JPH10128738A - ワイヤソーのワーク切断方法 - Google Patents
ワイヤソーのワーク切断方法Info
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- JPH10128738A JPH10128738A JP28716796A JP28716796A JPH10128738A JP H10128738 A JPH10128738 A JP H10128738A JP 28716796 A JP28716796 A JP 28716796A JP 28716796 A JP28716796 A JP 28716796A JP H10128738 A JPH10128738 A JP H10128738A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0088—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being angularly adjustable
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークの自動切断が可能なワイヤソーのワーク
切断方法の提供。 【解決手段】インゴット３２を所定のワーク取付位置に
位置したワークフィードテーブル２８に取り付けたの
ち、該ワークフィードテーブル２８に設けられたチルチ
ング装置３０で所定の切断角度に設定する。そして、そ
のインゴット３２の長さｌと径Ｄ及び前記チルチング時
における垂直方向の傾斜角度θから前記インゴット３２
がワイヤ列２０に接触する位置（切断開始位置）までの
距離Ｍを算出し、その算出した距離Ｍ分だけ前記インゴ
ット３２を前記ワイヤ列２０に向けて送る。インゴット
３２を切断開始位置まで送った後は、あらかじめ設定さ
れた切断プログラムに従ってインゴット３２を送り、該
インゴット３２をウェーハに切断する。
切断方法の提供。 【解決手段】インゴット３２を所定のワーク取付位置に
位置したワークフィードテーブル２８に取り付けたの
ち、該ワークフィードテーブル２８に設けられたチルチ
ング装置３０で所定の切断角度に設定する。そして、そ
のインゴット３２の長さｌと径Ｄ及び前記チルチング時
における垂直方向の傾斜角度θから前記インゴット３２
がワイヤ列２０に接触する位置（切断開始位置）までの
距離Ｍを算出し、その算出した距離Ｍ分だけ前記インゴ
ット３２を前記ワイヤ列２０に向けて送る。インゴット
３２を切断開始位置まで送った後は、あらかじめ設定さ
れた切断プログラムに従ってインゴット３２を送り、該
インゴット３２をウェーハに切断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワーク
切断方法に係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス
等の脆性材料を切断するワイヤソーのワーク切断方法に
関する。
切断方法に係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス
等の脆性材料を切断するワイヤソーのワーク切断方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーでは、一度ワークの切断が開
始されると、その後はあらかじめ設定された切断プログ
ラムに従って自動運転される。この切断プログラムにも
様々な形式のものがあり、例えば、ワークの切断位置に
よってワイヤの走行速度を可変したり、ワークの切断位
置によってワークの送り速度を変えたりするものなどが
ある。
始されると、その後はあらかじめ設定された切断プログ
ラムに従って自動運転される。この切断プログラムにも
様々な形式のものがあり、例えば、ワークの切断位置に
よってワイヤの走行速度を可変したり、ワークの切断位
置によってワークの送り速度を変えたりするものなどが
ある。
【０００３】しかし、この自動運転に入るためには、ま
ず、ワークを所定の切断開始位置に設定する必要があ
る。従来、このワークの切断開始位置への設定は、オペ
レータが手動により行っていた。すなわち、ワークフィ
ードテーブルに取り付けたワークのチルチング角度の設
定をした後、オペレータが手動でワークフィードテーブ
ルをワイヤ列に向けて送り、目測によって切断開始位置
に設定していた。
ず、ワークを所定の切断開始位置に設定する必要があ
る。従来、このワークの切断開始位置への設定は、オペ
レータが手動により行っていた。すなわち、ワークフィ
ードテーブルに取り付けたワークのチルチング角度の設
定をした後、オペレータが手動でワークフィードテーブ
ルをワイヤ列に向けて送り、目測によって切断開始位置
に設定していた。
【０００４】これは、切断するワークのサイズや設定す
るチルチングの角度が、個々のワークによって異なるた
め、ワーク取付位置からワーク切断開始位置までの距離
が個々のワークによって異なり、一律に設定できないと
いうことに起因する。
るチルチングの角度が、個々のワークによって異なるた
め、ワーク取付位置からワーク切断開始位置までの距離
が個々のワークによって異なり、一律に設定できないと
いうことに起因する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このため、設定に時間
がかかり、生産効率が悪いという問題があった。また、
オペレータによる目測で設定しているため、設定位置に
バラツキが生じやすく、後の自動切断時にトラブルが発
