KR101820011B1 - 기판 이송 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조 장치 - Google Patents

기판 이송 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 가이드 롤러의 마모에 따른 기판의 파손을 방지할 수 있도록 한 기판 이송 장치에 관한 것으로, 기판 이송 장치는 일정한 간격으로 설치되어 기판을 이송하는 복수의 롤러 구동축; 상기 복수의 롤러 구동축 각각의 양 가장자리를 지지하는 지지 프레임; 상기 지지 프레임에 설치된 복수의 지지 브라켓; 상기 복수의 지지 브라켓 각각에 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 복수의 가이드 롤러; 및 상기 기판과의 접촉에 따른 상기 복수의 가이드 롤러 각각의 롤러 마모 상태를 감지하는 복수의 마모 감지 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조 장치{SUBSTRATE TRANSFERING APPARATUS AND MANUFACTURING APPARATUS OF DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 가이드 롤러의 마모에 따른 기판의 파손을 방지할 수 있도록 한 기판 이송 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시장치 및 태양전지 등의 반도체 장치는 기판 상에 증착공정, 및 패터닝 공정 등과 같은 복수의 반도체 제조 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하는 과정을 통해 이루어진다. 이러한 각 공정들은 각각 별개의 공정 라인으로 이루어져 있기 때문에 하나의 공정이 완료된 기판은 기판 이송 장치에 의해 다음 공정 라인으로 이송된다.
종래의 기판 이송 장치는 컨베이어 장치로써, 일정한 간격으로 설치되어 기판을 이송하는 복수의 롤러 구동축, 및 기판의 양 측면에 접촉되도록 설치되어 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 기판의 이송을 가이드하는 복수의 가이드 롤러를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 종래의 기판 이송 장치는 장시간 많은 기판을 이송할 경우, 기판의 접촉에 따른 마찰력에 의해 가이드 롤러가 마모되고, 지속적인 마모에 따라 기판에 접촉되는 가이드 롤러의 접촉 부분에 홈이 발생하게 된다.
따라서, 종래의 기판 이송 장치는 가이드 롤러에 발생되는 홈에 의해 기판의 이송시 기판이 파손된다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가이드 롤러의 마모에 따른 기판의 파손을 방지할 수 있도록 한 기판 이송 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 일정한 간격으로 설치되어 기판을 이송하는 복수의 롤러 구동축; 상기 복수의 롤러 구동축 각각의 양 가장자리를 지지하는 지지 프레임; 상기 지지 프레임에 설치된 복수의 지지 브라켓; 상기 복수의 지지 브라켓 각각에 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 복수의 가이드 롤러; 및 상기 기판과의 접촉에 따른 상기 복수의 가이드 롤러 각각의 롤러 마모 상태를 감지하는 복수의 마모 감지 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 마모 감지 수단 각각은 상기 복수의 가이드 롤러 각각에 소정의 기준 전원을 인가하고, 상기 롤러 마모 상태에 따른 상기 기준 전원의 변화를 검출하여 상기 롤러 마모 상태를 경보하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 가이드 롤러 각각은 전도성 재질로 이루어져 상기 지지 브라켓에 설치된 내측 롤러; 및 비전도성 재질로 이루어져 상기 내측 롤러의 외주면에 회전 가능하게 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 외측 롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 마모 감지 수단 각각은 상기 내측 롤러에 전기적으로 비접속되도록 상기 외측 롤러 내부에 삽입되며, 상기 외측 롤러의 마모 깊이가 기준 깊이를 초과하는 경우 상기 기판의 가압에 의해 상기 내측 롤러에 전기적으로 접속되는 적어도 하나의 저항체; 및 상기 내측 롤러에 소정의 기준 전원을 공급함과 아울러 상기 저항체와 상기 내측 롤러의 전기적인 접속에 따른 상기 기준 전원의 변화를 검출하는 마모 감지 모듈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 마모 감지 모듈은 상기 내측 롤러 상에 설치된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 마모 감지 수단 각각은 상기 지지 프레임에 설치되어 상기 마모 감지 모듈을 