JP2000141201A - ワイヤソーの切断方法 - Google Patents
ワイヤソーの切断方法Info
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】切断される被加工物切断面のうねりおよび被加
工物切断面の表面粗さを減少させることができる。 【解決手段】往復走行するワイヤ列にインゴットを押し
当て、多数の薄板状のウェーハに切断する往復走行ワイ
ヤソーにおいて、ワイヤ新線供給量を、切断面の弦の長
さ、インゴット長さ、ワイヤの巻き掛けピッチ、切断力
係数、新線供給量係数、双方向サイクル数、新線供給量
初期値に応じて制御し、また、新線供給量統括係数ｋｓ
２を、ｋｓ２≧０．７と設定した。そしてまた、双方向
サイクル数を、切断面の長さ、双方向サイクル数係数、
切断開始時の双方向サイクル数に応じて制御するかまた
は、双方向周期を、切断開始時の双方向周期、双方向周
期係数、切断面の弦の長さに応じて制御する。これによ
り、ワイヤ新線供給量、ワイヤ往復双方向サイクル数ま
たはワイヤ往復双方向周期が適切に制御可能となり、切
断されるウェーハ切断面のうねりや、ウェーハ表面粗さ
を向上させることができる。
工物切断面の表面粗さを減少させることができる。 【解決手段】往復走行するワイヤ列にインゴットを押し
当て、多数の薄板状のウェーハに切断する往復走行ワイ
ヤソーにおいて、ワイヤ新線供給量を、切断面の弦の長
さ、インゴット長さ、ワイヤの巻き掛けピッチ、切断力
係数、新線供給量係数、双方向サイクル数、新線供給量
初期値に応じて制御し、また、新線供給量統括係数ｋｓ
２を、ｋｓ２≧０．７と設定した。そしてまた、双方向
サイクル数を、切断面の長さ、双方向サイクル数係数、
切断開始時の双方向サイクル数に応じて制御するかまた
は、双方向周期を、切断開始時の双方向周期、双方向周
期係数、切断面の弦の長さに応じて制御する。これによ
り、ワイヤ新線供給量、ワイヤ往復双方向サイクル数ま
たはワイヤ往復双方向周期が適切に制御可能となり、切
断されるウェーハ切断面のうねりや、ウェーハ表面粗さ
を向上させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は往復走行式ワイヤソ
ーの切断方法に係り、特に被加工物切断時のワイヤの新
線供給量設定値、ワイヤ往復の双方向サイクル数または
双方向周期を算出し、切断を制御する方法に関する。
ーの切断方法に係り、特に被加工物切断時のワイヤの新
線供給量設定値、ワイヤ往復の双方向サイクル数または
双方向周期を算出し、切断を制御する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、走行するワイヤに被加工
物を押し付け、そのワイヤと被加工物との接触部に砥粒
を含む加工液を供給することにより、ワイヤのラッピン
グ作用で被加工物を切断する装置である。したがって、
切断に使用するワイヤも切断に際してラップされて細く
なったり偏磨耗を生じたりする。このためワイヤには常
に新しいワイヤを供給し、ワイヤ線径の変化や、ワイヤ
偏磨耗の悪化による切断精度の低下を防ぐ必要がある。
物を押し付け、そのワイヤと被加工物との接触部に砥粒
を含む加工液を供給することにより、ワイヤのラッピン
グ作用で被加工物を切断する装置である。したがって、
切断に使用するワイヤも切断に際してラップされて細く
なったり偏磨耗を生じたりする。このためワイヤには常
に新しいワイヤを供給し、ワイヤ線径の変化や、ワイヤ
偏磨耗の悪化による切断精度の低下を防ぐ必要がある。
【０００３】ところで、ワイヤソーのワイヤ走行方式と
しては、ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出してそ
のまま他方のワイヤリールに巻き取る方式（一方向送り
方式）と、一方のワイヤリールから繰り出したワイヤを
往復走行させながら他方のワイヤリールに巻き取る方式
（双方向送り方式）の２つの方式がある。双方向送り方
式の場合は、往方向の送り量と復方向の送り量をいかに
設定するか、すなわち実際に他方のワイヤリールに巻き
取るワイヤの量（新線供給量）をいかに設定するかで、
切断されるウェーハの加工精度に大きな影響を与える。
しては、ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出してそ
のまま他方のワイヤリールに巻き取る方式（一方向送り
方式）と、一方のワイヤリールから繰り出したワイヤを
往復走行させながら他方のワイヤリールに巻き取る方式
（双方向送り方式）の２つの方式がある。双方向送り方
式の場合は、往方向の送り量と復方向の送り量をいかに
設定するか、すなわち実際に他方のワイヤリールに巻き
取るワイヤの量（新線供給量）をいかに設定するかで、
切断されるウェーハの加工精度に大きな影響を与える。
【０００４】そして、このワイヤ往復させる単位時間当
たりの回数である双方向サイクル数または双方向サイク
ル数の逆数である双方向周期によっても切断されるウェ
ーハの加工精度に大きな影響を与える。従来、この双方
向送り方式における新線供給量や双方向サイクル数また
は双方向周期は、被加工物の切断面のうねりや粗さが悪
化することなく効率の良い切断が行えるように、切断す
る被加工物の直径や被加工物の長さ、使用するワイヤの
線径、ワイヤ巻き掛けピッチ等から作業者が適切量を想
定し、設定していた。
たりの回数である双方向サイクル数または双方向サイク
ル数の逆数である双方向周期によっても切断されるウェ
ーハの加工精度に大きな影響を与える。従来、この双方
向送り方式における新線供給量や双方向サイクル数また
は双方向周期は、被加工物の切断面のうねりや粗さが悪
化することなく効率の良い切断が行えるように、切断す
る被加工物の直径や被加工物の長さ、使用するワイヤの
線径、ワイヤ巻き掛けピッチ等から作業者が適切量を想
定し、設定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際の
最適な新線供給量や、双方向サイクル数または双方向周
期は想定した値とかけ離れていることが多かった。この
ため、各々の切断条件の設定値がすべての被加工物切断
位置において最適値ではなく、ウェーハ切断面のうねり
や、ウェーハ表面粗さといったウェーハの切断精度の低
下の原因となっていた。
最適な新線供給量や、双方向サイクル数または双方向周
期は想定した値とかけ離れていることが多かった。この
ため、各々の切断条件の設定値がすべての被加工物切断
