JPH11188599A

JPH11188599A - 固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装置

Info

Publication number: JPH11188599A
Application number: JP35356897A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Tago; 一弘田子; Shuichi Tsukada; 修一塚田
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1997-12-22
Filing date: 1997-12-22
Publication date: 1999-07-13

Abstract

(57)【要約】【課題】走行中の固定砥粒付ワイヤのワイヤ径を精度よ
く測定することができる固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ
径検出装置の提供。【解決手段】レーザーセンサ５８、６０によって走行す
る固定砥粒付ワイヤ２６のワイヤ径を所定の間隔をもっ
て複数回検出し、その検出した複数のワイヤ径の平均値
をワイヤ径として取得する。このようにワイヤ径を検出
することにより、固定砥粒付ワイヤ２６が走行している
場合であっても、信頼度の高い検出を行うことができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固定砥粒付ワイヤ
ソーのワイヤ径検出装置に係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定砥粒付ワ
イヤソーのワイヤ径検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコン等の硬脆性材料のインゴットか
らウェーハを切り出す装置の一つに固定砥粒ワイヤソー
がある。この固定砥粒ワイヤソーは、周面に固定砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤを高速走行させ、その高速
走行する固定砥粒付ワイヤにインゴットを押し当てるこ
とにより、インゴットからウェーハを切断する。

【０００３】ところで、この固定砥粒付ワイヤソーに使
用される固定砥粒付ワイヤは、切断を重ねるに従い目こ
ぼれ等が発生し磨耗してくる。そして、この固定砥粒付
ワイヤを磨耗した状態で使用すると、切断中に固定砥粒
付ワイヤが断線するという危険性がある。このため、従
来の固定砥粒付ワイヤでは、定期的に固定砥粒付ワイヤ
のワイヤ径を検出し、所定のワイヤ径に達したら新しい
ものと交換するようにしていた。そして、従来、この固
定砥粒付ワイヤのワイヤ径の検出は、インゴットの切断
開始前あるいは切断後などの装置が停止している間に、
オペレータがマイクロメータ等を用いて検出していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定砥
粒付ワイヤの磨耗は、インゴットの切断中に生じるもの
であるため、インゴットの切断中に限界値に達する場合
もある。このような場合、従来のワイヤ径の検出方法で
は、装置が停止してからでないと測定ができないため、
切断中に断線する危険性が高いという問題があった。そ
して、このインゴット切断中におけるワイヤの断線は、
装置の構成部品の損傷を招き、ひいては装置の故障を招
くという問題がある。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、被加工物切断中に固定砥粒付ワイヤのワイヤ
径を精度よく測定することができる固定砥粒付ワイヤソ
ーのワイヤ径検出装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、走行する固定砥粒付ワイヤに被加工物を押
し当てることにより、該被加工物を切断する固定砥粒付
ワイヤソーにおいて、走行する前記固定砥粒付ワイヤの
径を検出するセンサと、前記センサによって前記固定砥
粒付ワイヤのワイヤ径を所定の間隔をもって複数回検出
し、その検出した複数のワイヤ径の平均値を算出する制
御手段と、前記制御手段の算出結果を表示する表示手段
と、からなることを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、センサによって走行する
固定砥粒付ワイヤのワイヤ径を所定の間隔をもって複数
回検出し、その検出した複数のワイヤ径の平均値をワイ
ヤ径として取得する。このようにワイヤ径を検出するこ
とにより、固定砥粒付ワイヤが走行している場合であっ
ても、信頼度の高い検出を行うことができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装置の実施の形
態について詳説する。図１及び図２に示すように、固定
砥粒付ワイヤソー１０は、主として、インゴットＩｎの
切断を行う切断ユニット１２と、インゴットＩｎに送り
を与えるワーク送りユニット１４とから構成されてい
る。

【０００９】まず、切断ユニット１２の構成から説明す
る。防振台１６、１６、…を介して水平に設置された架
台１８上には、一対のスピンドルブラケット２０、２０
が垂直に立設されている。このスピンドルブラケット２
０、２０には、左右一組のスピンドルユニット２２Ａ、
２２Ｂが上下方向に一対、所定の間隔をもって配設され
ている。

