KR100258439B1

KR100258439B1 - 와이어톱의 와이어단선검출장치

Info

Publication number: KR100258439B1
Application number: KR1019970033884A
Authority: KR
Inventors: 세이지 야마모토
Original assignee: 오쯔보 히데오; 가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔
Priority date: 1996-07-23
Filing date: 1997-07-19
Publication date: 2000-12-01
Also published as: GB9714587D0; JPH1034515A; KR980008455A; CH693785A5; DE19728975A1; US5874678A; JP3106294B2; GB2315556A; GB2315556B

Abstract

접촉검출바는 단선된 와이어의 홈부롤러에 감겨있는 와이어 주변에 위치되어서 단선된 와이어가 접촉검출바에 접촉가능하게 된다. 단선된 와이어와 접촉검출바 사이의 접촉검출에 의해서 와이어의 단선이 검출 가능하게 된다. 접촉검출바의 진동은 접촉의 검출에 의해서 검출된다. 접촉검출바 진동의 진폭이 일정 값을 초과할 때, 단선된 와이어의 접촉이 검출된다.

Description

와이어톱의 와이어단선검출장치

본 발명은 와이어톱(wire saw)의 와이어단선검출장치에 관한 것으로, 특히 실리콘, 유리, 세라믹스 등의 취성재료(brittle material)를 절단하는 와이어톱의 와이어단선검출장치에 관한 것이다.

와이어톱에 있어서, 와이어 단선검출방법으로서 잘 알려진 방법으로는 주행하는 와이어에 일정의 전압을 인가하고 그 전압의 강하를 검출하는 것에 의하여 와이어의 단선을 검출하는 것이다.

그러나, 만약 상기한 바와 같은 높은 도전성을 갖는 수용성 슬러리와 같은 슬러리로써 워크피스를 절단하는 방법을 와이어톱에 적용하면 슬러리에 전기가 흐르기 때문에 오동작을 일으키기 쉽고, 또 와이어의 단선을 신속하게 검출할 수 없는 단점이 있다.

따라서, 본 발명은 수용성 슬러리와 같은 도전성이 높은 슬러리를 이용하여 절단하는 와이어톱에 있어서는 와이어의 단선을 확실하게 검출하는 것이 가능하고, 또 도전성이 낮은 슬러리를 이용하여 절단하는 와이어톱에 있어서도 신속하게 와이어의 단선을 검출하는 것이 가능한 와이어톱의 와이어단선검출장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위한 와이어톱의 와이어단선검출장치인 본 발명은 한 쌍의 와이어릴 사이를 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 권취되고, 워크피스는 가공액이 공급되어지는 와이어열에 대하여 압착되어서 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되도록 구성된 와이어단선검출장치로서, 와이어의 주행로 주변에 형성한 접촉검출부재와 접촉검출부재에 접촉되는 단선된 와이어를 검출하는 센서 및 와이어의 단선을 검출하는 센서에 의해서 단선된 와이어와 접촉 검출부재 사이의 접촉을 검출하는 와이어단선접촉검출장치로 구성된다.

본 발명에 의하면 와이어가 단선되었을 때 그 단선된 와이어는 접촉검출부재에 접촉된다. 그 접촉검출부재가 단선된 와이어의 접촉을 검출하는 것에 의하여 와이어의 단선이 판단된다.

제1도는 와이어톱 전체 구성의 설명도.

제2도는 와이어톱의 절단부의 정면확대도.

제3도는 제2도의 A-A 단면도.

제4도는 와이어의 절단 상태를 설명하는 설명도.

제5도는 와이어단선검출장치의 실시예 2의 구성도.

제6도는 와이어단선검출장치의 실시예 3의 구성도.

제7도는 와이어단선검출장치의 실시예 4의 구성도.

제8도는 와이어단선검출장치의 실시예 5의 구성도.

제9도는 와이어단선검출장치의 또 다른 실시예의 구성도.

제10도는 다른 실시예 구성의 설명도.

본 발명을 첨부도면을 참조하여 실시의 예에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같으며, 도면에서 유사한 참조 부호는 동일 또는 유사한 부품을 나타낸다.