位置において最適値ではなく、ウェーハ切断面のうねり
や、ウェーハ表面粗さといったウェーハの切断精度の低
下の原因となっていた。
【０００６】また、上記ワイヤソーでは被加工物の切断
が進行して、ワイヤと被加工物との接触する長さが長く
なると、図１０に示すように、ワイヤ１４に付着した砥
粒２は被加工物の内部に進む程砥粒量が減少し、この結
果、インゴット３２がテーパ状に切断されるという現象
が発生する。ワイヤを往復走行させて被加工物を切断す
るワイヤソーにおいては、ワイヤの走行方向が切り替わ
る毎に前記テーパの方向が変化するため、走行方向が切
り替わる毎にウェーハ表面にソーマーク４（図４）によ
る段差が生じてウェーハ表面粗さが悪化する。
が進行して、ワイヤと被加工物との接触する長さが長く
なると、図１０に示すように、ワイヤ１４に付着した砥
粒２は被加工物の内部に進む程砥粒量が減少し、この結
果、インゴット３２がテーパ状に切断されるという現象
が発生する。ワイヤを往復走行させて被加工物を切断す
るワイヤソーにおいては、ワイヤの走行方向が切り替わ
る毎に前記テーパの方向が変化するため、走行方向が切
り替わる毎にウェーハ表面にソーマーク４（図４）によ
る段差が生じてウェーハ表面粗さが悪化する。
【０００７】このようにテーパ状に切断されることによ
り切断面に段差を生じたウェーハは、ウェーハに要求さ
れる平行度を出すために、後工程であるラップ工程等に
多くの時間を必要とし、ウェーハの処理効率が著しく低
下するという欠点がある。本発明は、このような事情を
鑑みてなされたもので、ウェーハ切断面のうねりや、ウ
ェーハ表面粗さを向上させることができるワイヤソーの
切断方法を提供することを目的とする。
り切断面に段差を生じたウェーハは、ウェーハに要求さ
れる平行度を出すために、後工程であるラップ工程等に
多くの時間を必要とし、ウェーハの処理効率が著しく低
下するという欠点がある。本発明は、このような事情を
鑑みてなされたもので、ウェーハ切断面のうねりや、ウ
ェーハ表面粗さを向上させることができるワイヤソーの
切断方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグ
ルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列
に加工液を供給しながら被加工物であるインゴットを押
し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切断す
る往復走行ワイヤソーにおいて、切断面の弦の長さＬ、
インゴット長さＧＬ、ワイヤの巻き掛けピッチＰ、切断
力係数ｆ１、新線供給量係数ｋｓ１、双方向サイクル数
Ｃ、新線供給量初期値ＷＬ0、とする時、ワイヤ新線供
給量設定値ＷＬ（ｍ／ｍｉｎ）は下式、 により求められて制御されることを特徴としている。
るために、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグ
ルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列
に加工液を供給しながら被加工物であるインゴットを押
し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切断す
る往復走行ワイヤソーにおいて、切断面の弦の長さＬ、
インゴット長さＧＬ、ワイヤの巻き掛けピッチＰ、切断
力係数ｆ１、新線供給量係数ｋｓ１、双方向サイクル数
Ｃ、新線供給量初期値ＷＬ0、とする時、ワイヤ新線供
給量設定値ＷＬ（ｍ／ｍｉｎ）は下式、 により求められて制御されることを特徴としている。
【０００９】また、本発明は前記目的を達成するため
に、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブ
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加
工液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当
てることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往
復走行ワイヤソーにおいて、新線供給量統括係数ｋｓ２
＝ｆ１×ｋｓ１×Ｃとし、ワイヤ新線供給量設定値ＷＬ
（ｍ／ｍｉｎ）は下式、 で求められ、かつ、ｋｓ２≧０．７と設定したことを特
徴としている。
に、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブ
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加
工液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当
てることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往
復走行ワイヤソーにおいて、新線供給量統括係数ｋｓ２
＝ｆ１×ｋｓ１×Ｃとし、ワイヤ新線供給量設定値ＷＬ
（ｍ／ｍｉｎ）は下式、 で求められ、かつ、ｋｓ２≧０．７と設定したことを特
徴としている。
【００１０】また、本発明は前記目的を達成するため
に、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブ
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列に加工
液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当て
ることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往復
走行ワイヤソーにおいて、切断面の長さＬ、双方向サイ
クル数係数ｋｃ１、切断開始時の双方向サイクル数Ｃ
ｓ、とする時、双方向サイクル数Ｃ（回／ｍｉｎ）は、
下式、 Ｃ ＝Ｌ×ｋｃ１＋Ｃｓ で求められ、制御されることを特徴としている。
に、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブ
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列に加工
液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当て
ることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往復
