JP2755907B2 - ワイヤソー用溝ローラ - Google Patents
ワイヤソー用溝ローラInfo
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体単結晶や磁性材
料あるいは石英、セラミック等の被加工物（以下「ワー
ク」という）を切断してウェーハ等を作製するためのワ
イヤソーに関するもので、さらに詳しくは、切断用ワイ
ヤが巻き掛けられる溝ローラの構造に関する。
料あるいは石英、セラミック等の被加工物（以下「ワー
ク」という）を切断してウェーハ等を作製するためのワ
イヤソーに関するもので、さらに詳しくは、切断用ワイ
ヤが巻き掛けられる溝ローラの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、前記ワークを切断してウェーハを
作製するのにワイヤソーが用いられている。このワイヤ
ソーは、互いに平行な一定ピッチのワイヤ列にワークを
押し当て、切断用ワイヤにその線方向の往復動作と送り
動作の複合動作をさせながら、ワークとワイヤの間に砥
粒を含む加工液を供給することにより、ラッピング作用
でワークを切断してウェーハを作製するものである。
作製するのにワイヤソーが用いられている。このワイヤ
ソーは、互いに平行な一定ピッチのワイヤ列にワークを
押し当て、切断用ワイヤにその線方向の往復動作と送り
動作の複合動作をさせながら、ワークとワイヤの間に砥
粒を含む加工液を供給することにより、ラッピング作用
でワークを切断してウェーハを作製するものである。
【０００３】このワイヤソーによれば、ワークを切断す
る切込み速度は内周刃による切断に比べると遅いけれど
も、多数枚のウェーハを同時に切断できるという特長が
ある。ちなみに、ワイヤソーによれば、１回の切断に要
する時間は、例えば直径が１２５ｍｍのシリコン単結晶
で６時間位を要するが、１回で２００枚程度のウェーハ
を切断することができる。
る切込み速度は内周刃による切断に比べると遅いけれど
も、多数枚のウェーハを同時に切断できるという特長が
ある。ちなみに、ワイヤソーによれば、１回の切断に要
する時間は、例えば直径が１２５ｍｍのシリコン単結晶
で６時間位を要するが、１回で２００枚程度のウェーハ
を切断することができる。
【０００４】ところで、このワイヤソーにおいては、切
断時にワイヤとワークとの間の摩擦熱や、前記切断用ワ
イヤが巻き掛けられる溝ローラの軸受け部での摩擦熱が
生じる。これらの熱は、切断中に溝ローラの温度を変動
させ、その溝ローラの表面に刻設されたワイヤ溝のピッ
チを変化させる。そして、このワイヤ溝のピッチが変化
すると、切断中に、ワイヤ列のピッチが変化してしま
い、切断したウェーハの表面にうねりが生じてしまう。
断時にワイヤとワークとの間の摩擦熱や、前記切断用ワ
イヤが巻き掛けられる溝ローラの軸受け部での摩擦熱が
生じる。これらの熱は、切断中に溝ローラの温度を変動
させ、その溝ローラの表面に刻設されたワイヤ溝のピッ
チを変化させる。そして、このワイヤ溝のピッチが変化
すると、切断中に、ワイヤ列のピッチが変化してしま
い、切断したウェーハの表面にうねりが生じてしまう。
【０００５】そこで、このような問題を解決するため
に、従来、特開昭６２−２５１０６３号公報に示される
ようなローリング装置が考えられている。このローリン
グ装置に使用されている溝ローラは、その台金に設けた
中空部（油路を構成している）に、その一端側から冷却
オイルを導入し、他端側から当該冷却オイルを排出させ
るように構成されている。
に、従来、特開昭６２−２５１０６３号公報に示される
ようなローリング装置が考えられている。このローリン
グ装置に使用されている溝ローラは、その台金に設けた
中空部（油路を構成している）に、その一端側から冷却
オイルを導入し、他端側から当該冷却オイルを排出させ
るように構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一端側
から供給した冷却オイルを他端側で排出させる溝ローラ
にあっては、下記のような問題がある。
から供給した冷却オイルを他端側で排出させる溝ローラ
にあっては、下記のような問題がある。
【０００７】すなわち、オイル供給口から中空部に供給
された冷却オイルは吸熱しつつオイル排出口へ向かうの
で、オイル供給口からオイル排出口に向かうにつれて昇
温して冷却オイルの吸熱率（吸熱量）が低減してしま
う。そして、この吸熱量の差により、溝ローラの長手方
向に沿って温度勾配が生じてしまい、溝ローラのスリー
ブの表面に形成したワイヤ溝のピッチが変化してしまう
ことになる。このような傾向はワーク、例えばシリコン
単結晶棒の場合のように大径化、長尺化が進むと益々顕
著になる。ちなみに、従来のワイヤソーでは、直径が１
５０ｍｍ、長さが３００ｍｍ程度のワークの切断で済ん
だが、最近では、直径が２００ｍｍ、長さが８００ｍｍ
〜１０００ｍｍという長大なワークを切断する必要にせ
まられている。
