JPH10166354A - ワイヤソー用ローラの変位量測定装置 - Google Patents
ワイヤソー用ローラの変位量測定装置Info
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- JPH10166354A JPH10166354A JP34250496A JP34250496A JPH10166354A JP H10166354 A JPH10166354 A JP H10166354A JP 34250496 A JP34250496 A JP 34250496A JP 34250496 A JP34250496 A JP 34250496A JP H10166354 A JPH10166354 A JP H10166354A
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 本発明は、例えば半導体シリコンの単結晶イ
ンゴットをマルチワイヤソーでスライス加工する際、メ
インローラの軸方向の変位量を正確に測定することを目
的とする。 【解決手段】 メインローラ２の測定板１５に近接して
非接触変位センサ１６を配設し、この非接触変位センサ
１６でメインローラ２の軸方向の熱変位量を測定出来る
ようにするとともに、この非接触変位センサ１６を熱膨
張の少ない材質の支持部材１７で支持し、また、この支
持部材１７を本体フレーム２０に取付けて、メインロー
ラ２の熱が伝達されることに起因する非接触変位センサ
１６の位置変位が生じないようにする。また支持部材１
７を中空にし、中空内に冷却水を導入するようにしても
良い。
ンゴットをマルチワイヤソーでスライス加工する際、メ
インローラの軸方向の変位量を正確に測定することを目
的とする。 【解決手段】 メインローラ２の測定板１５に近接して
非接触変位センサ１６を配設し、この非接触変位センサ
１６でメインローラ２の軸方向の熱変位量を測定出来る
ようにするとともに、この非接触変位センサ１６を熱膨
張の少ない材質の支持部材１７で支持し、また、この支
持部材１７を本体フレーム２０に取付けて、メインロー
ラ２の熱が伝達されることに起因する非接触変位センサ
１６の位置変位が生じないようにする。また支持部材１
７を中空にし、中空内に冷却水を導入するようにしても
良い。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体シリ
コンの単結晶インゴットをワイヤソーでスライス加工す
る際、ワイヤの移動をガイドするメインローラの軸方向
の変位量を正確に測定するための改良技術に関する。
コンの単結晶インゴットをワイヤソーでスライス加工す
る際、ワイヤの移動をガイドするメインローラの軸方向
の変位量を正確に測定するための改良技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば半導体シリコンの単結晶イ
ンゴットを切出す際、外周にワイヤ溝を有するメインロ
ーラを複数配設し、各メインローラのワイヤ溝にワイヤ
を螺旋状に巻き付けて多数の平行なワイヤ列を形成する
とともに、このワイヤ列を往復動又は直線動させて多数
のウエーハ素材を同時に切出すようなマルチワイヤソー
が知られている。この際、メインローラの軸受部におけ
る発熱、またはワーク切断時の摩擦熱等によってメイン
ローラが熱膨張して軸方向に伸びると、平行ワイヤのピ
ッチ間隔が狂ってウエーハ素材の厚みが変化したり、平
坦度を悪化させたり、うねりの原因になる等の不具合が
あるため、メインローラの軸方向の変位を測定してメイ
ンローラの温度を制御することで、ピッチを一定に保持
するような技術が知られており、例えば本出願人は図３
に示すような変位検出手段を既に提案している。
ンゴットを切出す際、外周にワイヤ溝を有するメインロ
ーラを複数配設し、各メインローラのワイヤ溝にワイヤ
を螺旋状に巻き付けて多数の平行なワイヤ列を形成する
とともに、このワイヤ列を往復動又は直線動させて多数
のウエーハ素材を同時に切出すようなマルチワイヤソー