走行ワイヤソーにおいて、切断面の長さＬ、双方向サイ
クル数係数ｋｃ１、切断開始時の双方向サイクル数Ｃ
ｓ、とする時、双方向サイクル数Ｃ（回／ｍｉｎ）は、
下式、 Ｃ ＝Ｌ×ｋｃ１＋Ｃｓ で求められ、制御されることを特徴としている。
【００１１】また、本発明は前記目的を達成するため
に、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブ
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列に加工
液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当て
ることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往復
走行ワイヤソーにおいて、切断面の弦の長さＬ、切断開
始時の双方向周期ＴＣｓ、双方向周期係数ｋｃ２、とす
る時、双方向周期ＴＣ（ｍｉｎ／回）は、下式、 ＴＣ＝ＴＣS −ｋｃ２×Ｌ で求められ、制御されることを特徴としている。
に、往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブ
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列に加工
液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当て
ることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往復
走行ワイヤソーにおいて、切断面の弦の長さＬ、切断開
始時の双方向周期ＴＣｓ、双方向周期係数ｋｃ２、とす
る時、双方向周期ＴＣ（ｍｉｎ／回）は、下式、 ＴＣ＝ＴＣS −ｋｃ２×Ｌ で求められ、制御されることを特徴としている。
【００１２】本発明によれば、ワイヤ新線供給量、ワイ
ヤ往復双方向サイクル数またはワイヤ往復双方向周期を
適切に制御する。これにより、切断されるウェーハ切断
面のうねりや、ウェーハ表面粗さを向上させることがで
きる。
ヤ往復双方向サイクル数またはワイヤ往復双方向周期を
適切に制御する。これにより、切断されるウェーハ切断
面のうねりや、ウェーハ表面粗さを向上させることがで
きる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの切断方法の好ましい実施の形態について
詳説する。まず、双方向送り方式のワイヤソーの全体構
成について説明する。図１に示すように、一方のワイヤ
リール１２Ａから繰り出されたワイヤ１４は、ガイドロ
ーラ１６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って
３本のグルーブローラ１８、１８、１８に巻き掛けられ
る。この３本のグルーブローラ１８、１８、１８の外周
部には、それぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されてお
り、前記ワイヤ１４は、このグルーブローラ１８の溝に
順次巻き掛けられて水平なワイヤ列２０を形成する。そ
して、ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、前記３本
のグルーブローラ１８、１８、１８を挟んで左右対称に
形成された他方側のワイヤ走行路を通って他方側のワイ
ヤリール１２Ｂに巻き取られる。
るワイヤソーの切断方法の好ましい実施の形態について
詳説する。まず、双方向送り方式のワイヤソーの全体構
成について説明する。図１に示すように、一方のワイヤ
リール１２Ａから繰り出されたワイヤ１４は、ガイドロ
ーラ１６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って
３本のグルーブローラ１８、１８、１８に巻き掛けられ
る。この３本のグルーブローラ１８、１８、１８の外周
部には、それぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されてお
り、前記ワイヤ１４は、このグルーブローラ１８の溝に
順次巻き掛けられて水平なワイヤ列２０を形成する。そ
して、ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、前記３本
のグルーブローラ１８、１８、１８を挟んで左右対称に
形成された他方側のワイヤ走行路を通って他方側のワイ
ヤリール１２Ｂに巻き取られる。
【００１４】ここで、前記一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連結され
ており、このモータ２２Ａ、２２Ｂをグルーブローラ１
８と同期させて駆動することにより、前記ワイヤ１４は
前記一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を高速で往復
走行する。前記ワイヤ列２０の両側に形成されたワイヤ
走行路には、それぞれワイヤ案内装置２４Ａ、２４Ｂ、
ダンサローラ２６Ａ、２６Ｂが配設されている。ワイヤ
案内装置２４Ａ、２４Ｂは、ワイヤリール１２Ａ、１２
Ｂからワイヤ１４を一定間隔で案内し、ダンサローラ２
６Ａ、２６Ｂは、所定重量のウェイトが吊設されて、走
行するワイヤ１４に所定の張力を付与する。前記ワイヤ
列２０の上方には、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移
動するワークフィードテーブル３０が設置されている。
被加工物であるインゴット３２は、このワークフィード
テーブル３０の下部に保持される。
１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連結され
ており、このモータ２２Ａ、２２Ｂをグルーブローラ１
８と同期させて駆動することにより、前記ワイヤ１４は
前記一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を高速で往復
走行する。前記ワイヤ列２０の両側に形成されたワイヤ
走行路には、それぞれワイヤ案内装置２４Ａ、２４Ｂ、
ダンサローラ２６Ａ、２６Ｂが配設されている。ワイヤ
案内装置２４Ａ、２４Ｂは、ワイヤリール１２Ａ、１２
Ｂからワイヤ１４を一定間隔で案内し、ダンサローラ２
６Ａ、２６Ｂは、所定重量のウェイトが吊設されて、走
行するワイヤ１４に所定の張力を付与する。前記ワイヤ
