CZ283541B6 - Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu - Google Patents

Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu Download PDF

Info

Publication number
CZ283541B6
CZ283541B6 CZ96669A CZ66996A CZ283541B6 CZ 283541 B6 CZ283541 B6 CZ 283541B6 CZ 96669 A CZ96669 A CZ 96669A CZ 66996 A CZ66996 A CZ 66996A CZ 283541 B6 CZ283541 B6 CZ 283541B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
guide
guide rollers
rollers
roller
pair
Prior art date
Application number
CZ96669A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ66996A3 (en
Inventor
Karel Rndr. Vojtěchovský
Original Assignee
Trimex Tesla, S.R.O.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trimex Tesla, S.R.O. filed Critical Trimex Tesla, S.R.O.
Priority to CZ96669A priority Critical patent/CZ283541B6/cs
Priority to CA 2247444 priority patent/CA2247444C/en
Priority to CN97192847A priority patent/CN1102876C/zh
Priority to US09/125,826 priority patent/US6041766A/en
Priority to DE59702817T priority patent/DE59702817D1/de
Priority to AT97902532T priority patent/ATE198286T1/de
Priority to AU16156/97A priority patent/AU1615697A/en
Priority to UA98094713A priority patent/UA53642C2/uk
Priority to KR1019980706933A priority patent/KR100287607B1/ko
Priority to EP97902532A priority patent/EP0885083B1/de
Priority to RU98116416A priority patent/RU2138372C1/ru
Priority to JP53160197A priority patent/JP3126388B2/ja
Priority to PCT/IB1997/000155 priority patent/WO1997032681A1/de
Publication of CZ66996A3 publication Critical patent/CZ66996A3/cs
Publication of CZ283541B6 publication Critical patent/CZ283541B6/cs

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
    • B23D57/0023—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires with a plurality of saw wires or saw wires having plural cutting zones
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00—Cutting
    • Y10T83/929—Tool or tool with support
    • Y10T83/9292—Wire tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)

Abstract

Způsob řezání ingotů (1) z tvrdých materiálů na desky pomocí působení volného brusiva a nekonečného pohybujícího se pevného nosiče (7), vytvářejícího vedením v obvodových drážkách (6) souběžných válců (2, 3) válcové sestavy, tvořené minimálně dvojicí naváděcích válců (2) a dvojicí směrovacích válců (3), osnovu, kterou je protlačován řezaný materiál, kde nekonečný pevný nosič (7) běžící v obvodových drážkách (6) válců (2, 3) válcové sestavy je protlačován do každých dvou sousedních řezů ingotů (1) řezaného materiálu protisměrně. U pily k provádění tohoto způsobu jsou naváděcí válce (2) vzhledem ke směrovacím válcům (3) uloženy tak, že smysl otáčení vzájemně přilehlého naváděcího válce (2) a směrovacího válce (3) je opačný, přičemž vzájemně opačný smysl otáčení je rovněž mezi oběma směrovacími válci (3) i oběma naváděcími válci (2). ŕ