지지하는 모듈 지지 부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 마모 감지 모듈은 상기 내측 롤러에 소정의 기준 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 저항체와 상기 내측 롤러의 전기적인 접속에 따른 상기 기준 전원의 변화를 검출하는 전원 검출부; 및 상기 전원 검출부에 의해 검출된 상기 기준 전원의 변화에 기초해 상기 외측 롤러의 상기 롤러 마모 상태를 감지하여 경보하는 경보 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 마모 감지 수단 각각은 상기 롤러 마모 상태에 따른 상기 기판의 위치를 검출하여 상기 롤러 마모 상태를 경보하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 마모 감지 수단 각각은 상기 가이드 롤러에 인접하도록 상기 지지 프레임에 설치된 센서 브라켓; 상기 센서 브라켓에 설치되어 상기 외측 롤러의 마모 깊이가 기준 깊이를 초과하는 경우 상기 기판의 위치를 검출하여 기판 검출 신호를 생성하는 검출 센서; 및 상기 검출 센서에 의해 생성된 기판 검출 신호에 따라 상기 롤러 마모 상태를 경보하는 경보 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 경보 수단은 경보음 발생부 및/또는 경보등 구동부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 장치의 제조 장치는 상기 기판 이송 장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조 장치는 기판의 측면과 접촉하여 기판의 이송을 가이드 하는 가이드 롤러의 마모 상태를 감지하여 경보함으로써 가이드 롤러의 마모에 따른 기판의 파손을 방지할 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 A 부분을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 가이드 롤러 및 마모 감지 수단을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 마모 감지 수단을 이용하여 가이드 롤러의 마모 상태를 감지하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 B 부분을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 가이드 롤러 및 마모 감지 수단을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 마모 감지 수단을 이용하여 가이드 롤러의 마모 상태를 감지하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 A 부분을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 복수의 롤러 구동축(100), 복수의 지지 프레임(200), 복수의 지지 브라켓(300), 복수의 가이드 롤러(400), 및 복수의 마모 감지 수단(500)을 포함하여 구성된다.
복수의 롤러 구동축(100) 각각은 일정한 간격으로 설치되어 구동 수단(미도시)의 구동에 연동하여 기판(S)을 수평 방향으로 이송한다. 이를 위해, 복수의 롤러 구동축(100) 각각은 구동축(110), 및 구동 롤러(120)를 포함하여 구성된다.
구동축(110)은 구동 수단(미도시)의 구동에 연동하여 회전함으로써 구동 롤러(120)를 회전시킨다.
구동 롤러(120)는 구동축(110)에 일정한 간격으로 설치되어 기판(S)의 배면을 지지함과 아울러 구동축(110)의 구동에 따라 회전하여 지지된 기판(S)을 수평 방향으로 이송시킨다.
복수의 지지 프레임(200)은 복수의 롤러 구동축(100) 각각의 양 가장자리를 회전 가능하게 지지한다. 즉, 복수의 지지 프레임(200) 각각은 복수의 롤러 구동축(100) 각각을 사이에 두고 설치되어 복수의 롤러 구동축(100) 각각의 양 가장자리를 지지하도록 한 쌍으로 구성될 수 있다. 이때, 복수의 롤러 구동축(100)은 기판(S)의 크기가 대면적일 경우 기판(S)의 무게 또는 자중에 의해 휘어질 수 있다. 이에 따라, 복수의 지지 프레임(200) 각각은 복수의 롤러 구동축(100) 각각의 양 가장자리 뿐만 아니라 롤러 구동축(100)을 일정한 간격으로 지지하도록 2개 이상으로 구성될 수도 있다.
복수의 지지 브라켓(300) 각각은 복수의 롤러 구동축(100) 각각에 인접하도록 지지 프레임(200)의 내벽에 설치된다. 이때, 복수의 지지 브라켓(300) 각각은 "┎"자 형태를 가질 수 있다.
복수의 가이드 롤러(400) 각각은 복수의 지지 브라켓(300) 각각에 회전 가능하게 설치되어 복수의 롤러 구동축(100)에 의해 이송되는 기판(S)의 측면을 가이드함과 아울러 기판(S)의 이송 위치를 정상적인 이송 위치로 복원시킨다. 이를 위해, 복수의 가이드 롤러(400) 각각은 내측 롤러(410), 및 외측 롤러(420)를 포함하여 구성된다.
