CN203765819U - 用于多线切割机晶托的拆卸装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种在拆卸晶托时能够有效避免晶托滑落的用于多线切割机晶托的拆卸装置。该拆卸装置，包括可移动式支架、支撑杆，所述支撑杆一端固定在可移动式支架上，另一端悬空，在晶托上设置有与支撑杆相匹配的通孔，所述通孔的开孔方向与晶托上粘接的硅棒同向，所述支撑杆能够伸入通孔内。在拆卸晶托时，只需将支撑杆伸入设置在晶托上的通孔内，然后将晶托拉出，整个晶托的重量靠支撑杆来承受，由于支撑杆能够承载较重的物体而不发生变形折断，因此，能够有效避免晶托滑落的情况发生，避免对晶托以及切割好的硅片造成损伤，造成不必要的损失。适合在多线切割机配件领域推广应用。

Description

用于多线切割机晶托的拆卸装置

技术领域

本实用新型涉及多线切割机配件领域，尤其是一种用于多线切割机晶托的拆卸装置。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割磨料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点，是目前采用最广泛的硅片切割技术。

多线切割机在切割完成后，卸载晶托时一般采用两种方式，一种采用手动的方式、即手动从切割机中将晶托拉出，但是由于晶托较重，这样很容易发生晶托滑落的问题，为了防止晶托滑轮，通常操作人员都是在拉出晶托时用手拖住硅片的下面，但是，由于硅片是一片一片的，用手托硅片时很容易使硅片掉落，，第二种方式是采用一个U形槽，U形槽固定在一个支架上，在卸载晶托时，将U形槽伸入使晶棒位于U形槽内，并在U形槽的侧壁顶端设置一个内凹的弯边，在晶托的下表面设有与内凹的弯边相匹配的凸起，U形槽伸入后，弯边与凸起相匹配，这种方式避免了人工接触硅片，但是整个晶托的重量全部靠U形槽侧壁顶端的弯边承受，弯边容易变形，一旦弯边变形就很容易导致晶托滑落，而且，现有的U形槽宽度为160mm，而晶棒的宽度一般为156mm，这样晶棒与U形槽内壁的间距较小，在将U形槽伸入时，很容易刮到硅片，对硅片造成损伤，造成不必要的损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种在拆卸晶托时能够有效避免晶托滑落的用于多线切割机晶托的拆卸装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该用于多线切割机晶托的拆卸装置，包括可移动式支架、支撑杆，所述支撑杆一端固定在可移动式支架上，另一端悬空，在晶托上设置有与支撑杆相匹配的通孔，所述通孔的开孔方向与晶托上粘接的硅棒同向，所述支撑杆能够伸入通孔内。

进一步的是，所述通孔、支撑杆的截面形状均为圆形。

进一步的是，所述可移动式支架上设置有U形槽，所述U形槽一端固定在可移动式支架上，另一端悬空，所述晶托上粘接的硅棒能够放入U形槽内。

进一步的是，所述U形槽的宽度为180mm～220mm。

进一步的是，所述可移动式支架上设置有牵引电机，所述牵引电机上连接有牵引绳。

进一步的是，所述牵引绳的端头设置有挂钩。

进一步的是，所述可移动式支架上设置有把手。

进一步的是，所述把手上设置有防滑纹。

本实用新型的有益效果是：该用于多线切割机晶托的拆卸装置通过设置悬空的支撑杆，并在晶托上设置有与支撑杆相匹配的通孔，在拆卸晶托时，只需将支撑杆伸入设置在晶托上的通孔内，然后将晶托拉出，整个晶托的重量靠支撑杆来承受，由于支撑杆能够承载较重的物体而不发生变形折断，因此，能够有效避免晶托滑落的情况发生，避免对晶托以及切割好的硅片造成损伤，避免造成不必要的损失。

