JPH1177509A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
- Publication number
- JPH1177509A JPH1177509A JP24556097A JP24556097A JPH1177509A JP H1177509 A JPH1177509 A JP H1177509A JP 24556097 A JP24556097 A JP 24556097A JP 24556097 A JP24556097 A JP 24556097A JP H1177509 A JPH1177509 A JP H1177509A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- tension
- magnetic permeability
- electromotive force
- running
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0069—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for tensioning saw wires
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤソーのワイヤにかかるテンションを迅速
に測定して、テンションを常時一定に制御することがで
きるワイヤソーを提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０に透磁率検出回
路７２とセンシングアナライザ７４を設けている。透磁
率検出回路７２は、走行中のワイヤ１４の透磁率を検出
し、センシングアナライザ７４は検出回路７２によって
検出された透磁率に基づきワイヤ１４のテンションを算
出し、算出したテンションが所定値になるようにトラバ
ース装置１６のテンションコントローラを制御する。
に測定して、テンションを常時一定に制御することがで
きるワイヤソーを提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０に透磁率検出回
路７２とセンシングアナライザ７４を設けている。透磁
率検出回路７２は、走行中のワイヤ１４の透磁率を検出
し、センシングアナライザ７４は検出回路７２によって
検出された透磁率に基づきワイヤ１４のテンションを算
出し、算出したテンションが所定値になるようにトラバ
ース装置１６のテンションコントローラを制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーに係り、
特に被加工物の切断に必要なワイヤテンションを一定に
制御することができるワイヤソーに関する。
特に被加工物の切断に必要なワイヤテンションを一定に
制御することができるワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット等の被加工物を多数の
薄片状に切断するワイヤソーは、一方のワイヤリールか
ら繰り出されたワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共
に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工
物を押し当て、その砥粒のラッピング作用によって前記
被加工物を多数のウェーハに切断する。この場合、ワイ
ヤにはインゴットを切断するために必要なテンションが
与えられ、このテンションは一定に制御されている。
薄片状に切断するワイヤソーは、一方のワイヤリールか
ら繰り出されたワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共
に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工
物を押し当て、その砥粒のラッピング作用によって前記
被加工物を多数のウェーハに切断する。この場合、ワイ
ヤにはインゴットを切断するために必要なテンションが
与えられ、このテンションは一定に制御されている。
【０００３】従来のワイヤソーでは、前記テンションを
一定に制御するために、デッドウェイトが吊設されたダ
ンサローラの移動量を検出してテンションの変動を測定
し、その移動量がゼロになるように両ワイヤリールの繰
出量と巻取量とを制御している。また、リニアモータを
利用したトルク管理によってテンションを一定に制御す
る方法も知られている。
一定に制御するために、デッドウェイトが吊設されたダ
ンサローラの移動量を検出してテンションの変動を測定
し、その移動量がゼロになるように両ワイヤリールの繰
出量と巻取量とを制御している。また、リニアモータを
利用したトルク管理によってテンションを一定に制御す
る方法も知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ダンサ
ローラの移動量でワイヤのテンションを制御する方法で
は、ワイヤにかかるテンションが変動してから実際にダ
ンサローラが動きだすまでに時間がかかるため、正確な
テンションを迅速に測定できずテンションを常時一定に
制御することが難しいという欠点がある。
