JP5072135B2 - ワイヤソーのワイヤ断線検知方法および装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤソーにおいて、ワーク加工用のワイヤの断線を検知する方法および装置の改良に関する。

ワーク加工用のワイヤの断線検知として、特許文献１、特許文献２や特許文献３などが挙げられる。それらのうち、ワイヤへの通電による検知は、油系スラリ（油系加工液）の場合に容易であるが、水系スラリ（水系加工液）の場合には水の導電率が影響し、確実な断線検知が困難となる。

また、上記の特許文献１は、加工用ローラの周辺に、多数のワーク加工用のワイヤから離して断線検出用ワイヤを加工用ローラの軸方向に平行に張っておき、ワーク加工用のワイヤの断線時に、断線検出用ワイヤに対する断線状態のワイヤの衝撃的な接触を断線検出用ワイヤの振動から検出する、技術を開示している。上記の断線検出によると、断線検出用ワイヤやその保持装置の他に、断線検出用ワイヤの振動、状態変化に対する専用の複雑な検出回路が必要となり、検出に時間が掛かるほかに、検出装置が高価な装置となってしまう。このことは、特許文献２および特許文献３の技術でも同じことが言える。

以上の従来の技術のように、断線検出のために専用のワイヤやワイヤ保持装置が使用される方式によると、作業者は、初期設定や面倒な操作を避けるために、専用のワイヤやワイヤ保持装置を設置しないまま、ワイヤソーを稼働させる場合もあり、これが重大な事故となる。

特開平１０−３４５１５号公報 特開平１０−１８０６０７号公報 特開２００７−７８４８号公報

本発明の課題は、従来の技術の欠点、すなわち特別な断線検出用ワイヤや、その保持装置、さらに複雑な検出回路を必要とせず、ワーク加工用のワイヤの断線を安価な手段によって検知できるようにし、併せて作業者に意識させずに、特別な操作なども必要とせず、必然的に断線検知を可能な状態とすることである。

上記課題のもとに、本発明は、ワークを切断するワイヤソーにおいて、ワーク加工用のワイヤ自体の走行経路を工夫し、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤを、前記ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ部分を断線検知部とし、この断線検知部でのワイヤの挙動やワイヤの張力の変化などの変動を検知することによって、前記ワイヤ列に発生したワイヤの断線を検知するようにしている。

具体的に記載すると、本発明に係るワイヤソーのワイヤ断線検知方法は、ワーク加工用のワイヤを複数の加工用ローラに巻回させてワイヤ列を形成し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを走行させ、前記加工用ローラ間で走行状態の前記ワイヤ列とワークとを接触させて、ワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤを、前記ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ部分を断線検知部とし、この断線検知部のワイヤの変動を検知することによって、前記ワイヤ列に発生したワイヤの断線を検知するようにしている（請求項１）。

前記ワイヤソーのワイヤ断線検知方法において、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤは、前記ワイヤの走行経路に配置した向き変換用のガイドローラによって前記ワイヤ列に交差する方向としてワイヤ列に近接している（請求項２）。

前記ワイヤソーのワイヤ断線検知方法において、ワイヤの変動は、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路に設けた変動検知手段により検知される（請求項３）。前記変動検知手段は、前記ワイヤの張力または前記ワイヤの振動を検知する（請求項４、請求項５）。

前記ワイヤソーのワイヤ断線検知方法において、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路に、張力付与装置が配置されており、この張力付与装置の張力付勢手段としてアクチュエータにより前記ワイヤを付勢するとともに、前記変動検知手段を前記アクチュエータに組み込まれている検知回路により構成している（請求項６）。

前記ワイヤソーのワイヤ断線検知方法において、前記断線検知部は、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記加工用ローラに対するワイヤの送り出し側および巻き取り側のうち少なくともいずれか一方に形成される（請求項７）。

前記ワイヤソーのワイヤ断線検知方法において、前記断線検知部は、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記加工用ローラに対するワイヤの送り出し側および巻き取り側の両方に形成される（請求項８）。

前記ワイヤソーのワイヤ断線検知方法において、前記断線検知部は、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記ワイヤ列の外周側に形成される（請求項９）か、または前記断線検知部は、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記ワイヤ列の内周側に形成される（請求項１０）。

