JPH0970824A - ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置Info
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- JPH0970824A JPH0970824A JP23125095A JP23125095A JPH0970824A JP H0970824 A JPH0970824 A JP H0970824A JP 23125095 A JP23125095 A JP 23125095A JP 23125095 A JP23125095 A JP 23125095A JP H0970824 A JPH0970824 A JP H0970824A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーに対
応することができるワイヤ脱線検出装置の提供。 【解決手段】コントローラ80には、ワイヤソー運転中
における所定時間あたりのガイドローラの実際の回転数
の測定値が入力される。また、コントローラ80には、
ワイヤ14が正常に巻き掛けられている状態でのガイド
ローラの所定時間あたりの基準の回転数が予め入力され
ている。ここで、ガイドローラ18にワイヤ14が正常
に巻き掛けられていれば、ワイヤ14の滑り等を考慮し
ても実際の回転数と基準の回転数とは略一致する。従っ
て、コントローラ80は、実際の回転数と基準の回転数
との差を算出し、その値が許容範囲を越えたときには、
ガイドローラ18からワイヤ14が脱線していると判断
してワイヤソーの運転を停止する。
応することができるワイヤ脱線検出装置の提供。 【解決手段】コントローラ80には、ワイヤソー運転中
における所定時間あたりのガイドローラの実際の回転数
の測定値が入力される。また、コントローラ80には、
ワイヤ14が正常に巻き掛けられている状態でのガイド
ローラの所定時間あたりの基準の回転数が予め入力され
ている。ここで、ガイドローラ18にワイヤ14が正常
に巻き掛けられていれば、ワイヤ14の滑り等を考慮し
ても実際の回転数と基準の回転数とは略一致する。従っ
て、コントローラ80は、実際の回転数と基準の回転数
との差を算出し、その値が許容範囲を越えたときには、
ガイドローラ18からワイヤ14が脱線していると判断
してワイヤソーの運転を停止する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
脱線検出装置に係り、特に半導体インゴット等の被加工
物を走行するワイヤで多数のウェーハに切断するワイヤ
ソーのワイヤ脱線検出装置に関する。
脱線検出装置に係り、特に半導体インゴット等の被加工
物を走行するワイヤで多数のウェーハに切断するワイヤ
ソーのワイヤ脱線検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間を
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ
列を形成し、そのワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給し
ながら被加工物を押し当てることにより、被加工物を多
数のウェーハに切断する装置である。
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ
列を形成し、そのワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給し
ながら被加工物を押し当てることにより、被加工物を多
数のウェーハに切断する装置である。
【0003】前記ワイヤソーにおいて、スライス中のワ
イヤの断線は起きてはならない問題である。このワイヤ
の断線原因の一つに、ガイドローラからのワイヤの脱線
がある。このワイヤの脱線を検出する手段として、一対
のワイヤリールをワイヤソー装置本体から電気的に絶縁
するとともに、両ワイヤリール間に一定電圧をかけ、そ
の電圧値の降下を検出することにより、ワイヤの脱線を
判断する方法が考えられる。この方法は、ガイドローラ
の多くが、ゴムやポリウレタン或いはポリエチレン等の
樹脂で成形されていることに着目し、ワイヤが正常に巻
き掛けられていれば、ワイヤリール間には一定の電圧差
が生じ、ワイヤが脱線すれば、ワイヤはワイヤソー装置
本体に接触して前記電圧が降下するということに基づい
ている。
イヤの断線は起きてはならない問題である。このワイヤ
の断線原因の一つに、ガイドローラからのワイヤの脱線
がある。このワイヤの脱線を検出する手段として、一対
のワイヤリールをワイヤソー装置本体から電気的に絶縁
するとともに、両ワイヤリール間に一定電圧をかけ、そ
の電圧値の降下を検出することにより、ワイヤの脱線を
判断する方法が考えられる。この方法は、ガイドローラ
の多くが、ゴムやポリウレタン或いはポリエチレン等の
樹脂で成形されていることに着目し、ワイヤが正常に巻
き掛けられていれば、ワイヤリール間には一定の電圧差
が生じ、ワイヤが脱線すれば、ワイヤはワイヤソー装置
本体に接触して前記電圧が降下するということに基づい
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、現状のワイ
ヤソーのスラリ(切削液)は、油性が多く占めている
が、スライス後のウェーハ洗浄性、作業者の汚れの問
題、環境の問題等があり、近年、水溶性スラリの研究が