列２０の上方には、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移
動するワークフィードテーブル３０が設置されている。
被加工物であるインゴット３２は、このワークフィード
テーブル３０の下部に保持される。
【００１５】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３２の切断は、高速走行するワイヤ
列２０にインゴット３２を押し当てることにより行う。
この際、前記ワイヤ列２０には、図示しないスラリタン
クからスラリ噴射ノズル３４、３４を介してスラリが供
給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有される
砥粒のラッピング作用でウェーハに切断される。
おいて、インゴット３２の切断は、高速走行するワイヤ
列２０にインゴット３２を押し当てることにより行う。
この際、前記ワイヤ列２０には、図示しないスラリタン
クからスラリ噴射ノズル３４、３４を介してスラリが供
給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有される
砥粒のラッピング作用でウェーハに切断される。
【００１６】次に、本発明に係るワイヤ新線供給量制御
方法について説明する。本実施の形態のワイヤソー１０
では、ワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向
かう方向（往方向）のワイヤ送り量を、ワイヤリール１
２Ｂからワイヤリール１２Ａに向かう方向（復方向）の
ワイヤ送り量より多く設定することにより、平均的には
ワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向かう方
向（往方向）にワイヤ１４を供給するようにしている。
方法について説明する。本実施の形態のワイヤソー１０
では、ワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向
かう方向（往方向）のワイヤ送り量を、ワイヤリール１
２Ｂからワイヤリール１２Ａに向かう方向（復方向）の
ワイヤ送り量より多く設定することにより、平均的には
ワイヤリール１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向かう方
向（往方向）にワイヤ１４を供給するようにしている。
【００１７】ここで、図２に示すように、ワイヤリール
１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）
のワイヤ送り量をＬF 、ワイヤリール１２Ｂからワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量を
ＬB とすると、ワイヤ１４は１往復することにより、Ｌ
F −ＬB の差分だけワイヤリール１２Ａからワイヤリー
ル１２Ｂに進むことになる。このＬF −ＬB の差分が１
サイクル当たりの新線供給量であり、１往復（１サイク
ル）ごとにＬF −ＬB の差分だけの未使用のワイヤ１４
が、ワイヤリール１２Ａから供給される。
１２Ａからワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）
のワイヤ送り量をＬF 、ワイヤリール１２Ｂからワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量を
ＬB とすると、ワイヤ１４は１往復することにより、Ｌ
F −ＬB の差分だけワイヤリール１２Ａからワイヤリー
ル１２Ｂに進むことになる。このＬF −ＬB の差分が１
サイクル当たりの新線供給量であり、１往復（１サイク
ル）ごとにＬF −ＬB の差分だけの未使用のワイヤ１４
が、ワイヤリール１２Ａから供給される。
【００１８】そして、この１サイクル当たりの新線供給
量と双方向サイクル数または双方向周期を如何に設定す
るかにより、切断されるウェーハ切断面のうねりやウェ
ーハ表面粗さが変化する。図３に示すとおり、インゴッ
ト３２の下端部を切断する場合と、インゴット３２の中
央部を切断する場合とでは、ワイヤ１４がインゴット３
２に接触する距離が異なるので、ワイヤ１４の磨耗量も
異なってくる（インゴット３２の中央部を切断している
時の方が、インゴット３２の下端部を切断している時に
比べワイヤ１４の磨耗量が多い）。したがって、終始同
じ新線供給量では、切断位置によりワイヤ線径が変化
し、切断精度が低下する。
量と双方向サイクル数または双方向周期を如何に設定す
るかにより、切断されるウェーハ切断面のうねりやウェ
ーハ表面粗さが変化する。図３に示すとおり、インゴッ
ト３２の下端部を切断する場合と、インゴット３２の中
央部を切断する場合とでは、ワイヤ１４がインゴット３
２に接触する距離が異なるので、ワイヤ１４の磨耗量も
異なってくる（インゴット３２の中央部を切断している
時の方が、インゴット３２の下端部を切断している時に
比べワイヤ１４の磨耗量が多い）。したがって、終始同
じ新線供給量では、切断位置によりワイヤ線径が変化
し、切断精度が低下する。
【００１９】また、図４には従来の双方向サイクル数ま
たは双方向周期で切断した場合のウェーハ３上に発生す
るソーマーク４を示し、図５には双方向サイクル数を大
きくした場合または双方向周期を小さくした場合のウェ
ーハ３上に発生するソーマーク４を示す。図４、図５か
らも明らかなとおり、双方向サイクル数を大きくとる
か、または双方向周期を小さくとることによって、ワイ
ヤの往復回数が増え、ワイヤの往復間隔が狭くなること
によりウェーハ３上に発生するソーマーク４の山の高さ
が低くなる。
たは双方向周期で切断した場合のウェーハ３上に発生す
るソーマーク４を示し、図５には双方向サイクル数を大
きくした場合または双方向周期を小さくした場合のウェ
ーハ３上に発生するソーマーク４を示す。図４、図５か
らも明らかなとおり、双方向サイクル数を大きくとる
か、または双方向周期を小さくとることによって、ワイ
ヤの往復回数が増え、ワイヤの往復間隔が狭くなること
によりウェーハ３上に発生するソーマーク４の山の高さ
が低くなる。
【００２０】以下に第１の発明の形態である新線供給量
設定値の求め方について説明する。まず、下式（１）に
おける新線供給量係数ｋｓ１の求め方を説明する。 ＷＬ ：新線供給量設定値 （ｍ／ｍｉｎ） ＷＬ0 ：新線供給量初期値 （ｍ／ｍｉｎ） Ｌ ：切断面の弦の長さ （ｍ） ＧＬ ：インゴット長さ （ｍ） Ｐ ：ワイヤの巻き掛けピッチ （ｍ） ｆ１ ：切断力係数 ｋｓ１ ：新線供給量係数 Ｃ ：双方向サイクル数 （回／ｍｉｎ）
