 소정치에 대하여 트래버스 롤러(17A, 17B)의 제1 센서(23A, 23B)의 값이 낮은 경우에 상기 각도(α)는 예각이라고 판별되고, 소정치에 대하여 댄서롤러(20A, 20B)의 제2 센서(24A, 24B)의 값이 낮은 경우에 상기 각도(α)는 둔각이라고 판별된다. 이 실시형태에서는 상기 제 1 센서(23A, 23B), 제2 센서(24A, 24B) 및 판별부(32)에 의해, 보빈(12A, 12B)의 회전축선과 와이어(11)가 이루는 각도(α)를 검출하기 위한 검출 수단이 구성되어 있다.
그리고, 상기 제어장치(31)는, 검출된 와이어(11)의 각도(α)가 90°이외일 때, 즉 도 5(a)에 나타낸 바와 같이 90°보다 작은 예각일 때 또는 도 5(b)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 90°보다 큰 둔각일 때에는, 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 작동 신호를 출력한다. 이러한 출력에 의해, 와이어(11)의 주행 정지중에 도 5(a) 및 (b)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)를 이동 조정하여, 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정을 실행한다. 이 경우, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 인출측으로부터 권취측으로 전환되는 인출을 종료한 보빈(12A, 12B)의 트래버서(16A, 16B)에 대해서는 위치 어긋남이 발생되기 쉬우므로, 이 실시형태에서는, 그 인출을 종료한 보빈(12A, 12B)의 트래버서(16A, 16B)를 주로 이동 제어하도록 되어 있다.
다음으로, 상기와 같이 구성된 와이어 소에서, 주로 와이어의 주행 제어의 작용을 도 3 및 도 4의 순서도에 따라 설명한다.
상기 와이어 소의 운전시에는, 상기 제어장치(31)의 제어에 의해 도 3에 나타낸 순서도의 각 스텝(이하, 간단히 S라고 한다)에 따르는 동작이 실행된다. 즉, 와이어 소의 운전시에는, 가공용 롤러(14A, 14B)가 회전되는 동시에, S1에서 보빈 회전용 모터(13A, 13B)의 구동에 의해 보빈(12A, 12B)이 회전된다. 그리고, S2에서는 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)의 구동에 의해 트래버서(16A, 16B)가 보빈(12A, 12B)의 축선을 따라 왕복운동되며 트래버스 동작이 개시된다. 이들 동작에 의해 와이어(11)가 한쪽의 보빈(12A, 12B)으로부터 인출되어 가공용 롤러(14A, 14B) 사이에서 주회 방향을 따라 주행된 후, 다른 쪽의 보빈(12B, 12A)에 권취된다. 그리고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이에서 주행중인 와이어(11)에 대하여 워크(W)가 가압됨으로써, 워크(W)에 절단 가공이 실시된다.
다음의 S3에서는, 제1 센서(23A, 23B)에 의해 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 검출되고, 그 검출치가 미리 설정된 소정치와 동일한가 아닌가가 판별된다. 이 판별에서 검출치가 소정치와 동일하지 않은 경우에는, S4에서 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)가 작동 제어되며 와이어 주행중인 트래버서(16A, 16B)의 이동 속도가 조정된다.
다음으로, S5에서는 와이어(11)가 일방향으로 소정량 주행되고, 와이어(11)의 주행 방향의 반전 시기에 도달했는지 아닌지가 판별된다. 이 판별에서, 와이어(11)의 주행 방향의 반전 시기에 도달되지 않은 경우에는, 상기 S3로 돌아가 S3~S5의 동작이 반복되어 실행된다. 이에 대하여, 와이어(11)의 주행 방향의 반전 시기에 도달한 경우에는, S6에서 보빈 회전용 모터(13A, 13B)에 의한 보빈(12A, 12B)의 회전이 정지되는 동시에, 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 의한 트래버서(16A, 16B)의 이동이 정지된다. 이와 동시에, 가공용 롤러(14A, 14B)의 회전이 정지된다. 이로 인해, 와이어(11)의 주행이 소정 시간에 걸쳐 정지된다.
다음의 S7에서는, 상기 와이어(11)의 주행 정지상태에서, 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 와이어(11)의 각도(α)가 검출된다. 이러한 와이어(11)의 각도(α) 검출시에는, 도 4의 순서도에 나타낸 바와 같이, 먼저 S7a에서 제1 센서(23A, 23B)에 의해 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 검출된다. 이어서, S7b에서 제2 센서(24A, 24B)에 의해 댄서롤러(20A, 20B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 검출된다. 그리고, S7c에서 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터의 검출 신호에 근거하여, 도 5(a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 와이어(11)의 각도(α)가 판별된다.
다음으로, 도 3의 S8에서는, 검출된 와이어(11)의 각도(α)가 90°인지 아닌지가 판별된다. 이 판별에서, 와이어(11)의 각도(α)가 90° 이외인 경우, 즉 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 90°보다 작은 경우 또는 도 5(b)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 90°보다 큰 경우에는, 다음의 S9에서 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 의해 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정된다. 이러한 이동 조정에 의해, 와이어(11)의 주행 정지상태에서 트래버서(16A, 16B)가 도 5(a) 및 (b)에 실선으로 나타낸 위치로부터 쇄선으로 나타낸 위치로 변이되어 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정이 이루어진다.