された冷却オイルは吸熱しつつオイル排出口へ向かうの
で、オイル供給口からオイル排出口に向かうにつれて昇
温して冷却オイルの吸熱率（吸熱量）が低減してしま
う。そして、この吸熱量の差により、溝ローラの長手方
向に沿って温度勾配が生じてしまい、溝ローラのスリー
ブの表面に形成したワイヤ溝のピッチが変化してしまう
ことになる。このような傾向はワーク、例えばシリコン
単結晶棒の場合のように大径化、長尺化が進むと益々顕
著になる。ちなみに、従来のワイヤソーでは、直径が１
５０ｍｍ、長さが３００ｍｍ程度のワークの切断で済ん
だが、最近では、直径が２００ｍｍ、長さが８００ｍｍ
〜１０００ｍｍという長大なワークを切断する必要にせ
まられている。
【０００８】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、特に長尺の溝ローラの長手方向に沿う温
度勾配を低減せしめることが可能な構造を持つ溝ローラ
を提供することを目的としている。
されたもので、特に長尺の溝ローラの長手方向に沿う温
度勾配を低減せしめることが可能な構造を持つ溝ローラ
を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のワイヤソ
ー用溝ローラは、切断用ワイヤが巻き掛けられる溝ロー
ラにおいて、前記溝ローラの台金の内部には、その台金
の長手方向中央で区分けされた２つの領域に、冷却媒体
流通用の流路がそれぞれ設けられ、前記各流路の始端と
終端とは、前記台金の当該流路に対応する端部に位置し
ていることを特徴とするものである。
ー用溝ローラは、切断用ワイヤが巻き掛けられる溝ロー
ラにおいて、前記溝ローラの台金の内部には、その台金
の長手方向中央で区分けされた２つの領域に、冷却媒体
流通用の流路がそれぞれ設けられ、前記各流路の始端と
終端とは、前記台金の当該流路に対応する端部に位置し
ていることを特徴とするものである。
【００１０】請求項２記載のワイヤソー用溝ローラは、
請求項１記載のワイヤソー用溝ローラにおいて、前記台
金は、前記溝ローラの外側に固定支持されるスリーブと
同心的に配される円柱形状あるいは円筒形状の流路構成
部材を有し、この流路構成部材の外周部には前記流路が
設けられ、この流路の少なくとも一部分は前記流路構成
部材の外周部に蛇行して延在していることを特徴とする
ものである。
請求項１記載のワイヤソー用溝ローラにおいて、前記台
金は、前記溝ローラの外側に固定支持されるスリーブと
同心的に配される円柱形状あるいは円筒形状の流路構成
部材を有し、この流路構成部材の外周部には前記流路が
設けられ、この流路の少なくとも一部分は前記流路構成
部材の外周部に蛇行して延在していることを特徴とする
ものである。
【００１１】請求項３記載のワイヤソー用溝ローラは、
請求項１記載のワイヤソー用溝ローラにおいて、前記台
金は、前記溝ローラの外側に固定支持されるスリーブと
同心的に配される円柱形状の流路構成部材を有し、この
流路構成部材の内部には、当該流路構成部材の外側端か
ら内側端（中央壁側の端）近くまで延びる冷却媒体流通
用の孔が設けられ、前記流路構成部材の外周部には、前
記孔に前記内側端近くで連結され、かつ前記孔とともに
前記流路を構成する冷却媒体案内部が設けられているこ
とを特徴とするものである。
請求項１記載のワイヤソー用溝ローラにおいて、前記台
金は、前記溝ローラの外側に固定支持されるスリーブと
同心的に配される円柱形状の流路構成部材を有し、この
流路構成部材の内部には、当該流路構成部材の外側端か
ら内側端（中央壁側の端）近くまで延びる冷却媒体流通
用の孔が設けられ、前記流路構成部材の外周部には、前
記孔に前記内側端近くで連結され、かつ前記孔とともに
前記流路を構成する冷却媒体案内部が設けられているこ
とを特徴とするものである。
【００１２】請求項４記載のワイヤソー用溝ローラは、
請求項１記載のワイヤソー用溝ローラにおいて、前記流
路は、前記溝ローラの内部に形成された空洞部と、前記
溝ローラの回転軸の内部に形成された孔とによって構成
されていることを特徴とするものである。
請求項１記載のワイヤソー用溝ローラにおいて、前記流
路は、前記溝ローラの内部に形成された空洞部と、前記
溝ローラの回転軸の内部に形成された孔とによって構成
されていることを特徴とするものである。
【００１３】
【作用】上記した手段によれば、冷却媒体は、溝ローラ
の台金の各端部から供給され、それぞれの流れは中央付
近で折り返して、当該各端部から排出される。したがっ
て、台金の各端部から供給される冷却媒体は溝ローラの
半部だけを冷却することになり、冷却媒体を一端部から
供給し他端部から排出する従来の構造に比べて、溝ロー
ラの各端部と中央付近とで冷却媒体の温度差が小さくな
る。その結果、溝ローラの各端部と中央付近での冷却媒
体の吸熱率がほぼ均一となり、溝ローラが長手方向で均
一に冷却されることになる。
の台金の各端部から供給され、それぞれの流れは中央付
近で折り返して、当該各端部から排出される。したがっ