進められており、実用化可能なレベルまで達成してい
る。
ヤソーのスラリ(切削液)は、油性が多く占めている
が、スライス後のウェーハ洗浄性、作業者の汚れの問
題、環境の問題等があり、近年、水溶性スラリの研究が
進められており、実用化可能なレベルまで達成してい
る。
【0005】しかしながら、水溶性スラリを用いて切断
するワイヤソーにおいて、前記従来の電気的なワイヤの
脱線検出方法では、スラリが電気を通してしまうため、
誤動作を起し易いという欠点がある。また、脱線を検出
できたとしても、複数あるガイドローラのうちどのガイ
ドローラが脱線したかが分からないという欠点があっ
た。
するワイヤソーにおいて、前記従来の電気的なワイヤの
脱線検出方法では、スラリが電気を通してしまうため、
誤動作を起し易いという欠点がある。また、脱線を検出
できたとしても、複数あるガイドローラのうちどのガイ
ドローラが脱線したかが分からないという欠点があっ
た。
【0006】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーに
対応することができるワイヤソーのワイヤ脱線検出装置
を提供することを目的とする。
たもので、水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーに
対応することができるワイヤソーのワイヤ脱線検出装置
を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、一対のワイヤリール間をガイドローラにガ
イドされて走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し
当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切
断するワイヤソーにおいて、切断時の前記ガイドローラ
の回転数を測定する回転数測定手段と、前記回転数測定
装置から出力される切断時の回転数と、予め入力された
正常切断時の基準の回転数とを比較して前記ワイヤの脱
線を検出し、前記ワイヤの走行を停止する制御手段と、
から成ることを特徴とする。
成する為に、一対のワイヤリール間をガイドローラにガ
イドされて走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し
当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切
断するワイヤソーにおいて、切断時の前記ガイドローラ
の回転数を測定する回転数測定手段と、前記回転数測定
装置から出力される切断時の回転数と、予め入力された
正常切断時の基準の回転数とを比較して前記ワイヤの脱
線を検出し、前記ワイヤの走行を停止する制御手段と、
から成ることを特徴とする。
【0008】本発明によれば、回転数測定手段により切
断時のガイドローラの回転数が測定され、その測定値が
制御手段に出力される。一方、制御手段では、前記回転
数測定手段から出力される切断時の回転数と、予め入力
されている正常切断時の基準の回転数とが比較される。
ここで、ガイドローラにワイヤが正常に巻き掛けられて
いれば、回転数測定手段で測定された切断時の回転数と
基準の回転数は、ワイヤの滑り等を考慮したとしても略
一致する。ところが、ワイヤがガイドローラから脱線し
ている場合は、ガイドローラは回転しないので切断時の
回転数はゼロとなり、切断時の回転数と基準の回転数と
は一致しない。また、ワイヤがガイドローラの溝部以外
に巻き掛けられている場合も、切断時の回転数が基準の
回転数を下回るか又は上回るので、この場合も切断時の
回転数と基準の回転数は一致しない。したがって、制御
手段は、切断時の回転数と基準の回転数との差が許容範
囲を越えたときには、ガイドローラからワイヤが脱線し
ていると判断して、ワイヤの走行を停止する。
断時のガイドローラの回転数が測定され、その測定値が
制御手段に出力される。一方、制御手段では、前記回転
数測定手段から出力される切断時の回転数と、予め入力
されている正常切断時の基準の回転数とが比較される。
ここで、ガイドローラにワイヤが正常に巻き掛けられて
いれば、回転数測定手段で測定された切断時の回転数と
基準の回転数は、ワイヤの滑り等を考慮したとしても略
一致する。ところが、ワイヤがガイドローラから脱線し
ている場合は、ガイドローラは回転しないので切断時の
回転数はゼロとなり、切断時の回転数と基準の回転数と
は一致しない。また、ワイヤがガイドローラの溝部以外
に巻き掛けられている場合も、切断時の回転数が基準の
回転数を下回るか又は上回るので、この場合も切断時の
回転数と基準の回転数は一致しない。したがって、制御
手段は、切断時の回転数と基準の回転数との差が許容範
囲を越えたときには、ガイドローラからワイヤが脱線し
ていると判断して、ワイヤの走行を停止する。
【0009】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ脱線検出装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図1は、本発明に係るワイヤ脱線
検出装置が適用されたワイヤソーの全体構成図である。
同図に示すように、ワイヤソー10は、一対のワイヤリ
ール12、26間を走行するワイヤ14で形成したワイ
ヤ列24に砥粒を含む加工液40を供給しながら半導体
インゴット54を押し当てることにより半導体インゴッ