【００１０】前記一対のスピンドルユニット２２Ａ、２
２Ｂには、外周に螺旋状の溝が形成されたグルーブロー
ラ２４Ａ、２４Ｂが回動自在に支持されており、このグ
ルーブローラ２４Ａ、２４Ｂに固定砥粒付ワイヤ２６を
順次巻き掛けてゆくことによりワイヤ列２８が形成され
る。前記グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの前方には、ワ
イヤ列２８を形成した固定砥粒付ワイヤ２６をグルーブ
ローラ２４Ａ、２４Ｂの一方端から他方端に向けてガイ
ドするためのガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３
０Ｒが設置されている。このガイドローラ３０Ｌ、３０
Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒは、前記グルーブローラ２４Ａ、２
４Ｂの一方端側と他方端側にそれぞれ一組ずつ配設され
ており、前記架台１８上に設置された図示しないフレー
ムに回転自在に支持されている。前記グルーブローラ２
４Ａ、２４Ｂの一方端から繰り出された固定砥粒付ワイ
ヤ２６は、このガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、
３０Ｒに順次巻きかけてゆくことにより他方端側にガイ
ドされる。そして、その他方端側において、その両端部
をレーザー溶接等でつなぎ合わされて無端状に形成され
る。

【００１１】また、前記グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂ
の前方には、走行する固定砥粒付ワイヤ２６に所定の張
力を付与するテンションユニット３２が設置されてい
る。このテンションユニット３２は、一対の固定ガイド
ローラ３４、３４と、その固定ガイドローラ３４、３４
の間に配設されたテンションローラ３６とから構成され
ており、固定ガイドローラ３４、３４は、前記架台１８
上に設置された図示しないフレーム上に回動自在に支持
されている。一方、前記テンションローラ３６は、ガイ
ドレール３８上を上下方向に摺動自在に支持されたスラ
イダ４０上に回動自在に支持されており、所定荷重のテ
ンションウェイト４２が吊設されている。両端をつなぎ
合わされた固定砥粒付ワイヤ２６は、このテンションユ
ニット３２の固定ガイドローラ３４、３４及びテンショ
ンローラ３６に巻き掛けられることにより、所定の張力
が付与される。

【００１２】前記のごとく張設された固定砥粒付ワイヤ
２６は、前記スピンドルブラケット２０、２０の下側に
配置されたグルーブローラ２４Ｂを高速回転させること
により高速走行する。すなわち、このスピンドルブラケ
ット２０の下側に配置されたグルーブローラ２４Ｂを駆
動モータ４４で高速回転させることにより高速走行す
る。

【００１３】なお、駆動モータ４４からグルーブローラ
２４Ｂへの回転力の伝達はベルト５０を介して行われ、
グルーブローラ２４Ｂの一方端に連結されたスピンドル
プーリ４６と、駆動モータ４４の出力軸に連結されたモ
ータプーリ４８とをベルト５０で連結することにより、
駆動モータ４４の回転をグルーブローラ２４Ｂに伝達す
る。

【００１４】また、前記のごとく張設された固定砥粒付
ワイヤ２６のワイヤ走行路には、その走行する固定砥粒
付ワイヤ２６のワイヤ径を検出するワイヤ径検出装置５
２が設けられている。このワイヤ径検出装置５２は、前
記架台１８上に立設された支柱５４の頂部に設置されて
おり、次のように構成されている。図３は、前記ワイヤ
径検出装置５２の構成を示す正面図である。同図に示す
ように、矩形状に形成された本体フレーム５６の内側に
は、図中ｘ方向のワイヤ径を検出する第１レーザーセン
サ５８と、図中ｙ方向のワイヤ径を検出する第２レーザ
ーセンサ６０が設けられている。この第１レーザーセン
サ５８と第２レーザーセンサ６０は、ともにレーザー発
光ユニット５８ａ、６０ａとレーザー受光ユニット５８
ｂ、６０ｂとを有しており、該レーザー発光ユニット５
８ａ、６０ａとレーザー受光ユニット５８ｂ、６０ｂ
は、前記本体フレーム５６内を走行する固定砥粒付ワイ
ヤ２６を挟んで互いに対向するように設置されている。

【００１５】前記レーザー発光ユニット５８ａ、６０ａ
の投光面には、多数のレーザー発光素子が縦一列に密に
設けられており、このレーザー発光素子からレーザー受
光ユニット５８ｂ、６０ｂに向けてレーザー光が発光さ
れる。一方、前記レーザー受光ユニット５８ｂ、６０ｂ
の受光面には、多数のレーザー受光素子が縦一列に密に
設けられており、このレーザー受光素子によって、前記
レーザー発光ユニット５８ａ、６０ａから発光されたレ
ーザー光が受光される。