て、台金の各端部から供給される冷却媒体は溝ローラの
半部だけを冷却することになり、冷却媒体を一端部から
供給し他端部から排出する従来の構造に比べて、溝ロー
ラの各端部と中央付近とで冷却媒体の温度差が小さくな
る。その結果、溝ローラの各端部と中央付近での冷却媒
体の吸熱率がほぼ均一となり、溝ローラが長手方向で均
一に冷却されることになる。
【００１４】
【第１実施例】図１にはワイヤソーの要部が示されてい
る。このワイヤソー１はワークホルダ２を有し、このワ
ークホルダ２には、切断すべきワーク３が接着されてい
る。そして、このワークホルダ２下方には、３本の溝ロ
ーラ４０で構成されるローリング装置４が設けられてい
る。これら溝ローラ４０には切断用ワイヤＷが同一ピッ
チで多数回巻き掛けられ、この切断用ワイヤＷに、前記
ワークホルダ２に接着されたワーク３を押し付けつつ、
切断用ワイヤＷに、その線方向の往復動作と送り動作の
複合動作をさせることによって、ワーク３が切断されて
ウェーハが作製される。
る。このワイヤソー１はワークホルダ２を有し、このワ
ークホルダ２には、切断すべきワーク３が接着されてい
る。そして、このワークホルダ２下方には、３本の溝ロ
ーラ４０で構成されるローリング装置４が設けられてい
る。これら溝ローラ４０には切断用ワイヤＷが同一ピッ
チで多数回巻き掛けられ、この切断用ワイヤＷに、前記
ワークホルダ２に接着されたワーク３を押し付けつつ、
切断用ワイヤＷに、その線方向の往復動作と送り動作の
複合動作をさせることによって、ワーク３が切断されて
ウェーハが作製される。
【００１５】各溝ローラ４０は、図２に示すように、こ
の溝ローラ４０の両端を軸支するローラ軸支装置４１，
４１を有している。
の溝ローラ４０の両端を軸支するローラ軸支装置４１，
４１を有している。
【００１６】溝ローラ４０は、大別すると、金属製の台
金４２と、この外側に固定支持されるプラスチック製の
スリーブ４３とから構成されている。
金４２と、この外側に固定支持されるプラスチック製の
スリーブ４３とから構成されている。
【００１７】台金４２は、図３に示すように、大径の芯
金部４４と、この芯金部４４の両端に付設された軸部４
５とによって構成されている。この台金４２の内部には
左右一対の筒体５０，５０が嵌合して設けられている。
また、台金４２の内部には、その長手方向中央に、前記
左右一対の筒体５０，５０に挟持されるようにして中央
壁４０ａが設けられている。さらに、この台金４２にお
いては、筒体５０，５０および中央壁４０ａによって区
分けされる左右一対の領域に、それぞれ、円柱形状の流
路構成部材５１が嵌合している。各流路構成部材５１の
外周には溝６０が形成されている。この溝６０は、図４
（平面図）に示すように、流路構成部材５１の長手方向
に直線的に延びる溝６０ａと、この溝６０ａの中央壁４
０ａ側端部で連結され展開形状が矩形波形状（図５参
照）の溝６０ｂとから構成されている。溝６０ｂは溝６
０ａと中央壁４０ａ側端部でのみ連絡され、他の端部に
まで亘るように蛇行して延びている。なお、溝６０ｂの
展開形状を矩形波形状としたのは、溝６０ａと途中で干
渉しないようにするためである。これら溝６０ａおよび
６０ｂにより、各流路構成部材５１の外周部には１本の
流路が構成される。なお、この第１実施例の溝ローラに
おいては、前記中央壁４０ａおよび前記各流路構成部材
５１を貫通して回転軸４９が設けられている。
金部４４と、この芯金部４４の両端に付設された軸部４
５とによって構成されている。この台金４２の内部には
左右一対の筒体５０，５０が嵌合して設けられている。
また、台金４２の内部には、その長手方向中央に、前記
左右一対の筒体５０，５０に挟持されるようにして中央
壁４０ａが設けられている。さらに、この台金４２にお
いては、筒体５０，５０および中央壁４０ａによって区
分けされる左右一対の領域に、それぞれ、円柱形状の流
路構成部材５１が嵌合している。各流路構成部材５１の
外周には溝６０が形成されている。この溝６０は、図４
（平面図）に示すように、流路構成部材５１の長手方向
に直線的に延びる溝６０ａと、この溝６０ａの中央壁４
０ａ側端部で連結され展開形状が矩形波形状（図５参
照）の溝６０ｂとから構成されている。溝６０ｂは溝６
０ａと中央壁４０ａ側端部でのみ連絡され、他の端部に
まで亘るように蛇行して延びている。なお、溝６０ｂの
展開形状を矩形波形状としたのは、溝６０ａと途中で干
渉しないようにするためである。これら溝６０ａおよび
６０ｂにより、各流路構成部材５１の外周部には１本の
流路が構成される。なお、この第１実施例の溝ローラに
おいては、前記中央壁４０ａおよび前記各流路構成部材
５１を貫通して回転軸４９が設けられている。
【００１８】一方、台金４２両端の軸部４５には、それ
ぞれ、前記溝６０の各々の端に連絡する冷却媒体供給口
４５ａおよび冷却媒体排出口４５ｂが付設されている。
また、軸部４５には、冷却媒体供給口４５ａの付設箇所