Description

Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
Oblast techniky
Vynález se týká způsobu řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky, zejména z ingotů polovodičů, skla a keramiky, a řeší rovněž konstrukci pily k provádění tohoto způsobu.
Dosavadní stav techniky
K. řezání ingotů z tvrdých materiálů, např. polovodičových ingotů, keramiky a bloků skla, se nejčastěji používá metoda využívající působení volného brusivá a pohybujícího se pevného nosiče, nejčastěji nekonečného drátu, na členěný materiál. Metoda je charakteristická tím, že brusivo rozptýlené v kapalině, např. v oleji, je do místa řezu dopravováno drátem pomocí soustavy drážkovaných válců, přičemž řezaný materiál je postupně protláčen přes osnovu běžících drátů. Tloušťka řezaných desek je určena vzdáleností drážek ve válcích, tloušťkou drátu či zrnitostí abraziva a kvalita řezu je určena materiálem brusivá i řezaného ingotu a dalšími technologickými parametry.
Je známa řada metod a zařízení, např. dle patentů US 4,494,523, US 4,574,769, US 4,640,259, US 4,903,682, US 5,201,305, US 5,269,285 nebo GB 2 216 441, které popisují konkrétní zařízení a chrání jejich různá provedení využívající daný princip. Společným znakem všech dosud známých řešení je, že drát je v soustavě drážkovaných válců veden tak, že se během řezání pohybuje ve všech řezech ingotu v daném časovém okamžiku jedním směrem. To způsobuje, že vyráběné desky nemají podél řezu stejnou tloušťku, tj. že ve směru pohybu drátu vykazují úkos způsobený postupně se snižujícími účinky a množstvím brusivá ulpělého na drátu během jeho průchodu řezem ingotu. Velikost úkosu se dá částečně korigovat pomocí obousměrného pohybu drátu, kdy je pohybující drát po určitou dobu řezání pomocí reverzního přepínání pohybu veden ve všech řezech ingotu opačným směrem. Nevýhodou tohoto způsobu je však skutečnost, že se značně zpomaluje proces řezání, činnost zařízení není plynulá, je charakteristická velkými energetickými ztrátami při zastavování a spouštění pohybu drátu, přičemž se zvětšuje pravděpodobnost vzniku poruch cyklicky přepínaných a namáhaných uzlů zařízení.
Podstata vynálezu
Uvedené nevýhody odstraňuje do značné míry způsob řezaní ingotů z tvrdých materiálů na desky pomocí působení volného brusivá a nekonečného pohybujícího se pevného nosiče, vytvářejícího vedením v obvodových drážkách souběžných válců válcové sestavy, tvořené minimálně dvojicí naváděcích válců a dvojicí směrovacích válců, osnovu, kterou je protlačován řezaný materiál, a jeho podstata spočívá v tom, že nekonečný pevný nosič běžící v obvodových drážkách válců válcové sestavy je naváděn a protlačován do každých dvou sousedních řezů ingotů řezaného materiálu protisměrně. Přitom nekonečný pevný nosič je v osnově válcové sestavy opakovaně veden v obvodových drážkách z horní strany prvního naváděcího válce přes horní stranu protilehlého směrovacího válce na spodní stranu jemu přilehlého druhého naváděcího válce, po jehož obejití je shora veden přes horní stranu opačného směrovacího válce opět ke spodní straně prvního naváděcího válce a dále zpět k jeho horní straně.
Pila k řezání ingotů tímto způsobem sestává z válcové sestavy po obvodu drážkovaných válců, která je upevněna na rámu, ze stolu s příslušenstvím, drátového hospodářství a ze zařízení pro transport a teplotní stabilizaci brusivá. Je charakterizována tím, že válcová sestava je tvořena minimálně dvojicí směrovacích válců a dvojicí naváděcích válců, kde naváděcí válce jsou vzhledem ke směrovacím válcům uloženy tak, že smysl otáčení vzájemně přilehlého naváděcího
- 1 CZ 283541 B6 válce a směrovacího válce je opačný, přičemž vzájemně opačný smysl otáčení je rovněž mezi oběma směrovacími válci i oběma naváděcími válci.
Ve výhodném provedení jsou naváděcí válce a směrovací válce polohovány tak, že horní povrchová přímka naváděcích válců je výše než horní povrchová přímka směrovacích válců, poloha směrovacích válců je v pevném rámu axiálně nastavitelná. Pevný nosič je v obvodových drážkách válcové sestavy několikanásobně navinut tak, že vytváří osnovu, ve které je do pracovního prostoru mezi dvojicí směrovacích válců veden v každých dvou sousedních obvodových drážkách protisměrně shora šikmo dolů nebo zdola šikmo vzhůru.
Způsobem řezání podle vynálezu se dosahuje vyššího účinku v tom, že při zachování požadované rychlosti a plynulosti řezacího procesu, tj. bez energeticky náročného reverzního přepínání směru pohybu pevného nosiče, je dosahována rovinná souběžnost stěn řezaných desek bez dosavadních úkosů.
Popis obrázků na výkresech
Způsob řezání a konstrukce drátové pily objasňující vynález jsou schematicky znázorněny na připojených výkresech, kde obr. 1 představuje uspořádání základní čtyřválcové sestavy dvou naváděcích a dvou menších směrovacích válců se souběžnými osami v jedné rovině, obr. 2 stejnou sestavu válců uspořádaných s osami obou dvojic válců v jiných rovinách a obr. 3 alternativní provedení sestavy s menšími průměry naváděcích a většími průměry směrovacích válců. Obr. 4 je pak provedení čtyřválcové sestavy válců stejných průměrů uložených v jedné rovině a obr. 5 představuje alternativní válcovou sestavu, kde mezi naváděcí a směrovací válce jsou umístěny vložené válce. Konečně obr. 6 je celkové schéma drátové pily se zobrazením jejích základních funkčních prvků.
Příklady provedení vynálezu
Pila k řezání ingotů 1 z tvrdých materiálů na desky sestává ze čtyř základních konstrukčních a technologických uzlů, a to válcové sestavy, stolu s příslušenstvím, drátového hospodářství a ze zařízení pro transport a teplotní stabilizaci brusivá. Válcová sestava tvoří jádro pily a je tvořena minimálně dvojicí naváděcích válců 2 a dvojicí směrovacích válců 3, upevněných v pevném rámu 4, který je pevně spojen s nosičem stolu 5 a který zajišťuje potřebnou mechanickou stabilitu a tuhost válcové sestavy. Poloha směrovacích válců 3 je v pevném rámu 4 axiálně nastavitelná, přičemž jsou naváděcí válce 2 vzhledem ke směrovacím válcům 3 uloženy tak, že jejich horní povrchová přímka je výše než horní povrchová přímka těchto směrovacích válců 3. Povrch všech válců 2, 3 je dokonale broušen a je opatřen soustavou obvodových drážek 6 pro vedení nekonečného pohybujícího se pevného nosiče 7, s výhodou drátu, vytvářejícího osnovu pro protlačování ingotu 1 při řezání. Jeden z válců 2, 3 válcové sestavy je hnací a je spřažen s neznázoměným pohonným motorem s plynulou regulací otáček, umožňující nastavení rychlosti pohybu nekonečného nosiče 7 v rozmezí hodnot 0 až 15 m.sec'1 v obou směrech.