ローラの移動量でワイヤのテンションを制御する方法で
は、ワイヤにかかるテンションが変動してから実際にダ
ンサローラが動きだすまでに時間がかかるため、正確な
テンションを迅速に測定できずテンションを常時一定に
制御することが難しいという欠点がある。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワイヤにかかるテンションを迅速に測定するこ
とによりテンションを常時一定に制御することができる
ワイヤソーを提供することを目的とする。
もので、ワイヤにかかるテンションを迅速に測定するこ
とによりテンションを常時一定に制御することができる
ワイヤソーを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、一対のワイヤリールをモータによって回転
させ、前記一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列に被加工物を押し当て該被加工物を多数の薄片に切
断するワイヤソーにおいて、走行中の前記ワイヤの透磁
率を検出する透磁率検出手段と、走行中の前記ワイヤに
かかるテンションを可変するテンション可変手段と、前
記透磁率検出手段の検出値に基づいて前記ワイヤのテン
ションを算出し、該算出したテンションが所定値になる
ように前記テンション可変手段を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
するために、一対のワイヤリールをモータによって回転
させ、前記一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列に被加工物を押し当て該被加工物を多数の薄片に切
断するワイヤソーにおいて、走行中の前記ワイヤの透磁
率を検出する透磁率検出手段と、走行中の前記ワイヤに
かかるテンションを可変するテンション可変手段と、前
記透磁率検出手段の検出値に基づいて前記ワイヤのテン
ションを算出し、該算出したテンションが所定値になる
ように前記テンション可変手段を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、走行中のワイヤにかかる
テンションが変動すると、ビラリ効果によってワイヤの
透磁率が変化する。透磁率検出手段はその透磁率の変化
を検出し、制御手段は該検出値に応じてテンション可変
手段を制御し、ワイヤにかかるテンションを所定値に制
御する。したがって、本発明は、ワイヤの透磁率を検知
することによって、テンションを迅速に測定することが
できるのでテンションを常時一定に制御することができ
る。
テンションが変動すると、ビラリ効果によってワイヤの
透磁率が変化する。透磁率検出手段はその透磁率の変化
を検出し、制御手段は該検出値に応じてテンション可変
手段を制御し、ワイヤにかかるテンションを所定値に制
御する。したがって、本発明は、ワイヤの透磁率を検知
することによって、テンションを迅速に測定することが
できるのでテンションを常時一定に制御することができ
る。
【０００８】また、本発明は前記目的を達成するため
に、一対のワイヤリールをモータによって回転させ、前
記一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複数の溝付
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被
加工物を押し当て該被加工物を多数の薄片に切断するワ
イヤソーにおいて、前記ワイヤの一部分の周囲に巻回さ
れたコイルと、前記ワイヤの走行中に前記コイルに生じ
る誘導起電力を測定する電圧測定手段と、前記電圧測定
手段の測定値に基づいて前記ワイヤの走行スピードを検
出し、該検出した走行スピードが所定値になるように、
前記一対のワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取量を可
変する前記モータを制御する制御手段と、を備えたこと
を特徴とする。
に、一対のワイヤリールをモータによって回転させ、前
記一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複数の溝付
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被
加工物を押し当て該被加工物を多数の薄片に切断するワ
イヤソーにおいて、前記ワイヤの一部分の周囲に巻回さ
れたコイルと、前記ワイヤの走行中に前記コイルに生じ
る誘導起電力を測定する電圧測定手段と、前記電圧測定
手段の測定値に基づいて前記ワイヤの走行スピードを検
出し、該検出した走行スピードが所定値になるように、
前記一対のワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取量を可
変する前記モータを制御する制御手段と、を備えたこと
を特徴とする。
【０００９】本発明によれば、走行するワイヤによって
コイルに誘導起電力が生じ、制御手段はこの誘導起電力
に基づいて前記ワイヤの走行スピードを検出し、走行ス
ピードが所定値になるように一対のワイヤリールのワイ
ヤ繰出量又は巻取量を可変するモータを制御する。した
がって、本発明は、ワイヤに生じる誘導起電力を検知す
