JP2000218507A

JP2000218507A - ワイヤソーのグルーブローラ支持装置

Info

Publication number: JP2000218507A
Application number: JP1985499A
Authority: JP
Inventors: Masashi Nagatsuka; 真史永塚
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1999-01-28
Filing date: 1999-01-28
Publication date: 2000-08-08

Abstract

(57)【要約】【課題】正確な温度を把握することができるワイヤソー
のグルーブローラ支持装置の提供。【解決手段】温度センサ７６Ａ、７６Ｂをスピンドルユ
ニット６２Ａ、６２Ｂの外筒７２Ａ、７２Ｂに設置す
る。これにより、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの
実際の温度を正確に把握することができる。そして、こ
の温度結果に基づいて冷媒流路７４Ａ、７４Ｂに供給す
る冷媒の流量をコントロールすることにより、スピンド
ルユニット６２Ａ、６２Ｂの温度管理を正確に行うこと
ができるようになり、ワイヤソーの切断精度が安定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのグルー
ブローラ支持装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラ
ミック等の硬脆性材料を切断するワイヤソーのグルーブ
ローラ支持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーのグルーブローラは、その両
端部をグルーブローラ支持装置によって回動自在に支持
されている。このグルーブローラ支持装置は、一対のス
ピンドルによってグルーブローラの両端部を挟持するこ
とにより、グルーブローラを回動自在に支持する。一対
のスピンドルは、それぞれベアリングを介して外筒に回
動自在に支持されており、これにより挟持したグルーブ
ローラを回動自在に支持する。

【０００３】ところで、前記グルーブローラは、ワーク
の切断に際して高速回転するため、その支持部であるグ
ルーブローラ支持装置は発熱して高温になる。そして、
このグルーブローラ支持装置の発熱はグルーブローラに
熱変形をもたらし、切断精度を低下させる要因となる。
このため、通常、グルーブローラ支持装置には冷却機構
が設けられており、発熱を抑制するようにしている。

【０００４】グルーブローラ支持装置の冷却機構として
は、特開平５−１５４８３１号公報に開示されているよ
うに、グルーブローラ支持装置の外筒に流体流路を形成
し、この流路に一定温度に温調された冷媒を循環供給す
ることにより、グルーブローラ支持装置の発熱を抑制し
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開平５−１５４８３１号公報に開示されているグルーブ
ローラ支持装置の冷却機構は、タンク内に貯留された冷
媒の温度を測定し、この温度が一定になるようにタンク
内の冷媒温度を調整することにより、グルーブローラ支
持装置の温度制御をしているため、実際のグルーブロー
ラ支持装置の温度を正確に把握することができないとい
う欠点がある。このため、正確にグルーブローラ支持装
置の温度を調整することができず、高精度な切断が達成
できないという欠点がある。

【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、正確な温度を把握することができるワイヤソー
のグルーブローラ支持装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ワイヤが巻き掛けられてワーク切断用のワ
イヤ列を形成するグルーブローラを回動自在に支持する
ワイヤソーのグルーブローラ支持装置において、前記グ
ルーブローラの同軸上に連結されるスピンドルと、ベア
リングを介して前記スピンドルを回動自在に支持する外
筒と、前記外筒に埋設された温度センサと、からなるこ
とを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、温度センサがグルーブロ
ーラ支持装置の外筒に埋設されているので、外気と接触
することがなく正確にグルーブローラ支持装置の温度を
検出することができる。したがって、この温度情報を利
用してグルーブローラ支持装置に備えられた冷却機構の
温度制御を行うようにすれば、グルーブローラ支持装置
の正確な温度管理を行うことができるようになり、ワイ
ヤソーの切断精度が向上する。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのグルーブローラ支持装置の実施の形態に
ついて詳説する。まず、本発明に係るグルーブローラ支
持装置が適用されるワイヤソーの全体構成について説明
する。