이어서, S10에서 워크(W)의 가공이 종료되었는지 아닌지가 판별된다. 이 판별에서, 가공이 종료되지 않은 경우에는, 다음의 S11에서 보빈 회전용 모터(13A, 13B)에 의해 보빈(12A, 12B)이 상기 경우와 역방향으로 회전된다. 그와 동시에, 가공용 롤러(14A, 14B)도 상기 경우와 역방향으로 회전된다. 이로 인해, 와이어(11)가 주행 방향을 반전한 상태에서 주행된다. 이후, 상기 S2로 되돌아가서, S2~S11의 동작이 반복 실시된다. 한편, 상기 S10의 판별에서, 가공이 종료된 경우에는 와이어(11)의 주행 동작이 종료된다.
따라서, 본 실시형태에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1) 상기 와이어 소에서는, 가공용 롤러(14A, 14B) 및 보빈(12A, 12B)의 소정 사이클의 왕복 회전에 수반되어, 와이어(11)의 주행 방향이 반전되었을 때 검출 수단에 의해 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도(α)가 검출된다. 그리고, 검출된 와이어(11)의 각도(α)가 90°이외일 때, 즉 90°보다 클 때 또는 작을 때에는, 제어장치(31)에 의해 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정된다. 이 때문에, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 트래버서(16A, 16B)에 위치 어긋남이 발생되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어(11)의 주행 개시시에, 권취측의 보빈(12A, 12B)에 권취되는 와이어(11)에 권취 불량이 발생되거나, 인출측의 보빈(12B, 12A)으로부터 인출되는 와이어(11)에 장력의 불균일이 발생될 우려를 방지할 수 있다.
(2) 상기 와이어 소에서는, 상기 제어장치(31)가, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에 있어서의 와이어(11)의 주행 정지 중에 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)의 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어(11)의 주행 개시시에, 위치 어긋남이 없는 트래버서(16A, 16B)에 의해, 보빈(12A, 12B)에 대한 와이어(11)의 권취 및 인출의 안내 동작을 신속하게 개시 시킬 수 있다. 따라서, 와이어(11)의 장력을 일정하게 유지할 수 있어 고정밀도 가공이 가능해진다.
(3) 상기 와이어 소에서는, 상기 제어장치(31)가 인출 종료 보빈(12A, 12B)측의 트래버서(16A, 16B)를 이동시키도록 되어 있다. 이 때문에, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에 인출측으로부터 권취측으로 전환되는 인출을 종료한 보빈(12A, 12B)의 트래버서(16A, 16B)에 위치 어긋남이 쉽게 발생되더라도, 그 트래버서(16A, 16B)의 위치 차이를 적절히 수정할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어(11)의 주행 개시시에서의 와이어(11)의 권취 불량의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.
(4) 상기 와이어 소에서는, 상기 검출 수단이 댄서롤러(20A, 20B) 및 트래버서(16A, 16B)에 각각 설치되고, 댄서롤러(20A, 20B) 및 트래버서(16A, 16B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중을 검출하는 센서(24A, 24B, 23A, 23B)와, 이들 센서(24A, 24B, 23A, 23B)로부터의 검출 신호에 근거하여 와이어(11)의 각도(α)를 판별하는 판별부(32)로 구성되어 있다. 이 때문에, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에 센서(24A, 24B, 23A, 23B)에 의해 댄서롤러(20A, 20B) 및 트래버서(16A, 16B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 직접적으로 검출되고, 이들 검출 결과에 근거하여 와이어(11)의 각도(α)를 적정하게 검출할 수 있다.
(변경예)
이 실시형태는, 다음과 같이 변경하여 구체화할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 제1 센서(23A, 23B)의 검출 신호에 근거하여 와이어(11)의 주행중의 트래버서(16A, 16B)의 이동 속도를 조정하였으나, 이것을 생략하고 프로그램에 의해서만 제어할 수도 있다.
와이어(11)의 주행 반전시의 트래버서(16A, 16B)의 이동 조정을, 검출 각도(α)에 따라서 미리 설정된 거리를 이동시킴으로써 실시하도록 할 수 있다.
상기 실시형태에서, 와이어(11)의 각도(α)를 검출하기 위한 검출 수단을, 예를 들면 와이어(11)를 광학적으로 검출하는 수단으로 변경할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 와이어(11)를 가이드 하기 위하여 한 쌍의 가이드 롤러를 설치하였으나, 2쌍 이상의 가이드 롤러를 설치한 와이어 소에 본 발명을 구체화시킬 수 있다.
본 발명의 제어 수단에 의한 제어를, 인출 종료시의 트래버서(16A, 16B)에 대해서만 실행하는 것. 즉, 와이어(11)의 인출시에는, 와이어(11)의 각도가 보빈(12A, 12B)상의 인출 시점 및 트래버서(16A, 16B)의 위치에 따라서 결정되기 때문에, 90°이외의 각도가 되기 쉽다. 이에 반해서, 와이어(11)의 권취시에는, 와이어(11)가 트래버서(16A, 16B)의 트래버스만 따라서 보빈(12A, 12B)에 권취되기 때문에, 와이어 각도가 90°로 유지된다. 따라서, 인출 종료시의 트래버서(16A, 16B)만이 제어될 수 있다.
11 와이어
12A, 12B 보빈
14A, 14B 가공용 롤러
16A, 16B 트래버서
17A, 17B 트래버스 롤러
20A, 20B 댄서롤러
23A, 23B 검출 수단을 구성하는 제1 센서
24A, 24B 검출 수단을 구성하는 제2 센서
31 제어 수단을 구성하는 제어장치
32 검출 수단을 구성하는 판별 수단으로서의 판별부
W 워크
α 각도