Stůl 5 pily je dělený a slouží k orientovanému upevnění řezaného ingotu 1, např. z polovodičových krystalů, a jeho dodatečné orientaci vzhledem k rovině řezu. K řízenému zasouvání a natlačování ingotu 1 do osnovy nekonečného pohybujícího se pevného nosiče 7 navinutého na válcové soustavě je stůl 5 opatřen posuvnými tyčemi 51 a pohonem 52, např. motorem řízeným počítačem, přičemž rychlost posuvu stolu 5 je nastavitelná od 0 pm.sec'1 do 1000 pm.sec1, a to nahoru i dolu v obou směrech. Řezaný ingot 1 je pak ke stolu 5 při pevněn mechanicky přes systém skleněných nebo grafitových podložek 8 a velikost řezu ingotu 1 nebo informace o její zbývající tloušťce je sledována inkrementálním lineárním čidlem 9. Přitom krajní polohy pohybu
-2CZ 283541 B6 stolu 5 jsou jištěny koncovými spínači 10 a pro snížení extremního namáhání jednotlivých konstrukčních uzlů při pohybu je stůl 5 opatřen protiváhou 11 kompenzující hmotnost mechaniky stolu 5 a hmotnost řezaného ingotu L
Vlastní bezpečné odvíjení nebo navíjení nekonečného pevného nosiče 7 z cívek 12 zadanou rychlostí a s předem stanoveným a kontrolovaným napětím zabezpečuje systém drátového hospodářství, kdy navíjecí a odvíjecí cesta jsou oddělené ale přísně synchronizované. Nerovnoměrnosti návinu jsou kompenzovány pomocí tanečníků 13 a vlastní transport pevného nosiče 7 je realizován pomocí soustavy kladek 14, napínacích válců 15 a přídržných příček 16, když vlastní napětí pevného nosiče 7 je měřeno tlakovými senzory 17 a regulace napětí je prováděna pomocí rozdílového napětí mezi neznázoměnými motory pohánějícími kabestany 18 a hnací z válců 2, 3 válcové soustavy. Navíjecí síla při ukládání pevného nosiče 7 je dána silou pružiny 19 na tanečnících 13 a případné poruchy jsou sledovány signálními čidly 20 krajních poloh tanečníků 13, která jsou napojena na neznázoměný řídicí systém drátové pily. Rovněž je pak sledována běžným způsobem pomocí neznázoměného inkrementálního rotačního čidla spojeného s jedním z kabestanů 18 rychlost a délka odvinutého pevného nosiče 7. Ve válcové sestavě je v obvodových drážkách 6 dvojic naváděcích válců 2 a směrovacích válců 3 pevný nosič 7 navinut tak, že vstupuje do sestavy z horní strany prvního naváděcího válce 2 a je veden přes horní stranu protilehlého směrovacího válce 3 na spodní stranu jemu přilehlého druhého naváděcího válce 2, který obepíná. Následně je pevný nosič 7 veden z horní strany tohoto naváděcího válce 2 přes horní stranu protilehlého směrovacího válce 3 zpět ke vstupnímu naváděcímu válci 2, který obepíná. Několikanásobným navinutím pevného nosiče 7 v obvodových drážkách 6 popsaným způsobem se vytvoří osnova, v níž je pevný nosič 7 veden mezi směrovacími válci 3 do každých dvou sousedních řezů děleného ingotu 1 protisměrně, jak je patrno z obr. 1 až obr. 5.
Abrazivní brusný roztok používaný k řezání je na pohybující se nekonečný pevný nosič 7 dopravován pomocí distributorů 21, které jsou nasměrovány na místo vstupu pevného nosiče 2 do řezu ingotu 1. Na výstupu pevného nosiče 7 z válcové soustavy jsou umístěny vysocevýkonné proudové vzduchové čističe 22, které zpěvného nosiče 7 odstraňují ulpělé zbytky abraziva. Distributory 21 jsou pomocí soustavy přívodních potrubí 27 napojených přes čerpadlo 24 do zásobníku 25 opatřeného míchadlem 26. Zásobník 25 je pak propojen přes odpadní potrubí 27 se sběrnou nádobou 28 umístěnou pod válcovou soustavou a shromažďující odkap použitého abrazivního roztoku. Teplota abrazivního roztoku ve stanovených mezích je udržována pomocí chladicího okruhu tvořeného chladicím agregátem 29 a chladicím potrubím 30, vedeným ve dvojitých pláštích zásobníku 25. odpadního potrubí 27 a sběrné nádoby 28. Vlastní teplota chladicí kapaliny je sledována teplotním čidlem 31 a informace o proudění a viskozitě abraziva jsou sledovány pomocí senzorového snímače 32 umístěného v zásobníku 25 a všechny hodnoty jsou předávány a vyhodnocovány v neznázoměném řídicím systému stroje.
Před zahájením pracovního procesu drátové pily je po celé trase navinut pevný nosič 7, seřídí se a nastaví parametry jednotlivých funkčních uzlů stroje a ingot 1 se upne pomocí podložek 8 ke stolu 5 a ustaví se její poloha vzhledem křovině řezu. Po spuštění pohybu pevného nosiče 7 jedním zvoleným směrem se osnovou vytvořenou válcovou soustavou směrovacích válců 3 a naváděcích válců 2 zvolenou rychlostí posuvu plynule protlačuje ingot 1, když v místech vstupu pevného nosiče 7 je do řezů pomocí distributorů 21 dodáváno abrazivo. Po rozřezání pevné desky 1 na jednotlivé segmenty je stůl 5 nastaven do výchozí polohy a celý proces je možno opakovat, přičemž je možno volit směr pohybu pevného nosiče 7 a další parametry řezání, jako je např. rychlost posuvu stolu 5 do řezu, rychlost pohybu a napětí pevného nosiče 7, množství, teplotu a viskozitu abraziva apod.
Popsané provedení konstrukce pily není jediným možným řešením podle vynálezu ale při zachování základního uspořádání dvojic směrovacích válců 3 a naváděcích válců 2 válcové sestavy, způsobu navinutí a pohybu pevného nosiče 7 mezi nimi a v jednotlivých řezech pevné
-3 CZ 283541 B6 desky 1, je možno bez vlivu na podstatu řešení libovolně měnit uspořádání a konstrukci drátového hospodářství, stolu 5 a jeho příslušenství a prvků zařízení pro transport a chlazení brusivá. Jak je patrno z obr. 1 až obr. 4, je možno rovněž volit vzájemnou velikost a uspořádání směrovacích válců 3 a naváděcích válců 2, a to při zachování podmínky, že vstup pevného nosiče 7 do řezu ingotu 1 musí být výše než jeho výstup. Např. dle obr. 5 je mezi směrovací válce 3 a naváděcí válce 2 umístěna dvojice vložených válců 33.
Průmyslová využitelnost
Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila kjeho realizaci mohou být využity v různých odvětvích průmyslu, kde je nutno dělit tvrdý materiál, jako např. polovodiče, keramiku nebo sklo, na přesné segmenty se souběžnými protilehlými rovinnými plochami.

