JP2000190196A - ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造 - Google Patents
ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 様々な要因によって発生するワイヤソーのリ
ールボビンの異常回転を簡単な構造で確実に検知し、異
常が検知されたときは、警報を出したり、運転を停止さ
せる等の適切な対応ができるようにすること。 【解決手段】 振動センサ部４０ａと比較検出手段４２
からなる振動センサ４０の振動センサ部４０ａがワイヤ
ソーのリールボビンＲの軸受ハウジング２２側面に取付
けられている。比較検出手段４２には、予め比較基準振
動値が入力されている。振動センサ部４０ａでリールボ
ビンＲの回転によって発生する振動が測定されており、
その測定値が比較検出手段４２で比較基準振動値と比較
され、測定値が比較基準振動値を超えている場合には、
リールボビンＲの異常回転として検知される。
ールボビンの異常回転を簡単な構造で確実に検知し、異
常が検知されたときは、警報を出したり、運転を停止さ
せる等の適切な対応ができるようにすること。 【解決手段】 振動センサ部４０ａと比較検出手段４２
からなる振動センサ４０の振動センサ部４０ａがワイヤ
ソーのリールボビンＲの軸受ハウジング２２側面に取付
けられている。比較検出手段４２には、予め比較基準振
動値が入力されている。振動センサ部４０ａでリールボ
ビンＲの回転によって発生する振動が測定されており、
その測定値が比較検出手段４２で比較基準振動値と比較
され、測定値が比較基準振動値を超えている場合には、
リールボビンＲの異常回転として検知される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料、磁性
体等の硬脆性材料のワークを、走行するワイヤによって
薄いスライス片（ウエハ）に切断するためのワイヤソー
の技術分野に属する。
体等の硬脆性材料のワークを、走行するワイヤによって
薄いスライス片（ウエハ）に切断するためのワイヤソー
の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、１本のワイヤを溝付きロ
ーラ間に巻回して構成したワイヤ列に、例えば、砥粒を
含むスラリを供給しつつワイヤを走行させながら、硬脆
性材料のワークをワイヤ列に押し付けて、薄いスライス
片に切断するものである。
ーラ間に巻回して構成したワイヤ列に、例えば、砥粒を
含むスラリを供給しつつワイヤを走行させながら、硬脆
性材料のワークをワイヤ列に押し付けて、薄いスライス
片に切断するものである。
【０００３】図５に従来のワイヤソー６０の概略側面図
を示す。このワイヤソー６０の基台２０に設けられた軸
受ハウジング２２内には、図６に詳細を示すように、ベ
アリングＢ，Ｂを介してリールボビン軸３０が回転自在
に支持されており、このリールボビン軸３０にはリール
ボビンＲ（一方のみを図示。）が取付軸３１を介して取
付けられている。図６において、リールボビン軸３０が
モータ（図示せず。）によってプーリＰを介して回転す
ると、リールボビン軸３０に取付けられたリールボビン
Ｒが回転する。図５中の符号９０は、このワイヤソー全
体を覆うカバーである。一対のリールボビンＲに、１本
のワイヤＷが巻回されており、リールボビン軸３０の回
転によって繰出リールボビンから繰り出されたワイヤＷ
は、３本の溝付きローラ７０，７０，７０間に巻回され
たワイヤ列７２を構成し、巻取リールボビンに巻取られ
るようになっている。リールボビンＲの近傍にはトラバ
ース手段５０が設置され、これによって、ワイヤＷがリ
ールボビンＲの軸線方向にトラバースされて巻取られ
る。なお、このワイヤソー６０に設けられた巻取リール
ボビンと繰出リールボビンはほぼ同一の構成でワイヤソ
ー６０に設けられ、ワイヤＷの走行方向によって、繰出
側になったり、巻取側になったりする。
を示す。このワイヤソー６０の基台２０に設けられた軸
受ハウジング２２内には、図６に詳細を示すように、ベ
アリングＢ，Ｂを介してリールボビン軸３０が回転自在
に支持されており、このリールボビン軸３０にはリール
