JP6172030B2 - ワークの切断方法及び加工液 - Google Patents
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Description
ワイヤーソー装置は、ワイヤー(高張力鋼線)を高速走行させて、ここにスラリーを掛けながら、ワーク(例えばシリコンインゴットが挙げられる。)を押し当てて切断し、多数のウェーハを同時に切り出す装置である(特許文献1参照)。
図4に示すように、ワイヤーソー101は、主に、ワークを切断するためのワイヤー102、ワイヤー102を巻回したワイヤーガイド103、ワイヤー102に張力を付与するための張力付与機構104、切断されるワークを送り出すワーク送り手段105、切断時に砥粒をクーラントに分散して混合した加工液(スラリー)を供給するためのノズル106等で構成されている。
複数のワイヤーガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤーでワイヤー列を形成し、ワークと前記ワイヤーとの接触部に砥粒を含む加工液を供給しながら、前記ワイヤー列に前記ワークを押し当てることで、前記ワークを切断するワークの切断方法であって、
使用済みの前記砥粒に対して硫酸と過酸化水素水の混合液で処理を行い、処理後の砥粒を前記ワークの切断に再利用するワークの切断方法を提供する。
ワイヤーソーを用いたワーク切断に使用した後に再利用した砥粒を含む加工液であって、
前記砥粒に含有される銅の濃度が砥粒1g当たり1ppm以下のものである加工液を提供する。
上記で説明したように、ワークの切断に使用した砥粒を再利用する場合には、砥粒がワイヤー等に由来する金属に汚染されているため、ウェーハが金属で汚染されることとなり、品質が悪化したりするという問題があった。
本発明のワークの切断方法の一つの態様としては、(a)1回目のワークの切断を行い、(b)(a)工程で排出された使用済み砥粒を回収し、(c)硫酸と過酸化水素水の混合液によって使用済み砥粒を処理し、(d)(c)工程で得られた処理後の砥粒を再利用して、(e)2回目のワークの切断を行う工程を含む方法を挙げることができる。尚、図1に示すように、(e)工程で排出された使用済み砥粒に対しても、(b)工程〜(e)工程を繰り返すことで再利用することができる。
このワイヤーソー101では、ノズル106から砥粒を含むスラリーを供給し、ワイヤー102でワークを切断する。ワークの切断に用いたスラリーは廃スラリーとして、排出される。
尚、上記の分析方法としては、使用済み砥粒サンプル5gを混酸(フッ酸と硝酸の混合液)50ccで3時間の間、酸抽出した後、10倍希釈の後、ICP−OES測定(誘導結合プラズマ発光分析法)を行う方法を挙げることができる。
#2000砥粒を用いて直径300mmのシリコンインゴットの切断を行った後、使用済み砥粒サンプル5gを混酸(フッ酸と硝酸の混合液)50ccで3時間の間、酸抽出して10倍希釈した後、ICP−OES測定を行った。この方法で分析を行った結果、砥粒1g当たりに含有される銅の濃度は、未使用の新品砥粒では1.87ppmであったのに対し、使用済み砥粒では143.00ppmであった。
実験で得られた使用済み砥粒に対して硫酸と過酸化水素水の混合液で処理を行い、分析を行った。処理条件としては、使用済み砥粒10gを75%硫酸123gと30%過酸化水素水27gの混合液で撹拌後、濾過し、純水で水洗した後、乾燥を行った。混合液での処理の際の温度は25℃、処理時間は24時間で行った。分析方法は先と同様、使用済み砥粒サンプル5gを混酸(フッ酸と硝酸の混合液)50ccで3時間の間、酸抽出した後、10倍希釈してICP−OES測定を行った。
上述の処理を行った砥粒を実験と同様に分析したところ、砥粒1g中に含有される銅の濃度は、0.42ppmであり処理前の砥粒に対して300分の1以下の水準にまでに低減した。結果を図2に示す。
実験で得られた使用済み砥粒に対して、従来法である苛性ソーダと硫酸で処理を実施して実験及び実施例と同様に分析を行った。その結果、砥粒1g中に含有される銅の濃度は、141.34ppmであり、処理前の値から変化がなかった。結果を図2に示す。
砥粒中に含まれる銅が切断後ウェーハ内の銅濃度に与える影響を確認の為、実施例1で得られた処理後の砥粒を用いて、直径300mmのシリコンインゴットの切断を行った。切断の際、砥粒と混合するクーラントは未使用の新品クーラント、ワイヤーは表面にメッキの無いワイヤーを準備し、それぞれ使用した。
比較例1で得られた処理後の砥粒を用いて実施例2と同様にシリコンインゴットの切断を行った。
分析のサンプルは、1本のワークを切断して得られた複数枚のウェーハの中から2枚のウェーハを抽出した(サンプル1、サンプル2)。得られたウェーハの表層を50μmエッチオフした後、それぞれのウェーハから試験片を3個切り出して得られた、計6サンプルとした。試験片の切り出しは、ウェーハの中央部付近から採取した。採取したサンプルについて、全溶解法にて金属不純物の濃度をICP−MS測定(誘導結合プラズマ質量分析法)し、ウェーハ中に含まれる銅、ナトリウム、マグネシウム、アルミニウム、クロム、鉄、ニッケル、及び亜鉛の濃度を定量した。結果を図3に示す。
一方で、実施例2で得られたウェーハ中の銅濃度を測定したところ、図3に示すように、最大で4.14E+11 atoms/cm3、最小で1.85E+11 atoms/cm3の銅濃度が検出された。
両者の切断後ウェーハ中の銅濃度を比較すると、実施例2の方が比較例2に比べ、最大値で約22分の1以下、最小値で約2分の1以下になっており、銅濃度を低減できることが明らかになった。
Claims (2)
- 複数のワイヤーガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤーでワイヤー列を形成し、ワークと前記ワイヤーとの接触部に砥粒を含む加工液を供給しながら、前記ワイヤー列に前記ワークを押し当てることで、前記ワークを切断するワークの切断方法であって、
ワイヤーソーから排出される廃スラリー中に含まれる使用済みの前記砥粒を回収し、該回収した使用済みの前記砥粒に対して硫酸と過酸化水素水の混合液で処理を行い、処理後の砥粒をクーラントに混合して前記加工液とすることで、前記処理後の砥粒を前記ワークの切断に再利用することを特徴とするワークの切断方法。 - ワイヤーソーを用いたワーク切断に使用した後に銅を除去して再利用した砥粒を含む加工液であって、
前記砥粒に含有される銅の濃度が砥粒1g当たり1ppm以下のものであることを特徴とする加工液。
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