【００１０】図１はワイヤソー１０の全体構成を示す斜
視図である。同図に示すように、ワイヤソー１０は、主
として、切断を行うワイヤソー本体１１と、そのワイヤ
ソー本体１１の切断部にスラリを供給するスラリ供給ユ
ニット４２から構成されている。ワイヤソー本体１１に
は、一対のワイヤリール１２が設置されている（図１で
は一方側のみ図示）。一方側のワイヤリール１２から繰
り出されたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１
６、…によって４本のグルーブローラ１８、１８、…に
ガイドされる。そして、その４本のグルーブローラ１８
に一定ピッチで巻き掛けられることにより上部に水平な
ワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイ
ヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に配置されて
いる図示しない他方側のガイドローラにガイドされるこ
とにより図示しない他方側のワイヤリールにガイドされ
る。そして、その他方側のワイヤリールに巻き取られ
る。

【００１１】前記ガイドローラ１６、１６、…によって
ワイヤ列２０の両側に形成されているワイヤ走行路に
は、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサローラユニッ
ト２４が配設されている（一方側のみ図示）。ワイヤ案
内装置２２は、ワイヤ１４がワイヤリール１２から一定
ピッチで繰り出されるようにガイドするとともに、ワイ
ヤ１４がワイヤリール１２に一定ピッチで巻き取られる
ようにガイドする。また、ダンサローラユニット２４
は、デッドウェイトが付加されて上下動自在に支持され
たダンサローラにワイヤ１４が巻き掛けられることによ
り、ワイヤ１４に一定の張力を付与する。

【００１２】前記４本のグルーブローラ１８のうち１本
のグルーブローラ１８及び前記一対のワイヤリール１２
には、それぞれ正逆回転可能なモータ２６、２８が連結
されており、これらのモータ２６、２８を同期させて駆
動することにより、ワイヤ１４が一対のワイヤリール１
２間を高速で往復走行する。ワイヤ列２０の上方にはワ
ークフィードテーブル３０が配設されており、該ワーク
フィードテーブル３０はフィードベース３２にスライド
自在に設けられている。ワークフィードテーブル３０
は、フィードベース３２に設置されたワークフィードモ
ータ３４を駆動することにより、ワイヤ列２０に対して
垂直に昇降移動する。被加工物であるインゴットＩｎ
は、このワークフィードテーブル３０の下部に結晶方位
合わせした状態で装着される。

【００１３】一方、ワイヤ列２０の下方にはオイルパン
３６が設置されている。後述するように加工時にワイヤ
列２０に供給されたスラリは、このオイルパン３６に回
収される。このオイルパン３６には図示しない回収パイ
プが接続されており、該回収パイプの他端はスラリ回収
タンク４０に連結されている。したがって、オイルパン
３６に回収されたスラリは、この回収パイプを介してス
ラリ回収タンク４０に貯留される。

【００１４】スラリ供給ユニット４２は、移動自在な台
車４４上にスラリタンク４６、熱交換器５０、供給ポン
プ５２及び流量計５４等が搭載されて構成されている。
スラリタンク４６には図示しない配管が接続されてお
り、該配管の他端は図示しない回収ポンプを介してスラ
リ回収タンク４０に接続されている。前記スラリ回収タ
ンク４０に貯留されたスラリは、この回収ポンプ４１に
汲み上げられることによりスラリタンク４６に送液され
る。

【００１５】一方、スラリタンク４６に回収されたスラ
リは、該スラリタンク４６に設置された供給ポンプ５２
で汲み上げることにより、ワイヤ列２０の上方に設置さ
れた図示しないスラリノズルに送液され、該スラリノズ
ルからワイヤ列２０に向けて噴射される。スラリノズル
から噴射されたスラリは、加工に供されたのち、前述し
たようにオイルパン３６で回収され、スラリ回収タンク
４０を介してスラリタンク４６に戻される。すなわち、
スラリは循環供給されている。

【００１６】なお、スラリタンク４６に貯留されている
スラリは、熱交換器５０に循環供給されており、これに
より常に一定温度になるように調整されている。以上の
ように構成されたワイヤソー１０において、インゴット
Ｉｎは次のように切断される。すなわち、まず、インゴ
ットＩｎをワークフィードテーブル３０に装着する。次
に、モータ２６、２８を同期駆動させることによりワイ
ヤ１４を高速で往復走行させる。これにより、ワイヤ列
２０が高速で往復走行する。次に、ワークフィードテー
ブル３０をワイヤ列２０に向けて下降させる。これと同
時に図示しないスラリノズルからワイヤ列２０に向けて
スラリを噴射する。この結果、インゴットＩｎが高速走
行するワイヤ列２０に押し付けられるとともに、そのワ
イヤ列２０に供給されたスラリのラッピング作用によっ
て多数枚のウェーハに同時に切断される。

