CN102172993B - 一种分线网切割硅棒的方法 - Google Patents

一种分线网切割硅棒的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102172993B
CN102172993B CN201110026292.2A CN201110026292A CN102172993B CN 102172993 B CN102172993 B CN 102172993B CN 201110026292 A CN201110026292 A CN 201110026292A CN 102172993 B CN102172993 B CN 102172993B
Authority
CN
China
Prior art keywords
cutting
silicon rod
silicon bar
guide wheel
gauze
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201110026292.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102172993A (zh
Inventor
吴春林
沈忠良
陈志强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong Dengyun Intelligent Technology Co Ltd
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201110026292.2A priority Critical patent/CN102172993B/zh
Publication of CN102172993A publication Critical patent/CN102172993A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102172993B publication Critical patent/CN102172993B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

本发明涉及一种硅棒切割方法,特别公开了一种分线网切割硅棒的方法。该分线网切割硅棒的方法,其特征在于:包括如下步骤:把胶带绕在导轮上,将切线固定在胶带上;在控制系统中,将张力设定为5-15N,进入绕线模式;把硅棒插入工作机台槽中锁紧,将硅棒下降到紧贴线网的位置,再将工件提升2mm到起始切割位置;切割前检验然后开始切割;切割完成后,提升工作台,当硅棒提离线网150mm处,取出工件即得。因此,本发明的有益效果是:能有效地避免斜面问题,可直接在硅棒切割时将两端多余的部分切除,在产能允许的情况下,可直接实现多晶去头、尾;降低了硅棒端面损失和断线损失,提高了产品合格率;降低了生产成本。

Description

一种分线网切割硅棒的方法
(一)技术领域
本发明涉及一种硅棒切割方法,特别涉及一种分线网切割硅棒的方法。
(二)背景技术
目前大部分硅棒生产厂家在多晶去头、尾的工艺上都使用带锯截断或内圆截断,不管是带锯截断还是内圆截断,在晶棒的2个端面都会有斜面产生,带锯截断一般会产生2-3mm的斜面,内圆截断也会产生0.5-1mm的斜面,因为目前硅棒厚度平均在0.18mm,而1mm的硅棒长度就是3pcs硅棒,不光是在硅棒损失上,在硅棒切割过程中有些斜面会导致钢在斜面上打滑、刮擦等现象,从而导致断线,影响正常生产。
(三)发明内容
本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种避免产生斜面、提高产品合格率的分线网切割硅棒的方法。
本发明是通过如下技术方案实现的:
一种分线网切割硅棒的方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)用胶带一根,绕在线切机的导轮上,强力胶面要向外,拴紧,将切线固定在胶带上;
(2)在控制系统中,将张力设定为5-15N;
(3)在控制系统中,进入绕线模式;
(4)选择长度为750mm-780mm的硅棒,硅棒至少要粘胶12h后才能使用,用电动升降车将硅棒安装到工作机台上插入槽中锁紧,将硅棒下降到紧贴线网的位置,再将工件提升2mm到起始切割位置;
(5)切割前检验切割设备,然后开始切割;
(6)切割完成后,提升工作台,提升速度不超过10mm/min,当硅棒提离线网150mm处,取出工件即得。
步骤(3)中绕线模式包括如下步骤:
a.调节切割线运行速度,将第一根切线固定在胶带上,绕几圈后,用刀片固定绕线方向,在离机器导轮1厘米处或到切线入口处,贴上胶布,把线头包紧,放入槽内;
b.把第2根线放入第一槽左导轮,把绕在导轮上的线按顺序对好拨到槽内;
c.分线网切割导轮前留出3-4mm的切割距离,当导轮上排好30-50mm宽的线网后,把胶带取下;
d.把线头和靠近它的线网粘在一起,绕线模式进行线网编织即可,导轮尾部作分线网切割留出3-4mm的切割距离。
因此,本发明的有益效果是:硅棒生产在多晶硅去头、尾的工艺上由以前的使用带锯截断和内圆截断改为使用分线网切割方法,可有效地避免斜面问题,可直接在硅棒切割时将两端多余的部分切除,在产能允许的情况下,可直接实现多晶去头、尾;降低了硅棒端面损失和断线损失,提高了产品合格率;降低了生产成本。
(四)具体实施方式
该分线网切割硅棒的方法,采用如下步骤:
(1)用胶带一根,绕在线切机的导轮上,强力胶面要向外,拴紧,不能松动,胶带如果紧贴在导轮上,会影响线网,将切线固定在胶带上;
(2)在控制系统中,将张力设定为5-15N;
(3)在控制系统中,进入绕线模式,绕线模式采用如下步骤:
a.启动右绕线轮,再启动驱动器,通过手柄调节运行速度,使切割线速度按1%的比率增降;将第一根切线固定在胶带上,绕几圈后,用刀片固定绕线方向,离机器导轮1厘米处(或到切线入口处,滑轮矫正好后)贴上胶布,把线头包紧,放入槽内;
b.把第2根线放入第一槽左导轮,把绕在导轮上的线按顺序对好拨到槽内;
c.分线网切割导轮前留出3-4mm的切割距离,当导轮上排好30-50mm宽的线网后,把胶带取下;
d.把线头和靠近它的线网粘在一起,绕线模式进行线网编织即可,导轮尾部作分线网切割也需留出3-4mm的切割距离;
(4)选择长度为750mm-780mm的硅棒,注意硅棒至少要粘胶12h后才能使用,用电动升降车将硅棒安装到工作机台上,保证硅棒的粘胶合适,即保证切割时硅棒不会脱落;将硅棒插入槽中,当它到达底部时,启动工件夹持,将工件锁紧,硅棒及工件槽都要非常干净,否则会污染浆料,启动手动模式,将硅棒下降到紧贴线网的位置,再将工件自动提升2mm到起始切割位置;
(5)检查收放线轮上的线是否符合下一刀的切割要求:放线轮上至少要有327km的钢线,收线轮上废线不能超过450km;如线轮上的线都不符合要求,则要进行更换,准备好工具,活动扳手、烙铁、焊锡等必须用品;用手动形式走线,观察砂帘是否有断帘,如有则清洗砂嘴;关闭所有门后按双向走线形式热机,至少需要5分钟。停机后打开门锁,打开侧门及挡板,检查是否有跳线,如有应及时处理,处理完后再次进行热机直到不再出现跳线为止;检查水、气压力、砂浆及控制各参数准确,关闭双向走线,再检查走线方向是否正确,激活断线检测装置;按自动模式开始切割;
(6)切割完成后,提升工件台。注意在提升时,开始时工件台上升速度不能超过10mm/min,而且要保证工件台上升时钢线不被带起,否则会断线或者影响片子的质量。当硅棒提离线网后,提升至150mm处,松开工件夹,取出工件,在把硅棒拉出时要注意:不能晃动太大,第二根硅棒拉出时不能和第一根发生碰撞。
切片机多晶切割管控表

