JP2015044268A - インゴットの切断方法及びワイヤソー - Google Patents
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Abstract
Description
ワイヤソーは、ワイヤ(高張力鋼線)を高速走行させて、ここにスラリを掛けながら、ワーク(例えばシリコンインゴットが挙げられる。以下、単にインゴットと言うこともある。)を押し当てて切断し、多数のウェーハを同時に切り出す装置である(特許文献1参照)。
図4に示すように、ワイヤソー101は、主に、インゴットを切断するためのワイヤ102、ワイヤ102を巻回したワイヤガイド103、ワイヤ102に張力を付与するための張力付与機構104、切断されるインゴットを送り出すインゴット送り手段105、切断時に、SiC微粉等の砥粒をクーラントに分散して混合したスラリを供給するためのノズル106等で構成されている。
一般的に、インゴットの切断開始部分でのワイヤ新線供給量と切断終了部分でのワイヤ新線供給量は、中央部分切断時でのワイヤ新線供給量よりも小さい値になっている。なお、例えば直径300mmのインゴットの場合、インゴットの切断開始部分とは、インゴットの外周端にワイヤが最初に接触する部分から15mmの部分とし、またインゴット中央部分とは、外周端から150mmの部分に相当する。
これはワイヤを交換した後の1本目のインゴットの切断で最初に使われる部分のワイヤの線径と、インゴット2本目以降の切断で最初に使われる部分のワイヤの線径が異なることに起因する。
ワイヤを交換した後の1本目のインゴットを切断する前に、ワイヤを摩耗させるための予備切断を行えば、上記の問題は解消されることになるが、それでは、無駄な切断を行うことになり、装置生産性の観点でデメリットとなり実施が難しい。以上のような理由により、ワイヤを交換した後の1本目のインゴットと2本目以降のインゴットの切断とで、厚さムラに差が出て、厚さムラのばらつきが大きくなることが問題となっている。
上述したように、ワイヤ交換後1本目のインゴットから切り出されたウェーハと2本目以降のインゴットから切り出されたウェーハの間で、特に切断開始部分でのワイヤの線径の違いから厚さムラの差が大きくなる。切断ロット間(1本目の切断と、2本目以降の切断)で、厚さムラのバラツキがあると、厚さムラを取り除くのに必要なラップ工程等の後工程での必要取り代もロット毎に異なり、加工条件を揃えられない点でデメリットがあった。そこで、本発明者は、ワイヤを交換した後の1本目のインゴットの切断開始部分において、ワイヤ新線供給量を小さくし、切断中にワイヤをより摩耗させて線径を細くすることで、切断ロット間の厚さムラのバラツキを抑制できることに想到し、本発明を完成させた。
図1に示すように、本発明のワイヤソー1は、主に、インゴットWを切断するためのワイヤ2、ワイヤガイド3、ワイヤ2に張力を付与するためのワイヤ張力付与機構4、4’、インゴットWを保持しつつ相対的に押し下げるインゴット送り手段5、切断時にワイヤ2に加工液を供給するためのノズル6等で構成されている。
ここで、インゴットWの切断中に使用する加工液の種類は特に限定されず、従来と同様のものを用いることができ、例えば炭化珪素砥粒やダイヤモンド砥粒をクーラントに分散させたものとすることができる。クーラントとしては、例えば水溶性又は油性のクーラントを用いることができる。
まず初めに、ワイヤソー1において、切断に使用していない新品の状態のワイヤ2にワイヤを交換する。そして、ワイヤ2を交換した後に1本目に切断するインゴットWを準備する。次に、インゴット送り手段5によりインゴットWを保持する。そして、ワイヤ2に張力付与機構4、4’によって張力を付与しながら、駆動用モータ8によって軸方向へ往復走行させる。
このとき、この1本目のインゴットWの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率が、2本目以降のインゴットWを切断する際の上記比率の1/2以下となるように制御する。それぞれのワイヤ新線供給量(例えば1本目又は2本目以降のインゴットの切断開始部分又は中央部分の切断時におけるワイヤ新線供給量)は、適宜切断条件(例えば切断するインゴットの材質や直径等)によって設定することができる。
上記のように、新品に交換した後のワイヤ2で複数のインゴットWを順番に、繰り返しウェーハ状に切断していく。
図1に示すような、本発明のワイヤソーにおいて、ワイヤを新品の状態のワイヤに交換してから、複数のインゴットの切断を本発明の切断方法に従って繰り返し行った。
各インゴットから切り出されたウェーハの厚さムラを測定し、各インゴットから切り出されたウェーハ毎の厚さムラの平均を算出した。尚、厚さムラとは前述したようにウェーハ面内の切断開始部分の厚さと中央部分の厚さの差である。