ボビンＲ（一方のみを図示。）が取付軸３１を介して取
付けられている。図６において、リールボビン軸３０が
モータ（図示せず。）によってプーリＰを介して回転す
ると、リールボビン軸３０に取付けられたリールボビン
Ｒが回転する。図５中の符号９０は、このワイヤソー全
体を覆うカバーである。一対のリールボビンＲに、１本
のワイヤＷが巻回されており、リールボビン軸３０の回
転によって繰出リールボビンから繰り出されたワイヤＷ
は、３本の溝付きローラ７０，７０，７０間に巻回され
たワイヤ列７２を構成し、巻取リールボビンに巻取られ
るようになっている。リールボビンＲの近傍にはトラバ
ース手段５０が設置され、これによって、ワイヤＷがリ
ールボビンＲの軸線方向にトラバースされて巻取られ
る。なお、このワイヤソー６０に設けられた巻取リール
ボビンと繰出リールボビンはほぼ同一の構成でワイヤソ
ー６０に設けられ、ワイヤＷの走行方向によって、繰出
側になったり、巻取側になったりする。
【０００４】ワイヤ列７２にはスラリ供給ノズル７４，
７４から例えば砥粒を含むスラリが供給され、ワイヤ列
７２の上方に、上下動可能なワーク保持手段８２によっ
てワーク８０が保持されている。
７４から例えば砥粒を含むスラリが供給され、ワイヤ列
７２の上方に、上下動可能なワーク保持手段８２によっ
てワーク８０が保持されている。
【０００５】なお、従来のワイヤソーには、基本的に、
ワイヤＷの一方向走行によって切断加工を行なうタイプ
のものと、例えば、一方向に１０ｍ走行したら次は逆方
向に９ｍ戻る、という正逆走行動作を交互に繰り返し
て、全体として、新線供給方向に走行する、という往復
走行タイプのものとがある。
ワイヤＷの一方向走行によって切断加工を行なうタイプ
のものと、例えば、一方向に１０ｍ走行したら次は逆方
向に９ｍ戻る、という正逆走行動作を交互に繰り返し
て、全体として、新線供給方向に走行する、という往復
走行タイプのものとがある。
【０００６】図６は、上記のワイヤソー６０において、
カバー９０の図示を省略した部分拡大断面図であり、リ
ールボビン支持部の構成の詳細を示す。上記の通り、こ
のワイヤソー６０の各リールボビン軸３０は、基台２０
に固定された軸受ハウジング２２，２２内にベアリング
Ｂを介して回転自在に軸支されており、図示しないモー
タによってプーリＰを介して回転可能となっている。リ
ールボビンＲには軸方向に延びる取付軸挿通孔３２が貫
通形成され、その上下両端にはセンター決め用の座穴３
２ａ，３２ｂが形成されている。リールボビン軸３０の
上面には中心にセンター決め用の突部３３が突設され、
その中心にはねじ孔３４が形成されている。
カバー９０の図示を省略した部分拡大断面図であり、リ
ールボビン支持部の構成の詳細を示す。上記の通り、こ
のワイヤソー６０の各リールボビン軸３０は、基台２０
に固定された軸受ハウジング２２，２２内にベアリング
Ｂを介して回転自在に軸支されており、図示しないモー
タによってプーリＰを介して回転可能となっている。リ
ールボビンＲには軸方向に延びる取付軸挿通孔３２が貫
通形成され、その上下両端にはセンター決め用の座穴３
２ａ，３２ｂが形成されている。リールボビン軸３０の
上面には中心にセンター決め用の突部３３が突設され、
その中心にはねじ孔３４が形成されている。
【０００７】まず、リールボビンＲの座穴３２ｂをリー
ルボビン軸３０の上面に形成された突部３３に嵌合させ
た後、リールボビンＲの挿通孔３２に上方から取付軸３
１を挿入し、取付軸３１の下端部をリールボビン軸３０
のねじ孔３４に締め込む。このとき、リールボビンＲの
上面と取付軸３１との間には、ばね３５を介して芯出し
リングＣが座穴３２ａに嵌め込まれる。この芯出しリン
グＣは、各リールボビンＲの上部と取付軸３１との隙間
を埋め、リールボビン軸３０に対して各リールボビンＲ
ががたつかないように、両者の回転中心を一致させるた
めのものである。
ルボビン軸３０の上面に形成された突部３３に嵌合させ
た後、リールボビンＲの挿通孔３２に上方から取付軸３
１を挿入し、取付軸３１の下端部をリールボビン軸３０
のねじ孔３４に締め込む。このとき、リールボビンＲの
上面と取付軸３１との間には、ばね３５を介して芯出し