にスリップリング４６ａが嵌合され、冷却媒体排出口４
５ｂの付設箇所にはスリップリング４６ｂが嵌合されて
いる。
ぞれ、前記溝６０の各々の端に連絡する冷却媒体供給口
４５ａおよび冷却媒体排出口４５ｂが付設されている。
また、軸部４５には、冷却媒体供給口４５ａの付設箇所
にスリップリング４６ａが嵌合され、冷却媒体排出口４
５ｂの付設箇所にはスリップリング４６ｂが嵌合されて
いる。
【００１９】スリーブ４３は、図２に示すように、前記
台金４２の芯金部４４（図３参照）に外嵌されている。
このスリーブ４３の外周には、Ｖ字状のワイヤ案内溝４
３ａが長手方向に沿って所定ピッチで多数形成され、そ
のワイヤ案内溝４３ａには切断用ワイヤＷが巻き掛けら
れるようになっている。
台金４２の芯金部４４（図３参照）に外嵌されている。
このスリーブ４３の外周には、Ｖ字状のワイヤ案内溝４
３ａが長手方向に沿って所定ピッチで多数形成され、そ
のワイヤ案内溝４３ａには切断用ワイヤＷが巻き掛けら
れるようになっている。
【００２０】ローラ軸支装置４１は、図２に示すよう
に、前記台金４２を各軸部４５にて回転自在に支持する
ベアリング４１ａ，４１ａを含んで構成されている。
に、前記台金４２を各軸部４５にて回転自在に支持する
ベアリング４１ａ，４１ａを含んで構成されている。
【００２１】次に、この溝ローラ４０の作用を説明す
る。
る。
【００２２】この溝ローラ４０によれば、冷却媒体は、
台金４２の各端にある冷却媒体供給口４５ａから溝６０
に供給される。すると、冷却媒体は、流路構成部材５１
外周の直線状の溝６０ａを通り一旦中央壁４０ａにまで
達し、次に、流路構成部材５１外周の蛇行した溝６０ｂ
を通り冷却媒体排出口４５ｂに達し、この冷却媒体排出
口４５ｂから排出される。この間に、冷却媒体によって
芯金部４４ひいてはスリーブ４３が冷却される。
台金４２の各端にある冷却媒体供給口４５ａから溝６０
に供給される。すると、冷却媒体は、流路構成部材５１
外周の直線状の溝６０ａを通り一旦中央壁４０ａにまで
達し、次に、流路構成部材５１外周の蛇行した溝６０ｂ
を通り冷却媒体排出口４５ｂに達し、この冷却媒体排出
口４５ｂから排出される。この間に、冷却媒体によって
芯金部４４ひいてはスリーブ４３が冷却される。
【００２３】このように構成された溝ローラ４０によれ
ば、台金４２の各端にある冷却媒体供給口４５ａから溝
６０に供給される冷却媒体によって溝ローラ４０の半部
ずつが別個に冷却されることになるので、その冷却媒体
の昇温の程度も従来と比べて小さくなり、溝ローラ４０
の各端部と中央付近とで冷却媒体の温度差が小さくな
る。その結果、溝ローラ４０の長手方向での冷却媒体の
吸熱率がほぼ均一となり、溝ローラ４０が長手方向で均
一に冷却されることになる。
ば、台金４２の各端にある冷却媒体供給口４５ａから溝
６０に供給される冷却媒体によって溝ローラ４０の半部
ずつが別個に冷却されることになるので、その冷却媒体
の昇温の程度も従来と比べて小さくなり、溝ローラ４０
の各端部と中央付近とで冷却媒体の温度差が小さくな
る。その結果、溝ローラ４０の長手方向での冷却媒体の
吸熱率がほぼ均一となり、溝ローラ４０が長手方向で均
一に冷却されることになる。
【００２４】
【第２実施例】図６には第２実施例の溝ローラの要部、
すなわち台金４２が示されている。この台金４２は、第
１実施例の流路構成部材５１の代わりに、他の流路構成
部材７０を備えている。そして、この第２実施例では、
冷却媒体供給口４５ａから入った冷却媒体を、流路構成
部材７０の外周部に形成されている螺旋形状の流路を流
して中央壁４０ａ近くまで導いた後、さらに、流路構成
部材７０の内部を通して冷却媒体排出口４５ｂまで導く
ようにしている。それ以外の構成については、第１実施
例とほぼ同様なので、第１実施例の構成部材や構成部品
に対応するものについては、図６において同一符号を付
して、その詳しい説明は省略する。
すなわち台金４２が示されている。この台金４２は、第
１実施例の流路構成部材５１の代わりに、他の流路構成
部材７０を備えている。そして、この第２実施例では、
冷却媒体供給口４５ａから入った冷却媒体を、流路構成
部材７０の外周部に形成されている螺旋形状の流路を流
して中央壁４０ａ近くまで導いた後、さらに、流路構成
部材７０の内部を通して冷却媒体排出口４５ｂまで導く
ようにしている。それ以外の構成については、第１実施
例とほぼ同様なので、第１実施例の構成部材や構成部品
に対応するものについては、図６において同一符号を付
して、その詳しい説明は省略する。
【００２５】ここで、流路構成部材７０について詳細に
説明すれば、この流路構成部材７０は円柱形状に構成さ
れ、図６における左側の流路構成部材７０の斜視図であ
る図７に示すように、外周部に螺旋形状の冷却媒体案内
部７１を備えている。また、流路構成部材７０の内部に
は、前記冷却媒体案内部７１によって画成される流路に
中央壁４０ａ側の端部（流路構成部材７０の内側端部）
で連絡する冷却媒体流通用の孔７２が形成されている。