【００１７】次に、上述したワイヤソー１０に適用され
る本実施の形態のグルーブローラ支持装置の構成につい
て説明する。なお、上述したようにグルーブローラは４
本設置されているが、各グルーブローラを支持するグル
ーブローラ支持装置は共に同一構成なので、以下の説明
では代表する１台のグルーブローラ支持装置６０の構成
についてのみ説明する。

【００１８】まず、本実施の形態のグルーブローラ支持
装置６０に支持されるグルーブローラ１８の構成につい
て説明する。図２に示すように、グルーブローラ１８
は、軸芯５６の外周にローラ５８が固着されて構成され
ている。軸芯５６は中空状に形成されており、その両端
部にはテーパ状のシャンク５６Ａ、５６Ｂが形成されて
いる。一方、ローラ５８は、外周面に多数の溝が一定ピ
ッチで形成されており、この溝にワイヤ１４が巻き掛け
られることにより、ワイヤ列２０が形成される。

【００１９】次に、本実施の形態のグルーブローラ支持
装置６０の構成について説明する。グルーブローラ支持
装置６０は、図２に示すように、一対のスピンドルユニ
ット６２Ａ、６２Ｂと、そのスピンドルユニット６２
Ａ、６２Ｂを支持するスピンドルブラケット６４Ａ、６
４Ｂ、締結ボルト６６及び冷媒循環供給装置８６から構
成されている。

【００２０】一対のスピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂ
は、それぞれスピンドル６８Ａ、６８Ｂを有しており、
該スピンドル６８Ａ、６８Ｂは複数のベアリング７０Ａ
₁〜７０Ａ₄、７０Ｂ₁〜７０Ｂ₄を介して外筒７２
Ａ、７２Ｂに回動自在に支持されている。スピンドル６
８Ａ、６８Ｂは、それぞれ円柱状に形成されており、先
端部分には、前記グルーブローラ１８の両端部に形成さ
れたシャンク５６Ａ、５６Ｂが嵌入されるテーパ穴６８
ａ、６８ｂが形成されている。グルーブローラ１８は、
このテーパ穴６８ａ、６８ｂに両シャンク５６Ａ、５６
Ｂを嵌め込むことにより、スピンドル６８Ａ、６８Ｂの
同軸上に連結される。

【００２１】一方、外筒７２Ａ、７２Ｂは、その外周部
に冷媒流路７４Ａ、７４Ｂが螺旋状に形成されており、
この冷媒流路７４Ａ、７４Ｂに冷媒（水、オイル等）を
流すことにより、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂが
冷却される。なお、冷媒流路７４Ａ、７４Ｂは、外筒７
２Ａ、７２Ｂの外周に螺旋状の溝７４ａ、７４ｂを密封
するとともに、その外周にスリーブ７５Ａ、７５Ｂを嵌
め込むことにより形成される。そして、冷媒は、この密
封された冷媒流路７４Ａ、７４Ｂの一方端に形成された
供給口７４Ａ_IN、７４Ｂ_INから供給され、冷媒流路７４
Ａ、７４Ｂを流れる間に熱交換されて排出口７４
Ａ_OUT、７４Ｂ_OUTから排出される。

【００２２】また、外筒７２Ａ、７２Ｂには、先端のベ
アリング７０Ａ₁、７０Ｂ₁の設置位置に温度センサ７
６Ａ、７６Ｂが設置されており、この温度センサ７６
Ａ、７６Ｂによってスピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂ
の温度を検出できるようにされている。温度センサ７６
Ａ、７６Ｂで検出された温度は、ケーブル８０Ａ、８０
Ｂを介して制御装置８２に出力される。