生しやすいという問題もあった。本発明は、このような
事情に鑑みてなされたもので、ワークの自動切断が可能
なワイヤソーのワーク切断方法を提供することを目的と
する。
がかかり、生産効率が悪いという問題があった。また、
オペレータによる目測で設定しているため、設定位置に
バラツキが生じやすく、後の自動切断時にトラブルが発
生しやすいという問題もあった。本発明は、このような
事情に鑑みてなされたもので、ワークの自動切断が可能
なワイヤソーのワーク切断方法を提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、走行するワイヤ列に対して垂直に進退移動す
るワークフィードテーブルにワークを取り付け、前記ワ
ークフィードテーブルを前記ワイヤ列に向けて送り、前
記ワークをウェーハに切断するワイヤソーのワ─ク切断
方法において、前記ワークフィードテーブルを前記ワイ
ヤ列から所定距離離れたワーク取付位置に位置させ、そ
のワーク取付位置に位置したワークフィードテーブルに
前記ワークを取り付け、前記ワークフィードテーブルに
設けられたチルチング装置で前記ワークを前記ワイヤ列
に対して水平、垂直方向に所定角度傾斜させて所定の結
晶方位に合わせたのち、前記ワークの長さと径及び傾斜
角度から前記ワークが前記ワイヤ列に接触するまでの距
離を算出し、その算出した距離分だけ前記ワークを前記
ワイヤ列に向けて第１の送り速度で送ったのち、その第
１の送り速度より遅い切断用の第２の送り速度で前記ワ
ークを前記ワイヤ列に向けて送り、前記ワークを切断す
ることを特徴とする。
るために、走行するワイヤ列に対して垂直に進退移動す
るワークフィードテーブルにワークを取り付け、前記ワ
ークフィードテーブルを前記ワイヤ列に向けて送り、前
記ワークをウェーハに切断するワイヤソーのワ─ク切断
方法において、前記ワークフィードテーブルを前記ワイ
ヤ列から所定距離離れたワーク取付位置に位置させ、そ
のワーク取付位置に位置したワークフィードテーブルに
前記ワークを取り付け、前記ワークフィードテーブルに
設けられたチルチング装置で前記ワークを前記ワイヤ列
に対して水平、垂直方向に所定角度傾斜させて所定の結
晶方位に合わせたのち、前記ワークの長さと径及び傾斜
角度から前記ワークが前記ワイヤ列に接触するまでの距
離を算出し、その算出した距離分だけ前記ワークを前記
ワイヤ列に向けて第１の送り速度で送ったのち、その第
１の送り速度より遅い切断用の第２の送り速度で前記ワ
ークを前記ワイヤ列に向けて送り、前記ワークを切断す
ることを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、ワークは、所定のワーク
取付位置に位置したワークフィードテーブルに取り付け
られたのち、チルチング装置で所定の切断角度に設定さ
れる。そして、そのワークの長さと径及び前記チルチン
グ時における垂直方向の傾斜角度から前記ワークがワイ
ヤ列に接触するまでの距離を算出し、その算出した距離
分だけ前記ワークを前記ワイヤ列に向けて所定の送り速
度で送り、自動切断を開始する。
取付位置に位置したワークフィードテーブルに取り付け
られたのち、チルチング装置で所定の切断角度に設定さ
れる。そして、そのワークの長さと径及び前記チルチン
グ時における垂直方向の傾斜角度から前記ワークがワイ
ヤ列に接触するまでの距離を算出し、その算出した距離
分だけ前記ワークを前記ワイヤ列に向けて所定の送り速
度で送り、自動切断を開始する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワーク切断方法の好ましい実施の形態に
ついて詳説する。まず、ワイヤソー１０の全体構成につ
いて説明する。図１に示すように、一方のワイヤリール
１２から繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ
る。この３本の溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周部に
は、それぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、
前記ワイヤ１４は、この溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝
に順次巻き掛けられてワイヤ列２０を形成する。そし
て、ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、前記３本の
溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃを挟んで左右対称に形成され
た他方側のワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール
１２に巻き取られる。
るワイヤソーのワーク切断方法の好ましい実施の形態に
ついて詳説する。まず、ワイヤソー１０の全体構成につ
いて説明する。図１に示すように、一方のワイヤリール
１２から繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ
る。この３本の溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周部に
は、それぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、
前記ワイヤ１４は、この溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝
