JPH06170717A - ワイヤソー装置の異常検出方法 - Google Patents
ワイヤソー装置の異常検出方法Info
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- JPH06170717A JPH06170717A JP34324192A JP34324192A JPH06170717A JP H06170717 A JPH06170717 A JP H06170717A JP 34324192 A JP34324192 A JP 34324192A JP 34324192 A JP34324192 A JP 34324192A JP H06170717 A JPH06170717 A JP H06170717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- bearing
- reel
- machine body
- saw device
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スリップリングや回転コネクタなどの給電手
段を用いないで、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気
的な接触などの異常を電気的に検出できるようにするこ
とである。 【構成】 ワイヤソー装置１において、機体７上に電気
的な絶縁材２２により取り付け金具２１を固定するとと
もに、ワイヤ２の送り出し側および巻き取り側のリール
３、４をそれぞれ機体７上の電気的な絶縁台８、９に軸
受け台１０、１１およびベアリング１２、１３により回
転自在に支持し、上記両軸受け台１０、１１の間に交流
電源２４および電気的変化の検出手段２５を接続して、
ベアリング１２、１３、リール３、４、ワイヤ２により
交流的な閉回路２６を形成し、この閉回路２６の電気的
要素の変化により、ワイヤ２の断線やワイヤ２と機体７
との電気的な接触などの異常を検出する。
段を用いないで、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気
的な接触などの異常を電気的に検出できるようにするこ
とである。 【構成】 ワイヤソー装置１において、機体７上に電気
的な絶縁材２２により取り付け金具２１を固定するとと
もに、ワイヤ２の送り出し側および巻き取り側のリール
３、４をそれぞれ機体７上の電気的な絶縁台８、９に軸
受け台１０、１１およびベアリング１２、１３により回
転自在に支持し、上記両軸受け台１０、１１の間に交流
電源２４および電気的変化の検出手段２５を接続して、
ベアリング１２、１３、リール３、４、ワイヤ２により
交流的な閉回路２６を形成し、この閉回路２６の電気的
要素の変化により、ワイヤ２の断線やワイヤ２と機体７
との電気的な接触などの異常を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソー装置におい
て、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触など
の異常を検出する方法に関する。
て、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触など
の異常を検出する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソー装置の動作中に、ワイヤの断
線やワイヤと機体との接触事故などが発生したとき、そ
の異常を速やかに検出してワイヤソー装置を停止させる
必要がある。従来、この異常の検出手段として、ワイヤ
に直流電流を流し、その電流変化を検出して、異常検出
が行われている。
線やワイヤと機体との接触事故などが発生したとき、そ
の異常を速やかに検出してワイヤソー装置を停止させる
必要がある。従来、この異常の検出手段として、ワイヤ
に直流電流を流し、その電流変化を検出して、異常検出
が行われている。
【０００３】この直流方式の場合に、ベアリング軸受け
を介して直流電流を導きだすことができないため、リー
ルの軸の部分にスリップリングや回転コネクタなどの給
電手段が取り付けられている。しかし、これらの給電手
段は、消耗部品を使用しているため、消耗の度合いによ
って、必要な機能が確保できず、また定期的な部品交換
が必要であり、その保守点検が煩雑である。
を介して直流電流を導きだすことができないため、リー
ルの軸の部分にスリップリングや回転コネクタなどの給
電手段が取り付けられている。しかし、これらの給電手
段は、消耗部品を使用しているため、消耗の度合いによ
って、必要な機能が確保できず、また定期的な部品交換
が必要であり、その保守点検が煩雑である。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、上記のようなスリップ
リングや回転コネクタなどの給電手段を用いないで、ワ
イヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触などの異常
を電気的に検出できるようにすることである。
リングや回転コネクタなどの給電手段を用いないで、ワ
イヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触などの異常
を電気的に検出できるようにすることである。
【０００５】