Claims (1)

1.一种分线网切割硅棒的方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)用胶带一根,绕在线切机的导轮上,强力胶面要向外,拴紧,将切线固定在胶带上;
(2)在控制系统中,将张力设定为5-15N;
(3)在控制系统中,进入绕线模式,绕线模式包括如下步骤:
a.调节切线运行速度,将第一根切线固定在胶带上,绕几圈后,用刀片固定绕线方向,在离导轮1厘米处或到第一根切线入口处,贴上胶布,把第一根切线线头包紧,放入相应的槽内;
b.把第二根切线放入导轮,把绕在导轮上的切线按顺序对好,拨到相应的槽内;
c.导轮前部留出3-4mm的切割距离,当导轮上排好30-50mm宽的线网后,把胶带取下;
d.把线头和靠近它的线网粘在一起,绕线模式进行线网编织即可,导轮尾部留出3-4mm的切割距离;
(4)选择长度为750mm-780mm的硅棒,硅棒至少要粘胶12h后才能使用,用电动升降车将硅棒安装到工作机台上,保证硅棒的粘胶合适,即保证切割时硅棒不会脱落;将硅棒插入工件槽中,当它到达底部时,启动硅棒夹持,将硅棒锁紧,硅棒及工件槽都要非常干净,否则会污染浆料;启动手动模式,将硅棒下降到紧贴线网的位置,再将硅棒自动提升2mm到起始切割位置; 
(5)切割前检验切割设备;检查收放线轮上的切线是否符合下一刀的切割要求:放线轮上至少要有327km的钢线,收线轮上的废线不能超过450km;如果线轮上的切线都不符合要求,则要进行更换;用手动形式走线,观察砂帘是否有断帘,如有则清洗砂嘴;关闭所有门后,按双向走线形式热机,至少需要5分钟;停机后打开门锁,打开侧门及挡板,检查是否有跳线,如有应及时处理,处理完后再次进行热机,直到不再出现跳线为止;检查水、气压力、砂浆及控制各参数准确;关闭双向走线,再检查走线方向是否正确,激活断线检测装置;按自动模式开始切割; 
(6)切割完成后,提升工作台,提升速度不超过10mm/min,而且要保证工件台上升时钢线不被带起,否则会断线或者影响片子的质量;当硅棒提离线网150mm处,取出工件即得;在把硅棒拉出时要注意:不能晃动太大,第二根硅棒拉出时不能和第一根发生碰撞。
CN201110026292.2A 2011-01-25 2011-01-25 一种分线网切割硅棒的方法 Expired - Fee Related CN102172993B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110026292.2A CN102172993B (zh) 2011-01-25 2011-01-25 一种分线网切割硅棒的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110026292.2A CN102172993B (zh) 2011-01-25 2011-01-25 一种分线网切割硅棒的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102172993A CN102172993A (zh) 2011-09-07
CN102172993B true CN102172993B (zh) 2014-12-03

