JP2731309B2 - ワイヤソー、及び、そのローラ軸支装置の温度制御方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体インゴット等の
被加工物を切断してウエーハを形成するワイヤソー、及
び、そのローラ軸支装置の温度制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、互いに平行な一定ピッチ
のワイヤ列に半導体インゴット等の被加工物を押し当
て、ワイヤをその線方向に送りながら、被加工物とワイ
ヤの間に砥粒を含む加工液を供給することにより、ラッ
ピング作用で被加工物を切断してウエーハを形成するも
のであり、一定の厚さのウエーハを多数枚同時に得るこ
とができる。一回の切断に要する時間は例えば、直径５
インチのシリコン半導体インゴットで６時間である。こ
の間、切断条件を一定に保つことにより、ウエーハの面
精度を高くする必要がある。

【０００３】しかし、ワイヤと被加工物との摩擦による
発熱やローラの軸受部での摩擦熱により、切断中にロー
ラの温度が変動して、熱膨張でワイヤ列のピッチが変動
し、ウエーハ表面にうねりが生じる。回路の微細化が進
んでいる今日、ウエーハ表面のうねりは、半導体装置の
歩留まりを大きく低下させる。

【０００４】このうねりを低減するために、図３に示す
ようなローリング装置の構成が提案されている（特開昭
６２−２５１０６３号公報）。

【０００５】このローリング装置は、軸芯１に主油路２
を形成し、軸芯１を回転自在に支持する軸受６−１及び
軸受６−２に流路を形成し、さらに、主油路２と軸受６
−１との間及び主油路２と軸受６−２との間にそれぞれ
潤滑油路３−１及び潤滑油路３−２を形成して、オイル
タンクからオイル供給口７へオイルを供給し、軸受６−
１、潤滑油路３−１、主油路２、潤滑油路３−２及び軸
受６−２を通ってオイル排出口８からオイルを排出させ
ている。そして、オイルタンク内のオイル温度が設定値
になるように制御している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、オイルが軸
受６−１を通るときに、軸受６−１で発生した摩擦熱を
オイルが吸熱するので、温度が上昇し、これが軸受６−
２を通るので、軸受６−２での吸熱効率と軸受６−１で
の吸熱効率が一般に異なる。両者の差は、オイル供給口
７に供給されるオイル温度やオイル流量によっても変化
する。吸熱量の差により、軸芯１の一端から他端へ向け
て温度勾配が生じ、熱膨張率が軸芯１の長手方向に沿っ
て不均一となり、スリーブ９の表面に形成したワイヤ溝
のピッチが一定でなくなり、好ましくない。また、軸受
６−１及び軸受６−２での流路抵抗は、軸受のスチール
ボールが密に配置されかつスチールボールが高速回転し
ているので、比較的大きい。このため、軸受６−１でオ
イルが停滞して吸熱量が大きくなり、前記差がさらに大
きくなる原因となる。

【０００７】また、被加工物がシリコン半導体インゴッ
トの場合、軸芯１の長さは例えば１０００ｍｍもあり、
流路が長くなって構成が複雑になる。しかも、長い主油
路２を形成することは、軸芯１の回転中心が偏心する原
因となる。この偏心は、ウエーハの面精度を低下させる
原因となる。

【０００８】なお、スリーブ９は、ワイヤ寿命を長くす
るために合成樹脂が用いられ、断熱材であるので、主油
路２にオイルを通しても切断用ワイヤを冷却することは
できない。

【０００９】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、ローラ両端部を軸支する２つのローラ軸支装置の温
度を互いに略等しくかつ略一定に保持することができし
かも構成が簡単なワイヤソー、及び、そのローラ軸支装
置の温度制御方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段及びその作用】本発明を、
実施例図中の対応する構成要素の符号を引用して説明す
る。