設定値の求め方について説明する。まず、下式（１）に
おける新線供給量係数ｋｓ１の求め方を説明する。 ＷＬ ：新線供給量設定値 （ｍ／ｍｉｎ） ＷＬ0 ：新線供給量初期値 （ｍ／ｍｉｎ） Ｌ ：切断面の弦の長さ （ｍ） ＧＬ ：インゴット長さ （ｍ） Ｐ ：ワイヤの巻き掛けピッチ （ｍ） ｆ１ ：切断力係数 ｋｓ１ ：新線供給量係数 Ｃ ：双方向サイクル数 （回／ｍｉｎ）
【００２１】
【数１】 ｋｓ１を設定するには、ウェーハの要求精度の兼ね合い
でワイヤ１４の磨耗限界値を設定し、その磨耗限界値と
なるような新線供給量係数ｋｓ１を設定する。例えば、
１本のインゴット内でのウェーハの厚みのばらつきの規
格を５．３μｍ、使用するワイヤの線径を０．１７８ｍ
ｍとすると、直径磨耗限界値が０．１７８−０．００５
３＝０．１７２７ｍｍとなるので、０．１７８ｍｍのワ
イヤが磨耗して０．１７２７ｍｍになるような新線供給
量係数ｋｓ１を設定する。なお、この新線供給量係数ｋ
ｓ１は、ワイヤ線径やインゴット３２の切断送り速度の
設定値、ワイヤ走行速度の初期値、新線供給量設定値等
から作業者が設定するか、予めワイヤソー制御装置３６
の記憶装置に記憶しておく。
でワイヤ１４の磨耗限界値を設定し、その磨耗限界値と
なるような新線供給量係数ｋｓ１を設定する。例えば、
１本のインゴット内でのウェーハの厚みのばらつきの規
格を５．３μｍ、使用するワイヤの線径を０．１７８ｍ
ｍとすると、直径磨耗限界値が０．１７８−０．００５
３＝０．１７２７ｍｍとなるので、０．１７８ｍｍのワ
イヤが磨耗して０．１７２７ｍｍになるような新線供給
量係数ｋｓ１を設定する。なお、この新線供給量係数ｋ
ｓ１は、ワイヤ線径やインゴット３２の切断送り速度の
設定値、ワイヤ走行速度の初期値、新線供給量設定値等
から作業者が設定するか、予めワイヤソー制御装置３６
の記憶装置に記憶しておく。
【００２２】ここで式（１）において、ｋｓ２＝ｆ１×
ｋｓ１×Ｃと統括することによって、以下の式（２）の
形に表すこともできる。
ｋｓ１×Ｃと統括することによって、以下の式（２）の
形に表すこともできる。
【００２３】
【数２】ｋｓ２ ：新線供給量統括係数 前述した式（１）および式（２）は、切断中の新線供給
量設定値ＷＬを算出する式の例であり、式（１）および
式（２）に従って算出した結果の例を図６に、そしてピ
ッチＰおよびインゴット長さＧＬの説明を図７に、切断
面の弦の長さＬを図３に示す。
量設定値ＷＬを算出する式の例であり、式（１）および
式（２）に従って算出した結果の例を図６に、そしてピ
ッチＰおよびインゴット長さＧＬの説明を図７に、切断
面の弦の長さＬを図３に示す。
【００２４】ここで式（１）および式（２）における切
断面の弦の長さＬは図３に示されるとおり、インゴット
３２を切断する部位によって異なる変数である。インゴ
ット３２の断面形状が円形の部分における前記切断面の
弦の長さＬは、以下の方法によって近似することができ
る。 Ｌ ：切断面の弦の長さ （ｍ） ＤＧ：インゴット３２の直径 （ｍ） Ｚ ：インゴット３２下端から切断位置までの距離 （ｍ）
断面の弦の長さＬは図３に示されるとおり、インゴット
３２を切断する部位によって異なる変数である。インゴ
ット３２の断面形状が円形の部分における前記切断面の
弦の長さＬは、以下の方法によって近似することができ
る。 Ｌ ：切断面の弦の長さ （ｍ） ＤＧ：インゴット３２の直径 （ｍ） Ｚ ：インゴット３２下端から切断位置までの距離 （ｍ）
【００２５】
【数３】 Ｌ＝２×（（ＤＧ／２）2−（ＤＧ／２−Ｚ）2）1/2 ……（３） 新線供給量設定値ＷＬを求めるには、まず、切断面弦の
長さＬと、インゴット長さＧＬと、ワイヤ巻き掛けピッ
チＰからワイヤの切断経路長を求め、それにワイヤの張
力による切断力係数ｆ１や、被加工物切断送り速度、被
加工物の物性、ワイヤ走行速度、ワイヤの物性、砥粒の
物性等から算出される新線供給量係数ｋｓ１と、ワイヤ
の双方向サイクル数Ｃまたは双方向周期ＴＣから算出す
る。
長さＬと、インゴット長さＧＬと、ワイヤ巻き掛けピッ
チＰからワイヤの切断経路長を求め、それにワイヤの張
力による切断力係数ｆ１や、被加工物切断送り速度、被
加工物の物性、ワイヤ走行速度、ワイヤの物性、砥粒の
物性等から算出される新線供給量係数ｋｓ１と、ワイヤ
の双方向サイクル数Ｃまたは双方向周期ＴＣから算出す
る。
【００２６】なお、前述した式（１）および式（２）に
において、双方向サイクル数Ｃの代わりに双方向周期Ｔ
Ｃを用いて、Ｃ＝１／ＴＣとおいて計算してもよい。前
述した式（１）および式（３）をワイヤソーの制御装置
３６で演算し、任意の切断位置Ｚにおける新線供給量設
定値ＷＬを決定する。また、上記式（３）をワイヤソー
内部で演算する代わりに、作業者が図３に示すＺ１，Ｚ
２，Ｚ３の切断位置における切断面の弦の長さＬを各々
計算してその値をワイヤソー制御装置３６に入力しても
よい。ただし、作業者が図３に示すＺ１，Ｚ２，Ｚ３の
切断位置における切断面の弦の長さＬを各々計算してそ
の値をワイヤソー制御装置３６に入力する場合は、作業
者の入力作業を低減するために入力点数を少なくし、ワ
イヤソー制御装置３６において作業者が入力した点の間
を直線または曲線で補間することにより任意の切断位置
Ｚにおける新線供給量設定値ＷＬを決定してもよい。
において、双方向サイクル数Ｃの代わりに双方向周期Ｔ
Ｃを用いて、Ｃ＝１／ＴＣとおいて計算してもよい。前
述した式（１）および式（３）をワイヤソーの制御装置
３６で演算し、任意の切断位置Ｚにおける新線供給量設
定値ＷＬを決定する。また、上記式（３）をワイヤソー
内部で演算する代わりに、作業者が図３に示すＺ１，Ｚ
２，Ｚ３の切断位置における切断面の弦の長さＬを各々
計算してその値をワイヤソー制御装置３６に入力しても
よい。ただし、作業者が図３に示すＺ１，Ｚ２，Ｚ３の
切断位置における切断面の弦の長さＬを各々計算してそ
の値をワイヤソー制御装置３６に入力する場合は、作業
者の入力作業を低減するために入力点数を少なくし、ワ
イヤソー制御装置３６において作業者が入力した点の間
を直線または曲線で補間することにより任意の切断位置
Ｚにおける新線供給量設定値ＷＬを決定してもよい。
【００２７】図６の計算例ではＺ＝０のとき、すなわち
ワイヤ１４がインゴット３２に接して切断が始まると同
時に、ワイヤ新線供給量設定値が切断面の弦の長さに比