Claims (6)

  1. 워크 가공용의 와이어가 가설(架設) 상태에서 주회되는 복수의 가공용 롤러와,
    상기 와이어의 권취 및 인출을 실시하기 위하여 축선 둘레로 각각 왕복 회전 가능한 한 쌍의 보빈과,
    각 보빈의 축선과 평행한 방향을 따라 왕복운동 되고, 그 왕복운동에 수반되어 각 보빈에 의한 와이어의 권취 및 인출을 각각 안내하는 트래버서를 구비하고,
    상기 가공용 롤러 및 상기 보빈의 왕복 회전에 수반되어 와이어가 왕복 주행되고, 가공용 롤러 사이의 위치에서 와이어에 의해 워크에 절단 가공을 실시하도록 한 와이어 소에 있어서,
    와이어의 주행 방향의 반전시 와이어의 주행이 정지된 상태에서 각 보빈의 축선에 대한 각 보빈과 각 트래버서 사이에서의 와이어의 각도를 검출하는 검출 수단과,
    그 검출 수단에 의해 검출된 와이어의 각도가 90°이외인 경우, 와이어의 주행 방향의 반전시 와이어의 주행이 정지된 동안, 그 와이어의 각도가 90°로 설정되도록 적어도 어느 한쪽의 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키는 제어 수단,
    을 설치하는 것을 특징으로 하는 와이어 소(WIRE SAW).
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제어 수단은, 한 쌍의 보빈중, 와이어의 인출을 종료한 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제어 수단은, 와이어의 인출을 종료한 보빈 및 와이어의 권취를 종료한 보빈의 트래버서를 각각 이동시키는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  5. 제 1항, 제 3항 및 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가공용 롤러와 각 트래버서와의 사이에서 와이어의 장력을 조절하는 댄서롤러를 설치하고,
    상기 검출 수단은, 댄서롤러 및 트래버서에 각각 설치되며 댄서롤러 및 트래버서에 작용하는 와이어의 장력 하중을 검출하는 복수의 센서와, 이들 센서로부터의 검출 신호에 근거하여 와이어의 각도를 판별하는 판별 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 센서로부터의 검출 신호에 의해 나타나는 장력 하중이 미리 설정된 소정치와 동일할 때, 상기 판별 수단은 상기 와이어의 각도가 90°라고 판별하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
KR1020137007780A 2011-07-15 2012-07-09 와이어 소 KR101309131B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2011-156876 2011-07-15
JP2011156876A JP5155428B2 (ja) 2011-07-15 2011-07-15 ワイヤソー
PCT/JP2012/067445 WO2013011854A1 (ja) 2011-07-15 2012-07-09 ワイヤソー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130039776A KR20130039776A (ko) 2013-04-22
KR101309131B1 true KR101309131B1 (ko) 2013-09-16