に順次巻き掛けられてワイヤ列２０を形成する。そし
て、ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、前記３本の
溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃを挟んで左右対称に形成され
た他方側のワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール
１２に巻き取られる。
【０００９】ここで、前記一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂ及び前記溝付ローラ１８Ｃには、それぞれ図示し
ないモータが連結されており、このモータを同期させて
駆動することにより、前記ワイヤ１４は前記一対のワイ
ヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を高速走行する。前記ワイヤ
列２０の両側に形成されたワイヤ走行路には、それぞれ
ワイヤ案内装置２２、ダンサローラ２４、及びワイヤ洗
浄装置２６が配設されている（一方側のワイヤ走行路に
ついてのみ図示）。前記ワイヤ案内装置２２は、前記ワ
イヤリール１２Ａ、１２Ｂから一定ピッチでワイヤ１４
を繰り出すようにガイドし、前記ダンサローラ２４は、
所定重量のデッドウェイトが吊設されて、走行するワイ
ヤ１４に所定の張力を付与する。また、前記ワイヤ洗浄
装置２６は、切断時に付着したスラリをワイヤ１４から
除去する。
１２Ｂ及び前記溝付ローラ１８Ｃには、それぞれ図示し
ないモータが連結されており、このモータを同期させて
駆動することにより、前記ワイヤ１４は前記一対のワイ
ヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を高速走行する。前記ワイヤ
列２０の両側に形成されたワイヤ走行路には、それぞれ
ワイヤ案内装置２２、ダンサローラ２４、及びワイヤ洗
浄装置２６が配設されている（一方側のワイヤ走行路に
ついてのみ図示）。前記ワイヤ案内装置２２は、前記ワ
イヤリール１２Ａ、１２Ｂから一定ピッチでワイヤ１４
を繰り出すようにガイドし、前記ダンサローラ２４は、
所定重量のデッドウェイトが吊設されて、走行するワイ
ヤ１４に所定の張力を付与する。また、前記ワイヤ洗浄
装置２６は、切断時に付着したスラリをワイヤ１４から
除去する。
【００１０】また、前記ワイヤ列２０の上方には、ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２８が設置されている。このワークフィードテー
ブル２８にはチルチング装置３０が備えられており、ワ
ークであるインゴット３２は、このチルチング装置３０
の下部に保持される。そして、そのチルチング装置３０
によって所定の傾斜角度に設定される。
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２８が設置されている。このワークフィードテー
ブル２８にはチルチング装置３０が備えられており、ワ
ークであるインゴット３２は、このチルチング装置３０
の下部に保持される。そして、そのチルチング装置３０
によって所定の傾斜角度に設定される。
【００１１】以上ように構成されたワイヤソー１０にお
いて、インゴット３２の切断は、高速走行するワイヤ列
２０にインゴット３２を押し当て、そのインゴット３２
とワイヤ列２０との接触部にスラリを供給することによ
り行なう。スラリは、スラリタンク３４から図示しない
ノズルを介して供給され、インゴット３２は、このスラ
リ中に含有される砥粒のラッピング作用でウェーハに切
断される。そして、この加工時に供給されたスラリは、
前記ワイヤ列２０の下方に設置されたスラリ回収皿３８
を介して前記スラリタンク３４に回収され、循環利用さ
れる。また、スラリは加工時に発生する熱を吸熱して温
度上昇するので、熱交換機３６を介して一定温度に冷却
される。
いて、インゴット３２の切断は、高速走行するワイヤ列
２０にインゴット３２を押し当て、そのインゴット３２
とワイヤ列２０との接触部にスラリを供給することによ
り行なう。スラリは、スラリタンク３４から図示しない
ノズルを介して供給され、インゴット３２は、このスラ
リ中に含有される砥粒のラッピング作用でウェーハに切
断される。そして、この加工時に供給されたスラリは、
前記ワイヤ列２０の下方に設置されたスラリ回収皿３８
を介して前記スラリタンク３４に回収され、循環利用さ
れる。また、スラリは加工時に発生する熱を吸熱して温
度上昇するので、熱交換機３６を介して一定温度に冷却
される。
【００１２】なお、前記ワイヤリール１２を駆動するモ
ータ及び前記インゴット３２を昇降駆動するワークフィ
ードテーブル２８等は、すべて制御装置４０により駆動
制御されており、その制御装置４０から出力される駆動
信号に基づいて各装置は駆動される。次に、本発明に係
るワーク切断方法の第１の実施の形態について説明す
る。
ータ及び前記インゴット３２を昇降駆動するワークフィ
ードテーブル２８等は、すべて制御装置４０により駆動
制御されており、その制御装置４０から出力される駆動
信号に基づいて各装置は駆動される。次に、本発明に係
るワーク切断方法の第１の実施の形態について説明す
る。
【００１３】まず、ワークフィードテーブル２８をワイ
ヤ列２０から所定距離離れたワーク取付位置に位置させ
る。そして、そのワーク取付位置に位置させたワークフ
ィードテーブル２８にインゴット３２を取り付ける。次