そして本発明に係るワイヤソーのワイヤ断線検知装置は、ワーク加工用のワイヤを複数の加工用ローラに巻回させてワイヤ列を形成し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを走行させ、前記加工用ローラ間で走行状態の前記ワイヤ列とワークとを接触させて、ワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤを、前記ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ部分を断線検知部とし、この断線検知部のワイヤ部分の長さを前記ワイヤ列の全列に渡る長さ以上とし、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路に設けた変動検知手段により前記断線検知部のワイヤの変動を検知することで、前記ワイヤ列に発生したワイヤの断線を検知するようにしている（請求項１１）。

本発明に係るワイヤソーのワイヤ断線検知方法および装置によると、ワイヤ列に近接して走行するワーク加工用のワイヤそのものが断線検知部となるから、断線検知のための特別なワイヤ、その保持装置や複雑な検知回路を必要とせず、ワイヤの断線が検知でき、またワイヤソーの稼働に際して作業者に特別な設置や操作が必要とされず、ワーク加工用のワイヤの断線が安価な手段によって検知でき、さらにワイヤ列でワイヤの断線が発生した時、断線したワイヤの切断端に直接作用されて起こる断線検知部のワイヤの急激な変位、振動、断線、衝撃や急激な緩みなどの挙動やワイヤの張力の変化などの変動が速やかに、かつ簡単に検知できる（請求項１、請求項１１）。

ワイヤの断線検知部は、向き変換用のガイドローラによってワイヤ列のワイヤに近接させられるから、ワイヤの断線検知部が加工用ローラ間のワイヤ列に近接する位置に簡単に形成できる（請求項２）。

ワイヤの走行経路に変動検知手段が設けられておれば、断線検知部の変動がワイヤの走行経路で直接検知でき、しかも、断線検知部から離れた位置でも、断線検知部の変動が検知ができる（請求項３）。

変動検知手段がワイヤの張力またはワイヤの振動を検知して、断線検知部の変動を検出するから、それらの検知が簡単に行え、また既設のセンサを利用して容易に構成できる（請求項４、請求項５）。

ワイヤの走行経路に張力付与装置が配置され、ワイヤの張力が張力付勢手段としてアクチュエータにより付勢されておれば、アクチュエータに組み込まれている検知回路が負荷または電流を検知して、ワイヤの変動を検知できるため、張力制御と並行してワイヤの断線検知が可能となる（請求項６）。

ワイヤの断線検知部がワイヤの送り出し側および巻き取り側のうち少なくともいずれか一方に形成されておればよいため、ワイヤの走行経路の設定に応じて、断線検知部の形成が何れの側にも任意に設置できる（請求項７）。

また、ワイヤの断線検知部がワイヤの走行経路の送り出し側および巻き取り側の両方に形成されておれば、ワイヤの断線検知が速やかに行われ、しかも両方で検知できるから、双方の検知条件の設定によって検知の信頼性が高められる（請求項８）。

さらに、ワイヤの断線検知部がワイヤ列の外周側の空間に形成すれば、加工用ローラの支持部分や加工液の供給経路から離れた位置で、それらに干渉せず、断線検知部が作動できる状態となる（請求項９）。また、前記ワイヤの断線検知部が前記ワイヤ列の内周側の空間に形成すれば、加工用ローラの外側空間からの各種の作業や操作が断線検知部の存在に障害されずに行える（請求項１０）。

本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置の一実施形態の側面図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置の要部の平面図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置の要部の正面図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置において、ワイヤ断線時の説明図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置の他の実施形態における要部の平面図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置のさらに他の実施形態における要部の平面図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置のさらに他の実施形態における要部の平面図である。 本発明のワイヤソーのワイヤ断線検知装置の図７の実施形態における要部の正面図である。

図１、図２および図３は、本発明に係るワイヤソーのワイヤ断線検知方法に基づくワイヤソーのワイヤ断線検知装置１の一実施形態をワイヤソー２の主要部と共に示している。これらの図１、図２および図３において、ワイヤソー２のワーク加工用の１本のワイヤ３は、送り出し側のリール４に巻き付けて貯えられており、そのリール４から引き出され、ガイドローラ５、ガイドローラ６に順次案内された後、張力付与ローラ７に案内されて方向変換し、さらに加工用ローラ８に対する巻き付けの入口位置に設けられているガイドローラ１０を経て複数例えば２個の平行な加工用ローラ８、９間に所定のピッチで多重に巻回されている。