제1도는 본 발명에 의한 와이어단선검출장치가 적용된 와이어톱(10)의 실시예의 사시도이다.

제1도에 표시한 바와 같이 와이어릴(12)에 감겨진 와이어(14)는 다수의 가이드롤러(16),(16),…로 형성된 와이어주행로를 경유하여 3개의 홈부롤러(18A)(18B)(18C)에 감기게 되고, 수평한 와이어열(20)을 형성한다. 와이어열(20)을 형성한 와이어(14)는 와이어열(20)을 끼운 좌우대칭으로 형성된 타측의 와이어주행로를 경유하여 도시하지 않은 와이어릴에 감기게 된다.

상기 와이어열(20)의 양측에 형성된 와이어주행로에 각각 와이어안내장치(22), 댄서롤러(24) 및 와이어세정장치(26)를 배치한다.(일측 방향만 도시) 와이어 안내장치(22)는 와이어릴(12)에서 와이어(14)를 일정한 피치로 가이드한다. 또한, 댄서롤러(24)는 소정 중량의 웨이트(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 주행하는 와이어(14)에 이 웨이트로 일정한 장력을 부여한다. 와이어세정장치(26)는 세정액탱크(29)에서 공급되는 세정액을 와이어(14)에 분사하며, 와이어(14)에 부착된 슬러리를 와이어(14)에서 제거한다.

상기 한 쌍의 와이어릴(12) 및 홈부롤러(18C)에는 각각 정역회전 가능한 모터(도시하지 않음)가 연결되도록 한다. 모터가 구동할 때 와이어(14)는 한 쌍의 와이어릴(12) 사이를 고속으로 왕복주행한다.

워크피스이송테이블(28)은 와이어열(20)의 상측 방향에 위치하며 와이어열(20)에 대하여 수직으로 승하강하도록 설치되어 있다. 경사장치(30)는 고정대(31)에 의하여 워크피스이송테이블(28)에 형성되어 있다. 잉곳(32)은 이 경사장치(30)의 하부에 지지하고, 임의의 경사각도로 설정된다.

이상과 같이 구성된 와이어톱(10)에 있어서, 잉곳(32)의 절단은 워크피스이송테이블(28)을 상기 와이어열(20)로 향하도록 하강하면 고속 주행하는 와이어열(20)이 잉곳(32)을 끌어당기는 것에 의하여 수행한다. 이때, 상기 와이어열(20)에는 슬러리탱크(34)에서 도시하지 않은 노즐을 통하여 슬러리가 공급되어 잉곳(32)은 이 슬러리 중에 함유된 연마 입자의 래핑작용으로 웨이퍼로 절단된다.

상기 잉곳(32)의 가공에 공급된 슬러리는 상기 와이어열(20)의 하방에 설치된 오일팬(38)을 통하여 상기 슬러리탱크(34)에 회수되고, 부족분은 보급되면서 순환 이용된다. 이때, 슬러리는 가공 시에 발생하는 열을 흡열하여 온도가 상승되며 것으로 회수된 슬러리는 열교환기(36)에서 일정 온도로 냉각된다.

제2도는 와이어톱 절단부의 정면확대도이고, 제3도는 제2도의 A-A단면도이다.

제2도, 제3도에 표시한 바와 같이 상기 3개의 홈부롤러(18A),(18B),(18C)는 와이어톱의 본체 프레임(도시하지 않음)에 고정된 한 쌍의 지지플레이트(40)(40)에 베어링(42A)(42A)(42B)(42B)(42C)(42C)에 의하여 회동되며 지지되어 있다. 다수의 홈이 홈부롤러(18A),(18B),(18C)의 외주에 일정 간격으로 형성되어 있고, 와이어(14)가 순차적으로 홈부롤러(18A),(18B),(18C)에 감겨지게 되어 와이어열(20)이 형성된다.

접촉검출바(44)는 홈부롤러(18A)와 홈부롤러(18C)의 대략 중간에 위치되어 접촉검출바(44)가 와이어(14)의 접촉을 검출한다. 이 접촉검출바(44)의 양단부는 상기 한 쌍의 지지플레이트(40)(40)에 부착된 한 쌍의 브래킷(46)(46)에 지지되도록 하고, 상기 홈부롤러(18A),(18B),(18C)에 감겨지게 된 와이어(14)가 단선되면 이 접촉검출바(44)에 접촉한다.