【発明の解決手段】上記目的のもとに、本発明は、走行
するワイヤによりワークを切断するワイヤソー装置にお
いて、ワイヤソー装置の機体上に電気的な絶縁材により
取り付け金具を固定し、この取り付け金具に対してワー
クを支持材により固定すると共に、ワイヤの送り出し側
のリールおよび巻き取り側のリールをそれぞれ機体上の
電気的な絶縁台に軸受け台およびベアリングにより回転
自在に支持して、機械的な部分を構成している。
するワイヤによりワークを切断するワイヤソー装置にお
いて、ワイヤソー装置の機体上に電気的な絶縁材により
取り付け金具を固定し、この取り付け金具に対してワー
クを支持材により固定すると共に、ワイヤの送り出し側
のリールおよび巻き取り側のリールをそれぞれ機体上の
電気的な絶縁台に軸受け台およびベアリングにより回転
自在に支持して、機械的な部分を構成している。
【０００６】そして、本発明の異常検出方法は、上記両
軸受け台の間に交流電源および電気的変化の検出手段を
接続して、送り出し側の軸受け台、ベアリング、リール
軸、リール、ワイヤ、巻き取り側のリール、リール軸、
ベアリング、軸受け台、前記交流電源および検出手段を
含んで交流的な閉回路を形成し、この閉回路の電気的要
素の変化により、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気
的な接触などの異常を検出するようにしている。
軸受け台の間に交流電源および電気的変化の検出手段を
接続して、送り出し側の軸受け台、ベアリング、リール
軸、リール、ワイヤ、巻き取り側のリール、リール軸、
ベアリング、軸受け台、前記交流電源および検出手段を
含んで交流的な閉回路を形成し、この閉回路の電気的要
素の変化により、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気
的な接触などの異常を検出するようにしている。
【０００７】通常、リール軸などは、ボールベアリング
などを介して回転自在に支持されているが、このベアリ
ング部分は、電気的にコンデンサを構成するため、直流
電流を通さないが、交流電流に対して導通状態となる。
しかし、交流の場合に、ワイヤを含む回路以外、例えば
取り付け台などを介して機体へも電流が流れるなど、複
雑な回路が形成される。本発明は、これらの複雑な電流
の流れを解明して、検出対象のワイヤの異常のみを検出
できるように工夫している。
などを介して回転自在に支持されているが、このベアリ
ング部分は、電気的にコンデンサを構成するため、直流
電流を通さないが、交流電流に対して導通状態となる。
しかし、交流の場合に、ワイヤを含む回路以外、例えば
取り付け台などを介して機体へも電流が流れるなど、複
雑な回路が形成される。本発明は、これらの複雑な電流
の流れを解明して、検出対象のワイヤの異常のみを検出
できるように工夫している。
【０００８】
【実施例】図１は、ワイヤソー装置１に本発明の方法を
適用した状態の全体的な構成を示している。ワイヤソー
装置１で、ワイヤ２は、送り出し側のリール３から供給
され、複数の案内用または駆動用のローラ５に巻き掛け
られて、切断対象の半導体製品などのワーク６に接し、
巻き取り側のリール４に巻き取られていく。
適用した状態の全体的な構成を示している。ワイヤソー
装置１で、ワイヤ２は、送り出し側のリール３から供給
され、複数の案内用または駆動用のローラ５に巻き掛け
られて、切断対象の半導体製品などのワーク６に接し、
巻き取り側のリール４に巻き取られていく。
【０００９】これらのリール３、４は、共に、機体７の
上の絶縁台８、９を介して軸受け台１０、１１その内部
に取り付けられた玉軸受けなどのベアリング１２、１
３、各リール３、４のリール軸１４、１５によって回転
自在に支持されている。なお、これらのリール軸１４、
１５は、共通の駆動手段または専用のモータ１６、１７
およびベルト・プーリなどの回転伝達手段１８、１９に
よって所定の方向に駆動されるようになっている。
上の絶縁台８、９を介して軸受け台１０、１１その内部
に取り付けられた玉軸受けなどのベアリング１２、１
３、各リール３、４のリール軸１４、１５によって回転
自在に支持されている。なお、これらのリール軸１４、
１５は、共通の駆動手段または専用のモータ１６、１７
およびベルト・プーリなどの回転伝達手段１８、１９に
よって所定の方向に駆動されるようになっている。
【００１０】次に、図２は、ワーク６の取り付け部分を
示している。ワーク６は、ガラスなどの絶縁材またはグ
ラファイトなどの導電性材料などの支持材２０によって
取り付け金具２１の上に固定されている。この取り付け
金具２１は、電気的な絶縁材２２を介して機体７の上の
取り付け台２３に取り付けられている。
示している。ワーク６は、ガラスなどの絶縁材またはグ
ラファイトなどの導電性材料などの支持材２０によって
取り付け金具２１の上に固定されている。この取り付け
金具２１は、電気的な絶縁材２２を介して機体７の上の
取り付け台２３に取り付けられている。
【００１１】このように、ワーク６が取り付け台２３に
対して電気的な絶縁材２２を介して取り付けられている
ため、取り付け用の支持材２０として絶縁材または導電
材料が用いられても、ワイヤ２の断線検出や接触異常な
どの検出に支障がない。このため、ワーク２の固定にあ
たって、支持材２０の材料の選定が容易となり、取り付
け作業も簡略化できる。
対して電気的な絶縁材２２を介して取り付けられている