に、前記ワークフィードテーブル２８に取り付けたイン
ゴット３２を、該インゴット３２が所定の結晶方位で切
断されるように、前記ワイヤ列２０に対して所定角度傾
斜させる。このチルチング操作は、前記ワークフィード
テーブル２８に設けられたチルチング装置３０で行う。
すなわち、前記チルチング装置３０を用いて、インゴッ
ト３２を前記ワイヤ列２０に対して水平、垂直方向に所
定角度傾斜させる。このとき、前記インゴット３２は、
前記チルチング装置３０のチルチング中心ＯT を中心と
して水平、垂直方向に所定角度傾斜する。
ヤ列２０から所定距離離れたワーク取付位置に位置させ
る。そして、そのワーク取付位置に位置させたワークフ
ィードテーブル２８にインゴット３２を取り付ける。次
に、前記ワークフィードテーブル２８に取り付けたイン
ゴット３２を、該インゴット３２が所定の結晶方位で切
断されるように、前記ワイヤ列２０に対して所定角度傾
斜させる。このチルチング操作は、前記ワークフィード
テーブル２８に設けられたチルチング装置３０で行う。
すなわち、前記チルチング装置３０を用いて、インゴッ
ト３２を前記ワイヤ列２０に対して水平、垂直方向に所
定角度傾斜させる。このとき、前記インゴット３２は、
前記チルチング装置３０のチルチング中心ＯT を中心と
して水平、垂直方向に所定角度傾斜する。
【００１４】そして、この水平、垂直方向に所定角度傾
斜した状態で、前記ワークフィードテーブル２８を駆動
することにより、前記インゴット３２を前記ワイヤ列２
０と接触する位置（切断開始位置）まで所定の送り速度
で送り、自動切断を開始する。しかしながら、前記切断
開始位置までのインゴット３２の送り量Ｍは、切断する
インゴット３２の径や、インゴット３２の垂直方向のチ
ルチング角度等により異なるため、以下のように、その
送り量Ｍを個別に設定する。
斜した状態で、前記ワークフィードテーブル２８を駆動
することにより、前記インゴット３２を前記ワイヤ列２
０と接触する位置（切断開始位置）まで所定の送り速度
で送り、自動切断を開始する。しかしながら、前記切断
開始位置までのインゴット３２の送り量Ｍは、切断する
インゴット３２の径や、インゴット３２の垂直方向のチ
ルチング角度等により異なるため、以下のように、その
送り量Ｍを個別に設定する。
【００１５】図２に示すように、ワークフィードテーブ
ル２８が、ワーク取付位置に位置している場合、そのワ
ークフィードテーブル２８とワイヤ列２０との間隔は、
常に一定である。したがって、そのワークフィードテー
ブル２８に備えられたチルチング装置３０のチルチング
中心ＯT と前記ワイヤ列２０との間隔Ｑも、常に一定と
なる。
ル２８が、ワーク取付位置に位置している場合、そのワ
ークフィードテーブル２８とワイヤ列２０との間隔は、
常に一定である。したがって、そのワークフィードテー
ブル２８に備えられたチルチング装置３０のチルチング
中心ＯT と前記ワイヤ列２０との間隔Ｑも、常に一定と
なる。
【００１６】一方、前記チルチング中心ＯT から前記イ
ンゴット３２の最下端の点Ｐ（前記インゴット３２を下
降させたときに、最初にワイヤ列２０に接触する点）ま
での垂直方向の距離Ｈは、インゴット３２の径、長さ、
垂直方向のチルチング角度、及び、インゴット３２の中
心Ｏからチルチング中心ＯT までの距離から算出するこ
とができる。
ンゴット３２の最下端の点Ｐ（前記インゴット３２を下
降させたときに、最初にワイヤ列２０に接触する点）ま
での垂直方向の距離Ｈは、インゴット３２の径、長さ、
垂直方向のチルチング角度、及び、インゴット３２の中
心Ｏからチルチング中心ＯT までの距離から算出するこ
とができる。
【００１７】すなわち、図３に示すように、前記インゴ
ット３２の径をＤ、長さをｕ、垂直方向のチルチング角
度をθ、インゴット３２の中心Ｏからチルチング中心Ｏ
T までの距離をＧとすれば、前記距離Ｈは、Ｈ1 とＨ2
に分解することができ、Ｈ1、Ｈ2 は、それぞれ次式よ
り算出することができる。
ット３２の径をＤ、長さをｕ、垂直方向のチルチング角
度をθ、インゴット３２の中心Ｏからチルチング中心Ｏ
T までの距離をＧとすれば、前記距離Ｈは、Ｈ1 とＨ2
に分解することができ、Ｈ1、Ｈ2 は、それぞれ次式よ
り算出することができる。
【００１８】
【数１】
【００１９】
【数２】 したがって、上式(１)、(２)より、前記距離Ｈは、
Ｈ1 、Ｈ2 の和であるから、
Ｈ1 、Ｈ2 の和であるから、
【００２０】
【数３】 となる。
【００２１】ここで、例えば、チルチング中心ＯT が、
インゴット３２の外周面上にある場合は、インゴット３
２の中心Ｏからチルチング中心ＯT までの距離Ｇは、
インゴット３２の外周面上にある場合は、インゴット３
２の中心Ｏからチルチング中心ＯT までの距離Ｇは、
【００２２】
【数４】 であるから、上式(３)から、前記距離Ｈは、
【００２３】
【数５】 となる。
【００２４】また、チルチング中心ＯT が、インゴット
３２の中心Ｏと一致している場合は、
３２の中心Ｏと一致している場合は、
【００２５】
【数６】Ｇ＝０ であるから、上式(３)から、前記距離Ｈは、
【００２６】
【数７】 となる。
【００２７】前記インゴット３２が切断開始位置に位置
するまでのインゴット３２の送り量Ｍは、前記のごとく
算出した距離Ｈを、前記チルチング中心ＯT から前記ワ
イヤ列２０までの距離Ｑから引くことにより算出するこ
とができ、その結果、インゴット３２の送り量Ｍは、
するまでのインゴット３２の送り量Ｍは、前記のごとく