ト54を多数のウェーハに切断する。
るワイヤソーのワイヤ脱線検出装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図1は、本発明に係るワイヤ脱線
検出装置が適用されたワイヤソーの全体構成図である。
同図に示すように、ワイヤソー10は、一対のワイヤリ
ール12、26間を走行するワイヤ14で形成したワイ
ヤ列24に砥粒を含む加工液40を供給しながら半導体
インゴット54を押し当てることにより半導体インゴッ
ト54を多数のウェーハに切断する。
【0010】一方のワイヤリール12に巻回されたワイ
ヤ14は、ワイヤ案内装置16、複数のガイドローラ1
8、18、ダンサローラ20を経て、三角形を成すよう
に配列された3本の溝付きローラ22A、22B、22
Cに巻き掛けられてワイヤ列24を形成する。ワイヤ列
24を形成したワイヤ14は、複数のガイドローラ1
8、18、ダンサローラ20、ワイヤ案内装置16を経
て他方のワイヤリール26に巻き取られる。
ヤ14は、ワイヤ案内装置16、複数のガイドローラ1
8、18、ダンサローラ20を経て、三角形を成すよう
に配列された3本の溝付きローラ22A、22B、22
Cに巻き掛けられてワイヤ列24を形成する。ワイヤ列
24を形成したワイヤ14は、複数のガイドローラ1
8、18、ダンサローラ20、ワイヤ案内装置16を経
て他方のワイヤリール26に巻き取られる。
【0011】前記ワイヤ案内装置16は、ワイヤリール
12、26に巻きかけられているワイヤ14を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール12、26に巻き
取られるワイヤ14を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ18は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール12、26間を走行する
ワイヤ14をガイドする。
12、26に巻きかけられているワイヤ14を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール12、26に巻き
取られるワイヤ14を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ18は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール12、26間を走行する
ワイヤ14をガイドする。
【0012】前記ダンサローラ20は、所定重量の錘4
4が吊設されており、走行するワイヤ14に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置46が設けられており、前記一対のワイヤリール
12、26間を走行するワイヤ14は、このワイヤ洗浄
装置46を通過することによって、付着している加工液
40が除去される。
4が吊設されており、走行するワイヤ14に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置46が設けられており、前記一対のワイヤリール
12、26間を走行するワイヤ14は、このワイヤ洗浄
装置46を通過することによって、付着している加工液
40が除去される。
【0013】前記一対のワイヤリール12、26には、
それぞれ正逆回転可能なモータ28、30が連結され、
このモータ28、30を駆動するとにより、ワイヤ14
は一対のワイヤリール12、26間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ22Aにも同様に正逆回転可能なモ
ータ32が連結されており、前記モータ28、30はこ
のモータ32に同期するように駆動制御される。
それぞれ正逆回転可能なモータ28、30が連結され、
このモータ28、30を駆動するとにより、ワイヤ14
は一対のワイヤリール12、26間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ22Aにも同様に正逆回転可能なモ
ータ32が連結されており、前記モータ28、30はこ
のモータ32に同期するように駆動制御される。
【0014】前記ワイヤ列24には、スラリ貯留タンク
38に貯留されたスラリ40がスラリ供給ノズル42、
42を介して供給される。このワイヤ列24に供給され
るスラリ40には、砥粒(通常、GC♯600〜♯10
00程度のものが使用される)が含有されており、被加
工物は、この砥粒によるラッピング作用により切断され
る。
38に貯留されたスラリ40がスラリ供給ノズル42、
42を介して供給される。このワイヤ列24に供給され
るスラリ40には、砥粒(通常、GC♯600〜♯10
00程度のものが使用される)が含有されており、被加
工物は、この砥粒によるラッピング作用により切断され
る。
【0015】前記ワイヤ列24の下方には、モータ50
で回動するネジ棒52により上下方向に移動自在に設け
られたワーク送りテーブル48が設置されている。この
ワーク送りテーブル48には、被加工物である半導体イ
ンゴット54が、ワークブロック56、スライスベース
58を介して固定される。半導体インゴット54は、こ
のワーク送りテーブル48を前記ワイヤ列24に向けて
移動させることにより、高速走行するワイヤ列24に押
し当てられて多数のウェーハに切断される。