Family

ID=44516334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110026292.2A Expired - Fee Related CN102172993B (zh) 2011-01-25 2011-01-25 一种分线网切割硅棒的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102172993B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102371632A (zh) * 2011-11-22 2012-03-14 江苏金晖光伏有限公司 多晶硅的切片方法
JP6015598B2 (ja) * 2013-08-28 2016-10-26 信越半導体株式会社 インゴットの切断方法及びワイヤソー
CN104827593A (zh) * 2015-04-03 2015-08-12 无锡荣能半导体材料有限公司 多晶硅棒的断线处理方法
CN109664425A (zh) * 2019-02-01 2019-04-23 江苏吉星新材料有限公司 一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101391463A (zh) * 2008-10-14 2009-03-25 浙江华友电子有限公司 一种多线切割机
CN101628452A (zh) * 2009-07-31 2010-01-20 宁波升日太阳能电源有限公司 一种硅片切割方法
CN101913210A (zh) * 2010-08-19 2010-12-15 英利能源(中国)有限公司 多晶硅破锭方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101579895A (zh) * 2009-06-30 2009-11-18 镇江环太硅科技有限公司 晶片切片机导轮及晶片切割方法
CN201587046U (zh) * 2010-02-01 2010-09-22 晶科能源有限公司 一种采用导向条的硅片切割装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101391463A (zh) * 2008-10-14 2009-03-25 浙江华友电子有限公司 一种多线切割机
CN101628452A (zh) * 2009-07-31 2010-01-20 宁波升日太阳能电源有限公司 一种硅片切割方法
CN101913210A (zh) * 2010-08-19 2010-12-15 英利能源(中国)有限公司 多晶硅破锭方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102172993A (zh) 2011-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102172993B (zh) 一种分线网切割硅棒的方法
KR20100098623A (ko) 와이어 쏘에 의한 워크의 절단 방법 및 와이어 쏘
CN102756433B (zh) 硅片线切割断线抢救方法
CN104476686B (zh) 一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法
CN203787870U (zh) 一种多层线缆剥离装置
CN111923261A (zh) 金刚线切割晶棒的控制方法和控制系统
CN111483067A (zh) 一种金刚线反向切割工艺
CN104827593A (zh) 多晶硅棒的断线处理方法
CN105322414A (zh) 一种剥线装置
CN203765819U (zh) 用于多线切割机晶托的拆卸装置
CN203714981U (zh) 一种电线预存储装置
CN205657306U (zh) 一种剥线装置
CN101249697B (zh) 新型防崩边防缺角硅晶棒切片机用夹具
CN204640570U (zh) 一种金刚线切片机
JP5957149B2 (ja) 絶縁電線絶縁層のリングカッター及び絶縁層切断方法
CN202888598U (zh) 一种新型剥线装置
CN201970408U (zh) 一种晶体硅块切割夹具
CN105365062A (zh) 一种开方机截断去头尾的方法
CN103526289A (zh) 一种带工艺保护端的子锭硅棒及其制作方法
KR101897082B1 (ko) 잉곳 절단 장치 및 잉곳 절단 방법
CN203765817U (zh) 一种多线切割机导轮
CN207691333U (zh) 一种裁剪剥线装置
CN101552423B (zh) 一种电话线或电线加工方法及实施该方法的刀片
CN213845027U (zh) 一种线圈包胶纸机
CN103465297A (zh) 一种激光打印机胶辊切齐脱胶装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: ZHANG ZHIWEI

Free format text: FORMER OWNER: SHANDONG SHUNYI NEW ENERGY CO., LTD.

Effective date: 20141015

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 274300 HEZE, SHANDONG PROVINCE TO: 250000 JINAN, SHANDONG PROVINCE

TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20141015

Address after: 250000 No. 20, Shandong Road, thousand Buddha, Lixia District, Ji'nan, Shandong

Applicant after: Zhang Zhiwei

Address before: 274300 Shanxian County economic and Technological Development Zone, Shandong, Heze

Applicant before: Shandong Shunyi New Energy Co., Ltd.

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20161026

Address after: 250014 Shandong Province, Lixia District of Ji'nan City mountain road Huaqiang Plaza No. 157 building 2505 B

Patentee after: Shandong Dengyun Intelligent Technology Co., Ltd.

Address before: 250000 No. 20, Shandong Road, thousand Buddha, Lixia District, Ji'nan, Shandong

Patentee before: Zhang Zhiwei

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20141203

Termination date: 20180125