Family

ID=47558032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137007780A KR101309131B1 (ko) 2011-07-15 2012-07-09 와이어 소

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5155428B2 (ko)
KR (1) KR101309131B1 (ko)
CN (1) CN103118839B (ko)
TW (1) TWI434744B (ko)
WO (1) WO2013011854A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101612937B1 (ko) 2015-11-16 2016-04-15 원광이엔텍 주식회사 마이크로튜브용 자동 고속 정렬 권취기

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2467342B1 (en) 2009-08-21 2016-02-10 3M Innovative Properties Company Pavement markings, reflective elements, and methods of making microspheres
JP6124445B2 (ja) * 2013-03-25 2017-05-10 コマツＮｔｃ株式会社 張力変動抑制方法および張力変動抑制装置
CN103785901B (zh) * 2013-09-09 2015-04-29 凡登（常州）新型金属材料技术有限公司 一种异构型金属丝及其制作装置和制备方法
JP6256870B2 (ja) * 2013-10-11 2018-01-10 株式会社タカトリ ワイヤソー及びその制御方法
NO338419B1 (no) * 2014-11-26 2016-08-15 1Diamond As Sagesystem og fremgangsmåte for berging
EP3106256A1 (en) * 2015-06-19 2016-12-21 Meyer Burger AG Method for cutting a workpiece
JP6589735B2 (ja) * 2016-04-21 2019-10-16 信越半導体株式会社 ワイヤソー装置の製造方法
JP6729697B2 (ja) * 2016-07-13 2020-07-22 信越半導体株式会社 ワイヤソー装置及びワークの切断方法
JP6857509B2 (ja) * 2017-02-15 2021-04-14 コマツＮｔｃ株式会社 ワイヤソー
JP6898116B2 (ja) * 2017-03-09 2021-07-07 コマツＮｔｃ株式会社 ワイヤソー
CN106945189B (zh) * 2017-05-03 2019-07-23 江苏秉宸科技有限公司 一种金刚线多线切片机
JP7267684B2 (ja) * 2018-05-18 2023-05-02 株式会社小松製作所 ワイヤソーの運転パラメータの設定方法及びワイヤソー
EP3603914A1 (en) * 2018-08-01 2020-02-05 Precision Surface Solutions GmbH Wire management system for a wire saw and method of operating a wire saw with such a system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100276048B1 (ko) 1995-07-14 2000-12-15 오쯔보 히데오 와이어 톱의 와이어 트래버스장치
JP2010208010A (ja) 2009-02-16 2010-09-24 Komatsu Ntc Ltd トラバース制御方法およびその装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61267663A (ja) * 1985-05-21 1986-11-27 Mitsuboshi Kogyo Kk 線材テ−パボビン巻取装置
ATE253997T1 (de) * 1994-09-30 2003-11-15 Nippei Toyama Corp Drahtsäge
JP4049900B2 (ja) * 1998-08-20 2008-02-20 株式会社スーパーシリコン研究所 ワイヤソー切断装置
JP2004122287A (ja) * 2002-10-02 2004-04-22 Ishii Hyoki Corp 停電時ワイヤ断線防止機構付きワイヤソー
JP4411062B2 (ja) * 2003-12-25 2010-02-10 株式会社アライドマテリアル 超砥粒ワイヤソー巻き付け構造、超砥粒ワイヤソー切断装置および超砥粒ワイヤソーの巻き付け方法
JP2010105061A (ja) * 2008-10-28 2010-05-13 Yasunaga Corp ワイヤソー装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100276048B1 (ko) 1995-07-14 2000-12-15 오쯔보 히데오 와이어 톱의 와이어 트래버스장치
JP2010208010A (ja) 2009-02-16 2010-09-24 Komatsu Ntc Ltd トラバース制御方法およびその装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101612937B1 (ko) 2015-11-16 2016-04-15 원광이엔텍 주식회사 마이크로튜브용 자동 고속 정렬 권취기