リングＣが座穴３２ａに嵌め込まれる。この芯出しリン
グＣは、各リールボビンＲの上部と取付軸３１との隙間
を埋め、リールボビン軸３０に対して各リールボビンＲ
ががたつかないように、両者の回転中心を一致させるた
めのものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
構成のワイヤソー６０では、芯出しリングＣの装着忘れ
や取付けるべきリールボビンＲの取り違え等、リールボ
ビン取付け時にミスがあると、リールボビン軸３０及び
各リールボビンＲの回転によって異常な振動が発生する
ことがある。また、上記の取付けミスの場合だけでな
く、長期間の使用による各リールボビンＲやベアリング
Ｂの摩耗、各部分のねじ等の緩み、各リールボビンＲの
変形等、様々な要因によってもワイヤソーの運転中に異
常な回転に起因する振動が発生することがある。そし
て、このような原因によって、異常な振動が発生してい
る状態でワーク８０の切断が行なわれると、切断された
ウエハの加工精度が低下するだけでなく、振動によって
ワイヤソー装置自体が破損したりするという問題を有す
る。
構成のワイヤソー６０では、芯出しリングＣの装着忘れ
や取付けるべきリールボビンＲの取り違え等、リールボ
ビン取付け時にミスがあると、リールボビン軸３０及び
各リールボビンＲの回転によって異常な振動が発生する
ことがある。また、上記の取付けミスの場合だけでな
く、長期間の使用による各リールボビンＲやベアリング
Ｂの摩耗、各部分のねじ等の緩み、各リールボビンＲの
変形等、様々な要因によってもワイヤソーの運転中に異
常な回転に起因する振動が発生することがある。そし
て、このような原因によって、異常な振動が発生してい
る状態でワーク８０の切断が行なわれると、切断された
ウエハの加工精度が低下するだけでなく、振動によって
ワイヤソー装置自体が破損したりするという問題を有す
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対のリール
ボビンを備え、一方のリールボビンから繰出されたワイ
ヤを複数の溝付きローラ間に巻回してワイヤ列を構成
し、他方のリールボビンに巻取るようにし、前記ワイヤ
を走行させながら前記ワイヤ列にワークを押し付けて切
断加工を行なうワイヤソーにおいて、前記リールボビン
を軸支する軸受ハウジング又は該軸受ハウジングのブラ
ケットに取付けられた振動センサ部と、該振動センサ部
に連結された比較検出手段とからなる振動センサを備
え、前記振動センサによって、前記リールボビンの異常
回転を検知するようにしたワイヤソーのリールボビンの
異常回転検知構造によって、前記の課題を解決したもの
である。
ボビンを備え、一方のリールボビンから繰出されたワイ
ヤを複数の溝付きローラ間に巻回してワイヤ列を構成
し、他方のリールボビンに巻取るようにし、前記ワイヤ
を走行させながら前記ワイヤ列にワークを押し付けて切
断加工を行なうワイヤソーにおいて、前記リールボビン
を軸支する軸受ハウジング又は該軸受ハウジングのブラ
ケットに取付けられた振動センサ部と、該振動センサ部
に連結された比較検出手段とからなる振動センサを備
え、前記振動センサによって、前記リールボビンの異常
回転を検知するようにしたワイヤソーのリールボビンの
異常回転検知構造によって、前記の課題を解決したもの
である。
【００１０】
【作用】本発明のワイヤソーのリールボビンの異常回転
検知構造によれば、振動センサ部と比較検出手段とから
なる振動センサによって、ワイヤソーのリールボビンの
異常回転を検知し、ワイヤソーの運転を停止させたり、
警報を出したりして、直ちに適切な対応をすることがで
きる。
検知構造によれば、振動センサ部と比較検出手段とから
なる振動センサによって、ワイヤソーのリールボビンの
異常回転を検知し、ワイヤソーの運転を停止させたり、
警報を出したりして、直ちに適切な対応をすることがで
きる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のワイヤソーのリールボビ
ンの異常回転検知構造は、従来と同一の構成のワイヤソ
ーに適用されるので、ワイヤソー全体の構成についての
説明は省略する。なお、繰出リールボビン及び巻取リー
