JP3674818B2 - ワイヤソー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はワイヤソー、詳しくはインゴット切断時に、ワイヤソー用溝ローラのローラ胴部である台金をワイヤにより誤断することを防ぐワイヤソーに関する。
【0002】
【従来の技術】
ワイヤソーは、繰出しボビン(またはリールともいう)から導出されたインゴット切断用のワイヤを、複数本のワイヤソー用溝ローラ(以下、溝ローラという場合がある)に対してコイル状に巻き架け、その後、巻取ボビンに巻き取る装置構成となっている。したがって、例えば単結晶シリコン製のインゴットを切断する際には、ラッピングオイルに遊離砥粒(以下、砥粒という場合がある)を含むスラリー状の砥液を連続供給しながら、往復走行中のワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けることで、砥粒の研削作用により、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。
溝ローラは、円筒形状の台金の外周面に所定厚さのウレタンゴム(ライニング材)をライニングし、このウレタンゴムの外周面にワイヤ溝が刻設されたものである。なお、台金は、ステンレスなどの金属製である。また、溝ローラ間には、インゴット切断時にワイヤ溝およびワイヤの隙間にインゴット端材が巻き込まれることを防ぐ端材巻き込み防止板が配設されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ワイヤソーによるインゴットの切断は、このように往復走行中のワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けることで行われる。このために、インゴットを長時間切断していると、その押付け力によって、ワイヤがウレタンゴムのワイヤ溝に徐々に切れ込んで行く。その結果、ウレタンゴムがライニングされた金属製の台金も傷つけ、最悪の場合、切断してしまうおそれがあった。
【0004】
そこで、発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、ワイヤソー用溝ローラとの間に配設されて、その端面がワイヤに対して数mmだけしか離間していない端材巻き込み防止板に着目し、これにワイヤが接触したことを、例えば断線検出のためにワイヤに常時通電されていることを利用するなど、何らかの方法により検出すれば、この台金の誤断(切断または切り込み)を防止することができることを突き止め、この発明を完成させた。
【0005】
【発明の目的】
この発明は、インゴット切断時に、ワイヤによる台金の誤断を防止することができるワイヤソーを提供することを、その目的としている。
また、この発明は、比較的簡易で低コストな構造により端材巻き込み防止板とワイヤとの接触を検知することができるワイヤソーを提供することを、その目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、ローラ胴部である台金、および、この台金の外周面にライニングされて、ワイヤがコイル状に巻き架けられるワイヤ溝が外周面に刻設されたライニング材を有する正面視して逆三角形状に配置された3本のワイヤソー用溝ローラと、このワイヤソー用溝ローラ間に配設されて、インゴット切断により発生したインゴット端材が、上記ワイヤ溝およびワイヤの隙間に巻き込まれることを防ぐ端材巻き込み防止板とを備えたワイヤソーにおいて、上記3本の溝ローラ間の内部空間には、導電材料で形成された上記端材巻き込み防止板と、導電材料で形成された底板とで上向きコの字形状に構成された端材受け部材と、上記端材巻き込み防止板とワイヤとの電気的な接続を検出する検出部と、この検出部からの検出信号に基づき、上記インゴットの切断作業を停止する台金誤断防止手段とを有するワイヤソーである。
【0007】
この発明が適用されるワイヤソーはどのような種類のものでもよい。例えば、インゴットを動かしてワイヤ列に押圧、接触させて切断するものでもよく、反対にワイヤ列を動かしてインゴットに押圧、接触させて切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴット下面が当接するものでもよく、また、ワイヤ列の下部にインゴット上面が押し当てられるものでもよい。
ワイヤソーにより切断されるインゴットとしては、例えばシリコン単結晶、化合物半導体単結晶、磁性材料、石英、セラミックスなどが挙げられる。
切断に使用される砥液としては、例えば平均粒径10〜50μmのSiCなどの砥粒を含む周知のものを使用することができる。
【0008】
ワイヤソーに組み込まれるワイヤソー用溝ローラの本数は複数であれば限定されない。例えば2本でもよいし、3本以上でもよい。
ワイヤソー用溝ローラの胴部を構成する台金の材質は、例えばステンレスなどの金属が採用できる。また、この台金は、一般的な円筒形状のものでもよいし、中実の円柱体でもよい。