Claims (6)

PATENTOVÉ NÁROKY
1. Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky pomocí působení volného brusivá a nekonečného pohybujícího se pevného nosiče, vytvářejícího vedením v obvodových drážkách souběžných válců válcové sestavy, tvořené minimálně dvojicí naváděcích válců a dvojicí směrovacích válců, osnovu, kterou, je protlačován řezaný materiál, vyznačující se tím, že nekonečný pevný nosič běžící v obvodových drážkách válců válcové sestavy je naváděn a protlačován do každých dvou sousedních řezů ingotů řezaného materiálu protisměrně.
2. Způsob řezání ingotů podle nároku 1, vyznačující se tím, že nekonečný pevný nosič je v osnově válcové sestavy opakovaně veden v obvodových drážkách z horní strany prvního naváděcího válce přes horní stranu protilehlého směrovacího válce na spodní stranu jemu přilehlého druhého naváděcího válce, po jehož obejití je shora veden přes horní stranu opačného směrovacího válce opět ke spodní straně prvního naváděcího válce a dále zpět kjeho horní straně.
3. Pila k řezání ingotů způsobem uvedeným v nároku 1 a 2, sestávající z válcové sestavy po obvodu drážkovaných válců, která je upevněna na rámu, ze stolu s příslušenstvím, drátového hospodářství a ze zařízení pro transport a teplotní stabilizaci brusivá, vyznačující se tím, že válcová sestava je tvořena minimálně dvojicí směrovacích válců (3) a dvojicí naváděcích válců (2), kde naváděcí válce (2) jsou vzhledem ke směrovacím válcům (3) uloženy s opačným smyslem otáčení vzájemně přilehlého naváděcího válce (2) a směrovacího válce (3) přičemž vzájemně opačný smysl otáčení je rovněž mezi oběma směrovacími válci (3) i oběma naváděcími válci (2).
4. Pila podle nároku 3, vyznačující se tím, že horní povrchová přímka naváděcích válců (2) je výše než horní povrchová přímka směrovacích válců (3).
5. Pila podle nároků 3a 4, vyznačující se tím, že poloha směrovacích válců (3) je v rámu (4) axiálně nastavitelná.
6. Pila podle nároků 3 až 5, vyznačující se tím, že pevný nosič (7) je na naváděcích válcích (2) a směrovacích válcích (3) válcové sestavy několikanásobně navinut v osnově, ve které je do pracovního prostoru mezi dvojicí směrovacích válců (3) veden
CZ96669A 1996-03-06 1996-03-06 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu CZ283541B6 (cs)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ96669A CZ283541B6 (cs) 1996-03-06 1996-03-06 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
CA 2247444 CA2247444C (en) 1996-03-06 1997-02-25 Method of cutting blocks of hard substances into plates by means of a wire saw, and wire saw for carrying out this method
CN97192847A CN1102876C (zh) 1996-03-06 1997-02-25 用线锯将硬质材料块切割成片材的方法以及实现该方法的线锯
US09/125,826 US6041766A (en) 1996-03-06 1997-02-25 Method of cutting blocks of hard substances into plates by means of a wire saw, and wire saw for carrying out this method
DE59702817T DE59702817D1 (de) 1996-03-06 1997-02-25 Verfahren zum zerteilen von blöcken aus harten werkstoffen in platten mittels einer drahtsäge und drahtsäge zur durchführung dieses verfahrens
AT97902532T ATE198286T1 (de) 1996-03-06 1997-02-25 Verfahren zum zerteilen von blöcken aus harten werkstoffen in platten mittels einer drahtsäge und drahtsäge zur durchführung dieses verfahrens
AU16156/97A AU1615697A (en) 1996-03-06 1997-02-25 Method of cutting blocks of hard substances into plates by means of a wire saw, and wire saw for carrying out this method
UA98094713A UA53642C2 (uk) 1996-03-06 1997-02-25 Спосіб різання брусків з твердих матеріалів на пластини дротяною пилою та дротяна пила для здійснення цього способу
KR1019980706933A KR100287607B1 (ko) 1996-03-06 1997-02-25 경질(硬質)재료의블록을다수의판으로절단하는방법및그방법을수행하기위한와이어톱(wiresaw)
EP97902532A EP0885083B1 (de) 1996-03-06 1997-02-25 Verfahren zum zerteilen von blöcken aus harten werkstoffen in platten mittels einer drahtsäge und drahtsäge zur durchführung dieses verfahrens
RU98116416A RU2138372C1 (ru) 1996-03-06 1997-02-25 Способ разрезания блоков из твердых материалов на пластины проволочной пилой и проволочная пила для осуществления способа
JP53160197A JP3126388B2 (ja) 1996-03-06 1997-02-25 堅固なブロック体をワイヤーソーによって複数のプレートに切断する方法及びこの方法を実行するためのワイヤーソー
PCT/IB1997/000155 WO1997032681A1 (de) 1996-03-06 1997-02-25 Verfahren zum zerteilen von blöcken aus harten werkstoffen in platten mittels einer drahtsäge und drahtsäge zur durchführung dieses verfahrens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ96669A CZ283541B6 (cs) 1996-03-06 1996-03-06 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ66996A3 CZ66996A3 (en) 1997-12-17
CZ283541B6 true CZ283541B6 (cs) 1998-04-15