ため、取り付け用の支持材２０として絶縁材または導電
材料が用いられても、ワイヤ２の断線検出や接触異常な
どの検出に支障がない。このため、ワーク２の固定にあ
たって、支持材２０の材料の選定が容易となり、取り付
け作業も簡略化できる。
【００１２】一方、電気的な検出手段として、図１に示
すように交流電源２４および検出手段２５は、例えば直
列接続の状態で、送り出し側の軸受け台１０と巻き取り
側の軸受け台１１との間に接続されている。この結果、
送り出し側の軸受け台１０、ベアリング１２、リール軸
１４、リール３、ワイヤ２、巻き取り側のリール４、リ
ール軸１５、ベアリング１３、軸受け台１１は、上記交
流電源２４および検出手段２５を含んで交流的な閉回路
２６を形成している。
すように交流電源２４および検出手段２５は、例えば直
列接続の状態で、送り出し側の軸受け台１０と巻き取り
側の軸受け台１１との間に接続されている。この結果、
送り出し側の軸受け台１０、ベアリング１２、リール軸
１４、リール３、ワイヤ２、巻き取り側のリール４、リ
ール軸１５、ベアリング１３、軸受け台１１は、上記交
流電源２４および検出手段２５を含んで交流的な閉回路
２６を形成している。
【００１３】交流電源２４は、ワイヤソー装置１の切断
動作中に、ワイヤ２に適当な周波数の交流電流を流して
おり、検出手段２５は、閉回路２６の電流などの電気的
要素の変化を検出することにより、ワイヤソー装置１の
異常すなわちワイヤ２の断線やワイヤ２と機体７との接
触状態などを検出する。このとき、ベアリング１２、１
３は、コンデンサとして働き、交流的に導通状態となっ
ている。
動作中に、ワイヤ２に適当な周波数の交流電流を流して
おり、検出手段２５は、閉回路２６の電流などの電気的
要素の変化を検出することにより、ワイヤソー装置１の
異常すなわちワイヤ２の断線やワイヤ２と機体７との接
触状態などを検出する。このとき、ベアリング１２、１
３は、コンデンサとして働き、交流的に導通状態となっ
ている。
【００１４】ワイヤソー装置１の切断動作中に、ワイヤ
２が切れると、閉回路２６に電流が流れなくなり、また
例えば切断位置でワイヤ２が機体７などに接触すると、
接触位置に応じて閉回路２６のインピーダンスが増加ま
たは減少する。検出手段２５は、この変化を検出するこ
とによって、断線や接触事故などの異常を検出する。こ
の検出時の比較判定のために、検出手段２５に予めイン
ピーダンスや電流の最小値と最大値とが入力されてお
り、それらの値を基準として異常状態が識別される。
２が切れると、閉回路２６に電流が流れなくなり、また
例えば切断位置でワイヤ２が機体７などに接触すると、
接触位置に応じて閉回路２６のインピーダンスが増加ま
たは減少する。検出手段２５は、この変化を検出するこ
とによって、断線や接触事故などの異常を検出する。こ
の検出時の比較判定のために、検出手段２５に予めイン
ピーダンスや電流の最小値と最大値とが入力されてお
り、それらの値を基準として異常状態が識別される。
【００１５】なお、検出手段２５は、交流電源２４に対
して並列に接続されていてもよく、また閉回路２６中の
任意の位置に接続してもよい。
して並列に接続されていてもよく、また閉回路２６中の
任意の位置に接続してもよい。
【００１６】
【発明の効果】本発明では、リール軸の部分の給電手段
として、スリップリングや回転コネクタなどが用いられ
ていないため、消耗部品がなく、その部分の保守点検な
どが容易であり、また機能低下もないこと、またワイヤ
の異常が交流的に検出されるため、直流的回路要素の影
響がなく、異常検出の動作が安定すること、また閉回路
を構成する部分が機体に対して絶縁手段によって交流的
にも分離した状態となっているため、閉回路と機体との
間の電気的な複雑な現象が回避できること、さらに閉回
路自体も従来の直流回路のものとほとんど変わらず、ワ
イヤソー装置に簡単に組み込めるため、実施が容易であ
ることなどの効果が得られる。
として、スリップリングや回転コネクタなどが用いられ
ていないため、消耗部品がなく、その部分の保守点検な
どが容易であり、また機能低下もないこと、またワイヤ
の異常が交流的に検出されるため、直流的回路要素の影
響がなく、異常検出の動作が安定すること、また閉回路
を構成する部分が機体に対して絶縁手段によって交流的
にも分離した状態となっているため、閉回路と機体との
間の電気的な複雑な現象が回避できること、さらに閉回
路自体も従来の直流回路のものとほとんど変わらず、ワ
イヤソー装置に簡単に組み込めるため、実施が容易であ
ることなどの効果が得られる。
【図１】ワイヤソー装置に本発明の異常検出方法を組み
込んだ状態の構成図である。
込んだ状態の構成図である。
【図２】ワークの取り付け部分の拡大正面図である。
１ ワイヤソー装置 ２ ワイヤ ３ 送り出し側のリール ４ 巻き取り側のリール ６ ワーク ７ 機体 ８、９ 絶縁台 １０、１１ 軸受け台 １２、１３ ベアリング １４、１５ リール軸 ２０ 支持材 ２２ 絶縁材 ２４ 交流電源 ２５ 検出手段 ２６ 閉回路
Claims (1)
- 【請求項１】 走行するワイヤによりワークを切断する
ワイヤソー装置において、ワイヤソー装置の機体上に電
気的な絶縁材により取り付け金具を固定し、この取り付
け金具に対してワークを支持材により固定すると共に、
ワイヤの送り出し側のリールおよび巻き取り側のリール
