CN106891449A - 单晶硅片生产车间用下料装置 - Google Patents

单晶硅片生产车间用下料装置 Download PDF

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孙明祥
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    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

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Abstract

本发明公开了一种单晶硅片生产车间用下料装置,包括机架和安装在所述机架底部的滚轮,所述机架上设有可上下移动的升降架和驱动所述升降架上下移动的驱动机构,所述升降架上设有用于与粘棒工装相配合连接的臂架;所述机架底部固定有始终处于所述臂架下方的砂浆收集盒,所述砂浆收集盒具有朝上开设的敞口。本发明中的结构合理,使用该下料装置在转移切割好的硅晶片时能够避免砂浆落在地面上而影响车间环境,并且将粘棒工装从切片机中卸下时也比较方便。

Description

单晶硅片生产车间用下料装置
技术领域
本发明涉及一种单晶硅片生产车间用设备,具体涉及一种单晶硅片生产车间用下料装置。
背景技术
硅晶片的生产流程是先在铸锭炉中铸锭形成晶锭,再将晶锭在开方机上开方形成晶棒,然后将晶棒粘接在粘棒工装上,最后将载有晶棒的粘棒工装装于切片机上进行切片制成硅晶片,最后经过脱胶、清洗、烘干后得到硅晶片成品,切片机是利用钢线的高速运动带动砂浆中的碳化硅粒子与晶棒进行研磨,并通过砂浆把研磨中产生的热量和研磨产生的杂质带走,实现晶硅片的切割,当在切片机上完成晶棒的切片后一般要采用下料装置将装载有硅晶片的粘棒工装从切片机上卸下,并在转移至脱胶工位进行脱胶处理。现有技术中在利用下料装置转移时,由于此时粘棒工装及硅晶片上还粘附有大量的砂浆,在转移过程中大量砂浆会滴在地面上而导致车间环境变差。
发明内容
对此,本发明旨在提供一种结构合理的下料装置,使用该下料装置在转移切割好的硅晶片时能够避免砂浆落在地面上而影响车间环境。
实现本发明目的的技术方案是:
一种单晶硅片生产车间用下料装置,包括机架和安装在所述机架底部的滚轮,所述机架上设有可上下移动的升降架和驱动所述升降架上下移动的驱动机构,所述升降架上设有用于与粘棒工装相配合连接的臂架;所述机架底部固定有始终处于所述臂架下方的砂浆收集盒,所述砂浆收集盒具有朝上开设的敞口。
上述技术方案中,所述砂浆收集盒的数量为两个,分别为第一砂浆收集盒和第二砂浆收集盒,所述第一砂浆收集盒固定在所述机架上,所述第二砂浆收集盒的一端与所述第一砂浆收集盒的一端铰接,以使所述第二砂浆收集盒绕铰接处向上转动180度后与所述第一砂浆收集盒相叠合。
上述技术方案中,所述臂架包括沿水平方向固定在所述升降架上的滑轨,所述滑轨的截面形状为与所述粘棒工装上的滑槽截面形状相匹配的倒T形,所述升降架上靠近所述滑轨根部的位置设置有牵引轮,所述牵引轮上固定有牵引绳,所述牵引绳的自由端连接有适于与所述粘棒工装连接的挂钩,所述牵引轮侧部固定有用于转动牵引轮的手摇把手。
上述技术方案中,所述砂浆收集盒内设有吸水材料层。
上述技术方案中,所述吸水材料层为海绵或布。
本发明具有积极的效果:(1)本发明中的单晶硅片生产车间用下料装置将粘棒工装从切片机上卸下时,将粘棒工装定位在臂架上然后进行转移,在转移过程中由于砂浆收集盒处于臂架下方,因此由粘棒工装和单晶硅片上落下的砂浆由敞口进入到砂浆收集盒内,从而避免砂浆掉落在车间地面上而影响车间环境。(2)本发明中,在不使用的情况下,可将第二砂浆收集盒向内上转动180度后与所述第一砂浆收集盒相叠合,从而减少占地空间。(3)本发明中,将粘棒工装从切片机上卸下时,先通过驱动机构将升降架调整到合适的高度使所述滑轨与所述滑槽处于相等的高度,然后使滑轨与滑槽相对齐后将滑轨的外端插入滑槽内,再将牵引绳上的挂钩与粘棒工装上的挂环挂接同时解除粘棒工装与切片机的锁定,然后通过转动手摇把手从而将牵引绳收卷,在此过程中牵引绳拉拽粘棒工装使其转移到滑轨上,操作轻松便捷,具有很好的实用性。
附图说明
图1为本发明中下料装置的立体图;
图2为粘棒工装的侧视图;
图3为图2所示粘棒工装的立体图。