この孔７２は流路構成部材７０の外側端部にまで達し、
冷却媒体排出口４５ｂに連絡している。
説明すれば、この流路構成部材７０は円柱形状に構成さ
れ、図６における左側の流路構成部材７０の斜視図であ
る図７に示すように、外周部に螺旋形状の冷却媒体案内
部７１を備えている。また、流路構成部材７０の内部に
は、前記冷却媒体案内部７１によって画成される流路に
中央壁４０ａ側の端部（流路構成部材７０の内側端部）
で連絡する冷却媒体流通用の孔７２が形成されている。
この孔７２は流路構成部材７０の外側端部にまで達し、
冷却媒体排出口４５ｂに連絡している。
【００２６】この実施例においても、第１実施例の溝ロ
ーラと同様の効果を有する。
ーラと同様の効果を有する。
【００２７】
【第３実施例】図８には第３実施例の溝ローラの要部が
示されている。この溝ローラには、第１実施例や第２実
施例のような流路構成部材５１，７０は設けられてはい
ない。その代わりに、この第３実施例の溝ローラでは、
台金４２の内部には、回転軸４９の周りに、中央壁４０
ａによって左右に区分けされる空洞部８５ａ，８５ｂが
設けられている。そして、回転軸４９の左側の空洞部８
５ａには冷却媒体流通用の孔８１ａ，８１ｂが設けられ
るとともに、右側の空洞部８５ｂには冷却媒体流通用の
孔８１ｃ，８１ｄが設けられている。さらに、回転軸４
９の左右端部にはロータリジョイント８２，８２が設け
られ、このうち左側のロータリジョイント８２には、前
記冷却媒体流通用の孔８１ａ，８１ｂにそれぞれ連絡す
る冷却媒体供給口４５ａ、冷却媒体排出口４５ｂが設け
られ、一方、右側のロータリジョイント８２には、前記
冷却媒体流通用の孔８１ｃ，８１ｄにそれぞれ連絡する
冷却媒体供給口４５ａ、冷却媒体排出口４５ｂが設けら
れている。それ以外の構成については、第１実施例とほ
ぼ同様なので、第１実施例の構成部材や構成部品に対応
するものについては、図８において同一符号を付して、
その詳しい説明は省略する。
示されている。この溝ローラには、第１実施例や第２実
施例のような流路構成部材５１，７０は設けられてはい
ない。その代わりに、この第３実施例の溝ローラでは、
台金４２の内部には、回転軸４９の周りに、中央壁４０
ａによって左右に区分けされる空洞部８５ａ，８５ｂが
設けられている。そして、回転軸４９の左側の空洞部８
５ａには冷却媒体流通用の孔８１ａ，８１ｂが設けられ
るとともに、右側の空洞部８５ｂには冷却媒体流通用の
孔８１ｃ，８１ｄが設けられている。さらに、回転軸４
９の左右端部にはロータリジョイント８２，８２が設け
られ、このうち左側のロータリジョイント８２には、前
記冷却媒体流通用の孔８１ａ，８１ｂにそれぞれ連絡す
る冷却媒体供給口４５ａ、冷却媒体排出口４５ｂが設け
られ、一方、右側のロータリジョイント８２には、前記
冷却媒体流通用の孔８１ｃ，８１ｄにそれぞれ連絡する
冷却媒体供給口４５ａ、冷却媒体排出口４５ｂが設けら
れている。それ以外の構成については、第１実施例とほ
ぼ同様なので、第１実施例の構成部材や構成部品に対応
するものについては、図８において同一符号を付して、
その詳しい説明は省略する。
【００２８】この第３実施例の溝ローラによれば、各端
から孔８１ａ，８１ｃを通して供給された冷却媒体はそ
れぞれ空洞部８５ａ，８５ｂに入り、中央壁４０ａによ
って区分けされる各空洞部を冷却した後、孔８１ｂ，８
１ｄを通して排出される。
から孔８１ａ，８１ｃを通して供給された冷却媒体はそ
れぞれ空洞部８５ａ，８５ｂに入り、中央壁４０ａによ
って区分けされる各空洞部を冷却した後、孔８１ｂ，８
１ｄを通して排出される。
【００２９】この実施例においても、第１実施例の溝ロ
ーラと同様の効果を有する。
ーラと同様の効果を有する。
【００３０】以上、本発明がなした実施例について説明
したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その要
旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であることは
いうまでもない。
したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その要
旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であることは
いうまでもない。
【００３１】
【発明の効果】本発明の代表的な効果を述べれば、切断
用ワイヤが巻き掛けられる溝ローラにおいて、前記溝ロ
ーラの台金の内部には、その台金の長手方向中央で区分
けされた２つの領域に、冷却媒体流通用の流路がそれぞ
れ設けられ、各領域に設けられる前記流路は、始端と終
端とが前記台金の当該流路に対応する端部に位置するよ
うに構成されているので、溝ローラの長手方向の吸熱率
がほぼ均一となり、溝ローラが長手方向で均一に冷却さ
れることになる。
用ワイヤが巻き掛けられる溝ローラにおいて、前記溝ロ