ルボビンはほぼ同一の構成であり、ワイヤの走行方向に
よって、繰出及び巻取の両方を行なうものであるから、
この明細書では、以下、「繰出リールボビン」及び「巻
取リールボビン」を単に「リールボビン」と表現する。
ンの異常回転検知構造は、従来と同一の構成のワイヤソ
ーに適用されるので、ワイヤソー全体の構成についての
説明は省略する。なお、繰出リールボビン及び巻取リー
ルボビンはほぼ同一の構成であり、ワイヤの走行方向に
よって、繰出及び巻取の両方を行なうものであるから、
この明細書では、以下、「繰出リールボビン」及び「巻
取リールボビン」を単に「リールボビン」と表現する。
【００１２】図１は、ワイヤソーを側面から見た一部断
面図であり、本発明の第一実施形態のリールボビンの異
常回転検知構造を示す。なお、この図では、ワイヤソー
を覆うカバー９０の図示を省略した。このリールボビン
の異常回転検知構造に使用されるリールボビン軸３０
は、従来のものと同様に、基台２０に固定された軸受ハ
ウジング２２内にベアリングＢを介して回転可能に軸支
され、プーリＰを介して、図示していないモータによっ
て回転駆動されるようになっている。
面図であり、本発明の第一実施形態のリールボビンの異
常回転検知構造を示す。なお、この図では、ワイヤソー
を覆うカバー９０の図示を省略した。このリールボビン
の異常回転検知構造に使用されるリールボビン軸３０
は、従来のものと同様に、基台２０に固定された軸受ハ
ウジング２２内にベアリングＢを介して回転可能に軸支
され、プーリＰを介して、図示していないモータによっ
て回転駆動されるようになっている。
【００１３】このワイヤソーには、振動センサ部４０ａ
とコントロールユニット４０ｂからなる振動センサ４０
が備えられている。この振動センサ４０は、測定対象物
に取付けられた振動センサ部４０ａによって測定対象物
の振動の波形、振幅、周波数等を検知し、機械的、光学
的、又は電気的方法で出力する装置であり、この実施形
態では、コントロールユニット４０ｂによって、検出値
を電気的に増幅している。なお、このような振動センサ
自体は、当業者には周知であるので詳細な説明は省略す
る。図１に示すように、この実施形態では、振動センサ
４０の振動センサ部４０ａは軸受ハウジング２２の側面
に取付けられている。なお、図２は図１における振動セ
ンサ部４０ａの取付け状態を示す拡大断面図である。
とコントロールユニット４０ｂからなる振動センサ４０
が備えられている。この振動センサ４０は、測定対象物
に取付けられた振動センサ部４０ａによって測定対象物
の振動の波形、振幅、周波数等を検知し、機械的、光学
的、又は電気的方法で出力する装置であり、この実施形
態では、コントロールユニット４０ｂによって、検出値
を電気的に増幅している。なお、このような振動センサ
自体は、当業者には周知であるので詳細な説明は省略す
る。図１に示すように、この実施形態では、振動センサ
４０の振動センサ部４０ａは軸受ハウジング２２の側面
に取付けられている。なお、図２は図１における振動セ
ンサ部４０ａの取付け状態を示す拡大断面図である。
【００１４】ワイヤソーの運転の際には、リールボビン
Ｒが所定回転数で回転している正常運転状態であっても
多少の振動が発生するが、正常運転時に振動センサ４０
で測定した軸受ハウジング２２部分の振動値の範囲の境
界を「比較基準振動値」と定義する。すなわち、「比較
基準振動値」は、振動センサ４０によって測定された、
ワイヤソーの正常運転時に通常発生する振動値の範囲の
上限或いは許容限界値を示すものである。その値は、経
験によって把握される。
Ｒが所定回転数で回転している正常運転状態であっても
多少の振動が発生するが、正常運転時に振動センサ４０
で測定した軸受ハウジング２２部分の振動値の範囲の境
界を「比較基準振動値」と定義する。すなわち、「比較
基準振動値」は、振動センサ４０によって測定された、
ワイヤソーの正常運転時に通常発生する振動値の範囲の
上限或いは許容限界値を示すものである。その値は、経
験によって把握される。
【００１５】さらに、この振動センサ４０のコントロー
ルユニット４０ｂは比較基準振動値と実測値とを比較し
てその結果を出力する比較検出手段４２としての機能を