Family

ID=5462069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ96669A CZ283541B6 (cs) 1996-03-06 1996-03-06 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu

Country Status (13)

Country Link
US (1) US6041766A (cs)
EP (1) EP0885083B1 (cs)
JP (1) JP3126388B2 (cs)
KR (1) KR100287607B1 (cs)
CN (1) CN1102876C (cs)
AT (1) ATE198286T1 (cs)
AU (1) AU1615697A (cs)
CA (1) CA2247444C (cs)
CZ (1) CZ283541B6 (cs)
DE (1) DE59702817D1 (cs)
RU (1) RU2138372C1 (cs)
UA (1) UA53642C2 (cs)
WO (1) WO1997032681A1 (cs)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6371101B1 (en) 1997-05-07 2002-04-16 Hct Shaping Systems Sa Slicing device using yarn for cutting thin wafers using the angular intersection of at least two yarn layers
CH692485A5 (fr) * 1998-02-13 2002-07-15 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil.
CN1175961C (zh) * 1999-09-17 2004-11-17 株式会社新王磁材 稀土合金的切割方法和切割装置
US6941940B1 (en) * 2000-05-31 2005-09-13 Memc Electronic Materials, S.P.A. Wire saw and process for slicing multiple semiconductor ingots
CH694182A5 (fr) * 2000-11-20 2004-08-31 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil.
JP2003071703A (ja) * 2001-09-05 2003-03-12 Seiko Instruments Inc 多段式微小孔加工方法および装置
JP4411062B2 (ja) * 2003-12-25 2010-02-10 株式会社アライドマテリアル 超砥粒ワイヤソー巻き付け構造、超砥粒ワイヤソー切断装置および超砥粒ワイヤソーの巻き付け方法
GB2414204B (en) * 2004-05-18 2006-04-12 David Ainsworth Hukin Abrasive wire sawing
JP4910457B2 (ja) * 2006-04-03 2012-04-04 日立金属株式会社 ワイヤソー装置およびそれを用いた切断方法
JP5557391B2 (ja) * 2007-10-30 2014-07-23 ポール・コーポレーション 基板材料からウェハ状スライスを製造するための方法及びシステム
US20090122637A1 (en) * 2007-11-14 2009-05-14 Jan Kruyer Sinusoidal mixing and shearing apparatus and associated methods
US20090139905A1 (en) * 2007-11-30 2009-06-04 Jan Kruyer Endless cable system and associated methods
US20090139906A1 (en) * 2007-11-30 2009-06-04 Jan Kruyer Isoelectric separation of oil sands
US20090320819A1 (en) * 2008-05-21 2009-12-31 Bachrach Robert Z Carbon nanotube fiber wire for wafer slicing
DE102008030826A1 (de) * 2008-06-30 2009-12-31 Wacker Schott Solar Gmbh Drahtsägevorrichtung
US20100006082A1 (en) * 2008-07-11 2010-01-14 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Wire slicing system
JP2010029955A (ja) * 2008-07-25 2010-02-12 Shin Etsu Handotai Co Ltd ワイヤソーの運転再開方法及びワイヤソー
US8490658B2 (en) * 2009-02-26 2013-07-23 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Automatic winding of wire field in wire slicing machine
EP2424703A1 (en) * 2009-04-29 2012-03-07 NV Bekaert SA A sawing wire with abrasive particles partly embedded in a metal wire and partly held by an organic binder
CN102102520B (zh) * 2009-12-18 2014-09-10 江显秋 一种石材矿山洞采方法及设备
EP2382858B2 (en) * 2010-04-29 2020-09-02 Deere & Company Round baler with electrically driven roller
JP5072135B2 (ja) * 2010-09-27 2012-11-14 コマツＮｔｃ株式会社 ワイヤソーのワイヤ断線検知方法および装置
JP5064583B1 (ja) * 2011-04-13 2012-10-31 コマツＮｔｃ株式会社 ワイヤソー
JP2014034088A (ja) * 2012-08-10 2014-02-24 Sharp Corp ワイヤソー、ワイヤソーにより製造された半導体基板
JP6275551B2 (ja) * 2014-05-27 2018-02-07 株式会社ディスコ マルチワイヤ放電加工装置
CN107471054B (zh) * 2017-08-23 2024-03-29 华纬科技股份有限公司 一种线材抛丸机
KR101945424B1 (ko) * 2017-11-20 2019-02-07 옥산기계 주식회사 봉형상 가공물의 길이방향 절단장치 및 그것에 설치되는 와이어쏘
CN111283887A (zh) * 2018-12-10 2020-06-16 玉山机械(株) 棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯
DE102018221922A1 (de) * 2018-12-17 2020-06-18 Siltronic Ag Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mittels einer Drahtsäge, Drahtsäge und Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium
CN109927188B (zh) * 2019-03-19 2021-03-12 青岛高测科技股份有限公司 一种多线切片机绕排线环节控制导轮共面的方法
WO2021107546A1 (ko) * 2019-11-26 2021-06-03 주식회사 이건 집진 장치를 구비한 와이어 쏘