をそれぞれ機体上の電気的な絶縁台に軸受け台およびベ
アリングにより回転自在に支持し、上記両軸受け台の間
に交流電源および電気的変化の検出手段を接続して、送
り出し側の軸受け台、ベアリング、リール軸、リール、
ワイヤ、巻き取り側のリール、リール軸、ベアリング、
軸受け台、前記交流電源および検出手段を含んで交流的
な閉回路を形成し、この閉回路の電気的要素の変化によ
り、ワイヤの断線やワイヤと機体との電気的な接触など
の異常を検出することを特徴とするワイヤソー装置の異
常検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34324192A JP3126836B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ワイヤソー装置の異常検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34324192A JP3126836B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ワイヤソー装置の異常検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06170717A true JPH06170717A (ja) | 1994-06-21 |
| JP3126836B2 JP3126836B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=18360015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34324192A Expired - Fee Related JP3126836B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ワイヤソー装置の異常検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3126836B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6234160B1 (en) | 1999-01-28 | 2001-05-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Abnormality transmission system for wire saw |
| US7501831B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-10 | Hct Shaping Systems Sa | Process for the detection of a malfunction in a device for wire sawing and device for practicing said process |
| EP2628558A1 (en) * | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Diamond wire saw device and method |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP34324192A patent/JP3126836B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6234160B1 (en) | 1999-01-28 | 2001-05-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Abnormality transmission system for wire saw |
| US7501831B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-10 | Hct Shaping Systems Sa | Process for the detection of a malfunction in a device for wire sawing and device for practicing said process |
| EP2628558A1 (en) * | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Diamond wire saw device and method |
| CN103252846A (zh) * | 2012-02-15 | 2013-08-21 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 金刚石线锯装置和方法 |
| JP2013166241A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Applied Materials Switzerland Sarl | ダイヤモンドワイヤソーデバイスおよび方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3126836B2 (ja) | 2001-01-22 |
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