ることによって、ワイヤの走行スピードを迅速に測定す
ることができるので走行スピードを所定値に制御するこ
とができる。よって、ワイヤにかかるテンションを常時
一定に制御することができる。
コイルに誘導起電力が生じ、制御手段はこの誘導起電力
に基づいて前記ワイヤの走行スピードを検出し、走行ス
ピードが所定値になるように一対のワイヤリールのワイ
ヤ繰出量又は巻取量を可変するモータを制御する。した
がって、本発明は、ワイヤに生じる誘導起電力を検知す
ることによって、ワイヤの走行スピードを迅速に測定す
ることができるので走行スピードを所定値に制御するこ
とができる。よって、ワイヤにかかるテンションを常時
一定に制御することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１はワイヤソー１０の全体構成図である。同図に示す
ように、一方のワイヤリール１２に巻回されたワイヤ１
４は、トラバース装置１６、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、…、及びダンサローラ２０を経由してワイヤ
走行路に巻き戻され、３本の溝付ローラ２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃに順次巻き掛けられてワイヤ列２４を形成す
る。その後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、…、
ダンサローラ２０、及びトラバース装置１６を経て他方
のワイヤリール２６に巻き取られる。
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１はワイヤソー１０の全体構成図である。同図に示す
ように、一方のワイヤリール１２に巻回されたワイヤ１
４は、トラバース装置１６、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、…、及びダンサローラ２０を経由してワイヤ
走行路に巻き戻され、３本の溝付ローラ２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃに順次巻き掛けられてワイヤ列２４を形成す
る。その後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、…、
ダンサローラ２０、及びトラバース装置１６を経て他方
のワイヤリール２６に巻き取られる。
【００１１】前記ダンサローラ２０、２０には、所定重
量のデッドウェイト４４が吊設され、デッドウェイト４
４の荷重によってワイヤ１４に所要の張力が付与され
る。前記ワイヤ列２４には、タンク３８に貯留されたス
ラリ（加工液）４０がノズル４２から供給される。この
スラリ４０は砥粒を含んでおり、砥粒には通常ＧＣ♯６
００〜♯１０００程度のものが使用される。また、ワイ
ヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置４６、４６が設けら
れ、このワイヤ洗浄装置４６によってワイヤ１４に付着
したスラリ４０が除去される。
量のデッドウェイト４４が吊設され、デッドウェイト４
４の荷重によってワイヤ１４に所要の張力が付与され
る。前記ワイヤ列２４には、タンク３８に貯留されたス
ラリ（加工液）４０がノズル４２から供給される。この
スラリ４０は砥粒を含んでおり、砥粒には通常ＧＣ♯６
００〜♯１０００程度のものが使用される。また、ワイ
ヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置４６、４６が設けら
れ、このワイヤ洗浄装置４６によってワイヤ１４に付着
したスラリ４０が除去される。
【００１２】前記ワイヤ列２４の上方には、送りテーブ
ル４８が設けられ、この送りテーブル４８は、モータ５
０で回動するネジ桿５２によって図中上下方向にスライ
ド可能に設けられると共に、送りテーブル４８のワイヤ
列２４側には、半導体インゴット５４がワークブロック
５６とスライスベース５８を介して支持される。送りテ
ーブル４８を切断送り方向（ワイヤ列２４側）に移動さ
せると、半導体インゴット５４は高速走行するワイヤ列
２４に押し当てられ、前記スラリ４０に含まれる砥粒の
ラッピング作用によって多数の薄板状のウェーハに切断
される。
ル４８が設けられ、この送りテーブル４８は、モータ５
０で回動するネジ桿５２によって図中上下方向にスライ
ド可能に設けられると共に、送りテーブル４８のワイヤ
列２４側には、半導体インゴット５４がワークブロック
５６とスライスベース５８を介して支持される。送りテ
ーブル４８を切断送り方向（ワイヤ列２４側）に移動さ
せると、半導体インゴット５４は高速走行するワイヤ列
２４に押し当てられ、前記スラリ４０に含まれる砥粒の
ラッピング作用によって多数の薄板状のウェーハに切断
される。
【００１３】ところで、前記ワイヤソー１０には、ワイ
ヤ走行路のワイヤリール１２側の電流供給端６０に、定
電流供給源６４から一定の電流が印加されている。この
電流はワイヤ１４を矢印ａ方向に流れ、ワイヤリール２
６側の巻取側端６２から、アンプ回路６５に導かれる。
この時走行中のワイヤ１４自身がコイルの作用をするた