【００２３】なお、この温度センサ７６Ａ、７６Ｂは、
外筒７２Ａ、７２Ｂに形成された設置孔７８Ａ、７８Ｂ
に挿入され、ベアリング７０Ａ₁、７０Ｂ₁の真上の位
置に設置されている。また、設置孔７８Ａ、７８Ｂの先
端部は、温度センサ７６Ａ、７６Ｂが外気と接触するの
を防止するためにグリース８４Ａ、８４Ｂが充填されて
いる。

【００２４】ここで、スピンドルユニット６２Ａ、６２
Ｂで発生する熱は、主にベアリングの回転による摩擦抵
抗によって生じるので、温度センサ７６Ａ、７６Ｂは可
能な限りベアリングに近接させることが正確な温度を測
定する点で好ましい。また、ベアリングで発生する熱を
ベアリングの容量で比較すると、容量の大きいベアリン
グの方が発熱量が大きい傾向にあるので、温度センサ７
６Ａ、７６Ｂは、ベアリング７０Ａ₁〜７０Ａ₄、７０
Ｂ₁〜７０Ｂ₄のうち容量の大きいベアリング７０
Ａ₁、７０Ｂ₁に近接させることが好ましい。

【００２５】前記スピンドルブラケット６４Ａ、６４Ｂ
は、ワイヤソー本体に固定されており、前記一対のスピ
ンドルユニット６２Ａ、６２Ｂを所定の間隔をもって同
軸上に支持する。そして、そのうち一方のスピンドルユ
ニット６２Ａ（図中右側）を軸線に沿ってスライド自在
に支持する。前記締結ボルト６６は、前記可動側のスピ
ンドル６８Ａの軸心部に形成された通し孔６９Ａに挿通
され、固定側のスピンドル６８Ｂの軸心部に形成された
ボルト穴６９Ｂに螺合される。ボルト穴６９Ｂに螺合さ
れた締結ボルト６６は、締め付けることにより、その頭
部６６Ａが可動側のスピンドル６８Ａの端面を押圧し
て、可動側のスピンドルユニット６２Ａ全体を固定側の
スピンドルユニット６２Ｂに向けて移動させる。グルー
ブローラ１８は、この一対のスピンドルユニット６２
Ａ、６２Ｂのスピンドル６８Ａ、６８Ｂで両側から挟持
することにより、回動自在に支持される。

【００２６】前記冷媒循環供給装置８６は、図３に示す
ように、クーラーユニット８８を有している。クーラー
ユニット８８は冷媒を所定温度に冷却し、このクーラー
ユニット８８によって所定温度に冷却された冷媒が、第
１供給配管９０を介して外筒７２Ａに形成された冷媒流
路７４Ａの供給口７４Ａ_INに供給される。供給口７４Ａ
_INに供給された冷媒は、冷媒流路７４Ａ内を通って排出
口７４Ａ_OUTから排出され、第２供給配管９１を介して
外筒７２Ｂに形成された冷媒流路７４Ｂの供給口７４Ｂ
_INに供給される。供給口７４Ｂ_INに供給された冷媒は、
冷媒流路７４Ｂ内を通って排出口７４Ｂ_OUTから排出さ
れ、回収配管９２を介してクーラーユニット８８に戻さ
れる。

【００２７】前記第１供給配管９０の管路途中には流量
制御バルブ９４が設置されており、この流量制御バルブ
９４の開度をコントロールすることにより、外筒７２
Ａ、７２Ｂに形成された冷媒流路７４Ａ、７４Ｂに供給
される冷媒の流量が調整される。ここで、この流量制御
バルブ９４は、制御装置８２の駆動信号に基づいてバル
ブ開度がコントロールされる。そして、制御装置８２
は、流量制御バルブ９４の下流部に設置されたフローメ
ーター９６の検出値に基づいて所望の流量になるように
制御バルブ９４のバルブ開度をコントロールする。

【００２８】また、制御装置８２で設定する流量は、前
記温度センサ７６Ａ、７６Ｂの検出値に基づいて設定さ
れる。すなわち、温度センサ７６Ａ、７６Ｂの検出値が
所定の設定値になるように流量を可変させる。本実施の
形態のグルーブローラ支持装置６０は以上のように構成
される。他の３本のグルーブローラを支持するグルーブ
ローラ支持装置も同様の構成であるが、クーラーユニッ
ト８８については１台を共用している。