Family Cites Families (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE548791C (de) * 1931-04-23 1932-04-19 Ewald Mies Steinsaege, bei der zur gleichzeitigen Vornahme mehrerer Schnitte ein endloses Drahtseil verwendet wird
US2911875A (en) * 1957-02-05 1959-11-10 Ostermann Fa W & M Bobbin holder for braiding machines
US2831476A (en) * 1957-04-09 1958-04-22 Henry A Wilson Crystal cutting saw
US3027285A (en) * 1958-08-28 1962-03-27 American Photocopy Equip Co Office laminating machine
US3008864A (en) * 1960-07-19 1961-11-14 Us Rubber Co Calender trimming
FR1282144A (fr) * 1960-12-07 1962-01-19 Electronique & Automatisme Sa Machine perfectionnée pour le sciage par rodage d'échantillons en matériaux fragiles, notamment cristallins
US3115087A (en) * 1962-04-17 1963-12-24 Bauer Bros Co Cage assembly
DE1435219C3 (de) * 1964-09-17 1974-09-26 Fa. W. & M. Ostermann, 5600 Wuppertalbarmen Klöppel für Flechtmaschinen, insbesondere Schlauchumflechtungsmaschinen
FR1512501A (fr) * 1966-12-27 1968-02-09 Electronique & Automatisme Sa Perfectionnements apportés aux machines à scier des éléments en matériaux fragiles, notamment cristallins
US3540427A (en) * 1968-06-14 1970-11-17 Ibm Electro-optic array and method of making same
US3599623A (en) * 1969-09-02 1971-08-17 Fairchild Camera Instr Co Cutting apparatus for making finely controlled cuts utilizing a tiltable wheel for regulating the cutting blade movement
US3630114A (en) * 1970-04-15 1971-12-28 Du Pont Polymeric filament sheet slitting
US3889699A (en) * 1970-10-12 1975-06-17 Louis F Ranieri Self-contained multi-blade package and assembly utilizing same
US3831576A (en) * 1971-11-22 1974-08-27 Motorola Inc Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire
US3841297A (en) * 1971-12-01 1974-10-15 Motorola Inc Machine for cutting brittle materials
US3824982A (en) * 1971-12-20 1974-07-23 Motorola Inc Machine for cutting brittle materials
DE2251985B2 (de) * 1972-10-24 1977-08-04 TVF Technische Vertriebs- und Fertigungsgesellschaft mbH, 8135 Söcking Vorrichtung zum schneiden von schaumstoff
SU591328A1 (ru) * 1973-03-19 1978-02-05 Предприятие П/Я А-1412 Устройство дл нат жени и перемотки проволоки
FR2234753A5 (cs) * 1973-06-25 1975-01-17 Labo Electronique Physique
US3942508A (en) * 1973-12-29 1976-03-09 Yasunaga Engineering Kabushiki Kaisha Wire-saw
US4044509A (en) * 1974-07-05 1977-08-30 U.S. Philips Corporation Method of and device for grinding grooves
US3976045A (en) * 1975-02-28 1976-08-24 Coggins Jr B Frank Stone cutting machine
DE2524767A1 (de) * 1975-06-04 1976-12-16 Baeumer Kg Spezialmasch Schneidemaschine, insbesondere fuer schaumstoffbloecke
US4105012A (en) * 1975-08-20 1978-08-08 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus for cutting up hard and brittle material
US4016856A (en) * 1975-10-01 1977-04-12 Laser Technology, Inc. Wire cutting machine
US4160439A (en) * 1975-11-07 1979-07-10 Sotarem S.A. Cutting-off machine for hard bodies
SU743888A1 (ru) * 1976-07-12 1980-06-30 Специальное Конструкторское Бюро Ордена Трудового Красного Знамени Института Кристаллографии Им.А.В.Шубникова Ан Ссср Проволочна пила
US4092971A (en) * 1976-10-29 1978-06-06 Viscount Kenneth W Self-contained, multi-blade package for slurry saws and the like
US4092972A (en) * 1977-02-11 1978-06-06 Crystal Systems, Inc. Process of cutting wafers
US4084354A (en) * 1977-06-03 1978-04-18 International Business Machines Corporation Process for slicing boules of single crystal material
US4134384A (en) * 1977-09-16 1979-01-16 Motorola, Inc. Wire saw with rotatable guide sleeve
US4226223A (en) * 1977-12-01 1980-10-07 Ermanno Pacini Machine for sawing blocks of solid, especially stony materials, such as marble, granite and the like
US4287869A (en) * 1978-03-13 1981-09-08 Crystal Systems Inc. Charging system for cutting blade
US4191159A (en) * 1978-10-16 1980-03-04 Nasa System for slicing silicon wafers
US4384564A (en) * 1981-01-22 1983-05-24 Crystal Systems Inc. Process of forming a plated wirepack with abrasive particles only in the cutting surface with a controlled kerf
US4766875A (en) * 1982-11-22 1988-08-30 Stanford University Endless wire saw having material recovery capability
SU1230861A1 (ru) * 1984-02-29 1986-05-15 Всесоюзный научно-исследовательский институт метизной промышленности Способ канатно-абразивной распиловки блоков природного камн и других подобных материалов
US4580545A (en) * 1984-02-29 1986-04-08 Florida Wire And Cable Company Stone sawing strand
SU1291309A1 (ru) * 1984-09-24 1987-02-23 Институт сверхтвердых материалов АН УССР Ленточноотрезной станок
IT1187497B (it) * 1985-01-25 1987-12-23 B M Snc Off Doppio telaio multilame a movimenti alternativi unidirezionali contrapposti per il con lame diamantate di lastre sottili di graniti,marmi o agglomerati