算出した距離Ｈを、前記チルチング中心ＯT から前記ワ
イヤ列２０までの距離Ｑから引くことにより算出するこ
とができ、その結果、インゴット３２の送り量Ｍは、
【００２８】
【数８】Ｍ ＝ Ｑ − Ｈ となる。以上のように算出した送り量Ｍだけ、前記イン
ゴット３２をワイヤ列２０に向けて送ることにより、イ
ンゴット３２は、切断開始位置、すなわち、インゴット
３２の最下端の点Ｐがワイヤ列２０に接触する位置に位
置する。
ゴット３２をワイヤ列２０に向けて送ることにより、イ
ンゴット３２は、切断開始位置、すなわち、インゴット
３２の最下端の点Ｐがワイヤ列２０に接触する位置に位
置する。
【００２９】そして、インゴット３２が切断開始位置ま
で送られた後は、あらかじめ設定されたインゴット３２
の切断プログラムに従ってインゴット３２を送り、その
インゴット３２の切断を行なう。なお、上記送り量Ｍの
算出は制御装置４０で行い、制御装置４０は、オペレー
タが切断開始前に入力器４２から入力する前記各パラメ
ーター（ｕ、Ｄ、θ、Ｇ）から送り量Ｍを算出する。
で送られた後は、あらかじめ設定されたインゴット３２
の切断プログラムに従ってインゴット３２を送り、その
インゴット３２の切断を行なう。なお、上記送り量Ｍの
算出は制御装置４０で行い、制御装置４０は、オペレー
タが切断開始前に入力器４２から入力する前記各パラメ
ーター（ｕ、Ｄ、θ、Ｇ）から送り量Ｍを算出する。
【００３０】また、前記インゴット３２の切断開始位置
までの送り量Ｍを算出するために必要なパラメータであ
るインゴット３２の径Ｄ、長さｕ及び水平方向のチルチ
ング角度θ、インゴット３２の中心Ｏからチルチング中
心ＯT までの距離Ｇは、前記ワークフィードテーブル２
８に取り付ける段階であらかじめ分かっているので、イ
ンゴット３２をワークフィードテーブル２８に取り付け
る前に、この送り量Ｍをあらかじめ算出しておき、イン
ゴット３２をワークフィードテーブル２８に取り付けた
後は、自動で切断開始位置までインゴット３２を送るよ
うにする。
までの送り量Ｍを算出するために必要なパラメータであ
るインゴット３２の径Ｄ、長さｕ及び水平方向のチルチ
ング角度θ、インゴット３２の中心Ｏからチルチング中
心ＯT までの距離Ｇは、前記ワークフィードテーブル２
８に取り付ける段階であらかじめ分かっているので、イ
ンゴット３２をワークフィードテーブル２８に取り付け
る前に、この送り量Ｍをあらかじめ算出しておき、イン
ゴット３２をワークフィードテーブル２８に取り付けた
後は、自動で切断開始位置までインゴット３２を送るよ
うにする。
【００３１】このように、本実施の形態のワーク切断方
法によれば、インゴット３２をワークフィードテーブル
２８に取り付けた後は、そのインゴット３２の切断が終
了するまで一貫して全自動で行うことができる。これに
より、１本のインゴット３２の切断時間の短縮化を図る
ことができ、生産効率が向上する。また、人の介在を排
除することにより、従来問題となっていた、設定ミスや
設定位置のバラツキによるトラブルの発生を抑制するこ
ともできる。
法によれば、インゴット３２をワークフィードテーブル
２８に取り付けた後は、そのインゴット３２の切断が終
了するまで一貫して全自動で行うことができる。これに
より、１本のインゴット３２の切断時間の短縮化を図る
ことができ、生産効率が向上する。また、人の介在を排
除することにより、従来問題となっていた、設定ミスや
設定位置のバラツキによるトラブルの発生を抑制するこ
ともできる。
【００３２】次に、本発明に係るワーク切断方法の第２
の実施の形態について説明する。前記第１の実施の形態
では、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗は考慮せず、ワ
ーク取付位置に位置したワークフィードテーブル２８と
ワイヤ列２０との間隔は常に一定として扱っていた。し
かしながら、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃは使用により磨
耗するため、ワークフィードテーブル２８とワイヤ列２
０との間隔は、使用時間に比例して長くなる。
の実施の形態について説明する。前記第１の実施の形態
では、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗は考慮せず、ワ
ーク取付位置に位置したワークフィードテーブル２８と
ワイヤ列２０との間隔は常に一定として扱っていた。し
かしながら、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃは使用により磨
耗するため、ワークフィードテーブル２８とワイヤ列２
０との間隔は、使用時間に比例して長くなる。
【００３３】そこで、本実施の形態では、溝付ローラ１
８Ａ〜１８Ｃの磨耗も考慮して、より正確な切断開始位
置の設定を行う。ワーク取付位置に位置しているワーク
フィードテーブル２８と溝付ローラ１８Ａの軸心ＯA と
の間隔は、溝付ローラ１８Ａの磨耗にかかわらず常に一
定である。したがって、図４に示すように、このワーク
取付位置に位置しているワークフィードテーブル２８に
備えられたチルチング装置３０のチルチング中心ＯT か
ら前記溝付ローラ１８Ａの軸心ＯA までの垂直方向の距
離をＳとすれば、この距離Ｓも常に一定である。
８Ａ〜１８Ｃの磨耗も考慮して、より正確な切断開始位
置の設定を行う。ワーク取付位置に位置しているワーク
フィードテーブル２８と溝付ローラ１８Ａの軸心ＯA と
の間隔は、溝付ローラ１８Ａの磨耗にかかわらず常に一