有し、比較検出手段４２には予め比較基準振動値が入力
されているものとする。従って、比較検出手段４２にお
いて比較した結果、測定値が比較基準振動値を越えた場
合に、ワイヤソーに異常振動が発生したことが検出され
ることになる。なお、この比較検出手段４２をワイヤソ
ーの運転制御装置（図示せず。）に連結しておき、異常
振動発生時には、例えば、自動的にワイヤソーを停止さ
せる制御を行なわせるようにしておくとよい。また、振
動センサ４０を警報機（図示せず。）に連結しておき、
異常振動発生時に警報を発するようにしてもよい。
ルユニット４０ｂは比較基準振動値と実測値とを比較し
てその結果を出力する比較検出手段４２としての機能を
有し、比較検出手段４２には予め比較基準振動値が入力
されているものとする。従って、比較検出手段４２にお
いて比較した結果、測定値が比較基準振動値を越えた場
合に、ワイヤソーに異常振動が発生したことが検出され
ることになる。なお、この比較検出手段４２をワイヤソ
ーの運転制御装置（図示せず。）に連結しておき、異常
振動発生時には、例えば、自動的にワイヤソーを停止さ
せる制御を行なわせるようにしておくとよい。また、振
動センサ４０を警報機（図示せず。）に連結しておき、
異常振動発生時に警報を発するようにしてもよい。
【００１６】なお、ワイヤソーの振動はリールボビン
Ｒ、取付軸３１及びリールボビン軸３０の回転に起因す
るため、上記のリールボビンの異常回転検知構造では振
動発生源直近の軸受ハウジング２２側面に振動センサ部
４０ａを取付けて振動を効果的に検知できるようにした
が、リールボビンＲ、取付軸３１及びリールボビン軸３
０の回転によって発生する振動がそのまま伝達される場
所であれば、振動センサ部４０ａの取付位置は特に限定
されない。例えば、図３に示す第２実施形態のもののよ
うに、軸受ハウジング２２にブラケット２２０が取付け
られたワイヤソーの場合には、振動センサ部４０ａをブ
ラケット２２０の側面に取付けることもできる。この場
合も、図２の取付状態に示すように振動センサ部４０ａ
はブラケット２２０の側面にボルト等を介して取付けら
れる。
Ｒ、取付軸３１及びリールボビン軸３０の回転に起因す
るため、上記のリールボビンの異常回転検知構造では振
動発生源直近の軸受ハウジング２２側面に振動センサ部
４０ａを取付けて振動を効果的に検知できるようにした
が、リールボビンＲ、取付軸３１及びリールボビン軸３
０の回転によって発生する振動がそのまま伝達される場
所であれば、振動センサ部４０ａの取付位置は特に限定
されない。例えば、図３に示す第２実施形態のもののよ
うに、軸受ハウジング２２にブラケット２２０が取付け
られたワイヤソーの場合には、振動センサ部４０ａをブ
ラケット２２０の側面に取付けることもできる。この場
合も、図２の取付状態に示すように振動センサ部４０ａ
はブラケット２２０の側面にボルト等を介して取付けら
れる。
【００１７】また、上記のコントロールユニット４０ｂ
は比較検出手段４２としての機能を有するものである
が、コントロールユニット４０ｂと比較検出手段４２は
別体としてもよい。
は比較検出手段４２としての機能を有するものである
が、コントロールユニット４０ｂと比較検出手段４２は
別体としてもよい。
【００１８】なお、以上に説明した本発明のワイヤソー
のリールボビンの異常回転検知構造において、測定値の
一定範囲以外の振動が所定の時間以上連続して検出され
た場合にのみ、ワイヤソー停止装置や警報機を作動させ
るようにすれば、起動時のような一時的な異常振動によ
る誤動作を防止することができる。
のリールボビンの異常回転検知構造において、測定値の
一定範囲以外の振動が所定の時間以上連続して検出され
た場合にのみ、ワイヤソー停止装置や警報機を作動させ
るようにすれば、起動時のような一時的な異常振動によ
る誤動作を防止することができる。
【００１９】このワイヤソーのリールボビンの異常回転
検知構造は、通常、繰出側と巻取側の両方のリールボビ
ンＲに設けられることになるが、両リールボビンＲから
の異常検知をもって、ワイヤＷの脱線、断線等の異常状
態検知が可能になる。
検知構造は、通常、繰出側と巻取側の両方のリールボビ