このようにして、加工用ローラ８、９の間で、ワイヤ３は、ワーク切断用のワイヤ列を形成しており、例えば上側で平行な状態となって切断域を形成し、この切断域で切断対象のワーク１３と向き合っている。加工用ローラ８、９の間のワイヤ３とワーク１３とは、ワーク１３の切断のために、相対的に接近方向に移動できるようになっている。

ワイヤ３は、送り出し側から加工用ローラ８、９間に巻回され、切断域を形成した後、例えば加工用ローラ８の外側で巻き取り側へ向かう出口位置に設けられている向き変換用のガイドローラ１１、１２に順次案内され、加工用ローラ８、９の軸方向に向きを換え、その先の張力付与ローラ１４に案内されて方向転換し、さらにガイドローラ１５およびガイドローラ１６に順次案内された後、巻き取り側のリール１７に巻き取られる。

ガイドローラ５、１６は、必要に応じ図示しないトラバース装置によって各リール４、１７の軸方向に往復移動する。この往復移動によって、送り出し側のガイドローラ５は、送り出し側のリール４において整列巻きのワイヤ３の送り出し位置の変化に追従し、また巻き取り側のガイドローラ１６は、巻き取り側のリール１７においてワイヤ３を整列巻きの状態として巻き取らせる。

また張力付与ローラ７、１４は、それぞれ張力付与装置の例えば揺動自在の張力付与用のアーム１８、１９によって変位可能な状態で回転自在に支持されており、アーム１８、１９の揺動変位によりワイヤ３の一時的な緩みや、ワイヤ３の張力値の突発的な変化を吸収し、ワイヤ３に所定の張力を付与する。これらのアーム１８、１９は、それぞれ対応のアーム軸２０、２１により揺動自在に支持され、サーボモータ、トルクモータ、その他のアクチュエータまたはスプリングなどの張力付勢手段２２、２３によってワイヤ３に対して所定の張力を付与する方向に付勢されている。なお、張力付与装置は、張力付与ローラ７、１４を直線方向に移動自在として、ワイヤ３に対して張力付与ローラ７、１４の重力やスプリングなどの押す力または引く力によって所定の張力を付与する手段により構成することもできる。

ワーク１３の切断加工時に、加工用ローラ８、９は、一方向の回転または往復回転によってワイヤ３を送り出し側から巻き取り側へと走行させる。加工用ローラ８、９の間の切断域において、走行状態のワイヤ３のワイヤ列とワーク１３とが切断域において接触し、この状態でワーク１３が相対的に切断方向に送られるため、ワーク１３は、ワイヤ列のピッチに対応する厚みの多数の薄い板として切断される。

そして、本発明に係るワイヤソーのワイヤ断線検知方法は、前記のワイヤソー２において、加工用ローラ８、９に対するワイヤ３の巻き掛け範囲Ａにおいて、ワーク加工用のワイヤ３の走行経路の一部分を成すワイヤ３自体を、ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ部分を断線検知部３ａとし、この断線検知部３ａのワイヤ３の変動を検知することによって、ワイヤ列に発生したワイヤ３の断線を検知する。ここで、断線検知部３ａのワイヤ３の変動とは、ワイヤ列でワイヤ３の断線が発生した時、断線したワイヤ３の切断端に直接作用されて起こる断線検知部３ａのワイヤ３の急激な変位、振動、断線、衝撃や急激な緩みなどの挙動の他に、ワイヤ３の張力の変化などをいう。

また、ワイヤソーのワイヤ断線検知装置１は、上記のワイヤソーのワイヤ断線検知方法を実現するために、ワーク加工用のワイヤ３の走行経路の一部分を成すワイヤ３を、ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ３の部分を断線検知部３ａとし、この断線検知部３ａのワイヤ３の部分の長さを前記ワイヤ列の全列に渡る長さすなわち巻き掛け範囲Ａ以上とし、ワーク加工用のワイヤ３の走行経路に設けた変動検知手段２４により断線検知部３ａのワイヤ３の変動を検知することで、ワイヤ列に発生したワイヤ３の断線を検知する。