め、ワイヤ１４には電流によって自己誘導起電力が生じ
る。したがって、アンプ回路６５はこの自己誘導起電力
に基づいてワイヤ１４全体の透磁率を検知することがで
きる。
ヤ走行路のワイヤリール１２側の電流供給端６０に、定
電流供給源６４から一定の電流が印加されている。この
電流はワイヤ１４を矢印ａ方向に流れ、ワイヤリール２
６側の巻取側端６２から、アンプ回路６５に導かれる。
この時走行中のワイヤ１４自身がコイルの作用をするた
め、ワイヤ１４には電流によって自己誘導起電力が生じ
る。したがって、アンプ回路６５はこの自己誘導起電力
に基づいてワイヤ１４全体の透磁率を検知することがで
きる。
【００１４】前記アンプ回路６５で検出された透磁率
は、センシングアナライザ６６によって分析処理され
て、この透磁率に対応するワイヤ１４のテンションが算
出される。センシングアナライザ６６は前記算出したテ
ンションに基づいてテンションコントローラを制御し
て、ワイヤ１４のテンションを所定範囲内に保持する。
一方、前記ワイヤ１４のワイヤ洗浄装置４６とダンサロ
ーラ２０との間のワイヤ１４には、その周囲にコイル７
０が巻かれている。したがって、ワイヤ１４の走行によ
ってコイル７０には誘導電流が流れ誘導起電力が生じ、
この誘導起電力に基づいてワイヤ１４の透磁率が透磁率
検出回路７２によって検出される。透磁率検出回路７２
で検出された透磁率はセンシングアナライザ７４によっ
て検出された透磁率が入力され、センシングアナライザ
７４は入力された透磁率を分析処理して、この透磁率に
対応するワイヤ１４のテンションを算出する。センシン
グアナライザ７４は前記算出したテンションに基づいて
テンションコントローラを制御してワイヤ１４のテンシ
ョンを所定範囲内に保持する。
は、センシングアナライザ６６によって分析処理され
て、この透磁率に対応するワイヤ１４のテンションが算
出される。センシングアナライザ６６は前記算出したテ
ンションに基づいてテンションコントローラを制御し
て、ワイヤ１４のテンションを所定範囲内に保持する。
一方、前記ワイヤ１４のワイヤ洗浄装置４６とダンサロ
ーラ２０との間のワイヤ１４には、その周囲にコイル７
０が巻かれている。したがって、ワイヤ１４の走行によ
ってコイル７０には誘導電流が流れ誘導起電力が生じ、
この誘導起電力に基づいてワイヤ１４の透磁率が透磁率
検出回路７２によって検出される。透磁率検出回路７２
で検出された透磁率はセンシングアナライザ７４によっ
て検出された透磁率が入力され、センシングアナライザ
７４は入力された透磁率を分析処理して、この透磁率に
対応するワイヤ１４のテンションを算出する。センシン
グアナライザ７４は前記算出したテンションに基づいて
テンションコントローラを制御してワイヤ１４のテンシ
ョンを所定範囲内に保持する。
【００１５】また、各ワイヤリール１２、２６には、そ
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結さ
れ、駆動モータ２８、３０を駆動することによって、ワ
イヤ１４はワイヤリール１２、２６間を矢印ａ、ｂ両方
向に往復走行される。ワイヤ１４の走行は、例えば、停
止したワイヤ１４を３秒間で矢印ａ方向に定常速度まで
加速させ、その後の１分間は矢印ａ方向に定常速度で走
行させる。その後、３秒間でワイヤ１４を０ｍ／ｍｉｎ
まで減速させ、そして、３秒間で矢印ｂ方向に定常速度
まで加速させる。そして、４０秒間は矢印ｂ方向に定常
速度で走行させる。その後、３秒間でワイヤ１４を０ｍ
／ｍｉｎまで減速させる。この走行パターンを繰り返し
て、ワイヤを走行させる。このように、矢印ａ方向にワ
イヤ１４を走行させる時間（１分間）を矢印ｂ方向にワ
イヤ１４を走行させる時間（４０秒間）よりも長く設定
することによって、ワイヤ１４はワイヤリール１２から
繰り出されてワイヤリール２６に巻き取られる。
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結さ
れ、駆動モータ２８、３０を駆動することによって、ワ
イヤ１４はワイヤリール１２、２６間を矢印ａ、ｂ両方
向に往復走行される。ワイヤ１４の走行は、例えば、停
止したワイヤ１４を３秒間で矢印ａ方向に定常速度まで
加速させ、その後の１分間は矢印ａ方向に定常速度で走
行させる。その後、３秒間でワイヤ１４を０ｍ／ｍｉｎ
まで減速させ、そして、３秒間で矢印ｂ方向に定常速度
まで加速させる。そして、４０秒間は矢印ｂ方向に定常
速度で走行させる。その後、３秒間でワイヤ１４を０ｍ
／ｍｉｎまで減速させる。この走行パターンを繰り返し
て、ワイヤを走行させる。このように、矢印ａ方向にワ
イヤ１４を走行させる時間（１分間）を矢印ｂ方向にワ
イヤ１４を走行させる時間（４０秒間）よりも長く設定
することによって、ワイヤ１４はワイヤリール１２から
繰り出されてワイヤリール２６に巻き取られる。
【００１６】前記ワイヤ１４の走行スピードは、図２に
示す装置によって測定制御される。走行中のワイヤ１４
の一部分の周囲にはコイル８０が巻回されている。した
がって、ワイヤ１４の走行によってコイル８０には誘導
電流が流れて誘導起電力が生じ、この誘導起電力が電圧
計８２で測定される。ＣＰＵ８４は、電圧計８２で測定
された誘導起電力に基づいてワイヤ１４の走行スピード