が知られている。この際、メインローラの軸受部におけ
る発熱、またはワーク切断時の摩擦熱等によってメイン
ローラが熱膨張して軸方向に伸びると、平行ワイヤのピ
ッチ間隔が狂ってウエーハ素材の厚みが変化したり、平
坦度を悪化させたり、うねりの原因になる等の不具合が
あるため、メインローラの軸方向の変位を測定してメイ
ンローラの温度を制御することで、ピッチを一定に保持
するような技術が知られており、例えば本出願人は図３
に示すような変位検出手段を既に提案している。
【０００３】この変位検出手段は、メインローラ５１の
鋼材等の芯金５２を軸受部５４で軸支するとともに、こ
の芯金５２の周囲に圧入した樹脂製の筒材５３の外周部
に所定ピッチでワイヤ溝ｍ、…を刻設し、このワイヤ溝
ｍに係合するワイヤ６０を移動させてワークを加工する
ようなワイヤソーにおいて、加工時の発熱によるメイン
ローラ５１の軸方向の変位量を測定出来るようにされ、
前記軸受部５４を取着せしめたハウジング５５からメイ
ンローラ５１に向けて例えば渦電流式の非接触変位計５
６を張出させて配設し、筒材５３端部の金属製の測定板
５７に近接させ、測定板５７までの距離を測定出来るよ
うにしている。
鋼材等の芯金５２を軸受部５４で軸支するとともに、こ
の芯金５２の周囲に圧入した樹脂製の筒材５３の外周部
に所定ピッチでワイヤ溝ｍ、…を刻設し、このワイヤ溝
ｍに係合するワイヤ６０を移動させてワークを加工する
ようなワイヤソーにおいて、加工時の発熱によるメイン
ローラ５１の軸方向の変位量を測定出来るようにされ、
前記軸受部５４を取着せしめたハウジング５５からメイ
ンローラ５１に向けて例えば渦電流式の非接触変位計５
６を張出させて配設し、筒材５３端部の金属製の測定板
５７に近接させ、測定板５７までの距離を測定出来るよ
うにしている。
【０００４】そして、軸受部５４には冷却水通路５８を
通して冷却水を導くことが出来るようにしており、変位
計５６で測定した変位量に基づいて制御バルブ６１によ
って冷却水通路５８に流通させる冷却水を制御し、メイ
ンローラ５１の軸方向の伸びを一定に制御するようにし
ている。
通して冷却水を導くことが出来るようにしており、変位
計５６で測定した変位量に基づいて制御バルブ６１によ
って冷却水通路５８に流通させる冷却水を制御し、メイ
ンローラ５１の軸方向の伸びを一定に制御するようにし
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記技術の
ように、非接触変位計５６をハウジング５５に取付ける
方法は、装置の簡素化が図られるとともに、コンパクト
化が可能ではあるが、反面、メインローラ５１の伸びに
伴って非接触変位計５６も一緒に移動し、メインローラ
５１の絶対的な変位量を測定するのが困難で、相対的な
変位量しか測定出来ない状態にある。
ように、非接触変位計５６をハウジング５５に取付ける
方法は、装置の簡素化が図られるとともに、コンパクト
化が可能ではあるが、反面、メインローラ５１の伸びに
伴って非接触変位計５６も一緒に移動し、メインローラ
５１の絶対的な変位量を測定するのが困難で、相対的な
変位量しか測定出来ない状態にある。
【０００６】従って、この相対的な変位量に基づいてメ
インローラ５１の温度を管理し、伸びを一定に保持しよ
うとしても、誤差が大きくなるという問題がある。そこ
で、メインローラの絶対的な軸方向変位量を正確に測定
することの出来る手段が望まれていた。
インローラ５１の温度を管理し、伸びを一定に保持しよ
うとしても、誤差が大きくなるという問題がある。そこ
で、メインローラの絶対的な軸方向変位量を正確に測定
することの出来る手段が望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、請求項１において、メインローラ外周のワイ
ヤ溝に係合するワイヤを移動させてワークを加工するよ
うなワイヤソーに設けられ、且つ加工時のメインローラ
の軸方向の変位量を測定する変位検出手段を備えた変位
