JP3126836B2 - ワイヤソー装置の異常検出方法 - Google Patents
ワイヤソー装置の異常検出方法Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
て、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触など
の異常を検出する方法に関する。
線やワイヤと機体との接触事故などが発生したとき、そ
の異常を速やかに検出してワイヤソー装置を停止させる
必要がある。従来、この異常の検出手段として、ワイヤ
に直流電流を流し、その電流変化を検出して、異常検出
が行われている。
を介して直流電流を導きだすことができないため、リー
ルの軸の部分にスリップリングや回転コネクタなどの給
電手段が取り付けられている。しかし、これらの給電手
段は、消耗部品を使用しているため、消耗の度合いによ
って、必要な機能が確保できず、また定期的な部品交換
が必要であり、その保守点検が煩雑である。
リングや回転コネクタなどの給電手段を用いないで、ワ
イヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触などの異常
を電気的に検出できるようにすることである。
するワイヤによりワークを切断するワイヤソー装置にお
いて、ワイヤソー装置の機体上に電気的な絶縁材により
取り付け金具を固定し、この取り付け金具に対してワー
クを支持材により固定すると共に、ワイヤの送り出し側
のリールおよび巻き取り側のリールをそれぞれ機体上の
電気的な絶縁台に軸受け台およびベアリングにより回転
自在に支持して、機械的な部分を構成している。
軸受け台の間に交流電源および電気的変化の検出手段を
接続して、送り出し側の軸受け台、ベアリング、リール
軸、リール、ワイヤ、巻き取り側のリール、リール軸、
ベアリング、軸受け台、前記交流電源および検出手段を
含んで交流的な閉回路を形成し、この閉回路の電気的要
素の変化により、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気
的な接触などの異常を検出するようにしている。
などを介して回転自在に支持されているが、このベアリ
ング部分は、電気的にコンデンサを構成するため、直流
電流を通さないが、交流電流に対して導通状態となる。
しかし、交流の場合に、ワイヤを含む回路以外、例えば
取り付け台などを介して機体へも電流が流れるなど、複
雑な回路が形成される。本発明は、これらの複雑な電流
の流れを解明して、検出対象のワイヤの異常のみを検出
できるように工夫している。
適用した状態の全体的な構成を示している。ワイヤソー
装置1で、ワイヤ2は、送り出し側のリール3から供給
され、複数の案内用または駆動用のローラ5に巻き掛け
られて、切断対象の半導体製品などのワーク6に接し、
巻き取り側のリール4に巻き取られていく。
上の絶縁台8、9を介して軸受け台10、11その内部
に取り付けられた玉軸受けなどのベアリング12、1
3、各リール3、4のリール軸14、15によって回転
自在に支持されている。なお、これらのリール軸14、
15は、共通の駆動手段または専用のモータ16、17
およびベルト・プーリなどの回転伝達手段18、19に
よって所定の方向に駆動されるようになっている。
示している。ワーク6は、ガラスなどの絶縁材またはグ
ラファイトなどの導電性材料などの支持材20によって
取り付け金具21の上に固定されている。この取り付け
金具21は、電気的な絶縁材22を介して機体7の上の
取り付け台23に取り付けられている。
対して電気的な絶縁材22を介して取り付けられている
ため、取り付け用の支持材20として絶縁材または導電
材料が用いられても、ワイヤ2の断線検出や接触異常な
どの検出に支障がない。このため、ワーク2の固定にあ
たって、支持材20の材料の選定が容易となり、取り付
け作業も簡略化できる。
すように交流電源24および検出手段25は、例えば直
列接続の状態で、送り出し側の軸受け台10と巻き取り
側の軸受け台11との間に接続されている。この結果、
送り出し側の軸受け台10、ベアリング12、リール軸
14、リール3、ワイヤ2、巻き取り側のリール4、リ
ール軸15、ベアリング13、軸受け台11は、上記交
流電源24および検出手段25を含んで交流的な閉回路
26を形成している。
動作中に、ワイヤ2に適当な周波数の交流電流を流して
おり、検出手段25は、閉回路26の電流などの電気的
要素の変化を検出することにより、ワイヤソー装置1の
異常すなわちワイヤ2の断線やワイヤ2と機体7との接
触状態などを検出する。このとき、ベアリング12、1
3は、コンデンサとして働き、交流的に導通状態となっ
ている。
2が切れると、閉回路26に電流が流れなくなり、また
例えば切断位置でワイヤ2が機体7などに接触すると、
接触位置に応じて閉回路26のインピーダンスが増加ま
たは減少する。検出手段25は、この変化を検出するこ
とによって、断線や接触事故などの異常を検出する。こ
の検出時の比較判定のために、検出手段25に予めイン
ピーダンスや電流の最小値と最大値とが入力されてお
り、それらの値を基準として異常状態が識別される。
して並列に接続されていてもよく、また閉回路26中の
任意の位置に接続してもよい。
として、スリップリングや回転コネクタなどが用いられ
ていないため、消耗部品がなく、その部分の保守点検な
どが容易であり、また機能低下もないこと、またワイヤ
の異常が交流的に検出されるため、直流的回路要素の影
響がなく、異常検出の動作が安定すること、また閉回路
を構成する部分が機体に対して絶縁手段によって交流的
にも分離した状態となっているため、閉回路と機体との
間の電気的な複雑な現象が回避できること、さらに閉回
路自体も従来の直流回路のものとほとんど変わらず、ワ
イヤソー装置に簡単に組み込めるため、実施が容易であ
ることなどの効果が得られる。
込んだ状態の構成図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 走行するワイヤによりワークを切断する
ワイヤソー装置において、ワイヤソー装置の機体上に電
気的な絶縁材により取り付け金具を固定し、この取り付
け金具に対してワークを支持材により固定すると共に、
ワイヤの送り出し側のリールおよび巻き取り側のリール
をそれぞれ機体上の電気的な絶縁台に軸受け台およびベ
アリングにより回転自在に支持し、上記両軸受け台の間
に交流電源および電気的変化の検出手段を接続して、送
り出し側の軸受け台、ベアリング、リール軸、リール、
ワイヤ、巻き取り側のリール、リール軸、ベアリング、
軸受け台、前記交流電源および検出手段を含んで交流的
な閉回路を形成し、この閉回路の電気的要素の変化によ
り、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触など
の異常を検出することを特徴とするワイヤソー装置の異
常検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34324192A JP3126836B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ワイヤソー装置の異常検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34324192A JP3126836B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ワイヤソー装置の異常検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06170717A JPH06170717A (ja) | 1994-06-21 |
JP3126836B2 true JP3126836B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=18360015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34324192A Expired - Fee Related JP3126836B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ワイヤソー装置の異常検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3126836B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000218492A (ja) | 1999-01-28 | 2000-08-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワイヤソーの異常伝達システム |
EP1738886A1 (fr) | 2005-06-27 | 2007-01-03 | HCT Shaping Systems S.A. | Procédé de détection d'un dysfonctionnement dans un dispositif de sciage par fil et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procédé |
EP2628558A1 (en) * | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Diamond wire saw device and method |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP34324192A patent/JP3126836B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06170717A (ja) | 1994-06-21 |
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