定である。したがって、図４に示すように、このワーク
取付位置に位置しているワークフィードテーブル２８に
備えられたチルチング装置３０のチルチング中心ＯT か
ら前記溝付ローラ１８Ａの軸心ＯA までの垂直方向の距
離をＳとすれば、この距離Ｓも常に一定である。
【００３４】そして、前記チルチング装置３０チルチン
グ中心ＯT から前記インゴット３２の最下端の点Ｐまで
の垂直方向の距離Ｈも、前記第１の実施の形態で説明し
たように、インゴット３２の径、長さ及び垂直方向のチ
ルチング角度から算出することができる。一方、前記溝
付ローラ１８Ａの軸心ＯA から該溝付ローラ１８Ａによ
り形成されるワイヤ列２０までの垂直方向の距離Ｒは、
次の方法で求めることができる。すなわち、この距離Ｒ
は、溝付ローラ１８Ａの溝部の半径であるので、この溝
部の半径を測定すればよいことになる。そして、溝付ロ
ーラ１８Ａの溝部の半径の測定は、以下の通りである。
グ中心ＯT から前記インゴット３２の最下端の点Ｐまで
の垂直方向の距離Ｈも、前記第１の実施の形態で説明し
たように、インゴット３２の径、長さ及び垂直方向のチ
ルチング角度から算出することができる。一方、前記溝
付ローラ１８Ａの軸心ＯA から該溝付ローラ１８Ａによ
り形成されるワイヤ列２０までの垂直方向の距離Ｒは、
次の方法で求めることができる。すなわち、この距離Ｒ
は、溝付ローラ１８Ａの溝部の半径であるので、この溝
部の半径を測定すればよいことになる。そして、溝付ロ
ーラ１８Ａの溝部の半径の測定は、以下の通りである。
【００３５】図５に示すように、前記ダンサローラ２４
には、ダンサローラ２４の基準位置Ａからの変位を測定
する変位測定器４０を設ける。また、前記溝付ローラ１
８Ａには、溝付ローラ１８Ａの回転量を測定する回転量
測定器４２を設ける。まず、ダンサローラ２４が所定の
基準位置Ａに位置するように、ワイヤリール１２を回転
させる。そして、ダンサローラ２４が所定の基準位置Ａ
に位置したところで、前記ワイヤリール１２を固定す
る。
には、ダンサローラ２４の基準位置Ａからの変位を測定
する変位測定器４０を設ける。また、前記溝付ローラ１
８Ａには、溝付ローラ１８Ａの回転量を測定する回転量
測定器４２を設ける。まず、ダンサローラ２４が所定の
基準位置Ａに位置するように、ワイヤリール１２を回転
させる。そして、ダンサローラ２４が所定の基準位置Ａ
に位置したところで、前記ワイヤリール１２を固定す
る。
【００３６】次に、前記基準位置Ａにあるダンサローラ
２４が、該基準位置Ａから所定距離Ｌ離れた位置Ｂに移
動するまで、前記溝付ローラ１８Ａを回転させる。な
お、この溝付ローラ１８Ａを回転させるためには、前記
溝付ローラ１８Ｃを回転駆動する図示しないモータを駆
動することにより行う。一方、前記回転量測定器４２で
は、前記ダンサローラ２４が基準位置Ａから位置Ｂまで
移動したときの、前記溝付ローラ１８Ａの回転量を測定
する。
２４が、該基準位置Ａから所定距離Ｌ離れた位置Ｂに移
動するまで、前記溝付ローラ１８Ａを回転させる。な
お、この溝付ローラ１８Ａを回転させるためには、前記
溝付ローラ１８Ｃを回転駆動する図示しないモータを駆
動することにより行う。一方、前記回転量測定器４２で
は、前記ダンサローラ２４が基準位置Ａから位置Ｂまで
移動したときの、前記溝付ローラ１８Ａの回転量を測定
する。
【００３７】この溝付ローラ１８Ａの回転量の測定値
が、たとえばＮであった場合、この回転量Ｎと溝付ロー
ラ１８Ａの溝部の半径Ｒとの間には、次式の関係が成り
立つ。
が、たとえばＮであった場合、この回転量Ｎと溝付ロー
ラ１８Ａの溝部の半径Ｒとの間には、次式の関係が成り
立つ。
【００３８】
【数９】２Ｌ＝π２ＲＮ したがって、前記溝付ローラ１８Ａの溝部の半径Ｒは、
前記測定結果から、
前記測定結果から、
【００３９】
【数１０】 となる。
【００４０】前記のごとく算出した各パラメターＳ、
Ｈ、Ｒから、前記インゴット３２が切断開始位置に位置
するまでのインゴット３２の送り量Ｍは、
Ｈ、Ｒから、前記インゴット３２が切断開始位置に位置
するまでのインゴット３２の送り量Ｍは、
【００４１】
【数１１】Ｍ ＝ Ｓ − Ｈ − Ｒ となる。以上のように算出した送り量Ｍだけ、前記イン
ゴット３２をワイヤ列２０に向けて送ることにより、前
記インゴット３２は、切断開始位置に位置する。
ゴット３２をワイヤ列２０に向けて送ることにより、前
記インゴット３２は、切断開始位置に位置する。
【００４２】そして、インゴット３２が切断開始位置ま
で送られた後は、あらかじめ設定されたインゴット３２
の切断プログラムに従ってインゴット３２を送り、ウェ
ーハに切断する。なお、前述した溝付ローラ１８Ａの溝
部の半径Ｒは、インゴット３２をワークフィードテーブ
ル２８に取り付ける前にあらかじめ測定しておく。これ
により、インゴット３２をワークフィードテーブル２８
に取り付ける前に、あらかじめインゴット３２の送り量
を設定することができ、切断開始位置までのインゴット
３２の自動送りが可能になる。
で送られた後は、あらかじめ設定されたインゴット３２
の切断プログラムに従ってインゴット３２を送り、ウェ
ーハに切断する。なお、前述した溝付ローラ１８Ａの溝
部の半径Ｒは、インゴット３２をワークフィードテーブ
ル２８に取り付ける前にあらかじめ測定しておく。これ
により、インゴット３２をワークフィードテーブル２８
に取り付ける前に、あらかじめインゴット３２の送り量
を設定することができ、切断開始位置までのインゴット
３２の自動送りが可能になる。
【００４３】このように、本実施の形態のワーク切断方