ーラの台金の内部には、その台金の長手方向中央で区分
けされた２つの領域に、冷却媒体流通用の流路がそれぞ
れ設けられ、各領域に設けられる前記流路は、始端と終
端とが前記台金の当該流路に対応する端部に位置するよ
うに構成されているので、溝ローラの長手方向の吸熱率
がほぼ均一となり、溝ローラが長手方向で均一に冷却さ
れることになる。
【図１】本発明に係る溝ローラを適用したワイヤソーの
主要部の斜視図である。
主要部の斜視図である。
【図２】第１および第２実施例に係る溝ローラの主要部
分の構成図である。
分の構成図である。
【図３】第１実施例に係る溝ローラの台金の構成図であ
る。
る。
【図４】第１実施例に係る流路構成部材の平面図であ
る。
る。
【図５】第１実施例に係る流路構成部材の溝の展開図で
ある。
ある。
【図６】第２実施例に係る溝ローラの主要部分の構成図
である。
である。
【図７】第２実施例に係る溝ローラの流路構成部材の斜
視図である。
視図である。
【図８】第３実施例に係る溝ローラの主要部分の構成図
である。
である。
１ ワイヤソー ４ ローリング装置 ４０ 溝ローラ ４０ａ 中央壁 ４２ 台金 ４５ａ 冷却媒体供給口 ４５ｂ 冷却媒体排出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 外山 公平 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 半導体 白河研究所内 (56)参考文献 実開 昭58−59558（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04
Claims (4)
- 【請求項１】 切断用ワイヤが巻き掛けられる溝ローラ
において、前記溝ローラの台金の内部には、その台金の
長手方向中央で区分けされた２つの領域に、冷却媒体流
通用の流路がそれぞれ設けられ、前記各流路の始端と終
端とは、前記台金の当該流路に対応する端部に位置して
いることを特徴とするワイヤソー用溝ローラ。 - 【請求項２】 前記台金は、前記溝ローラの外側に固定
支持されるスリーブと同心的に配される円柱形状あるい
は円筒形状の流路構成部材を有し、この流路構成部材の
外周部には前記流路が設けられ、この流路の少なくとも
一部分は前記流路構成部材の外周部に蛇行して延在して
いることを特徴とする請求項１記載のワイヤソー用溝ロ
ーラ。 - 【請求項３】 前記台金は、前記溝ローラの外側に固定
支持されるスリーブと同心的に配される円柱形状の流路
構成部材を有し、この流路構成部材の内部には、当該流
路構成部材の外側端から内側端（中央壁側の端）近くま
で延びる冷却媒体流通用の孔が設けられ、前記流路構成
部材の外周部には、前記孔に前記内側端近くで連結さ
れ、かつ前記孔とともに前記流路を構成する冷却媒体案
内部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の
ワイヤソー用溝ローラ。 - 【請求項４】 前記流路は、前記溝ローラの内部に形成
された空洞部と、前記溝ローラの回転軸の内部に形成さ
れた孔とによって構成されていることを特徴とする請求
項１記載のワイヤソー用溝ローラ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6168794A JP2755907B2 (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | ワイヤソー用溝ローラ |
| US08/452,835 US5575189A (en) | 1994-06-28 | 1995-05-30 | Roller having grooves for wire saw |
| MYPI95001452A MY113788A (en) | 1994-06-28 | 1995-06-02 | Roller having grooves for wire saw |
| DE69511635T DE69511635T2 (de) | 1994-06-28 | 1995-06-20 | Eine Walze |
| EP95304272A EP0689891B1 (en) | 1994-06-28 | 1995-06-20 | A roller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6168794A JP2755907B2 (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | ワイヤソー用溝ローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0811048A JPH0811048A (ja) | 1996-01-16 |