端材巻き込み防止板は、インゴット端材がワイヤ溝およびワイヤの隙間に巻き込まれることを防ぐ板である。この板がないと、インゴット端材がワイヤソー用溝ローラに巻き込まれてしまい、このローラが損傷するとともに、ワイヤ断線の原因ともなる。
【0009】
端材巻き込み防止板の端面とワイヤとの距離(図3の距離aを参照)は限定されない。ただし、3〜6mmが好ましい。3mm未満では通常の切断で端材巻き込み防止板を切り込んでしまうという不都合が生じる。また、6mmを超えるとウレタンゴムのワイヤ溝に徐々に切れ込んでいくため、検知が遅れるという不都合が生じる。なお、この距離は、インゴット切断時のワイヤのたわみも考慮して設定する必要がある。
また、台金誤断防止手段の検出部は、端材巻き込み防止板とワイヤとの接触状態を検出できるものであれば限定されない。例えば、請求項2の通電状態の有無を検出するものでもよいし、カメラ観察およびレーザ光を受光することで検出するものでもよいし、各種のリミットスイッチ,リミットセンサを用いて検出するものでもよい。このうち、カメラおよび光センサ類は、他の検出手段に比べて精度が劣るので好ましくない。これは、ワイヤソーのインゴット切断部が、切断時に装置周辺に砥液が飛散することを防ぐため、通常はケーシングに覆われた視界の悪い環境下に置かれているためである。
【0010】
一般的に、ワイヤソーのワイヤは、ワイヤ断線を検出して、この検出後直ちにインゴットの切断作業を停止するために、常に通電状態になっている。この請求項2ではこれを利用して、ワイヤが端材巻き込み防止板に接触し、通電状態になったことを検出部で検出するという仕組みを採用している。
【0011】
請求項2の発明は、上記底板の幅方向の中間位置には、板長さ方向に沿って一定のピッチで穿孔された多数個のドレン孔が設けられた請求項1に記載のワイヤソーである。
【0012】
【作用】
この発明によれば、インゴットをワイヤソーにより長時間切断していると、その押付け力によって、ワイヤがライニング材のワイヤ溝に徐々に切れ込んで行く。その結果、この切れ込みが進行して、ライニング材の芯材である台金を傷つけ、最悪の場合には、台金を切断するおそれもあった。
しかしながら、この発明では、台金が切断される前に、ワイヤに近接配置された端材巻き込み防止板の端面がワイヤと接触し、この状態を所定の検出手法により検出し、これを異常と判断して、インゴットの切断作業を停止する。よって、台金の誤断を防止することができる。
【0013】
特に、請求項2の発明によれば、検出部として、端材巻き込み防止板とワイヤとの接触状態を、両者が通電状態になったことで検出する。これは、例えば光センサによって検出する場合に比べて、検出の安定性が高く、かつ比較的低コストで簡易に、端材巻き込み防止板とワイヤとの接触状態を検出するものとなる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
図1はこの発明の一実施例に係るワイヤソーの要部模式図である。図2はこの発明の一実施例に係るワイヤソーに組み込まれたワイヤソー用溝ローラの拡大断面図である。
図1において、10はこの発明の一実施例に係るワイヤソーであり、このワイヤソー10は、CZ法により引き上げられた単結晶シリコン製のインゴットIを多数枚のウェーハにワイヤ切断する装置である。ワイヤソー10は、1本のワイヤを横一列に束ねた形状のワイヤ列11を有している。ワイヤ列11は、正面視して逆三角形状に配置された3本の溝ローラ12間で、駆動モータにより往復走行される。上側に配置された2本の溝ローラ12の中間がインゴットIの切断位置となっている。この切断位置の両側部の上方には、砥液をワイヤ列11上に連続供給する図外の砥液供給部が、例えば一対配設されている。
【0015】
また、3本の溝ローラ12間の内部空間には、上向きコの字形状をして、インゴット端材Iaを下方から受ける端材受け部材50が収納されている。この端材受け部材50は、インゴットIの切断時に発生したインゴット端材Iaが、ワイヤ溝とワイヤ列11との隙間に巻き込まれることを防ぐ2枚の端材巻き込み防止板51と、底板52とを連結したものである。なお、各端材巻き込み防止板51は、上側に配置された2本の溝ローラ12の近傍にそれぞれ直立配置されている。これらの板51,52は、導電材料のステンレス製である。さらに、底板52の幅方向の中間位置には、板長さ方向に沿って一定のピッチで、砥液を外部排出する多数個のドレン孔52aが穿孔されている。また、端材巻き込み防止板51の上端面と、ワイヤ列11との距離aは5mmである。
【0016】
ワイヤ11aは、繰出しリール13のボビン20から導出され、これらの溝ローラ12に架け渡された後、巻取リール15のボビン21に巻き取られている。繰出しリール13および巻取リール15の回転軸は、駆動モータ16,17の出力軸にそれぞれ連結されている。
各駆動モータ16,17を駆動、回転すると、一対の軸受18に軸支された各ボビン20,21が、その軸線を中心として図1における時計回り方向または反時計回り方向に回転して、ワイヤ11aが往復走行する。