【００１１】本発明では、例えば図１及び図２に示す如
く、複数のローリング装置１４、１６及び１８が互いに
平行に配設され、各ローリング装置は、ローラと、該ロ
ーラの一端部及び他端部をそれぞれ軸支する第１及び第
２のローラ軸支装置とを有し、該複数のローリング装置
のローラに、切断部形成のためにワイヤＷが複数回巻き
掛けられたワイヤソーにおいて、該複数のローリング装
置の該第１及び第２のローラ軸支装置の各々に、外部と
連通する入り口路２８ｂ及び出口路２８ｄと、軸受３４
の外側に形成され一端部が入り口路２８ｂと連通し他端
部が出口路２８ｄと連通した流路３２ａとが形成され、
該ワイヤソーはさらに、タンク８２内の液体８０を各ロ
ーラ軸支装置の該入口路へポンプ９２で供給し各ローラ
軸支装置の該出口路から流出した液体を該タンク８２へ
戻す液体循環装置と、各ローラ軸支装置の温度が所定値
になるように該液体の流量又は温度を制御する制御装置
と、を有することを特徴とする。

【００１２】本発明では、複数のローリング装置の第１
及び第２のローラ軸支装置の各々に、外部と連通する入
り口路２８ｂ及び出口路２８ｄと、軸受３４の外側に形
成され一端部が入り口路２８ｂと連通し他端部が出口路
２８ｄと連通した流路３２ａとが形成されているので、
各ローラ軸支装置の温度が所定値になるように循環液体
の流量又は温度を制御する制御装置により、各ローラ軸
支装置の温度を互いに略等しくかつ略一定に保持するこ
とができる。

【００１３】本発明の第１態様では、前記制御装置は、
第１温度センサで前記タンク内の液体の温度を検出し、
切断開始前において、タンク内液体検出温度が第１設定
値になるように該液体を加熱又は冷却する。

【００１４】この第１態様によれば、切断開始後の各ロ
ーラ軸支装置の温度をより短時間で定常状態にすること
ができる。

【００１５】本発明の第２態様では、前記制御装置は、
切断開始後において、該出口路から流出し該タンクへ戻
される前の液体の温度を第２温度センサで検出し、その
検出温度が第２設定値になるように該液体の流量を制御
する。この第２態様によれば、各ローラ軸支装置の温度
を略一定に保持することができる。

【００１６】本発明の第３態様では、前記制御装置は、
切断開始後において、前記第２温度センサで検出された
温度と前記第１温度センサで検出された温度との差と全
ローラ軸支装置への液体供給流量とから全ローラ軸支装
置での該液体の吸熱量を求め、この吸熱量を打ち消すよ
うに前記タンク内の液体を冷却する。この第３態様によ
れば、第２態様の流量制御との組み合わせにより、各ロ
ーラ軸支装置の温度をより略一定に保持することができ
る。また、流量と温度の制御を独立して行うことができ
るので、制御が容易になる。

【００１７】他の本発明では、複数のローリング装置が
互いに平行に配設され、各ローリング装置は、ローラ
と、該ローラの一端部及び他端部をそれぞれ軸支する第
１及び第２のローラ軸支装置とを有し、該複数のローリ
ング装置のローラに、切断部形成のためにワイヤが複数
回巻き掛けられ、該複数のローリング装置の該第１及び
第２のローラ軸支装置の各々に、外部と連通する入り口
路及び出口路と、軸受の外側に配設され一端部が該入り
口路と連通し他端部が該出口路と連通した流路とが形成
され、タンク内の液体を各ローラ軸支装置の該入口路へ
ポンプで供給し各ローラ軸支装置の該出口路から流出し
た液体を該タンクへ戻す液体循環装置を備えたワイヤソ
ーを用い、該タンク内の液体の温度を第１温度として検
出し、該出口路から流出し該タンクへ戻る前の液体の温
度を第２温度として検出し、該第２温度と該第１温度と
の差と全ローラ軸支装置への液体供給流量とから全ロー
ラ軸支装置での該液体の吸熱量を求め、該吸熱量を打ち
消すように該タンク内の液体を冷却し、該第２温度が設
定値になるように該液体の流量を制御する。