【００２９】次に、前記のごとく構成された本実施の形
態のグルーブローラ支持装置６０の作用について説明す
る。まず、グルーブローラ１８をグルーブローラ支持装
置６０に装着する場合について説明する。まず、グルー
ブローラ１８を一対のスピンドルユニット６２Ａ、６２
Ｂの間に配置する。このとき、グルーブローラ１８は、
一対のスピンドル６８Ａ、６８Ｂと略同軸上に位置する
ように配置する。

【００３０】次に、固定側のスピンドル６８Ｂのテーパ
穴６８ｂにグルーブローラ１８の一方側のシャンク５６
Ｂを嵌め込む。次に、グルーブローラ１８の他方側のシ
ャンク５６Ａに可動側のスピンドル６８Ａのテーパ穴６
８ａを嵌め合わせる。そして、固定側のスピンドル６８
Ａの通し孔６９Ａに締結ボルト６６を挿入する。次に、
挿入した締結ボルト６６を固定側のスピンドル６８Ｂの
ボルト穴６９Ｂに螺合させる。そして、このボルト穴６
９Ｂに螺合させた締結ボルト６６を締め付けてゆくと、
可動側のスピンドル６８Ａが締結ボルト６６の頭部６６
Ａに押圧されて、可動側のスピンドルユニット６２Ａが
固定側のスピンドルユニット６２Ｂに向かって移動す
る。この結果、両端部をスピンドル６８Ａ、６８Ｂに挟
持されてグルーブローラ１８がグルーブローラ支持装置
６０に装着される。

【００３１】次に、前記のごとくグルーブローラ１８が
装着されたグルーブローラ支持装置６０の作用について
説明する。ワイヤソー１０の運転開始とともに、クーラ
ーユニット８８から一定温度に温調された冷媒が第１供
給配管９０を通って外筒７２Ａの冷媒流路７４Ａに供給
される。冷媒は、その冷媒流路７４Ａを通過することに
より、スピンドルユニット６２Ａで発生した熱を吸熱し
て第２供給配管９１に流れだす。そして、その第２供給
配管９１を通って外筒７２Ｂの冷媒流路７４Ｂに供給さ
れる。冷媒は、その冷媒流路７４Ｂを通過することによ
り、スピンドルユニット６２Ｂで発生した熱を吸熱して
回収配管９２に流れ出す。そして、その回収配管９２を
通って再びクーラーユニット８８に戻される。クーラー
ユニット８８に戻された冷媒は、該クーラーユニット８
８で熱交換されて所定温度に冷却されたのち、再び第１
供給配管９０を介して冷媒流路７４Ａに供給される。

【００３２】一方、温度センサ７６Ａ、７６Ｂは、各ス
ピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの温度を検出し、その
検出値を制御装置８２に出力する。この際、温度センサ
７６Ａ、７６Ｂは、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂ
の外筒７２Ａ、７２Ｂに埋設されているため、実際のス
ピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの温度状態を正確に把
握することができる。すなわち、温度センサ７６Ａ、７
６Ｂは外筒７２Ａ、７２Ｂに埋設されているため外気と
接触することがなく、この結果、外因に乱されることな
く正確にスピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの温度を検
出することができる。

【００３３】制御装置８２は、温度センサ７６Ａ、７６
Ｂで検出されるスピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの温
度に基づいて、各スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂが
所定の設定温度になるように、供給する冷媒の流量を演
算し、その演算結果に基づいて流量制御バルブ９４のバ
ルブ開度を制御する。これにより、各スピンドルユニッ
ト６２Ａ、６２Ｂの温度が常に一定温度に維持され、精
度の安定した切断を行うことができるようになる。

【００３４】このように、本実施の形態のグルーブロー
ラ支持装置６０によれば、温度センサ７６Ａ、７６Ｂ
が、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの外筒７２Ａ、
７２Ｂに設置されているため、スピンドルユニット６２
Ａ、６２Ｂの温度を正確に把握することができる。そし
て、この正確に検出した温度情報に基づいて冷媒流路７
４Ａ、７４Ｂに供給する冷媒の流量をコントロールする
ようにしているので、スピンドルユニット６２Ａ、６２
Ｂの温度を正確にコントロールすることができる。この
結果、精度の安定した切断を行うことができるようにな
る。