SU1232485A1 (ru) * 1985-02-20 1986-05-23 Oganesyan Karlen A Устройство дл нат жени штрипсов многопильного распиловочного станка
US4655191A (en) * 1985-03-08 1987-04-07 Motorola, Inc. Wire saw machine
US4576139A (en) * 1985-05-06 1986-03-18 Cogswell Jesse G Rigid wire saw wheel apparatus for very hard materials
NL192433C (nl) * 1985-09-17 1997-08-04 Jongerius Bv Snij-inrichting voor broden of dergelijke.
CA1262415A (en) * 1986-04-12 1989-10-24 Johnston, Edward P. Guide pulley base for wire saw
JPH049138Y2 (cs) * 1986-04-12 1992-03-06
US4674474A (en) * 1986-08-06 1987-06-23 Engelhard Corporation Stone cutting wire saw
JPS63189207A (ja) * 1987-01-31 1988-08-04 株式会社　ダイモ社 鉄筋コンクリ−ト構築物のワイヤ−ソ−イング工法
IT210213Z2 (it) * 1987-04-17 1988-12-06 Micheletti Macchine Srl Macchina per segare blocchi in pietra.
US4776316A (en) * 1987-04-29 1988-10-11 Ashkenazi Brian I Wafering device and method of using same
US4903682A (en) * 1987-04-30 1990-02-27 Technoslice Ltd. Wire saw
JPS6422406U (cs) * 1987-07-31 1989-02-06
CH672452A5 (cs) * 1987-08-21 1989-11-30 Photec S A
US4852304A (en) * 1987-10-29 1989-08-01 Tokyo Seimtsu Co., Ltd. Apparatus and method for slicing a wafer
US4907564A (en) * 1987-11-24 1990-03-13 Sumitomo Rubber Industries, Ltd. Wire saw
JPH0635107B2 (ja) * 1987-12-26 1994-05-11 株式会社タカトリハイテック ワイヤソー
US4832411A (en) * 1988-02-03 1989-05-23 Johnston Edward P Method and apparatus for cutting reinforced concrete
DE3804873A1 (de) * 1988-02-17 1989-08-31 Mueller Georg Nuernberg Verfahren und vorrichtung zum zerteilen von halbleiter-barren in halbleiter-ronden mit zumindest einer planen oberflaeche
JP2673544B2 (ja) * 1988-06-14 1997-11-05 株式会社日平トヤマ 脆性材料の切断方法
NL8801873A (nl) * 1988-07-26 1990-02-16 Jongerius Bv Broodsnijinrichting.
KR900701490A (ko) * 1988-11-03 1990-12-03 원본미기재 연마식 세분장치
SU1662866A1 (ru) * 1989-03-03 1991-07-15 Предприятие П/Я Р-6681 Способ настройки режущего струнного инструмента
JPH03126554U (cs) * 1990-04-04 1991-12-19
US5074277A (en) * 1991-05-20 1991-12-24 Basic Machinery Company, Inc. Tensioning spring for brick cutter wires
JP2715752B2 (ja) * 1991-10-31 1998-02-18 住友金属工業株式会社 ヒートシンク放熱フィンとその製造方法
US5193518A (en) * 1991-11-13 1993-03-16 Diamond Products, Inc. Portable wire saw
JP2516717B2 (ja) * 1991-11-29 1996-07-24 信越半導体株式会社 ワイヤソ―及びその切断方法
CH687301A5 (fr) * 1992-01-22 1996-11-15 W S Technologies Ltd Dispositif de sciage par fil.
IT229341Y1 (it) * 1992-01-31 1998-07-02 Zonato S R L Macchina per effettuare il taglio multiplo di blocchi di materiale lapideo
DE69305667T2 (de) * 1992-03-09 1997-05-28 Sumitomo Metal Ind Wärmesenke mit guten wärmezerstreuenden Eigenschaften und Herstellungsverfahren
ZA932216B (en) * 1992-03-31 1993-10-14 Advanced Mining Software Ltd Diamond wire saws
ZA936924B (en) * 1992-09-21 1994-04-11 De Beers Ind Diamond Wire saw
DE4239212C2 (de) * 1992-11-21 1994-11-24 Peter Loeffelbein Seilsägespannvorrichtung
US5472262A (en) * 1993-04-28 1995-12-05 Buyens; Marc O. R. G. Double slot wire sawing apparatus and method
US5605141A (en) * 1994-03-31 1997-02-25 Bilotta; Alessandro Making non-vertical planar cuts in masonry slabs
JP2755907B2 (ja) * 1994-06-28 1998-05-25 信越半導体株式会社 ワイヤソー用溝ローラ
EP0716910B1 (en) * 1994-12-15 2002-03-27 Sharp Kabushiki Kaisha Multi-wire saw device and slice method using the same
US5609148A (en) * 1995-03-31 1997-03-11 Siemens Aktiengesellschaft Method and apparatus for dicing semiconductor wafers
JP3427956B2 (ja) * 1995-04-14 2003-07-22 信越半導体株式会社 ワイヤーソー装置
DE19519460A1 (de) * 1995-05-26 1996-11-28 Wacker Siltronic Halbleitermat Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
JP2870452B2 (ja) * 1995-05-31 1999-03-17 信越半導体株式会社 ワイヤソー
US5564409A (en) * 1995-06-06 1996-10-15 Corning Incorporated Apparatus and method for wire cutting glass-ceramic wafers
JP3107143B2 (ja) * 1995-07-14 2000-11-06 株式会社東京精密 ワイヤソーのワイヤトラバース装置
CH691292A5 (fr) * 1995-10-03 2001-06-29 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil équipé d'un système de gestion de fil permettant l'utilisation de bobines de fil de très grande longueur.
US5799643A (en) * 1995-10-04 1998-09-01 Nippei Toyama Corp Slurry managing system and slurry managing method for wire saws
JP3199159B2 (ja) * 1996-01-26 2001-08-13 信越半導体株式会社 油性スラリー廃液の再利用システム
DE69723151T2 (de) * 1996-04-27 2004-03-11 Nippei Toyama Corp. Drahtsäge und Abschneideverfahren
EP0824055A1 (en) * 1996-08-13 1998-02-18 MEMC Electronic Materials, Inc. Method and apparatus for cutting an ingot
US5711287A (en) * 1996-08-14 1998-01-27 Speer; Radleigh J. Reciprocating slurry saw
IT1284822B1 (it) * 1996-09-26 1998-05-22 Luigi Caratto Macchina a controllo numerico per l'esecuzione di tagli passanti su materiali duri quali la pietra.