내측 롤러(410)는 전도성 재질(예를 들어, Fe, Cu 등)로 이루어져 지지 브라켓(300)에 수직하게 설치된다.
외측 롤러(420)는 비전도성 재질(예를 들어, 테프론(Teflon), 피크(PEEK), 또는 고무(Rubber))로 이루어져 내측 롤러(410)의 외주면에 회전 가능하게 설치된다. 이러한, 외측 롤러(420)는 복수의 롤러 구동축(100)에 의해 이송되는 기판(S)의 측면과 접촉되어 기판(S)의 이송에 따라 회전함으로써 기판(S)의 이송을 가이드한다. 이때, 외측 롤러(420)는 기판(S)이 정상적인 이송 위치에서 벗어나 이송될 경우 기판(S)에 소정의 복원력을 제공하여 기판(S)의 이송 위치를 정상적인 이송 위치로 복원시킨다.
한편, 내측 롤러(410)와 외측 롤러(420) 사이에는 베어링(미도시)이 설치될 수 있다.
복수의 마모 감지 수단(500) 각각은 기판(S)의 접촉에 의해 마모되는 복수의 가이드 롤러(400) 각각의 롤러 마모 상태를 감지한다. 즉, 복수의 마모 감지 수단(500) 각각은 복수의 가이드 롤러(400) 각각에 소정의 기준 전원을 인가하고, 롤러 마모 상태에 따른 기준 전원의 변화를 검출하여 롤러 마모 상태를 감지할 수 있다. 이를 위해, 복수의 마모 감지 수단(500) 각각은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 저항체(510), 마모 감지 모듈(520), 및 모듈 지지 부재(530)를 포함하여 구성된다.
적어도 하나의 저항체(510)는 내측 롤러(410)에 전기적으로 비접속되도록 외측 롤러(420) 내부에 삽입된다. 이를 위해, 외측 롤러(420)에는 적어도 하나의 저항체(510)가 삽입되는 적어도 하나의 저항체 삽입 홈(422)이 형성된다. 또한, 기판(S)의 접촉 부분에 대응되는 외측 롤러(420)의 내벽에는 내측 롤러(410)와 저항체(510) 사이의 빈 공간을 제공하는 갭 공간(424)이 형성된다.
상기 적어도 하나의 저항체(510)는 갭 공간(424)을 통과하도록 저항체 삽입 홈(422)에 삽입됨으로써 갭 공간(424)에 삽입된 부분은 갭 공간(424)에 의해 내측 롤러(410)와 소정 간격으로 이격되고, 갭 공간(424)에 삽입된 부분을 제외한 나머지 부분은 외측 롤러(420)의 비전도성 재질에 의해 내측 롤러(410)와 전기적으로 절연된다. 이러한, 적어도 하나의 저항체(510)는, 기판(S)과의 접촉에 따른 마찰력에 의해 외측 롤러(420)의 마모 깊이가 기준 깊이를 초과하는 경우, 기판(S)의 가압에 의해 내측 롤러(410)에 전기적으로 접속된다.
마모 감지 모듈(520)은 내측 롤러(410)에 전기적으로 접속되도록 내측 롤러(410) 상에 설치된다. 이러한, 마모 감지 모듈(520)은 내측 롤러(410)에 소정의 기준 전원을 공급함과 아울러 저항체(510)와 내측 롤러(410)의 전기적인 접속에 따른 기준 전원의 변화를 검출하여 가이드 롤러(400), 즉 외측 롤러(420)의 롤러 마모 상태를 감지하여 경보한다. 이를 위해, 마모 감지 모듈(520)은 전원 공급부(522), 전원 검출부(524), 및 경보 수단(526)을 포함하여 구성된다.
전원 공급부(522)는 소정의 기준 전원을 생성하여 내측 롤러(410)에 공급한다.