例して増加してゆく。新線供給量設定値ＷＬは、インゴ
ット３２の中心を通る部分を切断しているとき（Ｚ＝Ｄ
Ｇ／２のとき）に最大値となり以後減少するが、切断面
の弦の長さが一定になる部分（Ｚ＝Ｚ3以降）は、一定
の値をとる。
ワイヤ１４がインゴット３２に接して切断が始まると同
時に、ワイヤ新線供給量設定値が切断面の弦の長さに比
例して増加してゆく。新線供給量設定値ＷＬは、インゴ
ット３２の中心を通る部分を切断しているとき（Ｚ＝Ｄ
Ｇ／２のとき）に最大値となり以後減少するが、切断面
の弦の長さが一定になる部分（Ｚ＝Ｚ3以降）は、一定
の値をとる。
【００２８】決定した新線供給量設定値ＷＬによって新
線を供給する手段は、求めた新線供給量設定値ＷＬを制
御計算した後に演算結果を各モータへ出力し、グルーブ
ローラ１８を駆動するとともに、モータ２２Ａ、２２Ｂ
を駆動し、ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂを回転させるこ
とにより達成される。前述した式（２）において、新線
供給量統括係数ｋｓ２の値を０．４〜０．７の間の値で
新線供給量設定値ＷＬを設定すると、切断精度がウェー
ハ切断面表面粗さ要求値を満足しない場合が多く発生す
る。そこでワイヤの新線供給量とウェーハ表面粗さにつ
いて調査したところ、新線供給量とウェーハ切断表面粗
さの好ましい範囲を明らかにすることができた。
線を供給する手段は、求めた新線供給量設定値ＷＬを制
御計算した後に演算結果を各モータへ出力し、グルーブ
ローラ１８を駆動するとともに、モータ２２Ａ、２２Ｂ
を駆動し、ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂを回転させるこ
とにより達成される。前述した式（２）において、新線
供給量統括係数ｋｓ２の値を０．４〜０．７の間の値で
新線供給量設定値ＷＬを設定すると、切断精度がウェー
ハ切断面表面粗さ要求値を満足しない場合が多く発生す
る。そこでワイヤの新線供給量とウェーハ表面粗さにつ
いて調査したところ、新線供給量とウェーハ切断表面粗
さの好ましい範囲を明らかにすることができた。
【００２９】それによると、新線供給量統括係数ｋｓ２
の値を０．７より大きい値にとって切断した場合には切
断精度が良好で、ウェーハ表面粗さが要求値を満たすこ
とが可能となることが判明した。次に、第２の発明の形
態ついて説明する。従来双方向サイクル数Ｃまたは双方
向周期ＴＣについては、切断位置Ｚと無関係に設定され
ていた。ところが、被加工物であるインゴットの直径が
大型化する近年においてはインゴット３２の直径に相当
する部分におけるワイヤの切断路長が長いため、図１０
に示すテーパ状に切断されることによるウェーハ３上に
発生するソーマーク４の影響を大きく受けてウェーハ表
面粗さが悪化する。そこで、図５からも明らかなとお
り、インゴット３２におけるワイヤ切断面の長さＬに従
って双方向サイクル数を大きくとるかまたは双方向周期
ＴＣの値を小さくとることにより、ワイヤの往復回数が
増え、図４に示すようにワイヤの往復間隔が狭くなるこ
とによりウェーハ３上に発生するソーマーク４の山の高
さが低くなる。
の値を０．７より大きい値にとって切断した場合には切
断精度が良好で、ウェーハ表面粗さが要求値を満たすこ
とが可能となることが判明した。次に、第２の発明の形
態ついて説明する。従来双方向サイクル数Ｃまたは双方
向周期ＴＣについては、切断位置Ｚと無関係に設定され
ていた。ところが、被加工物であるインゴットの直径が
大型化する近年においてはインゴット３２の直径に相当
する部分におけるワイヤの切断路長が長いため、図１０
に示すテーパ状に切断されることによるウェーハ３上に
発生するソーマーク４の影響を大きく受けてウェーハ表
面粗さが悪化する。そこで、図５からも明らかなとお
り、インゴット３２におけるワイヤ切断面の長さＬに従
って双方向サイクル数を大きくとるかまたは双方向周期
ＴＣの値を小さくとることにより、ワイヤの往復回数が
増え、図４に示すようにワイヤの往復間隔が狭くなるこ
とによりウェーハ３上に発生するソーマーク４の山の高
さが低くなる。
【００３０】次に、第３の発明による双方向サイクル数
Ｃおよび双方向周期ＴＣの求め方の実施例について下式
（４）、式（５）、式（６）にて説明する。 Ｌ ：切断面の弦の長さ （ｍ） ｋｃ１ ：双方向サイクル数係数 ｋｃ２ ：双方向周期係数 Ｃ ：双方向サイクル数 （回／ｍｉｎ） ＣS ：切断開始時の双方向サイクル数 （回／ｍｉｎ） ＴＣ ：双方向周期 （ｍｉｎ／回） ＴＣS ：切断開始時の双方向周期 （ｍｉｎ／回）
Ｃおよび双方向周期ＴＣの求め方の実施例について下式
（４）、式（５）、式（６）にて説明する。 Ｌ ：切断面の弦の長さ （ｍ） ｋｃ１ ：双方向サイクル数係数 ｋｃ２ ：双方向周期係数 Ｃ ：双方向サイクル数 （回／ｍｉｎ） ＣS ：切断開始時の双方向サイクル数 （回／ｍｉｎ） ＴＣ ：双方向周期 （ｍｉｎ／回） ＴＣS ：切断開始時の双方向周期 （ｍｉｎ／回）
【００３１】
【数４】 Ｃ ＝Ｌ×ｋｃ１＋Ｃｓ （回／ｍｉｎ）……（４）
【００３２】
【数５】 ＴＣ＝ＴＣS −ｋｃ２×Ｌ （ｍｉｎ／回）……（５） なお、前述した式（５）を用いる代わりに下記式（６）
に示すように、双方向周期ＴＣを双方向サイクル数Ｃの
逆数として計算する方法も考えられる。
に示すように、双方向周期ＴＣを双方向サイクル数Ｃの
逆数として計算する方法も考えられる。
【００３３】
【数６】 ＴＣ＝１／Ｃ （ｍｉｎ／回）……（６） 前述した式（３）および式（４）または前述した式
（３）および式（５）または前述した式（３）および式
（６）をワイヤソーの制御装置３６で演算し、任意の切
断位置Ｚにおける双方向サイクル数Ｃまたは双方向周期
ＴＣを決定する。
（３）および式（５）または前述した式（３）および式
（６）をワイヤソーの制御装置３６で演算し、任意の切
断位置Ｚにおける双方向サイクル数Ｃまたは双方向周期
ＴＣを決定する。
【００３４】図８には、前記の方法により求めた双方向
サイクル数Ｃの計算例を示す。図８の計算例ではＺ＝０
のとき、すなわちワイヤ１４がインゴット３２に接して
切断が始まると同時に、双方向サイクル数Ｃが切断面の
弦の長さＬに比例して増加してゆく。双方向サイクル数
Ｃは、インゴット３２の中心を通る部分を切断している
とき（Ｚ＝ＤＧ／２のとき）に最大値となり以後減少す
るが、切断面の弦の長さが一定になる部分（Ｚ＝Ｚ3以
降）は、一定の値をとる。
サイクル数Ｃの計算例を示す。図８の計算例ではＺ＝０