量測定装置において、変位検出手段を、位置変位抑制手
段を介して所定箇所に配設し、この位置変位抑制手段に
よって、メインローラから伝熱されることに起因する変
位検出手段の位置変位を抑制するようにした。
本発明は、請求項１において、メインローラ外周のワイ
ヤ溝に係合するワイヤを移動させてワークを加工するよ
うなワイヤソーに設けられ、且つ加工時のメインローラ
の軸方向の変位量を測定する変位検出手段を備えた変位
量測定装置において、変位検出手段を、位置変位抑制手
段を介して所定箇所に配設し、この位置変位抑制手段に
よって、メインローラから伝熱されることに起因する変
位検出手段の位置変位を抑制するようにした。
【０００８】そしてこの位置変位抑制手段によって、変
位検出手段の位置が変位するのを防止すれば、メインロ
ーラの絶対的な変位量を正確に測定出来る。ここで、位
置変位抑制手段は、例えば変位検出手段をメインローラ
から離れた部材に取付けることで伝熱を防止したり、ま
たは、変位検出手段に対する伝熱を熱遮断部材で遮った
り、または変位検出手段を支持する支持部材を熱的変位
を起こしにくい材料にしたり、またはこれらを併用する
等によって、変位検出手段が熱的位置変位を起こしにく
いように構成する。
位検出手段の位置が変位するのを防止すれば、メインロ
ーラの絶対的な変位量を正確に測定出来る。ここで、位
置変位抑制手段は、例えば変位検出手段をメインローラ
から離れた部材に取付けることで伝熱を防止したり、ま
たは、変位検出手段に対する伝熱を熱遮断部材で遮った
り、または変位検出手段を支持する支持部材を熱的変位
を起こしにくい材料にしたり、またはこれらを併用する
等によって、変位検出手段が熱的位置変位を起こしにく
いように構成する。
【０００９】また請求項２では、変位検出手段を非接触
変位センサとし、メインローラの軸方向端部に近接せし
めて配設するようにした。ここで、非接触センサとは、
例えば渦電流方式、又はレーザー方式等任意であるが、
このように非接触センサにすれば、メインローラの熱が
変位検出手段に伝達されるのが一層抑制され、絶対的変
位量をより正確に測定出来る。そしてこのセンサをメイ
ンローラの軸方向端部に近接せしめて変位量を測定す
る。
変位センサとし、メインローラの軸方向端部に近接せし
めて配設するようにした。ここで、非接触センサとは、
例えば渦電流方式、又はレーザー方式等任意であるが、
このように非接触センサにすれば、メインローラの熱が
変位検出手段に伝達されるのが一層抑制され、絶対的変
位量をより正確に測定出来る。そしてこのセンサをメイ
ンローラの軸方向端部に近接せしめて変位量を測定す
る。
【００１０】また請求項３では、位置変位抑制手段とし
て、変位検出手段を熱膨張の少ない材質の支持部材で支
持するか、または変位検出手段を支持する支持部材をメ
インローラに直結しない固定枠に取付けるか、またはこ
れらを併用することで構成した。
て、変位検出手段を熱膨張の少ない材質の支持部材で支
持するか、または変位検出手段を支持する支持部材をメ
インローラに直結しない固定枠に取付けるか、またはこ
れらを併用することで構成した。
【００１１】ここで、変位検出手段を支持する支持部材
の材質として、熱膨張の少ない材質にすれば、支持部材
に熱が伝達されても、変位検出手段の位置変位が生じに
くくなり、また、支持部材をメインローラに直結しない
固定枠に取付ければ、メインローラの熱が支持部材に伝
達されにくくなる。
の材質として、熱膨張の少ない材質にすれば、支持部材
に熱が伝達されても、変位検出手段の位置変位が生じに
くくなり、また、支持部材をメインローラに直結しない
固定枠に取付ければ、メインローラの熱が支持部材に伝
達されにくくなる。
【００１２】また請求項４では、前記支持部材を中空構
造とし、この中空内に冷却水を流通させるようにした。
そしてこの支持部材で変位検出手段を支持すれば、変位
検出手段の熱的位置変位を更に抑制することが出来、メ
インローラの変位量の測定が一層正確に行える。
造とし、この中空内に冷却水を流通させるようにした。