法によれば、溝付ローラ１８Ａの磨耗量をも考慮するこ
とにより、より正確な切断開始位置の設定を行なうこと
ができる。なお、上述した第１、第２の実施の形態で
は、インゴット３２の切断開始位置をワイヤ列面上に設
定して送り量Ｍの算出を行なうようにしたが、この切断
開始位置の設定は任意である。
法によれば、溝付ローラ１８Ａの磨耗量をも考慮するこ
とにより、より正確な切断開始位置の設定を行なうこと
ができる。なお、上述した第１、第２の実施の形態で
は、インゴット３２の切断開始位置をワイヤ列面上に設
定して送り量Ｍの算出を行なうようにしたが、この切断
開始位置の設定は任意である。
【００４４】例えば、安全値αを考慮してワイヤ列２０
から所定の隙間を持たせた位置（ワイヤ列２０から上方
に１〜２mmに離れた位置）を切断開始位置として設定し
てもよい。この場合、インゴット３２の送り量Ｍは、第
１の実施の形態では、
から所定の隙間を持たせた位置（ワイヤ列２０から上方
に１〜２mmに離れた位置）を切断開始位置として設定し
てもよい。この場合、インゴット３２の送り量Ｍは、第
１の実施の形態では、
【００４５】
【数１２】Ｍ ＝ Ｑ − Ｈ −α となり、第２の実施の形態の場合では、
【００４６】
【数１３】Ｍ ＝ Ｓ − Ｈ − Ｒ − α となる。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来、手動で行なっていたワークの切断開始位置への設
定を自動で行なうことができる。また、切断開始位置の
設定の自動化を行なうことにより、手動設定時に生じて
いたオペレータの設定ミスや設定位置のバラツキという
問題を排除することができ、安定したワイヤソーの運転
が可能になる。
従来、手動で行なっていたワークの切断開始位置への設
定を自動で行なうことができる。また、切断開始位置の
設定の自動化を行なうことにより、手動設定時に生じて
いたオペレータの設定ミスや設定位置のバラツキという
問題を排除することができ、安定したワイヤソーの運転
が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ワイヤソーの全体構成を示す透視図
【図２】本発明に係るワーク切断方法の第１の実施の形
態の説明図
態の説明図
【図３】図２の要部拡大図
【図４】本発明に係るワーク切断方法の第２の実施の形
態の説明図
態の説明図
【図５】溝付ローラの溝部の半径を測定する方法の説明
図
図
１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １６…ガイドローラ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２４…ダンサローラ ２８…ワークフィードテーブル ３０…チルチング装置 ３２…インゴット
Claims (2)
- 【請求項１】 走行するワイヤ列に対して垂直に進退移
動するワークフィードテーブルにワークを取り付け、前
記ワークフィードテーブルを前記ワイヤ列に向けて送
り、前記ワークをウェーハに切断するワイヤソーのワ─
ク切断方法において、 前記ワークフィードテーブルを前記ワイヤ列から所定距
離離れたワーク取付位置に位置させ、そのワーク取付位
置に位置したワークフィードテーブルに前記ワークを取
り付け、前記ワークフィードテーブルに設けられたチル
チング装置で前記ワークを前記ワイヤ列に対して水平、
垂直方向に所定角度傾斜させて所定の結晶方位に合わせ
たのち、前記ワークの長さと径及び傾斜角度から前記ワ
ークが前記ワイヤ列に接触するまでの距離を算出し、そ
の算出した距離分だけ前記ワークを前記ワイヤ列に向け
て第１の送り速度で送ったのち、その第１の送り速度よ
り遅い切断用の第２の送り速度で前記ワークを前記ワイ
ヤ列に向けて送り、前記ワークを切断することを特徴と
するワイヤソーのワーク切断方法。 - 【請求項２】 前記ワークが前記ワイヤ列に接触するま
での距離Ｍは、前記ワーク取付位置での前記ワークフィ
ードテーブルに設けられた前記チルチング装置のチルチ
ング中心から前記ワイヤ列までの距離をＱ、前記ワーク
の径をＤ、前記ワークの長さをｕ、前記ワークの傾斜角
度をθ、前記ワークの中心から前記チルチング中心まで
の距離をＧとしたとき、 で算出されることを特徴とする請求項１記載のワイヤソ
ーのワーク切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28716796A JPH10128738A (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | ワイヤソーのワーク切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28716796A JPH10128738A (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | ワイヤソーのワーク切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10128738A true JPH10128738A (ja) | 1998-05-19 |
Family