【００３５】なお、上記の例では、代表する１台のグル
ーブローラ支持装置６０の作用についてのみ説明してい
るが、他の３台のグルーブローラ支持装置も同様の作用
をする。なお、本実施の形態では、一対の外筒７２Ａ、
７２Ｂにそれぞれ温度センサ７６Ａ、７６Ｂを設置する
ようにしているが、片側の外筒７２Ａ（又は７２Ｂ）に
のみ設置するようにしてもよい。また、４台あるグルー
ブローラ支持装置のうち一台のグルーブローラ支持装置
の外筒にのみ設置するようにしてもよい。この場合、一
つの温度センサの検出結果に基づいて４台あるグルーブ
ローラ支持装置の全ての温度制御を行う。

【００３６】また、本実施の形態では、外筒７２Ａ、７
２Ｂに形成された冷媒流路７４Ａ、７４Ｂに冷媒を供給
してスピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂを冷却するよう
にしているが、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの冷
却機構は、これに限定されるものではない。例えば、ス
ピンドル６８Ａ、６８Ｂに冷媒流路を形成し、この冷媒
流路に冷媒を流すことにより冷却するようにしてもよ
い。

【００３７】さらに、本実施の形態では、冷媒流路７４
Ａ、７４Ｂに供給する冷媒の流量をコントロールするこ
とにより、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂの温度制
御を行っているが、流量を一定にし、冷媒の温度を可変
させることにより、スピンドルユニット６２Ａ、６２Ｂ
の温度制御を行うようにしてもよい。また、本実施の形
態では、グルーブローラ１８の両端を挟持してグルーブ
ローラ１８を回動自在に支持するタイプのグルーブロー
ラ支持装置６０に本発明を適用した例で説明したが、本
発明はグルーブローラ１８を片持ち支持するタイプのグ
ルーブローラ支持装置にも同様に適用することができ
る。

【００３８】なお、温度センサ７６Ａ、７６Ｂの設置位
置は、外筒７２Ａ、７２Ｂであれば特に限定されない
が、本実施の形態のように主要ベアリングの設置位置に
設置することにより、より正確なスピンドルユニット６
２Ａ、６２Ｂの温度状況を把握することができる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
温度センサがグルーブローラ支持装置の外筒に埋設され
ているので、外気と接触することがなく正確にグルーブ
ローラ支持装置の温度を検出することができる。したが
って、この温度情報を利用してグルーブローラ支持装置
に備えられた冷却機構の温度制御を行うようにすれば、
グルーブローラ支持装置の温度管理を正確に行うことが
できるようになり、ワイヤソーの切断精度が安定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成を示す斜視図

【図２】グルーブローラ支持装置の正面断面図

【図３】冷媒循環供給装置の構成を示すブロック図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー１４…ワイヤ１８…グルーブローラ６０…グルーブローラ支持装置６２Ａ、６２Ｂ…スピンドルユニット６４Ａ、６４Ｂ…スピンドルブラケット６６…締結ボルト６８Ａ、６８Ｂ…スピンドル７２Ａ、７２Ｂ…外筒７４Ａ、７４Ｂ…冷媒流路７６Ａ、７６Ｂ…温度センサ８２…制御装置８６…冷媒循環供給装置８８…クーラーユニット９４…流量制御バルブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワイヤが巻き掛けられてワーク切断用の
ワイヤ列を形成するグルーブローラを回動自在に支持す
るワイヤソーのグルーブローラ支持装置において、前記グルーブローラの同軸上に連結されるスピンドル
と、ベアリングを介して前記スピンドルを回動自在に支持す
る外筒と、前記外筒内に埋設された温度センサと、からなることを
特徴とするワイヤソーのグルーブローラ支持装置。
【請求項２】前記温度センサは、前記ベアリングの設
置位置に設けられていることを特徴とする請求項１記載
のワイヤソーのグルーブローラ支持装置。