図１、図２および図３の実施形態において、巻き取り側のワイヤ３は、加工用ローラ８からの出口位置において、向き変換用のガイドローラ１１に案内されてから、そのガイドローラ１１よりも加工用ローラ８の軸方向の端部側で定位置に設けられた向き変換用のガイドローラ１２に案内されて向きを換え、加工用ローラ８に近接した位置で、加工用ローラ８に対して並行に配置され、加工用ローラ８、９に対するワイヤ３の少なくとも巻き掛け範囲Ａにおいて断線検知部３ａを形成している。

このように、ワーク加工用のワイヤ３の走行経路の一部分を成すワイヤ３は、ワイヤ３の走行経路に配置した向き変換用のガイドローラ１１、１２によってワイヤ列に交差する方向となってワイヤ列に近接し、ワイヤ３そのものの一部分で断線検知部３ａを形成している。このため、断線検知部３ａは、ワイヤ列の外周側から加工用ローラ８に近接し、加工用ローラ８の軸方向に並行に配置されている。この結果、断線検知部３ａは、ワイヤ列の各ワイヤ３に直接に交差していないが、各ワイヤ３の延長線上で各ワイヤ３と交わる位置にある。

また、変動検知手段２４は、断線検知部３ａのワイヤ３の急激な変動、すなわち切断域で断線したワイヤ３の断線端に直接作用されて起こる断線検知部３ａの断線、断線検知部３ａの急激な振動や変位を検知するために、断線検知部３ａに近いワイヤ３、例えば巻き取り側のアーム１９に設けた近接式の位置センサ２４ａによって構成されている。

図４は、ワーク１３の切断加工中におけるワイヤ３の切断時の動作を示している。ワーク１３の切断加工中に、ワイヤ３が例えば切断域で断線すると、ワイヤ３の切断端は、図４のように、切断前のワイヤ３の張力と走行の遠心力とによって切断域から外側に飛び出して、断線検知部３ａのワイヤ３に強い衝撃力で当たって、その断線検知部３ａを切断するか、または切断に至らなくても断線検知部３ａに急激な振動あるいは変位を与える。

断線検知部３ａのワイヤ３が切断域でのワイヤ３の切断端と交差し、強い衝撃力によって従属的に切断されたとき、このアーム１９が振り切れてしまうため、変動検知手段２４としての位置センサ２４ａは、アーム１９の異常な変動を感知して、ワイヤ３の切断を即座に検知する。

また、断線検知部３ａのワイヤ３がワイヤ３の切断端によって切断されなくても、断線検知部３ａがワイヤ３の切断端と交差状態で接触して、強い衝撃力を受けたとき、変動検知手段２４としての位置センサ２４ａは、アーム１９の急激な振動あるいは変位を感知して、定常時よも大きなアーム１９の変動からワイヤ３の切断を即座に検知する。このような検知動作は、ワーク１３の切断加工中のほか、それ以外でも同様に行われる。

なお、アーム１９の張力付勢手段２３がサーボモータやトルクモータ、シリンダ、その他のアクチュエータであり、そのアクチュエータに制御用の検知回路が組み込まれておれば、その検知回路は、検知回路の出力信号や電力の変動から、位置センサ２４ａと同様に変動検知手段２４として利用できる。これによって、アーム１９の張力制御（位置制御）と並行してワイヤ３の断線検知が可能となる。

変動検知手段２４は、張力付与装置のアーム１９の位置における位置センサ２４ａに代えて、ワイヤ３の切断にともなって変動する位置、例えば図３に想像線で例示するようにガイドローラ１２の軸とその支持位置との間に設けたロードセル、ＡＥセンサ（音響放出式のセンサ）、超音波センサなどの変動センサ２４ｂによって、またはガイドローラ１２の軸に連結した回転センサ２４ｃによって構成することもできる。