【００１８】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。

【００１９】図２はワイヤソーの要部構成を示す。

【００２０】被加工物１０は、例えば半導体インゴット
であり、そのオリエンテーションフラット面がワークホ
ルダ１２に接着されている。ワークホルダ１２は、不図
示の機構で昇降駆動される。被加工物１０の下方には、
軸方向を互いに平行にして、同一構成のローリング装置
１４、１６及び１８が配置されている。ローリング装置
１４は、ローラ１４ａの両端部がローラ軸支装置１４ｂ
及び１４ｃで回転自在に支持され、ローリング装置１６
は、ローラ１６ａの両端部がローラ軸支装置１６ｂ及び
１６ｃで回転自在に支持され、ローリング装置１８は、
ローラ１８ａの両端部がローラ軸支装置１８ｂ及び１８
ｃで回転自在に支持されている。ローラ１４ａ、１６ａ
及び１８ａの外周面には不図示のリング状の溝が一定ピ
ッチで多数形成されており、この溝に沿ってワイヤＷが
巻掛けられている。

【００２１】切断の際には、ワークホルダ１２を下降さ
せて被加工物１０をワイヤＷに接触させる。ローラ１４
ａ、１６ａ及び１８ａは連動回転され、かつ、ワイヤＷ
の張力が一定に保持されてワイヤＷがその線方向に走行
される。また、被加工物１０の側方に配置された不図示
のノズルから、砥粒を含む加工液がワイヤＷに吹き当て
られる。この状態でワークホルダ１２を下降させると、
被加工物１０はワイヤＷのピッチで切断され、同時に同
一厚さの多数枚のウエーハが形成される。切断の際、被
加工物１０とワイヤＷとの摩擦で発生した熱は、加工液
に吸収される。

【００２２】一方、ローラ１４ａ、１６ａ及び１８ａの
回転速度は比較的大きく、例えば１８００ｒｐｍであ
り、ローラ軸支装置１４ｂ、１４ｃ、１６ｂ、１６ｃ、
１８ｂ及び１８ｃで多量の摩擦熱が発生する。ウエーハ
の面精度を高くするには、切断時にこれらローラ軸支装
置での温度を一定かつ互いに等しくする必要があり、こ
のために、本実施例ではローラ軸支装置を図１に示す如
く構成している。

【００２３】ローラ軸支装置１４ｂは、支持板２０にね
じ２２で固定されている。すなわち、支持板２０の外側
面に調節板２４を当て、支持板２０及び調節板２４に形
成された円孔にホルダ２６を嵌合させ、ねじ２２でホル
ダ２６及び調節板２４を支持板２０に固定している。こ
のホルダ２６に外筒２８が嵌合され、外筒２８の外向き
フランジ２８ａがねじ３０でホルダ２６に固定されてい
る。

【００２４】外筒２８には、冷却媒体（温度を一定にす
るためのものであり、初期は加熱用となる場合がある
が、主に冷却用である）としてのオイルを供給するため
の入口路２８ｂが、外筒２８の軸心に平行に穿設されて
いる。また、外筒２８の外周面に垂直に、入口路２８ｂ
の端部と連通する連結路２８ｃが穿設されている。同様
に、外筒２８には、冷却オイルを排出するための出口路
２８ｄが、外筒２８の軸心に平行に穿設され、また、外
筒２８の外周面に垂直に、出口路２８ｄの端部と連通す
る連結路２８ｅが穿設されている。連結路２８ｃ及び２
８ｅの外側端部には雌ねじが形成され、これに、黒色で
示す盲ねじが螺合されて、シールされている。

【００２５】外筒２８には内筒３２が挿入され、外筒２
８の外周面に垂直に不図示のねじが螺合されて、外筒２
８に内筒３２が固定されている。内筒３２の外周面に
は、螺旋溝３２ａが形成され、その一端が連結路２８ｃ
と連通し、他端が連結路２８ｅと連通している。内筒３
２内には、３個のころがり軸受３４が挿入され、潤滑油
路が形成された１個のスペーサ３６が挿入され、さらに
３個のころがり軸受３４が挿入されている。ころがり軸
受３４は、内輪と外輪の間にスチールボールが介在した
構成となっている。ころがり軸受３４の軸方向内側への
移動は、内筒３２の端部に形成された内向きフランジ３
２ｂにより阻止され、ころがり軸受３４の軸方向外側へ
の移動は、押し当てリング３７を介しカバーリング３８
で阻止されている。