진동센서(53)는 상기 한 쌍의 브래킷(46)(46) 중 일측에 내장되어 있고, 진동센서(53)는 상기 접촉검출바(44)의 진동을 검출하게 된다. 이 진동센서(53)에서 검출된 접촉검출바(44)의 진동 검출값은 제4도에 표시한 바와 같이 미분회로(48)를 통하여 제어부(50)에 출력된다.

제어부(50)는 상기 접촉검출바(44)가 소정값 이상의 진폭을 검출하면 와이어(14)가 단선되었다고 판단하여 와이어톱(10)의 운전을 정지한다. 즉, 와이어(14)가 단선되면 그 단선된 와이어(14)가 접촉검출바(44)에 접촉하고, 그 충격으로 접촉검출바(44)는 크게 진동한다. 제어부(50)는 이 와이어 충격 시의 접촉검출바(44)의 진동을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단한다.

홈부롤러(18A),(18C),(18C)가 회전할 때 또는 와이어열(20)에 슬러리가 공급될 때 상기 접촉검출바(44)를 움직이게 되고 접촉검출바(44)는 미세한 진동을 일으킨다. 이 접촉검출바(44)의 미세한 진동은 상기 진동센서(53)에서 검출되지만, 그 검출값은 미분회로(48)에서 노이즈 성분으로 제거해 버린다. 그러므로 제어부(50)에서는 와이어(14)의 단선에 의한 충격으로 접촉검출바(44)에 접촉될 때와 같은 접촉검출바(44)의 뚜렷한 진동만을 검출하는 것이 가능하다. 따라서 와이어(14)의 단선이 아닌 오검출을 방지하는 것이 가능하다.

본 발명에 의한 와이어톱을 위한 와이어단선검출장치의 실시예의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

진동센서(53)는 접촉검출바(44)의 진동을 규칙적으로 검출하도록 하고, 그 검출되는신호는 미분회로(48)를 통하여 제어부(50)에 규칙적으로 출력되도록 한다. 제어부(50)는 소정값을 초과하는 접촉검출바(44)의 진동을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단한다.

즉, 제4도에 도시한 바와 같이 홈부롤러(18A),(18B),(18C)에 감겨진 와이어(14)가 단선되면 그 단선된 와이어(14)는 접촉검출바(44)에 접촉한다. 접촉된 와이어(14)는 상기 접촉검출바(44)를 진동시키지만 이 와이어접촉 시의 접촉검출바(44)의 진동은 일반적으로 검출되는 접촉검출바(44)의 진동보다도 크다. 그래서, 제어부(50)는 소정값 이상의 진동을 검출하게 되면 와이어(14)가 단선되어 그 단선된 와이어(14)가 접촉검출바(44)에 접촉되었다고 판단하게 된다. 이것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단한다. 그래서, 와이어(14)의 단선이 검출된 제어부(50)는 즉각 와이어톱(10)의 운전을 정지한다.

이와 같은 본 실시예에 있어서, 와이어톱의 와이어단선검출에 의하면 단선된 와이어(14)의 접촉을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단하는 것으로 수용성 슬러리를 이용하여 절단하는 와이어톱에 있어서도 종래의 전기적인 검출방법에서와 같은 오동작을 일으키게 되는 문제도 없다. 순간적으로 즉시 확실하게 와이어(14)의 단선을 검출하는 것이 가능하다.

즉, 본 실시의 예에서는 접촉검출바(44)는 양단부를 지지하도록 설치되지만 접촉검출바(44)의 일측 한쪽 방향만을 지지하도록 설치해도 된다.

다음에 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어탈선검출장치의 실시예 2에 관하여 설명한다. 즉, 상기 실시예 1과 동일부재는 동일부호를 부여하고 그 설명은 생략한다.

상기 실시예 1에서는 홈부롤러(18A),(18B),(18C)에 감겨 있는 와이어(14)의 단선을 검출하는 예로 설명했다. 한편으로, 실시예 2에서는 가이드롤러(16)(16)…로 형성된 와이어주행로를 주행하는 와이어(14)의 단선을 검출하는 경우에 관하여 설명한다.