图中所示附图标记为:1-机架;2-升降架;3-臂架;4-砂浆收集盒;41-第一砂浆收集盒;42-第二砂浆收集盒;5-滑轨;6-粘棒工装;61-滑槽;7-牵引轮;8-牵引绳;9-挂钩;10-手摇把手。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本发明中下料装置的具体结构做以说明:
一种单晶硅片生产车间用下料装置,如图1所示,其包括机架1和安装在所述机架1底部的滚轮,所述机架1上设有可上下移动的升降架2和驱动所述升降架2上下移动的驱动机构,所述驱动机构可采用丝杆传动机构(电机驱动或手摇驱动)或者气缸,所述升降架2上设有用于与粘棒工装6相配合连接的臂架3;所述机架1底部固定有始终处于所述臂架3下方的砂浆收集盒4,所述砂浆收集盒4具有朝上开设的敞口。本实施例中的单晶硅片生产车间用下料装置将粘棒工装从切片机上卸下时,将粘棒工装定位在臂架上然后进行转移,在转移过程中由于砂浆收集盒4处于臂架下方,因此由粘棒工装和单晶硅片上落下的砂浆由敞口进入到砂浆收集盒4内,从而避免砂浆掉落在车间地面上而影响车间环境。
本实施例中,所述砂浆收集盒4的数量为两个,分别为第一砂浆收集盒41和第二砂浆收集盒42,所述第一砂浆收集盒41固定在所述机架1上,所述第二砂浆收集盒42的一端与所述第一砂浆收集盒41的一端铰接,以使所述第二砂浆收集盒42绕铰接处向上转动180度后与所述第一砂浆收集盒41相叠合。在下料装置不使用的情况下,可将第二砂浆收集盒42向内上转动180度后与所述第一砂浆收集盒41相叠合,从而在一定程度上减少占地空间。
具体参看图1和图2所示,进一步,所述臂架3包括沿水平方向固定在所述升降架2上的滑轨5,所述滑轨5的截面形状为与所述粘棒工装6上的滑槽61截面形状相匹配的倒T形,所述升降架2上靠近所述滑轨5根部的位置设置有牵引轮7,所述牵引轮7上固定有牵引绳8,所述牵引绳8的自由端连接有适于与所述粘棒工装6连接的挂钩9,所述牵引轮7侧部固定有用于转动牵引轮7的手摇把手10。本发明中,将粘棒工装6从切片机上卸下时,先通过驱动机构将升降架2调整到合适的高度使所述滑轨5与所述滑槽61处于相等高度,然后使滑轨5与滑槽61相对齐后将滑轨5的外端插入滑槽61内,再将牵引绳7上的挂钩与粘棒工装6上的挂环挂接同时解除粘棒工装6与切片机的锁定,然后通过转动手摇把手从而将牵引绳收卷,在此过程中牵引绳拉拽粘棒工装6使其转移到滑轨5上,操作轻松便捷,具有很好的实用性。
本实施例中,所述砂浆收集盒4内设有吸水材料层,所述吸水材料层为海绵或布,设置吸水材料层用于将砂浆中水份吸收。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的实质精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍属于本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种单晶硅片生产车间用下料装置,包括机架(1)和安装在所述机架(1)底部的滚轮,所述机架(1)上设有可上下移动的升降架(2)和驱动所述升降架(2)上下移动的驱动机构,所述升降架(2)上设有用于与粘棒工装(6)相配合连接的臂架(3);其特征在于:所述机架(1)底部固定有始终处于所述臂架(3)下方的砂浆收集盒(4),所述砂浆收集盒(4)具有朝上开设的敞口。
2.根据权利要求1所述的单晶硅片生产车间用下料装置,其特征在于:所述砂浆收集盒(4)的数量为两个,分别为第一砂浆收集盒(41)和第二砂浆收集盒(42),所述第一砂浆收集盒(41)固定在所述机架(1)上,所述第二砂浆收集盒(42)的一端与所述第一砂浆收集盒(41)的一端铰接,以使所述第二砂浆收集盒(42)绕铰接处向上转动180度后与所述第一砂浆收集盒(41)相叠合。
3.根据权利要求2所述的单晶硅片生产车间用下料装置,其特征在于:所述臂架(3)包括沿水平方向固定在所述升降架(2)上的滑轨(5),所述滑轨(5)的截面形状为与所述粘棒工装(6)上的滑槽(61)截面形状相匹配的倒T形,所述升降架(2)上靠近所述滑轨(5)根部的位置设置有牵引轮(7),所述牵引轮(7)上固定有牵引绳(8),所述牵引绳(8)的自由端连接有适于与所述粘棒工装(6)连接的挂钩(9),所述牵引轮(7)侧部固定有用于转动牵引轮(7)的手摇把手(10)。
4.根据权利要求1所述的单晶硅片生产车间用下料装置,其特征在于:所述砂浆收集盒(4)内设有吸水材料层。
5.根据权利要求4所述的单晶硅片生产车间用下料装置,其特征在于:所述吸水材料层为海绵或布。
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