で回動するネジ棒52により上下方向に移動自在に設け
られたワーク送りテーブル48が設置されている。この
ワーク送りテーブル48には、被加工物である半導体イ
ンゴット54が、ワークブロック56、スライスベース
58を介して固定される。半導体インゴット54は、こ
のワーク送りテーブル48を前記ワイヤ列24に向けて
移動させることにより、高速走行するワイヤ列24に押
し当てられて多数のウェーハに切断される。
【0016】図2は、本発明に係るワイヤソーのワイヤ
脱線検出装置の実施の形態の構成断面図である。同図に
示すように、前記ガイドローラ18はゴムやプラスチッ
ク等の樹脂材でドーナツ状に形成され、外周部にワイヤ
14案内用のV字溝18Aが形成されている。ガイドロ
ーラ18は、ワイヤソーの本体フレーム64のワイヤ走
行路に配設された軸受ユニット62に回動自在に支持さ
れている。
脱線検出装置の実施の形態の構成断面図である。同図に
示すように、前記ガイドローラ18はゴムやプラスチッ
ク等の樹脂材でドーナツ状に形成され、外周部にワイヤ
14案内用のV字溝18Aが形成されている。ガイドロ
ーラ18は、ワイヤソーの本体フレーム64のワイヤ走
行路に配設された軸受ユニット62に回動自在に支持さ
れている。
【0017】前記軸受ユニット62は、ワイヤソーの本
体フレーム64に固定されたシャフト66と、そのシャ
フト66の先端同軸上に回動自在に支持された回転軸6
8とから構成される。前記シャフト66は、基端部に形
成されたネジ部66Aが本体フレーム64に形成された
ネジ穴64Aに螺合されて本体フレーム64に固定され
ている。前記回転軸68は、前記ガイドローラ18の内
径と同径の外径を有し、下端部にフランジ70が形成さ
れている。この回転軸68は、前記シャフト66の先端
に軸受72、72を介して回動自在に支持されるととも
に、先端開口部をキャップ74で密閉されている。
体フレーム64に固定されたシャフト66と、そのシャ
フト66の先端同軸上に回動自在に支持された回転軸6
8とから構成される。前記シャフト66は、基端部に形
成されたネジ部66Aが本体フレーム64に形成された
ネジ穴64Aに螺合されて本体フレーム64に固定され
ている。前記回転軸68は、前記ガイドローラ18の内
径と同径の外径を有し、下端部にフランジ70が形成さ
れている。この回転軸68は、前記シャフト66の先端
に軸受72、72を介して回動自在に支持されるととも
に、先端開口部をキャップ74で密閉されている。
【0018】前記回転軸68のフランジ70下面には、
図3に示すように外縁部近傍10ヶ所に一定の間隔で測
定孔76、76、…が穿孔されている。一方、本体フレ
ーム64には、前記測定孔76の通過位置に近接スイッ
チ78が設置されている。この近接スイッチ78は、前
記測定孔76が通過すると作動し、その作動信号をコン
トローラ80に出力する。
図3に示すように外縁部近傍10ヶ所に一定の間隔で測
定孔76、76、…が穿孔されている。一方、本体フレ
ーム64には、前記測定孔76の通過位置に近接スイッ
チ78が設置されている。この近接スイッチ78は、前
記測定孔76が通過すると作動し、その作動信号をコン
トローラ80に出力する。
【0019】前記コントローラ80は前記近接スイッチ
78から出力される作動信号をカウントし、そのカウン
ト数に基づいて次のようにワイヤ14の脱線を判断す
る。一定時間Tの間に走行するワイヤ14の長さをL、
ガイドローラ18の溝部18Aの径をDとすると、ワイ
ヤ14が正常にガイドローラ18の溝部18Aに巻き掛
けられていれば、コントローラ80でカウントされる近
接スイッチ78の作動回数N0 は、次式のようになる。
78から出力される作動信号をカウントし、そのカウン
ト数に基づいて次のようにワイヤ14の脱線を判断す
る。一定時間Tの間に走行するワイヤ14の長さをL、
ガイドローラ18の溝部18Aの径をDとすると、ワイ
ヤ14が正常にガイドローラ18の溝部18Aに巻き掛
けられていれば、コントローラ80でカウントされる近
接スイッチ78の作動回数N0 は、次式のようになる。
【0020】 一方、ワイヤ14がガイドローラ18から完全に脱線す
れば、ガイドローラ18は回転しないので、近接スイッ
チ78は作動しない。したがって、コントローラ80に
おいても作動信号はカウントされない。
れば、ガイドローラ18は回転しないので、近接スイッ
チ78は作動しない。したがって、コントローラ80に
おいても作動信号はカウントされない。
【0021】また、ワイヤ14がガイドローラ18の溝
部18Aから脱線してガイドローラ18とフランジ70
の間に入り込み、回転軸68の外周部に係合している場
合、ガイドローラ18は回転するが、その時にコントロ
ーラ80でカウントされる近接スイッチ78からの作動
回数N1 は、回転軸68の外径をdとすれば、次式のよ
うになる。
部18Aから脱線してガイドローラ18とフランジ70
の間に入り込み、回転軸68の外周部に係合している場
合、ガイドローラ18は回転するが、その時にコントロ
ーラ80でカウントされる近接スイッチ78からの作動
回数N1 は、回転軸68の外径をdとすれば、次式のよ
うになる。
【0022】 このように、ワイヤ14がガイドローラ18に正常に巻
き掛けられている場合、コントローラ80でカウントさ
れる近接スイッチ78の作動回数N0 は、ワイヤ14が
ガイドローラ18から脱線している場合にコントローラ
80でカウントされる近接スイッチ78の作動回数N1