そしてこの支持部材で変位検出手段を支持すれば、変位
検出手段の熱的位置変位を更に抑制することが出来、メ
インローラの変位量の測定が一層正確に行える。
【００１３】また請求項５では、前記支持部材の平均熱
膨張係数を、０．２×１０-6／Ｋ以下とするようにし、
また請求項６では、メインローラに直結しない固定枠
を、ワイヤソーの本体フレーム、又はワイヤソーから独
立したフレームにするようにした。ここで、熱膨張の少
ない材質とは、例えばインバー（Ｎｉ３６％、Ｍｎ０．
３５％、微量炭素、Ｆｅ残部）のような低膨張合金等の
材料である。そしてこの支持部材を、ワイヤソーの本体
フレーム、又はワイヤソーから独立したフレームに取付
ければ、メインローラからの伝熱が抑制される。
膨張係数を、０．２×１０-6／Ｋ以下とするようにし、
また請求項６では、メインローラに直結しない固定枠
を、ワイヤソーの本体フレーム、又はワイヤソーから独
立したフレームにするようにした。ここで、熱膨張の少
ない材質とは、例えばインバー（Ｎｉ３６％、Ｍｎ０．
３５％、微量炭素、Ｆｅ残部）のような低膨張合金等の
材料である。そしてこの支持部材を、ワイヤソーの本体
フレーム、又はワイヤソーから独立したフレームに取付
ければ、メインローラからの伝熱が抑制される。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について添付
した図面に基づき説明する。ここで図１はワイヤソー装
置本体の要部斜視図、図２は本発明に係る変位量測定装
置の部分破断図である。
した図面に基づき説明する。ここで図１はワイヤソー装
置本体の要部斜視図、図２は本発明に係る変位量測定装
置の部分破断図である。
【００１５】本発明の変位量測定装置は、例えば単結晶
引上げ装置で引上げられたシリコン単結晶インゴットＷ
を所定厚みにスライス加工し、多数のウエーハ状素材に
同時に切出すようなマルチワイヤソー１において、ウエ
ーハ状素材の厚みを均一にし、また平坦度を良好に切出
すためメインローラの熱的伸びを一定にするための変位
量測定装置であり、まず図１に基づきマルチワイヤソー
１の概要から説明する。
引上げ装置で引上げられたシリコン単結晶インゴットＷ
を所定厚みにスライス加工し、多数のウエーハ状素材に
同時に切出すようなマルチワイヤソー１において、ウエ
ーハ状素材の厚みを均一にし、また平坦度を良好に切出
すためメインローラの熱的伸びを一定にするための変位
量測定装置であり、まず図１に基づきマルチワイヤソー
１の概要から説明する。
【００１６】実施形態のワイヤソー１は、三角形の頂点
に配設された３本のメインローラ２、…と、これらメイ
ンローラ２、…の外周部に螺旋状に何回も巻き付けられ
て平行な多数のワイヤ列を形成するワイヤ３と、上方の
２本のメインローラ２、２間の上方に配設されるワーク
ホルダ４と、下方のメインローラ２を回転駆動する駆動
モータ５を備え、前記ワークホルダ４は、単結晶インゴ
ットＷを保持して上下動し得るようにされている。
に配設された３本のメインローラ２、…と、これらメイ
ンローラ２、…の外周部に螺旋状に何回も巻き付けられ
て平行な多数のワイヤ列を形成するワイヤ３と、上方の
２本のメインローラ２、２間の上方に配設されるワーク
ホルダ４と、下方のメインローラ２を回転駆動する駆動
モータ５を備え、前記ワークホルダ４は、単結晶インゴ
ットＷを保持して上下動し得るようにされている。
【００１７】そして後述するように、メインローラ２の
周囲には、所定間隔置きに所定深さで切込まれたワイヤ
溝ｍ、…（図２）が刻設されており、前記ワイヤ３は、
このワイヤ溝ｍ、…に係合するとともに、例えば前記駆
動モータ５の正・逆回転の繰返しによって、往復動しな
がら所定速度で送られ、この時上方のメインローラ２、
２間のワイヤ列に向けてインゴットＷを押付けると同時
にスラリーノズル６、６から砥粒と研削液の混合液であ
るスラリーを供給することで、所定厚みの多数のウエー
ハ素材を同時に切出すようにしている。
周囲には、所定間隔置きに所定深さで切込まれたワイヤ