変動センサ２４ｂは、断線検知部３ａのワイヤ３の張力の低下や張力の消滅、あるいはワイヤ３の挙動からワイヤ３の切断を検知する。また、回転センサ２４ｃは、ガイドローラ１２の回転の停止や、ガイドローラ１２の回転の急変状態からワイヤ３の切断を検知する。なお変動センサ２４ｂや回転センサ２４ｃは、ガイドローラ１２の位置だけでなく、断線検知部３ａの変化を検知できる部位であれば、任意の位置に設置できる。例えば超音波センサなどは、断線検知部３ａに続くワイヤ３の部分に設置することで、非接触でワイヤ３の張力変動を検知することができる。

図１、図２および図３の実施形態は、ワイヤ３の断線検知部３ａを巻き取り側に形成しているが、断線検知部３ａは、ワイヤ３の送り出し側に形成することもできる。

また、図１、図２および図３の実施形態は、断線検知部３ａをワイヤ３の巻き取り側にのみ形成しているが、断線検知部３ａは、ワイヤ３の送り出し側および巻き取り側の両方に形成することもできる。

つぎに、図５は、断線検知部３ａをワイヤ３の送り出し側および巻き取り側の両方に形成した一実施形態を示している。断線検知部３ａは、図５のように、ワイヤ列の外周側、すなわち加工用ローラ８の外側空間においてワイヤ３の巻き取り経路に形成し、かつ加工用ローラ９の外側空間においてガイドローラ２５を追加することによって、ワイヤ３の送り出し経路にも形成できる。このような実施形態によると、送り出し側および巻き取り側の両方でワイヤ３の断線が同時に検知できるから、双方の間での検知条件の設定、例えばアンド条件の設定によって、断線検知の信頼性は高まる。

さらに、図６は、断線検知部３ａをワイヤ列の内周側の空間に形成する一実施形態を示している。例えば巻き外し側のワイヤ３の端部は、１つのガイドローラ２６によってワイヤ列の上のワイヤ３と下のワイヤ３との間で、ワイヤ列のワイヤ３から離れて各ワイヤ３対して直行状態で交差する方向の経路にそって張られるか、または想像線で例示するように、２つのガイドローラ２６、２７によってワイヤ列の上のワイヤ３と下のワイヤ３との間で、ワイヤ列のワイヤ３から離れて各ワイヤ３に対して斜行状態で交差する方向の経路にそって張られている。

図６の実施形態によっても、ワイヤ３が例えば切断域で断線すると、ワイヤ３の切断端は、走行時に暴れて断線検知部３ａに強く当たり、その断線検知部３ａを切断するか、または切断に至らなくても断線検知部３ａに急激な変化を与え、これにつながる変動検知手段２４を作動させることになる。なお、ワイヤ３の断線検知部３ａは、ワイヤ列の上のワイヤ３の上空間、あるいは下のワイヤ３の下空間、または上空間および下空間の両方に形成することもできる。

さらに図７および図８の実施形態は、図１に示されているガイドローラ５、６、１５、１６、張力付与ローラ７、１４およびガイドローラ１０、１１、１２などを用いずに、送り出し側のリール４を加工用ローラ８、９に対して平行に配置し、リール４から引き出されたワイヤ３を直接に加工用ローラ８、９に巻回するとともに、加工用ローラ８、９に対して捲き終えたワイヤ３を加工用ローラ８と加工用ローラ９との間で、切断域のワイヤ列に対して斜めに走行させて、直接に巻き取り用のリール１７に案内する例である。この例において、ワイヤ３の断線検知部３ａは、切断域のワイヤ列に対して斜めに交差する範囲において形成される。このような場合も、断線検知部３ａのワイヤ３の部分の長さは、ワイヤ列の全域に渡る長さ以上に設定されている。そして、図７および図８に示すように、変動検知手段２４としての前記変動センサ２４ｂなどを断線検知部３ａに続くワイヤ３の部分に近接して設けることもできる。

以上のすべての実施形態において、断線検知部３ａは、ワイヤ列のすべてのワイヤ３から離されているが、それらの間の距離は、ワイヤ列のワイヤ３の断線を検知可能な程度に近接した距離であればよく、具体的な距離値は、ワイヤ３の種類や、その経路に応じて任意に設定できる。また断線検知部３ａは、加工用ローラ８、９に対する送り出し側や巻き取り側に限らず、加工用ローラ８、９に対する巻き掛け途中に形成することもできる。