と異なる。
き掛けられている場合、コントローラ80でカウントさ
れる近接スイッチ78の作動回数N0 は、ワイヤ14が
ガイドローラ18から脱線している場合にコントローラ
80でカウントされる近接スイッチ78の作動回数N1
と異なる。
【0023】前記コントローラ80には、ワイヤ14が
ガイドローラ18に正常に巻き掛けられている状態で一
定時間Tの間にコントローラ80でカウントされる近接
スイッチ78の作動回数を基準の作動回数Nとして予め
入力されている。コントローラ80は、ワイヤソー10
の運転中に前記近接スイッチ78から出力される作動信
号を一定時間Tの間カウントする。そして、カウントさ
れた前記近接スイッチ78の実際の作動回数Xと前記基
準の作動回数Nとの差を算出する。
ガイドローラ18に正常に巻き掛けられている状態で一
定時間Tの間にコントローラ80でカウントされる近接
スイッチ78の作動回数を基準の作動回数Nとして予め
入力されている。コントローラ80は、ワイヤソー10
の運転中に前記近接スイッチ78から出力される作動信
号を一定時間Tの間カウントする。そして、カウントさ
れた前記近接スイッチ78の実際の作動回数Xと前記基
準の作動回数Nとの差を算出する。
【0024】ここで、前記ワイヤ14がガイドローラ1
8の溝部18Aに正常に巻き掛けられていれば、実際の
作動回数Xと基準の作動回数Nは一致する。しかし、ワ
イヤ14の滑りや、ガイドローラ18の磨耗等も考えら
れるので、実際の作動回数Xが基準の作動回数Nに必ず
しも一致するとは限らない。そこで、コントローラ80
は、前記実際の作動回数Xと基準の作動回数Nとの差が
±1〜2程度の許容値内ならば、実際の作動回数Xと基
準の作動回数Nは一致しているとみなし、この許容値以
内になければワイヤ14が脱線していると判断して、警
告を発するとともに、ワイヤソー10の運転を直ちに停
止する。また、同時にどの位置に配設されたガイドロー
ラ18で脱線を起こしたかを判断する。
8の溝部18Aに正常に巻き掛けられていれば、実際の
作動回数Xと基準の作動回数Nは一致する。しかし、ワ
イヤ14の滑りや、ガイドローラ18の磨耗等も考えら
れるので、実際の作動回数Xが基準の作動回数Nに必ず
しも一致するとは限らない。そこで、コントローラ80
は、前記実際の作動回数Xと基準の作動回数Nとの差が
±1〜2程度の許容値内ならば、実際の作動回数Xと基
準の作動回数Nは一致しているとみなし、この許容値以
内になければワイヤ14が脱線していると判断して、警
告を発するとともに、ワイヤソー10の運転を直ちに停
止する。また、同時にどの位置に配設されたガイドロー
ラ18で脱線を起こしたかを判断する。
【0025】このように、本実施の形態のワイヤソーの
ワイヤ脱線検出装置によれば、ガイドローラ18の回転
数を検出し、その回転数に基づいてワイヤ14の断線の
有無を判断するので、水溶性スラリを用いて切断するワ
イヤソーであっても、従来の電気的な検出方法のように
誤動作を起こすという問題もなく、瞬時且つ確実にワイ
ヤ14の脱線を検出することができる。
ワイヤ脱線検出装置によれば、ガイドローラ18の回転
数を検出し、その回転数に基づいてワイヤ14の断線の
有無を判断するので、水溶性スラリを用いて切断するワ
イヤソーであっても、従来の電気的な検出方法のように
誤動作を起こすという問題もなく、瞬時且つ確実にワイ
ヤ14の脱線を検出することができる。
【0026】また、複数配設されるガイドローラ18に
対し個別に回転数を検出することにより、どのガイドロ
ーラ18でワイヤ14が脱線したのかを判断することが
できる。なお、ガイドローラ18の回転数測定手段は、
前記近接スイッチ78と測定孔76に限らず、タコメー
タやエンコーダ、パルスジェネレータ等を用いてもよ
い。
対し個別に回転数を検出することにより、どのガイドロ
ーラ18でワイヤ14が脱線したのかを判断することが
できる。なお、ガイドローラ18の回転数測定手段は、
前記近接スイッチ78と測定孔76に限らず、タコメー
タやエンコーダ、パルスジェネレータ等を用いてもよ
い。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
切断時のガイドローラの回転数と予め入力された正常切
断時の基準の回転数とを比較することによって前記ワイ
ヤの脱線を検出し、脱線時には前記ワイヤの走行を停止
することにしたので、従来の電気的な検出方法のように
誤動作を起こすという問題もなく、確実にワイヤの断線
を防止することができる。
切断時のガイドローラの回転数と予め入力された正常切
断時の基準の回転数とを比較することによって前記ワイ
ヤの脱線を検出し、脱線時には前記ワイヤの走行を停止
することにしたので、従来の電気的な検出方法のように
誤動作を起こすという問題もなく、確実にワイヤの断線
を防止することができる。
【図1】ワイヤソーの全体構成図
【図2】本発明に係るワイヤソーのワイヤ脱線検出装置
の実施の形態の構成断面図である。
の実施の形態の構成断面図である。
【図3】図2のA−A断面図
10…ワイヤソー 12、26…ワイヤリール 14…ワイヤ 18…ガイドローラ 18A…V字溝 22A〜22C…溝付ローラ 24…ワイヤ列 62…軸受ユニット 66…シャフト 68…回転軸 70…フランジ 76…測定孔 78…近接スイッチ 80…コントローラ
Claims (1)
- 【請求項1】 一対のワイヤリール間をガイドローラに