のとき、すなわちワイヤ１４がインゴット３２に接して
切断が始まると同時に、双方向サイクル数Ｃが切断面の
弦の長さＬに比例して増加してゆく。双方向サイクル数
Ｃは、インゴット３２の中心を通る部分を切断している
とき（Ｚ＝ＤＧ／２のとき）に最大値となり以後減少す
るが、切断面の弦の長さが一定になる部分（Ｚ＝Ｚ3以
降）は、一定の値をとる。
【００３５】図９には、前記の方法により求めた双方向
周期ＴＣの計算例を示す。図９の計算例ではＺ＝０のと
き、すなわちワイヤ１４がインゴット３２に接して切断
が始まると同時に、双方向周期ＴＣが切断面の弦の長さ
Ｌに比例して減少してゆく。双方向周期ＴＣは、インゴ
ット３２の中心を通る部分を切断しているとき（Ｚ＝Ｄ
Ｇ／２のとき）に最少値となり以後増加するが、切断面
の弦の長さが一定になる部分（Ｚ＝Ｚ3以降）は、一定
の値をとる。
周期ＴＣの計算例を示す。図９の計算例ではＺ＝０のと
き、すなわちワイヤ１４がインゴット３２に接して切断
が始まると同時に、双方向周期ＴＣが切断面の弦の長さ
Ｌに比例して減少してゆく。双方向周期ＴＣは、インゴ
ット３２の中心を通る部分を切断しているとき（Ｚ＝Ｄ
Ｇ／２のとき）に最少値となり以後増加するが、切断面
の弦の長さが一定になる部分（Ｚ＝Ｚ3以降）は、一定
の値をとる。
【００３６】決定した双方向サイクル数Ｃまたは双方向
周期ＴＣによってワイヤを往復させる手段は、求めた双
方向サイクル数Ｃまたは双方向周期ＴＣを制御計算した
後に演算結果を各モータへ出力し、グルーブローラ１８
を駆動するとともに、モータ２２Ａ、２２Ｂを駆動し、
ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂを回転させることにより達
成される。
周期ＴＣによってワイヤを往復させる手段は、求めた双
方向サイクル数Ｃまたは双方向周期ＴＣを制御計算した
後に演算結果を各モータへ出力し、グルーブローラ１８
を駆動するとともに、モータ２２Ａ、２２Ｂを駆動し、
ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂを回転させることにより達
成される。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーの切断方法によれば、ワイヤ新線供給量を適切に
制御し、新線供給量統括係数を所定の範囲に設定して切
断するように制御したので、ウェーハ切断面のうねりや
ウェーハ表面粗さを少なくすることができ、また、ワイ
ヤを有効に無駄なく利用でき、きわめて経済的な切断が
可能となる。
ヤソーの切断方法によれば、ワイヤ新線供給量を適切に
制御し、新線供給量統括係数を所定の範囲に設定して切
断するように制御したので、ウェーハ切断面のうねりや
ウェーハ表面粗さを少なくすることができ、また、ワイ
ヤを有効に無駄なく利用でき、きわめて経済的な切断が
可能となる。
【００３８】また、本発明によるワイヤソーの切断方法
によれば、切断時の双方向サイクル数または切断時の双
方向周期を適切に制御するようにしたのでウェーハ切断
面のソーマークによる表面粗さを少なくすることができ
る。
によれば、切断時の双方向サイクル数または切断時の双
方向周期を適切に制御するようにしたのでウェーハ切断
面のソーマークによる表面粗さを少なくすることができ
る。
【図１】本発明に係るワイヤソーの切断方法が適用され
たワイヤソーの全体構成図
たワイヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤの走行について説明する説明図
【図３】切断面の弦の長さを示す図
【図４】従来のインゴット切断時のウェーハ上に発生す
るソーマークを示す図
るソーマークを示す図
【図５】本発明によるインゴット切断時のウェーハ上に
発生するソーマークを示す図
発生するソーマークを示す図
【図６】切断量と新線供給量設定値の関係を示す図
【図７】ピッチＰおよびインゴット長さＧＬを説明する
図
図
【図８】切断量と双方向サイクル数の関係を示す図
【図９】切断量と双方向周期の関係を示す図
【図１０】インゴット切断時のテーパ形状を示す図
３…ウェーハ １０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ３６…制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA09 AA18 AB08 AC04 BA07 BA09 BB06 BB09 CA01 CB01 CB10 DA03 DA17 3C069 AA01 BA06 BC03 CA04 EA02
Claims (4)
- 【請求項１】 往復走行するワイヤを複数個の溝を有す
るグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイ
ヤ列に加工液を供給しながら被加工物であるインゴット
を押し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切
断する往復走行ワイヤソーにおいて、 切断面の弦の長さＬ、インゴット長さＧＬ、ワイヤの巻
き掛けピッチＰ、切断力係数ｆ１、新線供給量係数ｋｓ
１、双方向サイクル数Ｃ、新線供給量初期値ＷＬ0、と
する時、ワイヤ新線供給量設定値ＷＬ（ｍ／ｍｉｎ）は
下式、 により求められて制御されることを特徴とするワイヤソ
ーの切断方法。 - 【請求項２】前記請求項１のワイヤソーの切断方法にお
いて、 新線供給量統括係数ｋｓ２＝ｆ１×ｋｓ１×Ｃとし、ワ
イヤ新線供給量設定値ＷＬ（ｍ／ｍｉｎ）は下式、 で求められ、かつ、ｋｓ２≧０．７と設定したことを特
徴とするワイヤソーの切断方法。 - 【請求項３】 往復走行するワイヤを複数個の溝を有す
るグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイ
ヤ列に加工液を供給しながら被加工物であるインゴット
を押し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切
断する往復走行ワイヤソーにおいて、 切断面の長さＬ、双方向サイクル数係数ｋｃ１、切断開
始時の双方向サイクル数Ｃｓ、とする時、双方向サイク
ル数Ｃ（回／ｍｉｎ）は、下式、 Ｃ ＝Ｌ×ｋｃ１＋Ｃｓ で求められ、制御されることを特徴とするワイヤソーの
切断方法。 - 【請求項４】 往復走行するワイヤを複数個の溝を有す
るグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイ