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000502616A (ja) 2000-03-07
AU1615697A (en) 1997-09-22
CN1102876C (zh) 2003-03-12
KR19990087502A (ko) 1999-12-27
DE59702817D1 (de) 2001-02-01
US6041766A (en) 2000-03-28
CA2247444A1 (en) 1997-09-12
UA53642C2 (uk) 2003-02-17
CZ66996A3 (en) 1997-12-17
EP0885083B1 (de) 2000-12-27
RU2138372C1 (ru) 1999-09-27
JP3126388B2 (ja) 2001-01-22
ATE198286T1 (de) 2001-01-15
CA2247444C (en) 2003-06-24
EP0885083A1 (de) 1998-12-23
KR100287607B1 (ko) 2001-04-16
WO1997032681A1 (de) 1997-09-12
CN1212644A (zh) 1999-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ283541B6 (cs) Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
US5829424A (en) Device for wire sawing provided with a system for directing wire permitting use of spools of wire of very great length
KR101314729B1 (ko) 마모 와이어 절단 장치 및 방법
US5913305A (en) Cutting device with wires
JP5508395B2 (ja) ワイヤーソー装置およびそれを操作するための方法
CN104044219B (zh) 锭料馈送系统
JP2013058751A (ja) 加工物から１つ以上のウェハをスライスするためのマルチプルワイヤソーのためのワイヤスプール
JP2011526215A (ja) ワイヤーソー切断装置
EP0803336B1 (en) Wire saw and work slicing method
KR19990007260A (ko) 와이어 소에 사용되는 장력조절기구
KR101524942B1 (ko) 계획되지 않은 중단 후에 공작물의 와이어 쏘잉 프로세스를 재개하는 방법
JPH11198018A (ja) 固定砥粒付エンドレスワイヤソー
US5787872A (en) Wire sawing device
US6135103A (en) Wire saw for slicing brittle materials with an ingot loading and unloading mechanism
EP2586555A1 (en) Modular wafering concept for wafering plant
JPH11138412A (ja) 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法
JPH0248163A (ja) 多重鋼線式切断装置
JP3958876B2 (ja) ワイヤ式切断加工装置
JPH0426978B2 (cs)
WO2001091982A1 (en) Method and apparatus for cutting an ingot
CZ415098A3 (cs) Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
JPH0429512B2 (cs)
JPH0411329B2 (cs)
JP3256155B2 (ja) ワイヤソー
JPH10328999A (ja) スライスベース切断装置付きワイヤソー

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20050306