제5도에 도시한 바와 같이 와이어주행로에 설치된 각 가이드롤러(16)(16)의 주변에 주행하는 와이어(14)와 직교하도록 접촉검출바(52)가 형성되어 있다. 이 접촉검출바(52)의 일측 방향의 단부는 와이어톱(10)의 본체 프레임(54)에 고정 부착된 브래킷(56)에 지지되어 있다. 브래킷(56) 내측에는 도시하지 않은 진동센서(53)가 내장되도록 하고, 이 진동센서(53)에 의하여 접촉검출바의 진동이 검출된다. 이 진동의 검출값은 상기 실시예 1과 같은 모양에 미분회로를 통하여 제어부에 출력된다.

상기의 것으로 구성된 본 발명에 의한 와이어톱 와이어단선검출장치의 실시예 2의 작용은 다음과 같다.

제5도에 표시한 바와 같이 와이어주행로를 주행하는 와이어(14)가 단선되면 그 단선된 와이어(14)는 접촉검출바(52)에 접촉한다. 접촉된 와이어(14)는 상기 접촉검출바(52)를 진동시키지만 이 와이어가 접촉될 때 접촉검출바(52)의 진동은 일반적으로 검출되는 접촉검출바(52)의 진동(와이어톱 자체의 진동등) 보다도 크다. 그래서, 제어부(50)는 소정값 이상의 진동을 검출하게 되면 와이어(14)가 단선되고, 그 단선된 와이어(14)가 접촉검출바(44)에 접촉되었다고 판단하는 것이 가능하다. 이것에 의하여 주행하는 와이어(14)의 단선을 판단한다. 그래서, 와이어(14)의 단선을 검출했던 제어부(50)는 즉시 와이어톱(10)의 운전을 정지한다.

이와 같이 실시예 2의 와이어톱의 와이어단선검출장치에 의하면 단선된 와이어(14)의 접촉을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단하기 때문에 순간적으로 즉시 확실하게 와이어(14)의 단선을 검출하는 것이 가능하다.

다음에 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어탈선검출장치의 실시예 3에 관하여 설명한다. 즉, 상기 실시예 1과 동일부재에는 동일부호를 부여하고 그 설명은 생략한다.

상기 실시예 1에서는 제2도에 표시한 바와 같이 지지플레이트(40)(40)에 설치된 한 쌍의 브래킷(46)(46)에는 접촉검출바(44)가 지지되어 있다. 한편으로 실시예 3에서는 제6도에 표시한 바와 같이 브래킷(46)(46)에는 접촉검출와이어(58)가 설치되어 있다.

상기 한 쌍의 브래킷(46)(46) 중 일측 방향의 브래킷(46)의 내부에는 상기 접촉검출와이어(58)의 장력변동을 검출하는 하중센서(60)가 내장되어 있다. 상기 접촉검출와이어(58)의 일측 단부는 이 하중센서(60)에 지지되어 있고, 상기 하중센서(60)로 검출된 접촉검출와이어(58)의 장력변동은 미분회로(48)를 통하여 제어부(50)에 출력된다.

제어부(50)는 이 소정값 이상의 접촉검출와이어(58) 장력변동을 검출하면 와이어(14)가 단선되었다고 판단하여 와이어톱(10)의 운전을 정지한다. 와이어(14)가 단선되면 그 단선된 와이어(14)가 접촉검출와이어(58)에 접촉하고, 그 충격으로 접촉검출와이어(58)의 장력은 크게 변화한다. 제어부(50)는 이 단선된 와이어(14)가 접촉 될 때의 접촉검출와이어(58)의 장력변동을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단한다.

상기 접촉검출와이어(58)도 상기 실시예 1의 접촉검출바(44)와 같은 예로 슬러리가 부여되는 것에 의하여 미세한 장력변동을 일으키지만 그 미세한 성분은 상기 실시예 1과 같은 형태로 노이즈 성분으로 판단하여 미분회로(48)에서 제거된다. 그래서, 제어부(50)에서는 와이어(14)의 단선에 의한 충격 때와 같은 뚜렷한 장력변동만을 검출하는 것이 가능하여 와이어 단선시 이외의 오검출을 방지하는 것이 가능하다.