ID=17713951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28716796A Pending JPH10128738A (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | ワイヤソーのワーク切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10128738A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010001529A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法 |
| CN102029656A (zh) * | 2010-10-15 | 2011-04-27 | 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司 | Z板籽晶块z面x向角度控制切割工艺 |
| CN102085696A (zh) * | 2009-11-23 | 2011-06-08 | J.施迈茨有限公司 | 用于制造材料片的装置 |
| CN102441944A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 常州天合光能有限公司 | 多晶晶锭的开方方法 |
| CN102555092A (zh) * | 2012-03-23 | 2012-07-11 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种硅片线切割方法 |
| CN102825666A (zh) * | 2012-08-16 | 2012-12-19 | 保定天威英利新能源有限公司 | 一种矫正多晶硅块尺寸的粘接方法 |
| CN106182471A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-12-07 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种多晶硅棒切割方法 |
| CN114714526A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-08 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 二维调整单晶硅棒晶向的接着方法 |
| CN114783865A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-07-22 | 苏州优力科瑞半导体科技有限公司 | 一种划片切割方法及系统 |
-
1996
- 1996-10-29 JP JP28716796A patent/JPH10128738A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010001529A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法 |
| US8146581B2 (en) | 2008-06-30 | 2012-04-03 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing workpiece |
| DE112009001446B4 (de) * | 2008-06-30 | 2020-04-23 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Verfahren zum Zerschneiden eines Werkstücks |
| CN102085696A (zh) * | 2009-11-23 | 2011-06-08 | J.施迈茨有限公司 | 用于制造材料片的装置 |
| CN102441944A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 常州天合光能有限公司 | 多晶晶锭的开方方法 |
| CN102029656A (zh) * | 2010-10-15 | 2011-04-27 | 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司 | Z板籽晶块z面x向角度控制切割工艺 |
| CN102555092A (zh) * | 2012-03-23 | 2012-07-11 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种硅片线切割方法 |
| CN102825666A (zh) * | 2012-08-16 | 2012-12-19 | 保定天威英利新能源有限公司 | 一种矫正多晶硅块尺寸的粘接方法 |
| CN106182471A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-12-07 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种多晶硅棒切割方法 |
| CN114714526A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-08 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 二维调整单晶硅棒晶向的接着方法 |
| CN114783865A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-07-22 | 苏州优力科瑞半导体科技有限公司 | 一种划片切割方法及系统 |
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