【００２６】ころがり軸受３４、スペーサ３６、押し当
てリング３７及びカバーリング３８には、回転軸４０が
貫通している。回転軸４０の頭部側では、カバーリング
３８にブシュ４１が嵌合され、回転軸４０にナット４３
が螺合されて、回転軸４０のローラ１４ａ側への移動が
阻止されている。回転軸４０の頭部端面には座金４４及
び４６が嵌合され、座金４４、４６及び回転軸４０に連
結軸４８が貫通している。

【００２７】上記カバーリング３８は、ねじル５０で内
筒３２に固定され、カバーリング３８にリングスペーサ
５２がねじ５３で固定され、リングスペーサ５２の先端
面にカバー５４が当接され、ねじ５６でカバー５４がリ
ングスペーサ５２に固定されている。

【００２８】外筒２８のローラ１４ａ側にはカバーリン
グ５７が嵌入され、カバーリング５７がねじ５８で内筒
３２の端面に固定されている。カバーリング５７及び外
筒２８の端面には、ゴムリング５９を介してリング板６
０がねじ６１で固定されている。また、カバーリング６
２が、その外縁部でゴムリング５９の内縁部を介して、
カバーリング５７にねじ６３で固定されている。

【００２９】一方、ローラ１４ａは、スリーブ６４に中
空軸６６が圧入されている。スリーブ６４は、ワイヤ寿
命を長くするために、合成樹脂製となっている。中空軸
６６の一端部には、連結ブロック６８が嵌合溶接され、
連結ブロック６８に連結ねじ７０が螺合され、この連結
ねじ７０に、連結軸４８が貫通されている。

【００３０】なお、図１中、Ｓ１、Ｓ２及びＳ３はガス
ケットである。また、ローリング装置１４の他端側も図
１と同一構成となっている。ただし、この他端側の、回
転軸４０に対応した回転軸に雌ねじが形成され、これ
に、連結軸４８の先端部に形成された雄ねじが螺合され
ている。

【００３１】上記構成のローラ軸支装置において、冷却
オイルは、入口路２８ｂに供給され、連結路２８ｃ、螺
旋溝３２ａを通って、ころがり軸受３４で発生した摩擦
熱を吸熱し、連結路２８ｅ、出口路２８ｄを通ってロー
ラ軸支装置１４ｂの外部に排出される。冷却オイルはこ
ろがり軸受３４を通らないので、流路抵抗が比較的小さ
く、また、内筒３２の外周面に螺旋溝３２ａを形成すれ
ばよいので、製造容易である。しかも、ローラ軸支装置
１４ｂとローラ軸支装置１４ｃに同一条件の冷却オイル
を供給することができるので、冷却オイルの流量や温度
によらず、ローラ軸支装置１４ｂとローラ軸支装置１４
ｃとを互いに同一温度にすることができる。

【００３２】図２に示す如く、オイル８０はオイルタン
ク８２に貯蔵されている。オイル８０内には、ヒータ８
４及び冷却コイルチューブ８６が浸漬されている。ま
た、オイル８０は攪拌機８８で攪拌され、オイル８０の
温度が均一にされる。この温度は、温度センサ９０で検
出される。オイルタンク８２内のオイル８０は、ポンプ
９２で汲み上げられ、ポート９４を介し往路管９６１〜
９６６を通ってそれぞれローラ軸支装置１４ｂ、１４
ｃ、１６ｂ、１６ｃ、１８ｂ及び１８ｃに供給され、こ
れらから排出されたオイル８０は、それぞれ復路管９８
１〜９８６を通り、ポート１００を介してオイルタンク
８２内に戻される。ポート１００内の温度は、温度セン
サ１０２で検出される。

【００３３】図２の構成において、切断開始前には、ロ
ーラ軸支装置１４ｂ、１４ｃ、１６ｂ、１６ｃ、１８ｂ
及び１８ｃの温度が切断開始後にできるだけ短時間で定
常状態になるように、オイル８０の温度が設定される。
そして、温度センサ９０で検出された温度がこの設定温
度になるように、ヒータ８４に電力が供給され又は冷却
コイルチューブ８６に冷却水が供給される。好ましい設
定温度は、ワイヤソーシステム及び使用条件により異な
り、例えば２８度である。切断開始後は、温度センサ１
０２で検出された温度と温度センサ９０で検出された温
度との差及びオイル８０の供給流量から、オイル８０の
吸熱量を求め、これを打ち消すべく、冷却コイルチュー
ブ８６に供給する冷却水の流量又は温度を制御して、オ
イル８０の温度を設定温度に保つ。また、好ましくは、
温度センサ１０２で検出された温度が設定温度Ｔ１にな
るように、ポンプ９２で供給されるオイル８０の流量を
制御する。