상기의 것으로 구성된 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어단선검출장치의 실시예 3의 작용은 다음과 같다.

접촉검출와이어(58)는 그 장력변동을 하중센서(60)에 의하여 상시 검출되도록 하고, 그 검출값은 미분회로(48)를 통하여 항상 제어부(50)에 출력되도록 한다. 제어부(50)는 이 접촉검출와이어(58)의 소정값 이상의 장력변동을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 검출한다.

즉, 홈부롤러(18A),(18B),(18C)에 감겨 있는 와이어(14)가 단선되면 그 단선된 와이어(14)는 접촉검출와이어(58)에 접촉한다. 단선된 와이어(14)가 접촉검출와이어(58)에 접촉하면 상기 접촉검출와이어(58)의 장력이 변화한다. 이 경우 이 와이어접촉 시의 접촉검출와이어(58)의 장력은 일반적으로 검출되는 접촉검출와이어(58)의 장력변동보다도 매우 크다. 그래서, 제어부(50)는 소정값 이상의 장력변동을 검출하게 되지만 와이어(14)가 단선되어 그 단선된 와이어(14)가 접촉검출와이어(58)에 접촉되었다고 판단하는 것이 가능하다.

이와 같이 실시예 3의 와이어톱의 와이어단선검출장치에 의하면 상기 실시예 1과 같은 모양으로 순간적으로 즉시 확실하게 와이어(14)의 단선을 검출하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어탈선검출장치의 실시예 4에 관하여 설명한다. 또, 상기 실시예 1~3과 동일부재에서는 동일부호를 부여하고, 그 설명은 생략한다.

제7도에 도시한 바와 같이 접촉검출와이어(62)는 브래킷(46)(46) 사이에 설치되어 있다. 이 접촉검출와이어(62)는 상기 한 쌍의 브래킷(46)(46)에 의하여 와이어톱(10) 본체에서 절연되어 있다.

한편, 상기 한 쌍의 와이어릴(12) 사이를 주행하는 와이어(14)에는 일정의 전압이 인가되어 있다.

따라서, 이 전압이 인가된 와이어(14)가 단선되어 상기 접촉검출와이어(62)에 접촉하면 절연상태로 있던 접촉검출와이어(62)에는 일시적으로 전류가 흐르게 된다. 이 접촉검출와이어(62)에 일시적으로 흐르는 전류를 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단한다.

이 때문에 상기 접촉검출와이어(62)에는 상기 접촉검출와이어(62)에 흐르는 전류를 검출하기 위한 전류계(64)가 접속되어 있다. 이 전류계(64)의 검출값은 항상 제어부(50)에 출력되고, 제어부(50)는 접촉검출와이어(62)에 전류가 흐르는 것을 검출하면 와이어(14)가 단선되었다고 판단하여 와이어톱(10)의 운전을 정지한다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어접촉검출장치의 실시예 4의 작용은 다음과 같다.

접촉검출와이어(62)의 전류값을 제어부(50)에 의하여 계속적으로 감시되도록 한다. 제어부(50)는 이 접촉검출와이어(58)에 전류가 흐르는 것을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)가 단선된 것을 검출한다.

즉, 와이어(14)의 주행이 중지되면 그 단선된 와이어(14)는 접촉검출와이어(62)에 접촉하지만, 이 단선된 와이어(14)에는 일정의 전압이 인가되기 때문에 접촉검출와이어(62)에 접촉하면 접촉검출와이어(62)에는 일시적으로 전류가 흐른다.

그래서, 제어부(50)는 이 접촉검출와이어(62)에 전류가 흐르는 것을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)가 단선되는 것을 판단하는 것이 가능하다.

이와 같이 실시예 4의 와이어톱의 와이어단선검출장치에 의하면 상기 실시예 1, 2, 3과 동일한 것으로 순간적으로 즉시 확실하게 와이어(14)의 단선을 검출하는 것이 가능하다.

