JP5875277B2 - ワイヤソー - Google Patents
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Description
信号加工手段10aは、ワイヤ3の断線をより高精度に検出できるように、振動センサ17から入力される断線検出部材16の振動信号を加工する。具体的には、振動センサ17から入力される振動信号には、ワイヤ3の断線による振動以外の振動の信号(ノイズ信号ともいう)も含まれる。信号加工手段10aは、このノイズ信号を効果的に排除するべく、所定の周波数帯の振動信号だけを残し、その他の周波数帯をカットする。
断線判断手段10bは、予め設定された閾値と、振動信号とを比較することにより、ワイヤ3の断線の有無を判断する。具体的には、断線判断手段10bは、振動信号がその閾値を超える場合はワイヤ3の断線有りと判断し、振動信号がその閾値以下の場合はワイヤ3の断線無しと判断する。そして、断線判断手段10bがワイヤ3の断線有りと判断した場合、ワイヤ3の走行は緊急停止される。
閾値調整手段10cは、ワイヤ3の走行状態の変化に応じて閾値を可変する。ワイヤ3の走行状態とは、例えばワイヤ3の走行速度やワイヤ3の走行方向をいい、特に、その変化によって加工補助液の飛散状態が変化するワイヤ3の走行状態を意味する。
閾値調整手段10cの場合、閾値や、閾値を可変するワイヤ3の走行条件は事前に設定されている。そのため、閾値調整手段10cがその機能を発揮できるのは設定された条件の範囲内に限られる。従って、例えば、ワイヤ3や加工補助液が性状の異なる種類に変更されるなど、設定された条件の範囲を超える場合が発生すると、それに合わせて新たに条件を設定する必要があり、手間がかかる。そこで、このワイヤソー1では、そのような場合にも簡単に対応できるようにノイズ学習手段10dが設けられている。
通常、ワイヤ3の断線の有無は、ワイヤ3が最初に断線検出部材16に衝突した時に検出される振動信号に基づいて判断される。すなわち、1つの振動信号の変化からワイヤ3の断線の有無を判断しているため、例えば、断線信号に近似したノイズ信号が発生するような条件下では、誤判断の頻度が高まり、ワイヤ3の断線の検出の信頼性が低下する。そこで、このワイヤソー1では、そのような条件下でもワイヤ3の断線の有無を高精度かつ安定して検出できるように、所定の複数の振動信号に基づいてワイヤ3の断線の有無を判断する多重判断手段10eが設けられている。
装置ノイズ除去手段10fは、補助センサ18と協働して、振動信号に含まれる、装置に起因するノイズ信号を減少させる。具体的には、装置ノイズ除去手段10fは、振動センサ17から入力される振動信号(主信号ともいう)と、補助センサ18から入力される支持部4の振動信号(補助信号ともいう)とを比較する機能を有している。
2 ワイヤガイド
3 ワイヤ
4 支持部
5、6 ワイヤ送り装置
7 ワーク保持部
8 液供給装置
9 ワイヤ断線検出装置
10 制御装置
10a 信号加工手段
10b 断線判断手段
10c 閾値調整手段
10d ノイズ学習手段
10e 多重判断手段
10f 装置ノイズ除去手段
10g 記憶部
15 除振部材
16 断線検出部材
17 振動センサ
18 補助センサ(第2振動センサ)
19 入出力装置
Claims (6)
- 走行するワイヤに被加工物を押し付けて当該被加工物を切断するワイヤソーであって、
並列した状態で支持部に支持され、回転駆動される複数のワイヤガイドと、
複数の前記ワイヤガイドの周囲に1本の前記ワイヤの中間部分を螺旋状に巻き付けることにより、当該ワイヤガイド間に形成される略平行なワイヤ群と、
前記ワイヤの巻き出し及び巻き取りを交互に行う一対のワイヤ送り装置と、
前記被加工物を支持し、変位して当該被加工物を前記ワイヤ群に押し付けるワーク保持部と、
前記ワイヤ群に加工補助液を供給する液供給装置と、
前記支持部に取り付けられるワイヤ断線検出装置と、
前記ワイヤの断線の有無を判断し、断線有りの場合に当該ワイヤの走行を停止する制御装置と、
を備え、
前記ワイヤ断線検出装置は、
前記ワイヤガイドの近傍に配置され、前記ワイヤ群と略直交する方向に延びる断線検出部材と、
前記断線検出部材の振動を検出し、その振動信号を前記制御装置に出力する振動センサと、
を有し、
前記断線検出部材及び前記振動センサが、除振部材を介して前記支持部に取り付けられ、
前記制御装置が、入力される前記振動信号の100kHzより小さい周波数帯をカットする信号加工手段を有し、
前記信号加工手段によって加工された前記振動信号に基づいて前記制御装置が前記ワイヤの断線の有無を判断するワイヤソー。 - 請求項1に記載のワイヤソーにおいて、
前記信号加工手段が、更に、前記振動信号の500kHzより大きい周波数帯をカットするワイヤソー。 - 請求項1又は請求項2に記載のワイヤソーにおいて、
前記制御装置が、
前記振動信号と閾値とを比較して前記ワイヤの断線の有無を判断する断線判断手段と、
前記ワイヤの走行状態の変化に応じて、前記閾値を可変する閾値調整手段と、
を有しているワイヤソー。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1つに記載のワイヤソーにおいて、
前記制御装置が、無負荷の条件下で前記ワイヤソーを作動させることにより、当該条件下で発生する前記振動信号を学習するノイズ学習手段を有しているワイヤソー。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1つに記載のワイヤソーにおいて、
前記制御装置が、前記ワイヤの回転周期ごとに入力される複数の前記振動信号に基づいて前記ワイヤの断線の有無を判断する多重判断手段を有するワイヤソー。 - 請求項1〜請求項5のいずれか1つに記載のワイヤソーにおいて、
前記支持部に、当該支持部の振動を検出し、その振動信号を前記制御装置に出力する第2振動センサが取り付けられ、
前記制御装置が、前記ワイヤの断線の有無を判断する際に、前記振動センサから入力される前記振動信号と、前記第2振動センサから入力される前記振動信号とを比較する固有ノイズ除去手段を有しているワイヤソー。
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CN105563670B (zh) * | 2015-12-17 | 2019-06-28 | 浙江昊能光电股份有限公司 | 一种硅片切片机上的报警装置 |
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Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59190638A (ja) * | 1983-04-14 | 1984-10-29 | Mazda Motor Corp | エンジンのノツキング検出装置 |
JPH05212664A (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-24 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | ロボットのグラインダ作業用防振機構 |
JPH0573578U (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-08 | 日新電機株式会社 | ガス絶縁電気機器用異常検出装置 |
JP2909380B2 (ja) * | 1994-03-18 | 1999-06-23 | 三菱重工業株式会社 | 自動研削装置 |
JP3106294B2 (ja) * | 1996-07-23 | 2000-11-06 | 株式会社東京精密 | ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 |
JP2001287161A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-16 | Seiko Epson Corp | 被研磨基板保持装置及びそれを備えたcmp装置 |
JP2003109917A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウェーハの製造方法、単結晶インゴットの切断方法、切断装置および保持治具 |
JP2006245263A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Sony Corp | 基板ブレイク装置および基板ブレイク方法ならびに半導体装置 |
JP2008026070A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | ガス絶縁装置の部分放電診断装置 |
JP2008183806A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
JP4465400B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2010-05-19 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソー |
JP2011088266A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤソー切断装置 |
JP2011104688A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Takatori Corp | ワイヤソー |
JP5443242B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-03-19 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソー |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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