溝ｍ、…（図２）が刻設されており、前記ワイヤ３は、
このワイヤ溝ｍ、…に係合するとともに、例えば前記駆
動モータ５の正・逆回転の繰返しによって、往復動しな
がら所定速度で送られ、この時上方のメインローラ２、
２間のワイヤ列に向けてインゴットＷを押付けると同時
にスラリーノズル６、６から砥粒と研削液の混合液であ
るスラリーを供給することで、所定厚みの多数のウエー
ハ素材を同時に切出すようにしている。
【００１８】また、この上方のメインローラ２、２間の
加工部の下方には、スラリー溜り７を設けており、加工
に使用されたスラリーを受けるようにしている。
加工部の下方には、スラリー溜り７を設けており、加工
に使用されたスラリーを受けるようにしている。
【００１９】ここで、メインローラ２は、図２に示すよ
うに、ハウジング８の軸受部１０で軸支される鋼材等の
芯金１１と、この芯金１１の周囲に圧入された樹脂製等
の筒材１２を備えており、この筒材１２の外周には、所
定ピッチでワイヤ溝ｍ、…が刻設されるとともに、この
ワイヤ溝ｍ、…に前記ワイヤ３が係合している。
うに、ハウジング８の軸受部１０で軸支される鋼材等の
芯金１１と、この芯金１１の周囲に圧入された樹脂製等
の筒材１２を備えており、この筒材１２の外周には、所
定ピッチでワイヤ溝ｍ、…が刻設されるとともに、この
ワイヤ溝ｍ、…に前記ワイヤ３が係合している。
【００２０】そして、前記軸受部１０には、冷却水通路
１３を通して冷却水が導かれるようにされ、この冷却水
通路１３には冷却水の流通を制御する制御バルブ１４が
設けられている。
１３を通して冷却水が導かれるようにされ、この冷却水
通路１３には冷却水の流通を制御する制御バルブ１４が
設けられている。
【００２１】また、前記筒材１２の端部には、金属製リ
ング状の測定板１５が取付けられており、この測定板１
５に近接して、本発明の変位測定装置に係る変位測定手
段としての非接触変位センサ１６が配設され、この非接
触変位センサ１６は、位置変位抑制手段の一部としての
膨張係数の低い支持部材１７にセンサ取付金具１８で取
付けられている。
ング状の測定板１５が取付けられており、この測定板１
５に近接して、本発明の変位測定装置に係る変位測定手
段としての非接触変位センサ１６が配設され、この非接
触変位センサ１６は、位置変位抑制手段の一部としての
膨張係数の低い支持部材１７にセンサ取付金具１８で取
付けられている。
【００２２】そしてこの非接触変位センサ１６は、実施
形態では渦電流方式として、測定板１５までの距離を測
定することで、メインローラ２の軸方向の変位を検出出
来るようにしているが、レーザー方式のセンサ等を使用
しても良い。
形態では渦電流方式として、測定板１５までの距離を測
定することで、メインローラ２の軸方向の変位を検出出
来るようにしているが、レーザー方式のセンサ等を使用
しても良い。
【００２３】また前記支持部材１７は、実施形態ではイ
ンバーのような低膨張合金材料をローラ軸と平行に配設
しており、熱を受けても非接触変位センサ１６の位置が
軸方向に変位しにくいようにするとともに、この支持部
材１７は、メインローラ２に直結していないワイヤソー
の本体フレーム２０に取付けることで、メインローラ２
の熱が伝達されにくいようにしている。因みに、この支
持部材１７は、ワイヤソーとは独立して専用に設けたフ
レームに取付けるようにしても良い。
ンバーのような低膨張合金材料をローラ軸と平行に配設
しており、熱を受けても非接触変位センサ１６の位置が
軸方向に変位しにくいようにするとともに、この支持部
材１７は、メインローラ２に直結していないワイヤソー
の本体フレーム２０に取付けることで、メインローラ２
の熱が伝達されにくいようにしている。因みに、この支
持部材１７は、ワイヤソーとは独立して専用に設けたフ
レームに取付けるようにしても良い。
【００２４】尚、この支持部材１７は、熱による伸びの
影響が少ないほど好ましく、例えば平均熱膨張係数が
０．２×１０-6／Ｋ程度以下のものが適用出来る。
影響が少ないほど好ましく、例えば平均熱膨張係数が