を算出する。ＣＰＵ８４は、算出した走行スピードに応
じてワイヤリール１２、２６のワイヤ繰出量又は巻取量
を可変するように駆動モータ２８、３０を制御する。
示す装置によって測定制御される。走行中のワイヤ１４
の一部分の周囲にはコイル８０が巻回されている。した
がって、ワイヤ１４の走行によってコイル８０には誘導
電流が流れて誘導起電力が生じ、この誘導起電力が電圧
計８２で測定される。ＣＰＵ８４は、電圧計８２で測定
された誘導起電力に基づいてワイヤ１４の走行スピード
を算出する。ＣＰＵ８４は、算出した走行スピードに応
じてワイヤリール１２、２６のワイヤ繰出量又は巻取量
を可変するように駆動モータ２８、３０を制御する。
【００１７】次に、上記の如く構成されたワイヤソーの
作用について説明する。半導体インゴット５４の切断中
にワイヤ１４にかかるテンションが変動してワイヤ１４
が変形すると、ビラリ効果によってワイヤ１４の磁区内
で磁化が回転し、ワイヤ１４全体の磁化が変化する。こ
の結果、ワイヤ１４の透磁率が変動する。
作用について説明する。半導体インゴット５４の切断中
にワイヤ１４にかかるテンションが変動してワイヤ１４
が変形すると、ビラリ効果によってワイヤ１４の磁区内
で磁化が回転し、ワイヤ１４全体の磁化が変化する。こ
の結果、ワイヤ１４の透磁率が変動する。
【００１８】ワイヤ１４の透磁率が変動すると、コイル
７０に発生していた誘導起電力が変化し、この変化した
誘導起電力に基づいて透磁率検出回路７２がワイヤ１４
の透磁率を検出する。そして、センシングアナライザ７
４は、その透磁率に対応するテンションを算出し、算出
した結果を基にテンションコントローラを制御してワイ
ヤ１４のコイル７０が巻かれた部分のテンションを所定
範囲内に制御する。
７０に発生していた誘導起電力が変化し、この変化した
誘導起電力に基づいて透磁率検出回路７２がワイヤ１４
の透磁率を検出する。そして、センシングアナライザ７
４は、その透磁率に対応するテンションを算出し、算出
した結果を基にテンションコントローラを制御してワイ
ヤ１４のコイル７０が巻かれた部分のテンションを所定
範囲内に制御する。
【００１９】一方、ワイヤ１４には自己誘導起電力が生
じ、アンプ回路６５はこの自己誘導起電力に基づいて透
磁率を検知する。そして、センシングアナライザ６６
は、その透磁率に対応するテンションを算出し、算出し
た結果を基にテンションコントローラを制御してワイヤ
１４全体の透磁率を所定範囲内に制御する。この時、テ
ンションコントローラは、センシングアナライザ７４で
算出された局部テンションとセンシングアナライザ６６
で算出された全体テンションとのうち高い方のテンショ
ンが、図３に示すように予め設定された上限値に達した
時に、テンションコントローラはテンションを下げるよ
うに制御され、この結果、ワイヤ１４のテンションは実
線ａに示すように減少する。これに対して制御が行われ
ない場合には、テンションは二点鎖線ｂ、ｄに示すよう
に上限値からオーバーランしてしまう。反対に、局部テ
ンションと全体テンションとのうち低い方のテンション
が予め設定された下限値に達した時に、テンションコン
トローラはテンションを上げるように制御され、テンシ
ョンは実線ａに示すように増加する。この制御が行われ
ない場合には、テンションは二点鎖線ｃに示すように下
限値からオーバーランしてしまう。これによって、テン
ションは常に上限値と下限値との間に制御される。した
がって、ワイヤ１４にかかるテンションを常時一定範囲
内に制御することができる。
じ、アンプ回路６５はこの自己誘導起電力に基づいて透
磁率を検知する。そして、センシングアナライザ６６
は、その透磁率に対応するテンションを算出し、算出し
た結果を基にテンションコントローラを制御してワイヤ
１４全体の透磁率を所定範囲内に制御する。この時、テ
ンションコントローラは、センシングアナライザ７４で
算出された局部テンションとセンシングアナライザ６６
で算出された全体テンションとのうち高い方のテンショ
ンが、図３に示すように予め設定された上限値に達した
時に、テンションコントローラはテンションを下げるよ
うに制御され、この結果、ワイヤ１４のテンションは実
線ａに示すように減少する。これに対して制御が行われ
ない場合には、テンションは二点鎖線ｂ、ｄに示すよう
に上限値からオーバーランしてしまう。反対に、局部テ
ンションと全体テンションとのうち低い方のテンション
が予め設定された下限値に達した時に、テンションコン
トローラはテンションを上げるように制御され、テンシ
ョンは実線ａに示すように増加する。この制御が行われ
ない場合には、テンションは二点鎖線ｃに示すように下
限値からオーバーランしてしまう。これによって、テン
ションは常に上限値と下限値との間に制御される。した
がって、ワイヤ１４にかかるテンションを常時一定範囲
内に制御することができる。
【００２０】一方、図２に示すコイル８０には走行する
ワイヤ１４によって誘導起電力が生じ、電圧計８２はこ
の誘導起電力を測定する。ＣＰＵ８４には誘導起電力が
入力され、ＣＰＵ８４は入力された誘導起電力に応じて
ワイヤリール１２、２６のワイヤ繰出量又は巻取量を可
変するように駆動モータ２８、３０を制御する。図４に
示すように、誘導起電力Ｖが予め設定された下限値ＶD