| JP2755907B2 true JP2755907B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=15874602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6168794A Expired - Fee Related JP2755907B2 (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | ワイヤソー用溝ローラ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5575189A (ja) |
| EP (1) | EP0689891B1 (ja) |
| JP (1) | JP2755907B2 (ja) |
| DE (1) | DE69511635T2 (ja) |
| MY (1) | MY113788A (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0738572B1 (fr) * | 1995-04-22 | 2004-01-21 | HCT Shaping Systems SA | Procédé pour l'orientation de monocristaux pour le découpage dans une machine de découpage et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé |
| JP2885270B2 (ja) * | 1995-06-01 | 1999-04-19 | 信越半導体株式会社 | ワイヤーソー装置及びワークの切断方法 |
| CH691036A5 (fr) * | 1996-02-06 | 2001-04-12 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil pour la découpe de tranches fines comprenant un mécanisme pour le taillage in situ des gorges des cylindres guide-fils. |
| CH691037A5 (fr) * | 1996-02-06 | 2001-04-12 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil. |
| CZ283541B6 (cs) * | 1996-03-06 | 1998-04-15 | Trimex Tesla, S.R.O. | Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu |
| JP3273163B2 (ja) * | 1996-09-06 | 2002-04-08 | シャープ株式会社 | マルチワイヤソー |
| DE19717379A1 (de) * | 1997-04-24 | 1998-10-29 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Drahtsäge und Montagestation für eine Drahtführungsrolle einer Drahtsäge sowie Verfahren zum Auswechseln einer Drahtführungsrolle |
| TW383249B (en) | 1998-09-01 | 2000-03-01 | Sumitomo Spec Metals | Cutting method for rare earth alloy by annular saw and manufacturing for rare earth alloy board |
| EP1004383A1 (de) * | 1998-11-25 | 2000-05-31 | Meyer & Burger AG | Drahtführungsrolle für Drahtsäge mit Temperiereinrichtung |
| MY126994A (en) | 1999-12-14 | 2006-11-30 | Hitachi Metals Ltd | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
| US6357433B1 (en) * | 2000-06-01 | 2002-03-19 | Motorola, Inc. | Machine for cutting brittle materials |
| US6352071B1 (en) * | 2000-06-20 | 2002-03-05 | Seh America, Inc. | Apparatus and method for reducing bow and warp in silicon wafers sliced by a wire saw |