なお、図1において、19はインゴットIを固定するカーボンベッド、19aはインゴットIの昇降台である。また、60はワイヤソー10全体の制御装置、61は端材巻き込み防止板51とワイヤ列11との接触状態を検出する検出部、62はこの制御装置60に組み込まれて、検出部61からの検出信号に基づいて、インゴットIの切断作業を停止する台金誤断防止手段である。
【0017】
次に、図2を参照しながら、この発明の一実施例に係る溝ローラ12を詳細に説明する。ここでは、3本の溝ローラのうちの2本、従動側の溝ローラを例にとる。なお、駆動側の溝ローラも基本構造は同じである。
図2に示すように、溝ローラ12は、それぞれ所定間隔をあけて配置された一対の軸受30,31間に軸支されている。
各軸受30,31は、連結プレートを介して外部部材に固定された円筒ケーシング32を有している。この円筒ケーシング32には、インナスリーブ33が内嵌されている。インナスリーブ33の内部には、6個のベアリング34を介して、スピンドル35,36が周方向へ回転自在に装着されている。また、インナスリーブ33の外面で連結プレートとの間には水冷ジャケットが配設され、これらの加熱を防止している。
【0018】
溝ローラ12は、SUS製で厚肉な円筒状の台金12Aを有している。台金12Aの外周面には、ピッチの短い平行溝である多数本のワイヤ溝12aが、厚さ5〜20mmのウレタンゴム(ライニング材)12cのライニングを施して、形成されている。また、台金12Aの中央部から両端部付近にかけては、比較的薄肉なローラ補強筒材39が内嵌されている。なお、このローラ補強筒材39は必ずしも必要ではない。
さらに、台金12Aの両端部には、同じくSUS製のスリーブ端板40が内嵌されている。各スリーブ端板40の外端面の中心部には徐々に先細化したテーパ状の凸嵌合部が一体形成されている。両凸嵌合部は、スピンドル35,36の溝ローラ12側の端面中央部に陥没形成された凹嵌合部に嵌合されている。これにより、左右のスピンドル35,36と中央の溝ローラ12とは一体的に回転する。
なお、図2において、46は軸受31側の円筒ケーシング32に外嵌されて、スピンドル35,36の頭部を被う厚肉なキャップである。
【0019】
次に、このワイヤソー10によるインゴットIの切断方法を説明する。図3はこの発明の一実施例に係るワイヤソーによるインゴット切断作業の説明図である。
図1,図2に示すように、ワイヤソー10は、砥液を砥液供給部から供給しながら、駆動モータ16により繰出しリール13のボビン20を回転させて、ワイヤ11aを導出する一方、駆動モータ17により巻取リール15のボビン21を回転させてワイヤ11aを巻き取る。そして、適宜、各ボビン20,21の回転方向を変えることで、ワイヤ11aを往復走行させる。このとき、図外の回転モータによって駆動側の溝ローラ12を回転させ、ワイヤ列11を往復動させる。これに伴い、他の2本の従動側の溝ローラ12が軸受30,31間で回転する。
このワイヤ列11の往復走行時に、上方からインゴットIをワイヤ列11へ押し付ける(図3の二点鎖線参照)。これにより、インゴットIが何枚ものウェーハに切断される。すなわち、ワイヤ列11の往復走行時に、砥液中の遊離砥粒がワイヤ列11のワイヤ11aにより切断溝の底部に擦りつけられることにより、その底部が徐々に削り取られ、最終的に多数枚の薄いウェーハが切断される。なお、この切断時に、インゴット端材Iaが発生し、場合により切り落とされる。
【0020】
ところで、ワイヤソー10によるインゴットIの切断を長時間行うと、インゴットIの押付け力によって、ワイヤ列11がウレタンゴム12cのワイヤ溝12aに徐々に切れ込んで行く。これが進行すると、その切れ込みが台金12Aにまで達し、その表面を傷つけてしまう。さらに最悪の場合には、この台金12Aを切断するおそれもある。
しかしながら、一実施例のワイヤソー10では、図3の一点鎖線に示すように、ワイヤ列11が台金12Aに切れ込む以前に、このワイヤ列11より5mmだけ下方にある端材巻き込み防止板51の上端面と接触する。
なお、ワイヤ列11には断線を検出するために常時電流が流れている。このため、ワイヤ列11が端材巻き込み防止板51と接触することで通電状態になり、これを検出部61が検出する。
【0021】
その後、この検出部61から、制御装置60の台金誤断防止手段62に検出信号が送られ、そこで異常と判断し、制御装置60からインゴットIの各電気機器に切断作業の停止指令が出される。これにより、繰出しリール13および巻取リール15の各駆動モータ16,17が停止する。また、駆動側の溝ローラ12の回転も停止する。その結果、台金12Aの誤っての切断を自動的に防止することができる。
しかも、このように端材巻き込み防止板51とワイヤ列11との接触を、両者が通電状態されたか否かを目安に検出するようにしたので、比較的低コストでかつ簡易な方法により、端材巻き込み防止板51とワイヤ列11との接触を検出することができる。