【００１６】ところで、前記レーザー発光ユニット５８
ａ、６０ａとレーザー受光ユニット５８ｂ、６０ｂは、
固定砥粒付ワイヤ２６を挟んで設置されているので、レ
ーザー発光ユニット５８ａ、６０ａから発光されたレー
ザー光の一部は、この固定砥粒付ワイヤ２６によって遮
られる。したがって、レーザー受光ユニット５８ｂ、６
０ｂでは、この固定砥粒付ワイヤ２６に遮られなかった
レーザー光のみが受光素子によって受光される。

【００１７】制御装置６２は、前記レーザー受光ユニッ
ト５８ｂ、６０ｂでレーザー光を受光しなかった受光素
子の数をカウントし、この数に基づいて走行する固定砥
粒付ワイヤ２６のｘ方向の径とｙ方向の径を算出する。
ここで、前記第１レーザーセンサ５８と前記第２レーザ
ーセンサ６０による固定砥粒付ワイヤ２６のワイヤ径
（ｘ方向とｙ方向）の検出は、所定の間隔をもって複数
回行われ、制御装置６２は、その検出した複数のワイヤ
径の平均値を算出する。そして、その算出結果をモニタ
６４上に表示する。

【００１８】ワイヤ径検出装置５２は、以上のように構
成される。そして、このワイヤ径検出装置５２によるワ
イヤ径の検出は、インゴットＩｎの切断中に絶えず連続
的に行われる。次に、切断送りユニット１４の構成につ
いて説明する。図２に示すように、前記切断ユニット１
２が設置された架台１８上には、その切断ユニット１２
の図中右側にベース７２が設置されている。このベース
７２の上部には一対のガイドレール７４、７４が敷設さ
れており、該ガイドレール７４、７４上をコラム７６が
摺動自在に支持されている。

【００１９】また、前記ベース７２の内部には、前記ガ
イドレール７４、７４に沿ってネジ棒７８が配設されて
おり、該ネジ棒７８は、その両端部をブラケット８０、
８０に回動自在に支持されている。このネジ棒７８の一
方端には、架台１８上に設置されたワーク送りモータ８
２の出力軸が連結されており、このワーク送りモータ８
２を駆動することにより、ネジ棒７８が回動する。前記
コラム７６の下面には、このネジ棒７８と螺合するナッ
ト部材７６Ａが固着されており、前記コラム７６は、こ
のネジ棒７８を回動させることにより移動する。

【００２０】前記コラム７６はＬ字状に形成されてお
り、その頂部にはチルチングユニット８４が設けられて
いる。被加工物であるインゴットＩｎは、このチルチン
グユニット８４のワーク保持部８４ａに装着され、保持
される。そして、装着保持されたインゴットＩｎは、こ
のチルチングユニット８４によって所定角度傾斜され、
所定の結晶方位合わせがなされる。

【００２１】なお、このチルチングユニット８４へのイ
ンゴットＩｎの装着は、マウンティングブロックＭを介
して行われ、該マウンティングブロックＭにスライスベ
ースＳを介して接着したインゴットＩｎをチルチングユ
ニット８４のワーク保持部８４ａに固定して装着する。
次に、前記のごとく構成された本発明に係る固定砥粒付
ワイヤソーのワイヤ径検出装置の実施の形態の作用につ
いて説明する。

【００２２】まず、マウンティングブロックＭにスライ
スベースＳを介してインゴットＩｎを接着し、そのマウ
ンティングブロックＭに接着されたインゴットＩｎをチ
ルチングユニット８４のワーク装着部に装着する。装着
後、インゴットＩｎが所定の結晶方位で切断されるよう
に、チルチングユニット８４によってインゴットＩｎを
ワイヤ列２８に対して所定角度傾斜させる。

【００２３】次に、駆動モータ４４を駆動して、グルー
ブローラ２４Ｂを高速回転させ、そのグルーブローラ２
４Ａ、２４Ｂに張設されているワイヤ列２８を高速走行
させる。次に、ワーク送りモータ８２を駆動して、コラ
ム７６を切断ユニット１２に向けて所定の送り速度で送
る。この結果、インゴットＩｎが高速走行するワイヤ列
２８に押し当てられる。そして、ワイヤ列２８に押し当
てられたインゴットＩｎは、そのワイヤ列２８との接触
部を固定砥粒付ワイヤ２６の周面に固着された固定砥粒
に研削され、この結果、多数枚のウェーハに同時に切断
される。