다음에 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어탈섬검출장치의 실시예 5에 관하여 설명한다. 또, 상기 실시예 1, 2, 3, 4와 동일부재에는 동일부호를 부여하고, 그 설명은 생략한다.

제8도에 도시한 바와 같이 브래킷(46)(46)에는 접촉검출와이어(66)가 설치되어 있다. 이 접촉검출와이어(66)는 주행하는 와이어(14)가 단선되어 접촉하면 그 접촉할 때의 충격으로 단선되도록 구성되어 있다.

한편, 이 접촉검출와이어(66)에는 전원(68)에 의하여 일정 전압이 인가되어 있고, 소정량의 전류가 흐르도록 구성되어 있다.

상기 와이어(14)가 접촉하여 상기 접촉검출와이어(66)가 단선되면 그곳을 흐르는 전류값도 제로가 된다. 이 접촉검출와이어(66)에 흐르는 전류가 제로로 되는 것을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)의 단선을 판단한다.

이와 같은 이유로 상기 접촉검출와이어(62)에는 이 접촉검출와이어(66)에 흐르는 전류를 검출하기 위한 전류계(70)가 접속되어 있다. 그 전류계(70)의 검출값은 항상 제어부(50)에 출력되고, 제어부(50)는 상기 접촉검출와이어(66)를 흐르는 전류의 전류값이 제로로 되는 것을 검출하면 와이어(14)가 단선되었다고 판단하여 와이어톱(10)의 운전을 정지한다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 와이어톱의 와이어단선검출장치의 실시예 5의 작용은 다음과 같다.

접촉검출와이어(66)는 그 전류값을 전류계(70)에 의하여 계속적으로 검출되도록 하고, 그 검출값은 항상 제어부(50)에 출력되도록 한다. 제어부(50)는 이 접촉검출와이어(58)에 흐르는 전류의 전류값이 제로로 되는 것을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)가 단선되는 것을 검출한다.

즉, 주행하는 와이어(14)가 단선되면 그 단선된 와이어(14)는 접촉검출와이어(66)에 접촉한다. 이 단선된 와이어(14)가 접촉검출와이어(66)에 접촉하면 접촉검출와이어(66)는 그 때의 충격으로 단선된다.

한편, 접촉검출와이어(66)에는 일정의 전압이 인가되고 일정량의 전류가 흐르고 있지만, 단선되는 것에 의하여 그곳에 흐르는 전류가 제로가 된다.

제어부(50)는 이 접촉검출와이어(66)에 흐르는 전류가 제로로 되는 것을 검출하는 것에 의하여 와이어(14)가 단선된 것을 판단하는 것이 가능하다.

이와 같이 실시예 5의 와이어톱의 와이어단선검출장치에 의하면 상기 실시예 1, 2, 3, 4와 동일한 형태로 순간적으로 즉시 확실하게 와이어(14)의 단선을 검출하는 것이 가능하다.

이상 설명했던 본 실시예 1, 2, 3, 4, 5에서는 접촉검출부재(접촉검출바(44) 및 접촉검출와이어(58)(62)(66))를 홈부롤러(18A)와 홈부롤러(18C)의 중간위치에 설치하였다.

설치위치는 특히 이 위치에 한정하는 것은 아니고, 절단의 방해가 되지 않으면 된다. 또 절단된 와이어(14)가 확실하게 접촉하는 위치라면 어느 곳에 설치하여도 좋다. 예를 들면 홈부롤러(18B)와 홈부롤러(18C) 사이의 중간 위치 또는 제9도에 도시한 바와 같이 홈부롤러(18C)의 하측 방향에 설치하여도 좋다. 또한 제10도에 도시한 바와 같이 접촉검출부재를 2개 이용하여 와이어(14)를 그 사이에 끼우도록 설치하여도 좋다.

그러나, 본 발명은 상술한 특정예에 국한되는 것이 아니라, 본 발명은 첨부된 청구범위에 기재된 발명의 정신 및 범위를 일탈함 없이 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 접촉검출부재로의 와이어의 접촉을 검출하는 것에 의하여 와이어의 단선을 판단하는 것으로 확실하고 즉시 신속하게 와이어의 단선을 검출하는 것이 가능하다.