전원 검출부(524)는 저항체(510)에 공급되는 기준 전원의 전압 및/또는 전류 값을 실시간으로 검출함으로써 저항체(510)와 내측 롤러(410)의 전기적인 접속에 따른 기준 전원의 변화를 검출한다. 이때, 내측 롤러(410)와 저항체(510)가 비접속 상태일 경우에 전원 검출부(524)에 의해 검출되는 기준 전원의 변화는 미미하게 된다. 그러나, 도 4에 도시된 바와 같이, 외측 롤러(410)의 마모 깊이(AG)가 기준 깊이를 초과할 경우 기판(S)이 저항체(510)를 가압하여 내측 롤러(410)에 전기적으로 접속시키기 때문에 전원 검출부(524)에 의해 검출되는 기준 전원의 변화는 저항체(510)의 저항 성분에 의해 크게 변화하게 된다.
경보 수단(526)은 전원 검출부(524)에 의해 검출된 기준 전원의 변화에 기초해 외측 롤러(420)의 롤러 마모 상태를 감지하여 경보한다. 즉, 경보 수단(526)은 기준 값을 기준으로 전원 검출부(524)에 의해 검출된 검출 값이 변화된 경우 외측 롤러(410)의 마모 깊이(AG)가 기준 깊이를 초과한 것으로 판단하여 경보 신호를 생성하여 장치 관리자에게 경보한다. 여기서, 기준 값은 내측 롤러(410)와 저항체(510)가 비접속 상태일 경우에 전원 검출부(524)에 의해 검출되는 기준 전원의 전압 및/또는 전류 값으로 설정된다.
한편, 상기의 경보 수단(526)은 경보 신호에 따라 경보음을 발생하는 경보음 발생부(미도시) 및/또는 경보 신호에 따라 경보등(528)을 점등시키는 경보등 구동부(미도시)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 장치 관리자는 경보 수단(526)의 경보에 따라 기판(S)의 이송을 즉시 중지시킨 후, 마모된 가이드 롤러(400)를 교체하게 된다.
모듈 지지 부재(530)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 지지 프레임(200)에 설치되어 마모 감지 모듈(520)을 지지한다. 이를 위해, 모듈 지지 부재(530)는 "┎"자 형태로 형성되어 지지 프레임(200)에 설치된 지지대(532), 및 지지대(532)의 상부에 설치되어 마모 감지 모듈(520)을 지지하는 지지 후크(534)를 포함하여 구성된다.
이와 같은, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 기판(S)의 이송을 가이드하는 복수의 가이드 롤러(400) 각각에 소정의 기준 전원을 인가하고, 기판(S)의 접촉에 의해 가이드 롤러(400)에 발생되는 홈(또는 마모) 깊이(AG)가 기준 깊이를 초과할 경우 가이드 롤러(400)에 인가되는 기준 전원의 변화를 감지하여 경보함으로써 가이드 롤러(400)에 발생되는 홈(AG)에 의해 기판(S)의 이송시 기판(S)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 B 부분을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 복수의 롤러 구동축(100), 복수의 지지 프레임(200), 복수의 지지 브라켓(300), 복수의 가이드 롤러(600), 및 복수의 마모 감지 수단(700)을 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 본 발명의 제 2 실시 예에서 복수의 가이드 롤러(600)와 복수의 마모 감지 수단(700)을 제외한 나머지 구성은 본 발명의 제 1 실시 예와 동일하기 때문에 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 하고, 이하 동일한 도면 부호를 부여하기로 한다.
복수의 가이드 롤러(600) 각각은 복수의 지지 브라켓(300) 각각에 회전 가능하게 설치되며, 비전도성 재질(예를 들어, 테프론(Teflon), 피크(PEEK), 또는 고무(Rubber))로 이루어진다. 이러한, 복수의 가이드 롤러(600) 각각은 복수의 롤러 구동축(100)에 의해 이송되는 기판(S)의 측면과 접촉되어 기판(S)의 이송에 따라 회전함으로써 기판(S)의 이송을 가이드한다. 이때, 복수의 가이드 롤러(600) 각각은 기판(S)이 정상적인 이송 위치에서 벗어나 이송될 경우 기판(S)에 소정의 복원력을 제공하여 기판(S)의 이송 위치를 정상적인 이송 위치로 복원시킨다.