【００２４】なお、このインゴットＩｎの切断に際し
て、インゴットＩｎとワイヤ列２８との接触部には、そ
の接触部上方に設置されたノズル８６からクーラントが
供給される。そして、供給されたクーラントは、グルー
ブローラ２４Ｂの下部に設置されたドレンパン８８によ
って回収され、廃棄される。また、このインゴットＩｎ
の切断中、ワイヤ径検出装置５２では、走行する固定砥
粒付ワイヤ２６のワイヤ径を絶えず検出し、その検出値
をモニタ６４上に表示している。

【００２５】オペレータは、このモニタ６４上に表示さ
れた固定砥粒付ワイヤ２６のｘ方向のワイヤ径とｙ方向
のワイヤ径から、ワイヤの磨耗の程度を判断する。そし
て必要であれば、装置の運転を停止する。このように本
実施の形態のワイヤ径検出装置５２によれば、インゴッ
トＩｎの切断中にワイヤ径を直接検出することができる
ので、インゴット切断中におけるワイヤの断線を有効に
防止することができる。

【００２６】また、ワイヤ径の検出を所定の間隔をもっ
て複数回行い、その検出した複数のワイヤ径の平均値を
現実のワイヤ径とすることにより、固定砥粒付ワイヤ２
６が走行している場合であっても、信頼度の高い検出値
を得ることができる。また、第１レーザーセンサ５８及
び第２レーザーセンサ６０によってｘ、ｙ二方向からワ
イヤ径の検出を行っているので、一方向のみの検出に比
べ信頼度の高い検出を行うことができる。

【００２７】なお、本実施の形態では、このように信頼
度を上げるために、二方向から検出しているが、一方向
のみで検出してもよい。また、本実施の形態では、ワイ
ヤ径の検出にレーザーセンサを用いているが、これに限
定されるものではなく、例えばＸ線を利用して検出して
もよい。次に、本発明に係る固定砥粒付ワイヤソーのワ
イヤ径検出装置の第２の実施の形態について詳説する。

【００２８】上述したように、ワイヤ列には切断中にク
ーラントが供給され、供給されたクーラントは固定砥粒
付ワイヤに付着する。そして、この固定砥粒付ワイヤに
付着したクーラントは、ワイヤの走行によって周囲に飛
散する。この結果、飛散したクーラントがレーザーセン
サに付着して検出精度を低下させる場合がある。これを
防止するために、第２の実施の形態のワイヤ径検出装置
は、以下のように構成されている。

【００２９】図４は、第２の実施の形態のワイヤ径検出
装置の構成を示す平面断面図である。同図に示すよう
に、第１レーザーセンサ５８のレーザー発光ユニット５
８ａとレーザー受光ユニット５８ｂは、それぞれカバー
９０ａ、９０ｂによって覆われている。このカバー９０
ａ、９０ｂは、それぞれレーザー発光ユニット５８ａの
発光面の位置と、レーザー受光ユニット５８ｂの受光面
の位置に開口部５８ａ₁、５８ｂ₁が形成されており、
レーザー光を遮らないように構成されている。

【００３０】また、前記カバー９０ａ、９０ｂには、そ
れぞれ図示しないコンプレッサに連結されたエアノズル
９２ａ、９２ｂが連結されており、このエアノズル９２
ａ、９２ｂからカバー９０ａ、９０ｂ内に向けて圧縮エ
アが供給されるように構成されている。すなわち、第２
の実施の形態のワイヤ径検出装置では、エアパージによ
ってレーザー発光ユニット５８ａとレーザー受光ユニッ
ト５８ｂにクーラント等が付着するのを防止するように
している。具体的な作用は、以下のとおりである。

【００３１】なお、図４にはｘ方向のワイヤ径を測定す
る第１レーザーセンサ５８のみが図示されているが、第
２レーザーセンサ６０も同様の構成とされている。イン
ゴットＩｎの切断が開始されると同時に、エアノズル９
２ａ、９２ｂからカバー９０ａ、９０ｂ内に向けて圧縮
エアが噴射される。この噴射された圧縮エアは、カバー
９０ａ、９０ｂに形成されている開口部９０ａ₁、９０
ｂ₁からカバー９０ａ、９０ｂの外側に吹き出される。
そして、この開口部９０ａ₁、９０ｂ₁から吹き出され
たエアによってクーラント等が吹き飛ばされ、カバー９
０ａ、９０ｂ内に侵入するのが防止される。