ガイドされて走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押
し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに
切断するワイヤソーにおいて、 切断時の前記ガイドローラの回転数を測定する回転数測
定手段と、 前記回転数測定装置から出力される切断時の回転数と、
予め入力された正常切断時の基準の回転数とを比較して
前記ワイヤの脱線を検出し、前記ワイヤの走行を停止す
る制御手段と、から成ることを特徴とするワイヤソーの
ワイヤ脱線検出装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23125095A JPH0970824A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 |
CH02100/96A CH691673A5 (de) | 1995-09-08 | 1996-08-27 | Vorrichtung zur Erfassung eines Drahtführungsfehlers an einer Drahtsäge. |
TW085110522A TW337499B (en) | 1995-09-08 | 1996-08-29 | Steel wire derailment detecting apparatus of wire saw |
US08/705,685 US5809986A (en) | 1995-09-08 | 1996-08-29 | Wire derailment detecting apparatus for wire saw |
KR1019960038222A KR100406146B1 (ko) | 1995-09-08 | 1996-09-04 | 와이어 톱의 와이어 탈선 검출장치 |
MYPI96003652A MY132350A (en) | 1995-09-08 | 1996-09-04 | Wire derailment detecting apparatus of wire saw |
US08/877,898 US5908025A (en) | 1995-09-08 | 1997-06-18 | Wire derailment detecting apparatus of wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23125095A JPH0970824A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0970824A true JPH0970824A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16920680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23125095A Pending JPH0970824A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0970824A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011177122A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Kubota Corp | 自脱型のコンバイン |
WO2013041347A1 (de) * | 2011-09-23 | 2013-03-28 | Voith Patent Gmbh | Drahtführungsrolle für drahtsägen mit datenerfassungssystem |
CN104999577A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-10-28 | 江苏奥能光电科技有限公司 | 硅块切割机小滑轮 |
CN108262870A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-07-10 | 李耀鹏 | 金刚线导线轴 |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP23125095A patent/JPH0970824A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011177122A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Kubota Corp | 自脱型のコンバイン |
WO2013041347A1 (de) * | 2011-09-23 | 2013-03-28 | Voith Patent Gmbh | Drahtführungsrolle für drahtsägen mit datenerfassungssystem |
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CN108262870A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-07-10 | 李耀鹏 | 金刚线导线轴 |
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