に達すると、駆動モータ２８、３０は誘導起電力Ｖを上
げるように制御され、誘導起電力Ｖは実線ａに示すよう
に増加する。制御が行われないと、誘導起電力Ｖは二点
鎖線ｂに示すようにオーバーランしてしまう。また、誘
導起電力Ｖが予め設定された上限値ＶUに達すると、駆
動モータ２８、３０は誘導起電力Ｖを下げるように制御
され、誘導起電力Ｖは実線ａに示すように減少する。制
御が行われないと、誘導起電力Ｖは二点鎖線ｃに示すよ
うにオーバーランしてしまう。これによって、誘導起電
力Ｖは常に下限値ＶD と上限値ＶU との間に制御され
る。したがって、ワイヤ１４の走行スピードを一定に制
御することができ、ワイヤ１４のテンションを常時一定
範囲内に制御することができる。
ワイヤ１４によって誘導起電力が生じ、電圧計８２はこ
の誘導起電力を測定する。ＣＰＵ８４には誘導起電力が
入力され、ＣＰＵ８４は入力された誘導起電力に応じて
ワイヤリール１２、２６のワイヤ繰出量又は巻取量を可
変するように駆動モータ２８、３０を制御する。図４に
示すように、誘導起電力Ｖが予め設定された下限値ＶD
に達すると、駆動モータ２８、３０は誘導起電力Ｖを上
げるように制御され、誘導起電力Ｖは実線ａに示すよう
に増加する。制御が行われないと、誘導起電力Ｖは二点
鎖線ｂに示すようにオーバーランしてしまう。また、誘
導起電力Ｖが予め設定された上限値ＶUに達すると、駆
動モータ２８、３０は誘導起電力Ｖを下げるように制御
され、誘導起電力Ｖは実線ａに示すように減少する。制
御が行われないと、誘導起電力Ｖは二点鎖線ｃに示すよ
うにオーバーランしてしまう。これによって、誘導起電
力Ｖは常に下限値ＶD と上限値ＶU との間に制御され
る。したがって、ワイヤ１４の走行スピードを一定に制
御することができ、ワイヤ１４のテンションを常時一定
範囲内に制御することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーによれば、透磁率検出手段でワイヤの透磁率を検
知することによって、ワイヤにかかるテンションを迅速
に測定することができるのでテンションを常時一定に制
御することができる。
ヤソーによれば、透磁率検出手段でワイヤの透磁率を検
知することによって、ワイヤにかかるテンションを迅速
に測定することができるのでテンションを常時一定に制
御することができる。
【図１】本発明に係るワイヤソーのモータ制御回路が適
用されるワイヤソーの一例を示した構成図
用されるワイヤソーの一例を示した構成図
【図２】ワイヤの走行スピードを制御する装置の構成図
【図３】ワイヤにかかるテンションの時間変化を示す説
明図
明図
【図４】ワイヤに生じる誘導起電力の時間変化を示す説
明図
明図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ １６…トラバース装置 ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ…溝付ローラ ２４…ワイヤ列 ２８、３０…駆動モータ ５４…半導体インゴット ６４…定電流供給源 ６５…アンプ回路 ６６、７４…センシングアナライザ ７０、８０…コイル ７２…検出回路 ８２…電圧計 ８４…ＣＰＵ
Claims (3)
- 【請求項１】一対のワイヤリールをモータによって回転
させ、前記一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列に被加工物を押し当て該被加工物を多数の薄片に切
断するワイヤソーにおいて、 走行中の前記ワイヤの透磁率を検出する透磁率検出手段
と、 走行中の前記ワイヤにかかるテンションを可変するテン
ション可変手段と、 前記透磁率検出手段の検出値に基づいて前記ワイヤのテ
ンションを算出し、該算出したテンションが所定値にな
るように前記テンション可変手段を制御する制御手段
と、 を備えたことを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項２】前記透磁率検出手段は、 前記ワイヤの一部分の周囲に巻回されたコイルと、 前記コイルに生じる誘導起電力を測定する電圧測定手段
と、 前記電圧測定手段で測定された誘導起電力に基づいて前
記ワイヤの透磁率を演算する演算手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１記載のワイヤソー。 - 【請求項３】一対のワイヤリールをモータによって回転
させ、前記一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列に被加工物を押し当て該被加工物を多数の薄片に切
断するワイヤソーにおいて、 前記ワイヤの一部分の周囲に巻回されたコイルと、 前記ワイヤの走行中に前記コイルに生じる誘導起電力を
測定する電圧測定手段と、 前記電圧測定手段の測定値に基づいて前記ワイヤの走行
スピードを検出し、該検出した走行スピードが所定値に
なるように、前記一対のワイヤリールのワイヤ繰出量又