本発明は、２本の加工用ローラに限らず、３本以上の加工用ローラ形式のワイヤソーにも適用できる。また、ワイヤは、加工用ローラに対して１本でなく、ワイヤの巻き掛け範囲を２以上に区分し、各区分ごとに別系統のワイヤを使用する形式のワイヤソーにも適用できる。各区分ごとにワイヤを使用する形式のワイヤソーの場合、断線検知部３ａは、各ワイヤ毎に形成することになる。

１ ワイヤソーのワイヤ切断検知装置
２ ワイヤソー
３ ワイヤ ３ａ断線検知部
４ リール
５ ガイドローラ
６ ガイドローラ
７ 張力付与ローラ
８ 加工用ローラ
９ 加工用ローラ
１０ ガイドローラ
１１ ガイドローラ
１２ ガイドローラ
１３ ワーク
１４ 張力付与ローラ
１５ ガイドローラ
１６ ガイドローラ
１７ リール
１８ 張力付与装置のアーム
１９ 張力付与装置のアーム
２０ アーム軸
２１ アーム軸
２２ 張力付勢手段
２３ 張力付勢手段
２４ 変動検知手段 ２４ａ 位置センサ ２４ｂ 変動センサ ２４ｃ 回転センサ
２５ ガイドローラ
２６ ガイドローラ
２７ ガイドローラ
Ａ 加工用ローラに対するワイヤの巻き掛け範囲

Claims (11)

1. ワーク加工用のワイヤを複数の加工用ローラに巻回させてワイヤ列を形成し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを走行させ、前記加工用ローラ間で走行状態の前記ワイヤ列とワークとを接触させて、ワークを切断するワイヤソーにおいて、
   前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤを、前記ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ部分を断線検知部とし、この断線検知部のワイヤの変動を検知することによって、前記ワイヤ列に発生したワイヤの断線を検知する、ことを特徴とするワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
2. 前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤを、前記ワイヤの走行経路に配置した向き変換用のガイドローラによって前記ワイヤ列に交差する方向としてワイヤ列に近接させる、ことを特徴とする請求項１記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
3. 前記ワーク加工用のワイヤの走行経路に設けた変動検知手段により、前記断線検知部のワイヤの変動を検知する、ことを特徴とする請求項１記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
4. 前記変動検知手段は張力を検知する、ことを特徴とする請求項３に記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
5. 前記変動検知手段は振動を検知する、ことを特徴とする請求項３に記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
6. 前記ワーク加工用のワイヤの走行経路に、張力付与装置を配置し、この張力付与装置の張力付勢手段としてアクチュエータにより前記ワイヤを付勢するとともに、前記変動検知手段を前記アクチュエータに組み込まれている検知回路により構成する、ことを特徴とする請求項３記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
7. 前記断線検知部を、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記加工用ローラに対するワイヤの送り出し側および巻き取り側のうち少なくともいずれか一方に形成する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
8. 前記断線検知部を、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記加工用ローラに対するワイヤの送り出し側および巻き取り側の両方に形成する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
9. 前記断線検知部を、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記ワイヤ列の外周側に形成する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項８のうちいずれか１項に記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
10. 前記断線検知部を、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路で前記ワイヤ列の内周側に形成する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項８のうちいずれか１項に記載のワイヤソーのワイヤ断線検知方法。
11. ワーク加工用のワイヤを複数の加工用ローラに巻回させてワイヤ列を形成し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを走行させ、前記加工用ローラ間で走行状態の前記ワイヤ列とワークとを接触させて、ワークを切断するワイヤソーにおいて、
    前記ワーク加工用のワイヤの走行経路の一部分を成すワイヤを、前記ワイヤ列に交差する方向に近接して走行させ、このワイヤ列に近接して走行するワイヤ部分を断線検知部とし、この断線検知部のワイヤ部分の長さを前記ワイヤ列の全列に渡る長さ以上とし、前記ワーク加工用のワイヤの走行経路に設けた変動検知手段により前記断線検知部のワイヤの変動を検知することで、前記ワイヤ列に発生したワイヤの断線を検知することを特徴とするワイヤソーのワイヤ断線検知装置。

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