ヤ列に加工液を供給しながら被加工物であるインゴット
を押し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切
断する往復走行ワイヤソーにおいて、 切断面の弦の長さＬ、切断開始時の双方向周期ＴＣｓ、
双方向周期係数ｋｃ２、とする時、双方向周期ＴＣ（ｍ
ｉｎ／回）は、下式、 ＴＣ＝ＴＣS −ｋｃ２×Ｌ で求められ、制御されることを特徴とするワイヤソーの
切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31901898A JP2000141201A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | ワイヤソーの切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31901898A JP2000141201A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | ワイヤソーの切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000141201A true JP2000141201A (ja) | 2000-05-23 |
Family
ID=18105596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31901898A Pending JP2000141201A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | ワイヤソーの切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000141201A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007276048A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | ワイヤによるワークの切断方法 |
| JP2009184023A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Noritake Super Abrasive Co Ltd | ワイヤソーによるワーク切断方法及びワイヤソー切断装置 |
| JP2009202319A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
| CN102700015A (zh) * | 2012-06-20 | 2012-10-03 | 天津职业技术师范大学 | 用于多线切割机的等体积切割速度计算方法 |
| CN102856439A (zh) * | 2012-09-24 | 2013-01-02 | 天津英利新能源有限公司 | 应用于全玻太阳能电池板的剥离方法及其剥离机 |
| WO2015029323A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 信越半導体株式会社 | インゴットの切断方法及びワイヤソー |
| CN107379294A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-11-24 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 金刚线重复利用切割硅片的方法 |
| CN108501232A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-09-07 | 扬州续笙新能源科技有限公司 | 一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法 |
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-
1998
- 1998-11-10 JP JP31901898A patent/JP2000141201A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20160048787A (ko) * | 2013-08-28 | 2016-05-04 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 잉곳의 절단방법 및 와이어 쏘 |
| TWI595992B (zh) * | 2013-08-28 | 2017-08-21 | Shin-Etsu Handotai Co Ltd | Crystal rod cutting method and wire saw |
| US9776340B2 (en) | 2013-08-28 | 2017-10-03 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing ingot and wire saw |
| KR102103330B1 (ko) * | 2013-08-28 | 2020-04-22 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 잉곳의 절단방법 및 와이어 쏘 |
| CN107379294A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-11-24 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 金刚线重复利用切割硅片的方法 |
| CN108501232A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-09-07 | 扬州续笙新能源科技有限公司 | 一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法 |
| CN108858842A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-11-23 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 硅片线切割方法 |
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