【００３２】この結果、レーザー発光ユニット５８ａと
レーザー受光ユニット５８ｂには、クーラント等が付着
することがなくなり、高精度な検出を行うことができる
ようになる。なお、本実施の形態の他、防塵対策として
は、直接クーラントがかからない場所に固定砥粒付ワイ
ヤをガイドローラで導き、そこで検出を行うようにする
方法もある。

【００３３】次に、本発明に係る固定砥粒付ワイヤソー
のワイヤ径検出装置の第３の実施の形態について詳説す
る。上述した第１の実施の形態のワイヤ径検出装置５２
では、ワイヤ径の検出結果をモニタ６４上に表示するよ
うに構成していた。そして、ワイヤの使用限界の判断
は、オペレータが、そのモニタ６４上の表示から判断す
るようにしていた。第３の実施の形態のワイヤ径検出装
置では、この固定砥粒付ワイヤの使用限界の判断を自動
で行う。具体的には、以下のとおりである。

【００３４】インゴットＩｎの切断開始前、オペレータ
は、あらかじめ制御装置６２に固定砥粒付ワイヤ２６の
使用限界径Ｓを入力しておく。図５のフローチャートに
示すように、インゴットＩｎの切断開始と同時に、制御
装置６２は、固定砥粒付ワイヤ２６のワイヤ径を検出す
る（Ｓ１）。なお、検出方法は第１の実施の形態と同じ
である。すなわち、第１レーザーセンサ５８と第２レー
ザーセンサ６０によって所定の間隔をもって複数回検出
したワイヤ径の平均値を算出し、これを実際のワイヤ径
Ｔとする。

【００３５】制御装置６２は、ワイヤ径Ｔの算出後、そ
の算出したワイヤ径Ｔと、あらかじめ入力された使用限
界径Ｓとを比較する（Ｓ２）。そして、算出したワイヤ
径Ｔが使用限界径Ｓに達していなければ、そのまま切断
を続行する。一方、算出したワイヤ径Ｔが使用限界径Ｓ
以下である場合は、装置の運転を停止し、警告を発生す
る（Ｓ３）。

【００３６】このように本実施の形態のワイヤ径検出装
置によれば、固定砥粒付ワイヤ２６の使用限界をオペレ
ータの経験則に依らず、装置側で統一した判断を行うこ
とができる。また、切断中に、オペレータがワイヤ径の
確認をする必要がなくなるので、装置運転時の人員を削
減することができる。なお、上述した一連の実施の形態
では、エンドレスタイプの固定砥粒付ワイヤソー１０に
本発明のワイヤ径検出装置を適用した例で説明したが、
本発明のワイヤ径検出装置は、以下に示すような固定砥
粒付ワイヤソーにも同様に適用することができる。

【００３７】たとえば、図６に示す固定砥粒付ワイヤソ
ー１００は、一対のワイヤリール１１２Ａ、１１２Ｂ間
を走行する固定砥粒付ワイヤ１１４を３本のグルーブロ
ーラ１２２、１２２、１２２に巻き掛けてワイヤ列１２
４を形成するタイプの固定砥粒ワイヤソーである。ま
た、図７に示す固定砥粒付ワイヤソー１６０は、矩形状
に形成されたフレーム１６２に多数の固定砥粒付ワイヤ
１６４、１６４、…を一定ピッチで張設してワイヤ列１
６６を形成するタイプの固定砥粒付ワイヤソーであり、
フレーム１６２をワイヤの張設方向に沿って往復動させ
ることにより、ワイヤ列１６６を走行させる。

【００３８】また、図８に示す固定砥粒付ワイヤソー１
７０は、一対のグルーブローラ１７２、１７２に無端状
に形成された多数の固定砥粒付ワイヤ１７４、１７４、
…を一定ピッチで張架してワイヤ列１７６を形成するタ
イプの固定砥粒付ワイヤソーであり、グルーブローラ１
７２を回転させることにより、ワイヤ列１６２を走行さ
せる。

【００３９】なお、エンドレスタイプの固定砥粒付ワイ
ヤソー１０は、図６に示す固定砥粒付ワイヤソー１００
と比較すると、一台の駆動モータ４４で固定砥粒付ワイ
ヤ２６を走行させるため、ワイヤを高速させることがで
き、また、その走行制御も簡単に行うことができるとい
うメリットがある。すなわち、図６に示す固定砥粒付ワ
イヤソー１００は、各々のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ
に連結された駆動モータ１１８Ａ、１１８Ｂを同期させ
て駆動しなければならないため、走行制御及び高速化と
いう面では問題がある。この点を考慮すると、図６に示
す固定砥粒付ワイヤソー１００よりも、図１に示したエ
ンドレスタイプの固定砥粒付ワイヤソー１０の方が優れ
ているといえる。