Also Published As

Publication number Publication date
JP5155428B2 (ja) 2013-03-06
TW201302357A (zh) 2013-01-16
JP2013022653A (ja) 2013-02-04
KR20130039776A (ko) 2013-04-22
CN103118839B (zh) 2014-03-12
TWI434744B (zh) 2014-04-21
CN103118839A (zh) 2013-05-22
WO2013011854A1 (ja) 2013-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101309131B1 (ko) 와이어 소
WO2011096018A1 (ja) ワイヤソーによるワークの切断方法及びワイヤソー
CN104925584B (zh) 纱线卷取机以及卷取方法
JP2015155119A (ja) ワイヤソー及び切断加工方法
EP2409941B1 (en) Yarn winding device
CN103848287A (zh) 纱线卷取机以及具备纱线卷取机的纤维机械
JP2009227412A (ja) 糸巻取機及び糸巻取方法
CN108792808B (zh) 一种自动精密收排线设备及方法
KR101230268B1 (ko) 와이어 소우 머신의 장력 조절 장치
JP2015033752A (ja) ワイヤソー
EP3363756B1 (en) Yarn winder
EP3042872B1 (en) Yarn winding machine and method for manufacturing a package
JP2014040316A (ja) 糸巻取ユニット及び糸巻取機
JP5250376B2 (ja) ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー
JP2018027858A (ja) 少なくとも１つのリング精紡機と少なくとも１つの巻取り機とから成る複合システムを運転する方法ならびに複合システム用の巻取り機
JP2011255468A (ja) ワイヤソーのトラバース装置
CN108436724B (zh) 线状锯及线状锯的运转方法
JP2010013259A (ja) 糸巻取機及びクレードルの移動制御方法
JP2016000658A (ja) 巻き取り装置を備える繊維機械
JP3189864B2 (ja) ワイヤソーのワイヤトラバース装置
CN108568740B (zh) 线状锯及线状锯的工件切断加工方法
JPH0929609A (ja) ワイヤソーのワイヤトラバース装置
KR101675813B1 (ko) 보조 가이드를 이용한 권폭조정장치
JP6448286B2 (ja) 綾巻きパッケージを製造する繊維機械の作業ステーションを運転する方法
JP6908386B2 (ja) ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160818

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170818

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180816

Year of fee payment: 6