ンＲに設けられることになるが、両リールボビンＲから
の異常検知をもって、ワイヤＷの脱線、断線等の異常状
態検知が可能になる。
【００２０】ところで、本発明のワイヤソーのリールボ
ビンの異常回転検知構造に使用される比較検知手段４２
を、ワイヤソーの運転チェックプログラムに組込むこと
もできる。図４にその動作手順の一例を示す。運転チェ
ックプログラムは、ワイヤソーの作動中に各項目につい
てチェックを行なうものであり、ワイヤソーの起動時に
作動する起動条件チェック用プログラムを含むととも
に、自動運転中のチェック用プログラムを含んでいる。
チェック項目の一例としては、ガイドローラの寿命、ワ
イヤの巻回残量、リールボビン異常、ワイヤの走行異
常、ワイヤの断線、スラリ温度異常、スラリ粘度異常、
スラリタンクレベルの異常、ポンプの過負荷、インバー
タ異常等が挙げられる。この運転チェックプログラム
に、各項目別の処理用プログラムが組み込まれている
と、異常が発見された項目に応じて適切な対応をさせる
ことができる。例えば、リールボビンの異常回転やワイ
ヤの走行異常等の重大な異常の場合にはワイヤソーを非
常停止させることにより、特に、起動条件チェック時に
上記の異常を検出した場合に、未然に、装置への影響及
びワークの加工不良を未然に防ぐことができる。また、
ガイドローラ、ベアリングの寿命等の軽微な異常の場合
には警報を発するのみとし、作業者に報知させることが
できる。
ビンの異常回転検知構造に使用される比較検知手段４２
を、ワイヤソーの運転チェックプログラムに組込むこと
もできる。図４にその動作手順の一例を示す。運転チェ
ックプログラムは、ワイヤソーの作動中に各項目につい
てチェックを行なうものであり、ワイヤソーの起動時に
作動する起動条件チェック用プログラムを含むととも
に、自動運転中のチェック用プログラムを含んでいる。
チェック項目の一例としては、ガイドローラの寿命、ワ
イヤの巻回残量、リールボビン異常、ワイヤの走行異
常、ワイヤの断線、スラリ温度異常、スラリ粘度異常、
スラリタンクレベルの異常、ポンプの過負荷、インバー
タ異常等が挙げられる。この運転チェックプログラム
に、各項目別の処理用プログラムが組み込まれている
と、異常が発見された項目に応じて適切な対応をさせる
ことができる。例えば、リールボビンの異常回転やワイ
ヤの走行異常等の重大な異常の場合にはワイヤソーを非
常停止させることにより、特に、起動条件チェック時に
上記の異常を検出した場合に、未然に、装置への影響及
びワークの加工不良を未然に防ぐことができる。また、
ガイドローラ、ベアリングの寿命等の軽微な異常の場合
には警報を発するのみとし、作業者に報知させることが
できる。
【００２１】一方、本発明のリールボビンの異常回転検
知構造を上記の運転チェックプログラムとは別にして、
ワイヤソーの運転中は、常時、異常振動の発生を検知す
るようにしてもよい。
知構造を上記の運転チェックプログラムとは別にして、
ワイヤソーの運転中は、常時、異常振動の発生を検知す
るようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】本発明のワイヤソーのリールボビンの異
常回転検知構造によると、簡単な構成によって、様々な
要因によるワイヤソーのリールボビンの異常回転を確実
に検知することができる。そのため、直ちにワイヤソー
の運転を停止させたりして対応することができるので、
ワイヤソーの破損のような事故を未然に防止することが
できる。
常回転検知構造によると、簡単な構成によって、様々な
要因によるワイヤソーのリールボビンの異常回転を確実
に検知することができる。そのため、直ちにワイヤソー
の運転を停止させたりして対応することができるので、
ワイヤソーの破損のような事故を未然に防止することが
できる。
【００２３】また、本発明のワイヤソーのリールボビン
の異常回転検知構造において、比較検出手段が運転チェ
ックプログラムに組み込まれていると、ワイヤソーの起
動時や自動運転中に、リールボビンの異常回転の発生を
自動的に検知することができる。
の異常回転検知構造において、比較検出手段が運転チェ
ックプログラムに組み込まれていると、ワイヤソーの起
動時や自動運転中に、リールボビンの異常回転の発生を