【００４０】また、エンドレスタイプの固定砥粒付ワイ
ヤソー１０は、図８に示す固定砥粒付ワイヤソー１００
と比較すると、一本の無端状の固定砥粒付ワイヤ２６に
よってワイヤ列２８を形成しているため、均一な精度の
ウェーハを切断することができるというメリットがあ
る。すなわち、図８に示す固定砥粒付ワイヤソー１００
は、１本１本のワイヤが独立しているため、砥粒固着分
布や目詰まり具合の違いなどにより、切断時の各ワイヤ
の挙動がバラバラとなり、切断されるウェーハの精度が
１枚１枚異なってくる。この点を考慮すると、図８に示
す固定砥粒付ワイヤソー１００よりも、図１に示したエ
ンドレスタイプの固定砥粒付ワイヤソー１０の方が優れ
ているといえる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
走行中の固定砥粒付ワイヤのワイヤ径を精度よく検出す
ることができる。この結果、被加工物切断中にワイヤの
磨耗具合を判断することができ、ワイヤの断線を有効に
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】固定砥粒付ワイヤソーの構成を示す正面図

【図２】固定砥粒付ワイヤソーの構成を示す側面図

【図３】第１の実施の形態のワイヤ径検出装置の構成を
示す正面図

【図４】第２の実施の形態のワイヤ径検出装置の構成を
示す平面断面図

【図５】第３の実施の形態のワイヤ径検出装置の処理手
順を示すフローチャート

【図６】固定砥粒付ワイヤソーの他の実施の形態の斜視
図

【図７】固定砥粒付ワイヤソーの他の実施の形態の斜視
図

【図８】固定砥粒付ワイヤソーの他の実施の形態の斜視
図

【符号の説明】

１０…固定砥粒付ワイヤソー２４Ａ、２４Ｂ…グルーブローラ２６…固定砥粒付ワイヤ２８…ワイヤ列５２…ワイヤ径検出装置５８…第１レーザーセンサ６０…第２レーザーセンサ５８ａ、６０ａ…レーザー発光ユニット５８ｂ、６０ｂ…レーザー受光ユニット６２…制御装置６４…モニタ９０ａ、９０ｂ…カバー９０ａ₁、９０ｂ₁…開口部９２ａ、９２ｂ…エアノズルＩｎ…インゴット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】走行する固定砥粒付ワイヤに被加工物を
押し当てることにより、該被加工物を切断する固定砥粒
付ワイヤソーにおいて、走行する前記固定砥粒付ワイヤの径を検出するセンサ
と、前記センサによって前記固定砥粒付ワイヤのワイヤ径を
所定の間隔をもって複数回検出し、その検出した複数の
ワイヤ径の平均値を算出する制御手段と、前記制御手段の算出結果を表示する表示手段と、からな
ることを特徴とする固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検
出装置。
【請求項２】前記センサは、前記固定砥粒付ワイヤの
同一断面において、第１方向のワイヤ径を検出する第１
センサと、該第１方向に対して直交する第２方向のワイ
ヤ径を検出する第２センサとからなることを特徴とする
請求項１記載の固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装
置。
【請求項３】前記センサは、前記固定砥粒付ワイヤを
挟んで互いに対向するように配置された投光手段と受光
手段とからなることを特徴とする請求項１記載の固定砥
粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装置。
【請求項４】前記投光手段と前記受光手段は、互いに
投光面又は受光面に開口部を有するカバーで覆われてお
り、該カバーは、内部にエア供給手段から圧縮エアが噴
射されてエアパージされていることを特徴とする請求項
３記載の固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装置。
【請求項５】走行する固定砥粒付ワイヤに被加工物を
押し当てることにより、該被加工物を切断する固定砥粒
付ワイヤソーにおいて、走行する前記固定砥粒付ワイヤの径を検出するセンサ
と、前記センサによって前記固定砥粒付ワイヤのワイヤ径を
所定の間隔をもって複数回検出し、その検出した複数の
ワイヤ径の平均値を算出するとともに、その算出値と、
あらかじめ設定されたワイヤ径の基準値とを比較し、算
出値が基準値以下になると装置の運転を停止する制御装
置と、からなる固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装
置。