は巻取量を可変する前記モータを制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24556097A JPH1177509A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24556097A JPH1177509A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177509A true JPH1177509A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17135532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24556097A Pending JPH1177509A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177509A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012045682A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Tokuriki Honten Co Ltd | 固定砥粒ワイヤーソー装置 |
| KR101224142B1 (ko) | 2011-04-29 | 2013-01-21 | 이창원 | 와이어 권취 장치 |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP24556097A patent/JPH1177509A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012045682A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Tokuriki Honten Co Ltd | 固定砥粒ワイヤーソー装置 |
| KR101224142B1 (ko) | 2011-04-29 | 2013-01-21 | 이창원 | 와이어 권취 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100276048B1 (ko) | 와이어 톱의 와이어 트래버스장치 | |
| JP3105431B2 (ja) | ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 | |
| JP2980225B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JPH11156694A (ja) | ワイヤーソー切断方法および装置 | |
| KR20120055256A (ko) | 와이어 소우 머신의 장력 조절 장치 | |
| JPH1177509A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3106416B2 (ja) | ワイヤソーのワイヤ走行制御方法 | |
| JPH11138412A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
| JPH11188603A (ja) | ワイヤ式切断加工装置における被切断材の送り速度制御装置および方法 | |
| JP3324940B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP3179304B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPH10166255A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3189864B2 (ja) | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 | |
| JPH1199466A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3109384B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JPH10119031A (ja) | ワイヤソーのワイヤ走行制御装置 | |
| JP2000061805A (ja) | ワイヤ式切断加工装置 | |
| JPS61117060A (ja) | ワイヤ式切断加工方法 | |
| JPH0929609A (ja) | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 | |
| JP3210528B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPH0929607A (ja) | ワイヤソーのワイヤ張力制御方法及び装置 | |
| JP3244099B2 (ja) | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 | |
| JP3425032B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP3292360B2 (ja) | 半導体単結晶棒のスライシング方法およびその装置 | |
| CN110497538B (zh) | 线状锯的运行参数的设定方法以及线状锯 |