自動的に検知することができる。
【図１】 本発明の第１実施形態のワイヤソーのリール
ボビンの異常回転検知構造を側面から見た部分拡大断面
図。
ボビンの異常回転検知構造を側面から見た部分拡大断面
図。
【図２】 センサ部の取付状態を示す拡大断面図。
【図３】 本発明の第２実施形態のワイヤソーのリール
ボビンの異常回転検知構造を側面から見た部分拡大断面
図。
ボビンの異常回転検知構造を側面から見た部分拡大断面
図。
【図４】 ワイヤソーの運転チェックプログラムの動作
手順を示す図。
手順を示す図。
【図５】 従来のワイヤソーの概略側面図。
【図６】 従来のワイヤソーの部分拡大断面図。
２２：軸受ハウジング ２２０：ブラケット ４０：振動センサ ４０ａ：振動センサ部 ４２：比較検出手段 Ｒ：リールボビン ３０：リールボビン軸 ３１：取付軸 Ｃ：芯出しリング Ｗ：ワイヤ ７０：溝付きローラ ７２：ワイヤ列 ８０：ワーク
Claims (7)
- 【請求項１】 一対のリールボビンを備え、一方のリー
ルボビンから繰出されたワイヤを複数の溝付きローラ間
に巻回してワイヤ列を構成し、他方のリールボビンに巻
取るようにし、前記ワイヤを走行させながら前記ワイヤ
列にワークを押し付けて切断加工を行なうワイヤソーに
おいて、 前記リールボビンを軸支する軸受ハウジング又は該軸受
ハウジングのブラケットに取付けられた振動センサ部
と、該振動センサ部に連結された比較検出手段とからな
る振動センサを備え、 前記振動センサによって、前記リールボビンの異常回転
を検知することを特徴とする、 ワイヤソーのリールボビンの異常回転検知構造。 - 【請求項２】 前記比較検出手段に予め比較基準振動値
が入力されており、前記振動センサ部で検知された振動
値が前記比較基準振動値を越えたとき前記リールボビン
の異常回転とする、請求項１のワイヤソーのリールボビ
ンの異常回転検知構造。 - 【請求項３】 前記異常状態が所定時間以上継続したと
き前記リールボビンの異常回転とする、請求項２のワイ
ヤソーのリールボビンの異常回転検知構造。 - 【請求項４】 前記リールボビンの異常回転時に警報を
発生させるか或いは前記ワイヤソーの運転を停止させる
ようにした、請求項１から３のいずれかのワイヤソーの
リールボビンの異常回転検知構造。 - 【請求項５】 前記比較検出手段が前記ワイヤソーの自
動運転起動時に作動する、請求項１から４のいずれかの
ワイヤソーのリールボビンの異常回転検知構造。 - 【請求項６】 前記比較検出手段が前記ワイヤソーの起
動条件チェック用プログラムに組込まれている、請求項
５のワイヤソーのリールボビンの異常回転検知構造。 - 【請求項７】 前記比較検出手段が前記ワイヤソーの運
転中、常時、比較検出を行なう、請求項１から５のいず
れかのワイヤソーのリールボビンの異常回転検知構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37697998A JP2000190196A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37697998A JP2000190196A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000190196A true JP2000190196A (ja) | 2000-07-11 |
Family
ID=18508056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37697998A Withdrawn JP2000190196A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000190196A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1998
- 1998-12-28 JP JP37697998A patent/JP2000190196A/ja not_active Withdrawn
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