복수의 마모 감지 수단(700) 각각은 기판(S)의 접촉에 따른 복수의 가이드 롤러(600) 각각의 롤러 마모 상태를 감지한다. 즉, 복수의 마모 감지 수단(700) 각각은 가이드 롤러(600)의 마모 상태에 따른 기판(S)의 위치를 검출하고, 검출된 기판(S)의 위치에 따라 롤러 마모 상태를 감지하여 경보한다. 이를 위해, 복수의 마모 감지 수단(700) 각각은 센서 브라켓(710), 검출 센서(720), 및 경보 수단(730)을 포함하여 구성된다.
센서 브라켓(710)은 "┎"자 형태로 형성되어 가이드 롤러(600)에 인접하도록 지지 프레임(200)에 설치된다.
검출 센서(720)는 센서 브라켓(710)의 상면 하부에 설치되어 가이드 롤러(600)의 마모 깊이가 기준 깊이를 초과하는 경우 기판(S)의 위치를 검출하여 롤러 마모 상태를 감지한다. 이를 위해, 검출 센서(720)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 대향되는 가이드 롤러(600)의 외주면으로부터 기준 깊이(Dref)만큼 이격되도록 설치된다. 여기서, 기준 깊이(Dref)는 사전 실험을 통해 기판(S)의 이송시 가이드 롤러(600)에 발생되는 홈에 의해 기판(S)의 파손이 발생될 때의 홈의 깊이보다 얇도록 설정된다. 즉, 기준 깊이(Dref)는 가이드 롤러(600)에 발생되는 홈 깊이 중에서 기판(S)의 이송시 기판(S)의 파손되지 않는 최대한의 홈 깊이로 설정되는 것이 바람직하다.
이와 같은, 검출 센서(720)는, 도 8a에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 이송에 의해 기판(S)에 접촉하는 가이드 롤러(600)의 접촉 부분에 발생되는 홈 깊이(AG)가 기준 깊이(Dref) 미만일 경우에는 기판(S)의 위치를 검출하지 못하는 반면에, 도 8b에 도시된 바와 같이, 홈 깊이(AG)가 기준 깊이(Dref)를 초과하는 경우에는 기판(S)을 검출하고, 이에 대응되는 기판 검출 신호를 생성한다.
경보 수단(730)은 검출 센서(720)에 의해 검출된 기판 검출 신호에 기초해 가이드 롤러(600)의 롤러 마모 상태를 경보한다. 이를 위해, 경보 수단(730)은 검출 센서(720)에 의해 검출된 기판 검출 신호에 따라 경보음을 발생하는 경보음 발생부(미도시) 및/또는 경보등(732)을 점등시키는 경보등 구동부(미도시)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 장치 관리자는 경보 수단(730)의 경보에 따라 기판(S)의 이송을 즉시 중지시킨 후, 마모된 가이드 롤러(400)를 교체하게 된다.