Claims

한 쌍의 와이어릴 사이를 주행하는 와이어를 복수개의 홈부롤러에 감아서 와이어열을 성형하고, 상기 와이어열에 가공액을 공급하면서 워크피스를 압착하여 상기 워크피스를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱에 있어서, 상기 와이어의 주행로 주변에 형성한 접촉검출부재와, 상기 접촉검출부재에 접촉하게되는 단선된 와이어를 검출하는 센서로 구성되어 단선된 와이어와 상기 단선검출부재 사이의 접촉을 검출하는 상기 센서에 의하여 상기 와이어의 단선을 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제1항에 있어서, 상기 접촉검출부재의 진폭변동을 상기 센서로 검출하는 것에 의하여 단선된 와이어와 상기 단선검출부재 사이의 접촉을 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제2항에 있어서, 상기 센서의 출력신호로부터 잡음성분을 제거하는 미분회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제1항에 있어서, 상기 접촉검출부재는 팽팽하게 당겨져 있는 접촉검출와이어와, 상기 접촉검출와이어의 장력변동을 검출하는 센서로 구성하여 단선된 와이어와 상기 접촉검출와이어 사이의 접촉을 검출하는 상기 센서에 의해서 상기 접촉검출와이어의 장력 변동을 검출하는 와이어단선검출장치임을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제4항에 있어서, 상기 센서의 출력신호로부터 잡음성분을 제거하는 미분회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제1항에 있어서, 상기 접촉검출부재는 상기 홈부롤러에 감겨진 상기 와이어열 주변에 형성되어 상기 와이어열로 형성한 상기 와이어의 단선을 검출하는 접촉검출장치임을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제1항에 있어서, 한 쌍의 상기 접촉검출부재는 상기 주행하는 와이어에 대해 각각 맞은편을 향하여 형성한 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
한 쌍의 와이어릴 사이를 주행하는 와이어를 복수개의 홈부롤러에 감아서 와이어열을 성형하고, 상기 와이어열에 가공액을 공급하면서 워크피스를 압착하여 상기 워크피스를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱에 있어서, 상기 한 쌍의 와이어릴 사이를 앞뒤로 주행하는 상기 와이어에 소정의 전압을 인가하는 전원과, 상기 와이어의 주행로 주변에 형성한 절연된 접촉검출부재와, 상기 접촉검출부재의 전류를 검출하는 센서로 구성되어 단선된 와이어와 상기 와이어의 단선을 검출하는 상기 접촉검출부재 사이의 접촉에 의해 전류를 검출하는 센서로 상기 와이어의 단선을 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제8항에 있어서, 상기 접촉검출부재는 상기 홈부롤러에 감겨진 상기 와이어열 주변에 형성되어 상기 와이어열로 형성한 상기 와이어의 단선을 검출하는 접촉검출장치임을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제8항에 있어서, 한 쌍의 상기 접촉검출부재는 상기 주행하는 와이어에 대해 각각 맞은편을 향하여 형성한 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
한 쌍의 와이어릴 사이를 주행하는 주행와이어를 복수개의 홈부롤러에 감아서 와이어열을 성형하고, 상기 와이어열에 가공액을 공급하면서 워크피스를 압착하여 상기 워크피스를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱에 있어서, 상기 주행와이어의 주행로 주변에 형성한 접촉검출와이어와, 상기 접촉검출와이어에 소정의 전압을 인가하는 전원과 상기 접촉검출와이어의 전류를 검출하는 센서로 구성되어 상기 센서에 의해서 단선된 주행와이어와 상기 주행와이어의 단선을 검출하는 접촉검출와이어 사이의 접촉으로 접촉검출와이어의 전류가 0이 되는 것을 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제11항에 있어서, 상기 접촉검출와이어는 상기 홈부롤러에 감겨진 상기 와이어열 주변에 형성되어 상기 와이어열로 형성한 상기 와이어의 단선을 검출하는 접촉검출장치임을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.
제11항에 있어서, 한 쌍의 상기 접촉검출와이어는 상기 주행와이어에 대해 각각 맞은편을 향하여 형성한 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어단선검출장치.