実施例1では、ワイヤを交換した後の1本目のインゴットを切断する際の、インゴットの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率は10%とした。そして、2本目以降のインゴットを切断する際の、インゴットの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率は26%とした。つまり、1本目のインゴットを切断する際の上記比率は、2本目以降のインゴットを切断する際の上記比率の10/26となるように制御した。
その結果を図3、表1に示す。図3のグラフの縦軸は厚さムラ、横軸はインゴットの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率を表している。表1に示すように、1本目のインゴットから切り出されたウェーハの厚さムラの平均は0.8μmとなった。そして、2本目以降のインゴットから切り出されたウェーハの厚さムラの平均は0.5μmとなった。従って、厚さムラの差は0.3μmであり、後述する比較例と比べて非常に厚さムラのバラツキが小さくなることが確認された。
ワイヤを交換した後の1本目のインゴットを切断する際の上記比率を33%、2本目以降のインゴットを切断する際の上記比率を66%としたこと以外、実施例1と同様な条件で、インゴットの切断を繰り返し行った。すなわち、1本目のインゴットを切断する際の上記比率は、2本目以降のインゴットを切断する際の上記比率の1/2であった。
インゴットの切断が終了した後、実施例1と同様な方法で厚さムラを測定し平均を算出した。
その結果、図3、表1に示すように、1本目のインゴットから切り出されたウェーハの厚さムラの平均は4.0μmとなった。そして、2本目以降のインゴットから切り出されたウェーハの厚さムラの平均は4.5μmとなった。従って、厚さムラの差は0.5μmとなり実施例1と同様に、非常に厚さムラのバラツキが小さくなることが確認された。
ワイヤを交換した後の1本目のインゴットを切断する際と2本目以降のインゴットを切断する際の上記比率を同じ値としたこと以外、実施例2と同様な条件で、インゴットの切断を繰り返し行った。まず、ワイヤを交換した後の1本目のインゴットを切断する際と2本目以降のインゴットを切断する際の上記比率を66%とした。
インゴットの切断が終了した後、実施例1と同様な方法で厚さムラを測定し平均を算出した。
その結果、図3、表1に示すように、1本目のインゴットと2本目以降のインゴットから切り出されたウェーハの厚さムラの差は2.6μmとなり、実施例1、2に比べて厚さムラのバラツキが大きくなったことが確認された。
また、上記比率を33%、26%、10%として同様に切断を繰り返した結果、厚さムラの差はそれぞれ、2.4μm、2.2μm、3.2μmとなり、実施例1、2に比べて厚さムラのバラツキが大きくなったことが確認された。
4、4’…張力付与機構、 5…インゴット送り手段、 6…ノズル、
7、7’…ワイヤリール、 8…駆動用モータ、 9…制御手段、
10…インゴット送りテーブル、 11…LMガイド、 12…インゴットクランプ、
13…スライスあて板、 14…トラバーサ、 15…定トルクモータ、
16、16’…ワイヤリール用駆動モータ、17…ワイヤ列。
Claims (2)
- 複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤでワイヤ列を形成し、インゴットと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給しながら、前記ワイヤ列に前記インゴットを押し当てることで、前記インゴットをウェーハ状に切断するインゴットの切断方法であって、
前記ワイヤを交換した後の1本目の前記インゴットを切断する際の、前記インゴットの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率が、前記ワイヤを交換した後の2本目以降の前記インゴットを切断する際の前記比率の1/2以下となるように制御することを特徴とするインゴットの切断方法。 - 複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤによって形成されるワイヤ列と、インゴットを保持しながら前記ワイヤ列に前記インゴットを押し当てるインゴット送り手段と、前記インゴットと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給するノズルを具備し、前記ノズルから前記インゴットと前記ワイヤとの接触部に前記加工液を供給しながら、前記インゴット送り手段により前記インゴットを前記ワイヤ列に押し当てることでウェーハ状に切断するワイヤソーであって、
前記ワイヤを交換した後の1本目の前記インゴットを切断する際の、前記インゴットの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率が、前記ワイヤを交換した後の2本目以降の前記インゴットを切断する際の前記比率の1/2以下となるように制御する制御手段を具備することを特徴とするワイヤソー。
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