| US20030170948A1 (en) * | 2002-03-07 | 2003-09-11 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method and apparatus for slicing semiconductor wafers |
| JP2011512036A (ja) * | 2008-02-11 | 2011-04-14 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | インゴットをワイヤーソーによりスライスしてウェハとする際に使用される、カーボンナノチューブで強化されたワイヤーソー梁部 |
| CN102744794A (zh) * | 2011-04-01 | 2012-10-24 | 江苏省惠山中等专业学校 | 一种双片独立式的导线轮 |
| DE102011083175A1 (de) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | Voith Patent Gmbh | Drahtführungsrolle für Drahtsägen mit Datenerfassungssystem |
| DE102013225104B4 (de) * | 2013-12-06 | 2019-11-28 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück mittels einer Drahtsäge |
| CN113369582B (zh) * | 2021-06-28 | 2022-12-02 | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 | 一种环形金刚石绳锯的制作方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2826880A (en) * | 1957-04-10 | 1958-03-18 | Lyon Inc | Buffing cooling mechanism |
| US4134384A (en) * | 1977-09-16 | 1979-01-16 | Motorola, Inc. | Wire saw with rotatable guide sleeve |
| JPH0616985B2 (ja) * | 1986-04-24 | 1994-03-09 | 住友金属工業株式会社 | ワイヤソ−における切断方法 |
| JP2516717B2 (ja) * | 1991-11-29 | 1996-07-24 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソ―及びその切断方法 |
| JP2731309B2 (ja) * | 1991-12-10 | 1998-03-25 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー、及び、そのローラ軸支装置の温度制御方法 |
| CH687301A5 (fr) * | 1992-01-22 | 1996-11-15 | W S Technologies Ltd | Dispositif de sciage par fil. |
-
1994
- 1994-06-28 JP JP6168794A patent/JP2755907B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-05-30 US US08/452,835 patent/US5575189A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-02 MY MYPI95001452A patent/MY113788A/en unknown
- 1995-06-20 EP EP95304272A patent/EP0689891B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-20 DE DE69511635T patent/DE69511635T2/de not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| DE69511635T2 (de) | 2000-03-16 |
| JPH0811048A (ja) | 1996-01-16 |
| DE69511635D1 (de) | 1999-09-30 |
| MY113788A (en) | 2002-05-31 |
| US5575189A (en) | 1996-11-19 |
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| EP0689891A1 (en) | 1996-01-03 |
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