なお、この接触検出技術を、例えばワイヤ列11が端材巻き込み防止板51に接することで発生するワイヤ切断の検出技術にも応用することができる。
【0022】
【発明の効果】
この発明によれば、端材巻き込み防止板とワイヤとの接触状態を検出し、この検出に基づき、インゴットの切断作業を停止するようにしたので、インゴット切断時に、台金をワイヤによって誤切断することを防ぐことができる。
【0023】
特に、請求項2の発明のワイヤソーによれば、請求項1の効果に加えて、端材巻き込み防止板とワイヤとの接触を、両者が通電状態になることにより検出するようにしたので、比較的低価格で簡易な手段により、端材巻き込み防止板とワイヤとの接触を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例に係るワイヤソーの要部模式図である。
【図2】 この発明の一実施例に係るワイヤソーに組み込まれたワイヤソー用溝ローラの拡大断面図である。
【図3】この発明の一実施例に係るワイヤソーによるインゴット切断作業の説明図である。
【符号の説明】
10 ワイヤソー、
12A 台金、
11a ワイヤ、
11 ワイヤ列、
12 ワイヤソー用溝ローラ、
12a ワイヤ溝、
12c ウレタンゴム(ライニング材)、
51 端材巻き込み防止板、
61 検出部、
62 台金誤断防止手段、
I インゴット、
Ia インゴット端材。
Claims (2)
- ローラ胴部である台金、および、この台金の外周面にライニングされて、ワイヤがコイル状に巻き架けられるワイヤ溝が外周面に刻設されたライニング材を有する正面視して逆三角形状に配置された3本のワイヤソー用溝ローラと、
このワイヤソー用溝ローラ間に配設されて、インゴット切断により発生したインゴット端材が、上記ワイヤ溝およびワイヤの隙間に巻き込まれることを防ぐ端材巻き込み防止板とを備えたワイヤソーにおいて、
上記3本の溝ローラ間の内部空間には、導電材料で形成された上記端材巻き込み防止板と、導電材料で形成された底板とで上向きコの字形状に構成された端材受け部材と、
上記端材巻き込み防止板とワイヤとの電気的な接続を検出する検出部と、
この検出部からの検出信号に基づき、上記インゴットの切断作業を停止する台金誤断防止手段とを有するワイヤソー。 - 上記底板の幅方向の中間位置には、板長さ方向に沿って一定のピッチで穿孔された多数個のドレン孔が設けられた請求項1に記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23561998A JP3674818B2 (ja) | 1998-08-21 | 1998-08-21 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23561998A JP3674818B2 (ja) | 1998-08-21 | 1998-08-21 | ワイヤソー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000061800A JP2000061800A (ja) | 2000-02-29 |
JP3674818B2 true JP3674818B2 (ja) | 2005-07-27 |
Family
ID=16988700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23561998A Expired - Fee Related JP3674818B2 (ja) | 1998-08-21 | 1998-08-21 | ワイヤソー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3674818B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2110216B1 (en) * | 2008-04-14 | 2013-06-05 | Applied Materials, Inc. | Wire saw device and method for operating same |
JP2012231079A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体単結晶基板およびその製造方法 |
-
1998
- 1998-08-21 JP JP23561998A patent/JP3674818B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000061800A (ja) | 2000-02-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090513 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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