이와 같은, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 기판(S)의 접촉에 의해 가이드 롤러(400)에 발생되는 홈(또는 마모) 깊이(AG)가 기준 깊이를 초과할 경우 검출 센서(720)를 통해 기판(S)의 위치를 검출하여 경보함으로써 가이드 롤러(400)에 발생되는 홈(AG)에 의해 기판(S)의 이송시 기판(S)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 본 발명의 제 1 및 제 2 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 디스플레이 장치의 제조 장치에 사용될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 롤러 구동축 200: 지지 프레임
300: 지지 브라켓 400: 가이드 롤러
410: 내측 롤러 420: 외측 롤러
500: 마모 감지 수단 510: 저항체
520: 마모 감지 모듈 522: 전원 공급부
524: 전원 검출부 526: 경보 수단

Claims (11)

  1. 일정한 간격으로 설치되어 기판을 이송하는 복수의 롤러 구동축;
    상기 복수의 롤러 구동축 각각의 양 가장자리를 지지하는 지지 프레임;
    상기 지지 프레임에 설치된 복수의 지지 브라켓;
    상기 복수의 지지 브라켓 각각에 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 복수의 가이드 롤러; 및
    상기 기판과의 접촉에 따른 상기 복수의 가이드 롤러 각각의 롤러 마모 상태를 감지하는 복수의 마모 감지 수단을 포함하고,
    상기 복수의 가이드 롤러 각각은,
    전도성 재질로 이루어져 상기 지지 브라켓에 설치된 내측 롤러; 및
    비전도성 재질로 이루어져 상기 내측 롤러의 외주면에 회전 가능하게 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 외측 롤러를 포함하며,
    상기 복수의 마모 감지 수단 각각은,
    상기 내측 롤러에 전기적으로 비접속되도록 상기 외측 롤러 내부에 삽입되며, 상기 외측 롤러의 마모 깊이가 기준 깊이를 초과하는 경우 상기 기판의 가압에 의해 상기 내측 롤러에 전기적으로 접속되는 적어도 하나의 저항체; 및
    상기 내측 롤러에 소정의 기준 전원을 공급함과 아울러 상기 저항체와 상기 내측 롤러의 전기적인 접속에 따른 상기 기준 전원의 변화를 검출하는 마모 감지 모듈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 마모 감지 모듈은 상기 내측 롤러 상에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 마모 감지 수단 각각은 상기 지지 프레임에 설치되어 상기 마모 감지 모듈을 지지하는 모듈 지지 부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 마모 감지 모듈은,
    상기 내측 롤러에 소정의 기준 전원을 공급하는 전원 공급부;
    상기 저항체와 상기 내측 롤러의 전기적인 접속에 따른 상기 기준 전원의 변화를 검출하는 전원 검출부; 및
    상기 전원 검출부에 의해 검출된 상기 기준 전원의 변화에 기초해 상기 외측 롤러의 상기 롤러 마모 상태를 감지하여 경보하는 경보 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 삭제
  9. 일정한 간격으로 설치되어 기판을 이송하는 복수의 롤러 구동축;
    상기 복수의 롤러 구동축 각각의 양 가장자리를 지지하는 지지 프레임;
    상기 지지 프레임에 설치된 복수의 지지 브라켓;
    상기 복수의 지지 브라켓 각각에 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 복수의 가이드 롤러; 및
    상기 기판과의 접촉에 따른 상기 복수의 가이드 롤러 각각의 롤러 마모 상태를 감지하는 복수의 마모 감지 수단을 포함하고,
    상기 복수의 가이드 롤러 각각은,
    전도성 재질로 이루어져 상기 지지 브라켓에 설치된 내측 롤러; 및
    비전도성 재질로 이루어져 상기 내측 롤러의 외주면에 회전 가능하게 설치되어 상기 복수의 롤러 구동축에 의해 이송되는 상기 기판의 측면을 가이드하는 외측 롤러를 포함하며,
    상기 복수의 마모 감지 수단 각각은,
    상기 가이드 롤러에 인접하도록 상기 지지 프레임에 설치된 센서 브라켓;
    상기 센서 브라켓에 설치되어 상기 외측 롤러의 마모 깊이가 기준 깊이를 초과하는 경우 상기 기판의 위치를 검출하여 기판 검출 신호를 생성하는 검출 센서; 및
    상기 검출 센서에 의해 생성된 기판 검출 신호에 따라 상기 롤러 마모 상태를 경보하는 경보 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제 7 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 경보 수단은 경보음 발생부 및/또는 경보등 구동부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제 1 항, 제 5 항 내지 제 7 항, 및 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 이송 장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치의 제조 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107176462A (zh) * 2017-07-05 2017-09-19 京东方科技集团股份有限公司 一种导轮装置、监控破片系统及基板制造设备
CN111824772A (zh) * 2019-04-19 2020-10-27 夏普株式会社 输送装置
KR102558638B1 (ko) * 2021-05-27 2023-07-26 (주)대호테크 지지 유니트를 구비한 대면적 성형 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3636275B2 (ja) 1998-02-16 2005-04-06 富士ゼロックス株式会社 ベルト搬送装置のベルト位置検知装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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