附图说明

图1是本实用新型用于多线切割机晶托的拆卸装置的结构示意图；

图中标记为：可移动式支架1、支撑杆2、晶托3、通孔4、U形槽5、硅棒6、牵引电机7、牵引绳8、挂钩9、把手10。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1所示，该用于多线切割机晶托的拆卸装置，包括可移动式支架1、支撑杆2，所述支撑杆2一端固定在可移动式支架1上，另一端悬空，在晶托3上设置有与支撑杆2相匹配的通孔4，所述通孔4的开孔方向与晶托3上粘接的硅棒6同向，所述支撑杆2能够伸入通孔4内。该用于多线切割机晶托3的拆卸装置通过设置悬空的支撑杆2，并在晶托3上设置有与支撑杆2相匹配的通孔4，在拆卸晶托3时，只需将支撑杆2伸入设置在晶托3上的通孔4内，然后将晶托3拉出，整个晶托3的重量靠支撑杆2来承受，由于支撑杆2能够承载较重的物体而不发生变形折断，因此，能够有效避免晶托3滑落的情况发生，避免对晶托3以及切割好的硅片造成损伤，避免造成不必要的损失。

由于圆形截面的支撑杆2承重能力更好，可以承载更重的物体，因此，所述通孔4、支撑杆2的截面形状均设置为圆形，同时圆形截面的支撑杆2也便于伸入通孔4内，另外也便于使晶托3沿支撑杆2滑动。

为了防止在拆卸晶托3时硅片落入多线切割机内造成不必要的麻烦，所述可移动式支架1上设置有U形槽5，，所述U形槽5一端固定在可移动式支架1上，另一端悬空，所述晶托3上粘接的硅棒6能够放入U形槽5内，通过设置U形槽5，即使发生硅片掉落的现象，硅片也只会落入U形槽5内，不会落入多线切割机内。

为了避免U形槽5在伸入的过程中刮到硅片，所述U形槽5的宽度为180mm～220mm，增加了硅片与U形槽5之间的间距，避免了上述情况的发生。

为了方便将晶托3从多线切割机内拉出，所述可移动式支架1上设置有牵引电机7，所述牵引电机7上连接有牵引绳8，在拉出晶托3时，只需将牵引绳8的端头固定在晶托3上，启动牵引电机7即可自动将晶托3拉出来，省时又省力。为了方便将牵引绳8的端头与晶托3固定在一起，所述牵引绳8的端头设置有挂钩9，在固定时，直接将挂钩9勾在晶托3的把手10上即可。

为了便于移动可移动式支架1，所述可移动式支架1上设置有把手10。为了防止工人在移动可移动式支架1式手打滑，所述把手10上设置有防滑纹。

Claims (6)

1.用于多线切割机晶托的拆卸装置，其特征在于：包括可移动式支架(1)、支撑杆(2)，所述支撑杆(2)一端固定在可移动式支架(1)上，另一端悬空，在晶托(3)上设置有与支撑杆(2)相匹配的通孔(4)，所述通孔(4)的开孔方向与晶托(3)上粘接的硅棒(6)同向，所述支撑杆(2)能够伸入通孔(4)内，所述通孔(4)、支撑杆(2)的截面形状均为圆形，所述可移动式支架(1)上设置有U形槽(5)，所述U形槽(5)一端固定在可移动式支架(1)上，另一端悬空，所述晶托(3)上粘接的硅棒(6)能够放入U形槽(5)内。 

2.如权利要求1所述的用于多线切割机晶托的拆卸装置，其特征在于：所述U形槽(5)的宽度为180mm～220mm。 

3.如权利要求2所述的用于多线切割机晶托的拆卸装置，其特征在于：所述可移动式支架(1)上设置有牵引电机(7)，所述牵引电机(7)上连接有牵引绳(8)。 

4.如权利要求3所述的用于多线切割机晶托的拆卸装置，其特征在于：所述牵引绳(8)的端头设置有挂钩(9)。 

5.如权利要求4所述的用于多线切割机晶托的拆卸装置，其特征在于：所述可移动式支架(1)上设置有把手(10)。 

6.如权利要求5所述的用于多线切割机晶托的拆卸装置，其特征在于：所述把手(10)上设置有防滑纹。