【００３４】ウエーハ表面のうねりをできるだけ小さく
するための設定温度Ｔ１は、実験の結果、オイルタンク
８２内のオイル８０の設定温度２８°Ｃの下で、Ｔ１＝
２９〜２９．５°Ｃであることが判明した。

【００３５】このようにして、ローラ軸支装置１４ｂ、
１４ｃ、１６ｂ、１６ｃ、１８ｂ及び１８ｃの温度を互
いに同一かつ一定に保つことができ、切断時の温度変動
によるワイヤＷのピッチの変動を、すなわち被加工物１
０を切断して得られるウエーハの表面のうねりを、低減
することができる。

【００３６】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。例えば、内筒３２の外周面に螺旋溝３２ａを形
成する代わりに、外筒２８の内周面に螺旋溝を形成して
もよい。また、溝は螺旋溝に限定されず、軸に平行な方
向に複数本の直線溝を形成し、隣合う直線溝の端部を円
弧溝で連通させた、一筆書きのジグザグ形状溝を設けて
もよい。

【００３７】

【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係るワイヤ
ソーでは、全ローリング装置の第１及び第２のローラ軸
支装置の各々に、外部と連通する入り口路及び出口路
と、軸受の外側に形成され一端部が入り口路と連通し他
端部が出口路と連通した流路とが形成されているので、
構成が簡単であり、各ローラ軸支装置の温度が所定値に
なるように循環液体の流量又は温度を制御する制御装置
の制御も簡単になり、この制御装置により、各ローラ軸
支装置の温度を互いに略等しくかつ略一定に保持するこ
とができるという効果を奏し、ウエーハ表面のうねり低
減による半導体装置の歩留まり向上に寄与するところが
大きい。

【００３８】本発明の第１態様によれば、第１温度セン
サでタンク内の液体の温度を検出し、切断開始前におい
て、タンク内液体検出温度が第１設定値になるように該
液体を加熱又は冷却するので、切断開始後の各ローラ軸
支装置の温度をより短時間で定常状態にすることができ
るという効果を奏する。本発明の第２態様によれば、切
断開始後において、該出口路から流出し該タンクへ戻さ
れる前の液体の温度を第２温度センサで検出し、その検
出温度が第２設定値になるように該液体の流量を制御す
るので、簡単な構成で各ローラ軸支装置の温度を略一定
に保持することができるという効果を奏する。

【００３９】本発明の第３態様によれば、前記制御装置
は、切断開始後において、第２温度センサで検出された
温度と第１温度センサで検出された温度との差と全ロー
ラ軸支装置への液体供給流量とから全ローラ軸支装置で
の液体の吸熱量を求め、この吸熱量を打ち消すようにタ
ンク内の液体を冷却するので、第２態様の流量制御との
組み合わせにより、各ローラ軸支装置の温度をより略一
定に保持することができるという効果を奏する。また、
流量と温度の制御を独立して行うことができるので、制
御が容易になるという効果を奏する。本発明に係るワイ
ヤソーのローラ軸支装置の温度制御方法によれば、上記
全ての効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るワイヤソー用ローリン
グ装置の端部断面図である。

【図２】ワイヤソーの要部構成図である。

【図３】従来のワイヤソー用ローリング装置の断面図で
ある。

【符号の説明】

１０ 被加工物 １２ ワークホルダ １４、１６、１８ ローリング装置 １４ａ、１６ａ、１８ａ ローラ １４ｂ、１４ｃ、１６ｂ、１６ｃ、１８ｂ、１８ｃ ロ
ーラ軸支装置 ２０ 支持板 ２４ 調節板 ２６ ホルダ ２８ 外筒 ２８ａ 外向きフランジ ２８ｂ 入口路 ２８ｃ、２８ｅ 連結路 ２８ｄ 出口路 ３２ 内筒 ３２ａ 螺旋溝 ３２ｂ 内向きフランジ ３４ ころがり軸受 ３６ スペーサ ３７ 押し当てリング ３８、５７、６２ カバーリング ４０ 回転軸 ４１ ブシュ ４８ 連結軸 ５４ カバー ６４ スリーブ ６６ 中空軸 ６８ 連結ブロック ８０ オイル ８２ オイルタンク ８４ ヒータ ８６ 冷却コイルチューブ ８８ 攪拌機 ９０、１０２ 温度センサ ９２ ポンプ ９４、１００ ポート ９６１〜９６６ 往路管 ９８１〜９８６ 復路管 Ｗ ワイヤ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−251063（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−121802（ＪＰ，Ａ)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のローリング装置が互いに平行に配
   設され、各ローリング装置は、ローラと、該ローラの一
   端部及び他端部をそれぞれ軸支する第１及び第２のロー
   ラ軸支装置とを有し、該複数のローリング装置のローラ
   に、切断部形成のためにワイヤが複数回巻き掛けられた
   ワイヤソーにおいて、 該複数のローリング装置の該第１及び第２のローラ軸支
   装置の各々に、外部と連通する入り口路及び出口路と、
   軸受の外側に配設され一端部が該入り口路と連通し他端
   部が該出口路と連通した流路とが形成され、 該ワイヤソーはさらに、 タンク内の液体を各ローラ軸支装置の該入口路へポンプ
   で供給し各ローラ軸支装置の該出口路から流出した液体
   を該タンクへ戻す液体循環装置と、 各ローラ軸支装置の温度が所定値になるように該液体の
   流量又は温度を制御する制御装置と、 を有することを特徴とするワイヤソー。
2. 【請求項２】 前記制御装置は、第１温度センサで前記
   タンク内の液体の温度を検出し、切断開始前において、
   タンク内液体検出温度が第１設定値になるように該液体
   を加熱又は冷却する、 ことを特徴とする請求項１記載のワイヤソー。
3. 【請求項３】 前記制御装置は、切断開始後において、
   該出口路から流出し該タンクへ戻される前の液体の温度
   を第２温度センサで検出し、その検出温度が第２設定値
   になるように該液体の流量を制御する、 ことを特徴とする請求項１又は２記載のワイヤソー。
4. 【請求項４】 前記制御装置は、切断開始後において、
   前記第２温度センサで検出された温度と前記第１温度セ
   ンサで検出された温度との差と全ローラ軸支装置への液
   体供給流量とから全ローラ軸支装置での該液体の吸熱量
   を求め、この吸熱量を打ち消すように前記タンク内の液
   体を冷却する、 ことを特徴とする請求項３記載のワイヤソー。
5. 【請求項５】 複数のローリング装置が互いに平行に配
   設され、各ローリング装置は、ローラと、該ローラの一
   端部及び他端部をそれぞれ軸支する第１及び 第２のロー
   ラ軸支装置とを有し、該複数のローリング装置のローラ
   に、切断部形成のためにワイヤが複数回巻き掛けられ、
   該複数のローリング装置の該第１及び第２のローラ軸支
   装置の各々に、外部と連通する入り口路及び出口路と、
   軸受の外側に配設され一端部が該入り口路と連通し他端
   部が該出口路と連通した流路とが形成され、タンク内の
   液体を各ローラ軸支装置の該入口路へポンプで供給し各
   ローラ軸支装置の該出口路から流出した液体を該タンク
   へ戻す液体循環装置を備えたワイヤソーを用い、 該タンク内の液体の温度を第１温度として検出し、該出
   口路から流出し該タンクへ戻る前の液体の温度を第２温
   度として検出し、 該第２温度と該第１温度との差と全ローラ軸支装置への
   液体供給流量とから全ローラ軸支装置での該液体の吸熱
   量を求め、 該吸熱量を打ち消すように該タンク内の液体を冷却し、 該第２温度が設定値になるように該液体の流量を制御す
   る、 ことを特徴とするワイヤソーのローラ軸支装置の温度制
   御方法。