０．２×１０-6／Ｋ程度以下のものが適用出来る。
【００２５】以上のように構成した変位量測定装置にお
いて、図１に示す駆動モータ５を正・逆回転させること
でワイヤ３を往復動させながら所定の送り速度で移動さ
せ、スラリーノズル６、６からスラリーを供給しつつワ
イヤ３にインゴットＷを押し付けて加工すると、軸受部
１０の発熱及びワイヤ３による切断時の摩擦熱の伝熱等
によってメインローラ２が熱変位を起こす。
いて、図１に示す駆動モータ５を正・逆回転させること
でワイヤ３を往復動させながら所定の送り速度で移動さ
せ、スラリーノズル６、６からスラリーを供給しつつワ
イヤ３にインゴットＷを押し付けて加工すると、軸受部
１０の発熱及びワイヤ３による切断時の摩擦熱の伝熱等
によってメインローラ２が熱変位を起こす。
【００２６】この時、特にメインローラ２の軸方向の伸
びは、ワイヤ溝ｍ間隔の変位となって、切出すウエーハ
素材の厚み、平坦度等の加工精度に直結するため、この
軸方向の変位量を正確に測定し、それに基づく制御を精
密に行う必要があるが、本発明の変位量測定装置は、非
接触変位センサ１６が熱膨張の少ない支持部材１７に支
持されているため、支持部材１７の熱変位に起因する非
接触変位センサ１６の位置変位が生じにくく、また、支
持部材１７自体がメインローラ２から伝熱されにくい本
体フレーム２０に取付けられているため、メインローラ
２の絶対的な変位量を正確に測定することが出来る。
びは、ワイヤ溝ｍ間隔の変位となって、切出すウエーハ
素材の厚み、平坦度等の加工精度に直結するため、この
軸方向の変位量を正確に測定し、それに基づく制御を精
密に行う必要があるが、本発明の変位量測定装置は、非
接触変位センサ１６が熱膨張の少ない支持部材１７に支
持されているため、支持部材１７の熱変位に起因する非
接触変位センサ１６の位置変位が生じにくく、また、支
持部材１７自体がメインローラ２から伝熱されにくい本
体フレーム２０に取付けられているため、メインローラ
２の絶対的な変位量を正確に測定することが出来る。
【００２７】そしてこの正確な測定値に基づいて冷却水
通路１３の制御バルブ１４を制御し、軸受部１０を冷却
することで各メインローラ２、…の軸方向の変位を一定
にすれば、ウエーハ素材の厚みを均一にして切出すこと
が出来るとともに、平坦度が良好となり、うねり等の不
具合を抑制出来る。
通路１３の制御バルブ１４を制御し、軸受部１０を冷却
することで各メインローラ２、…の軸方向の変位を一定
にすれば、ウエーハ素材の厚みを均一にして切出すこと
が出来るとともに、平坦度が良好となり、うねり等の不
具合を抑制出来る。
【００２８】尚、従来の変位量測定装置で測定した変位
量に基づいて制御しつつ、円柱状の半導体シリコンイン
ゴットをウエーハにスライスした場合の加工精度（平坦
度）は、直径８インチウエーハで２５μｍ程度、直径１
２インチウエーハで３０μｍ程度であったが、本発明の
変位量測定装置で測定した変位量に基づいて制御しつつ
スライスした場合の加工精度（平坦度）は、従来に較べ
て平均で３〜５μｍ向上し、その有効性が立証された。
量に基づいて制御しつつ、円柱状の半導体シリコンイン
ゴットをウエーハにスライスした場合の加工精度（平坦
度）は、直径８インチウエーハで２５μｍ程度、直径１
２インチウエーハで３０μｍ程度であったが、本発明の
変位量測定装置で測定した変位量に基づいて制御しつつ
スライスした場合の加工精度（平坦度）は、従来に較べ
て平均で３〜５μｍ向上し、その有効性が立証された。
【００２９】ところで、以上のような支持部材１７を中
空構造とし、中空内に冷却水を流通させるようにすれ
ば、支持部材１７の熱変位を一層抑制することが出来、
更に正確に測定することが出来る。そしてこのような冷
却水は、前記軸受部１０の冷却水通路１３に流通させる
冷却水と共用するようにしても良く、別個に構成しても
良い。
空構造とし、中空内に冷却水を流通させるようにすれ
ば、支持部材１７の熱変位を一層抑制することが出来、
更に正確に測定することが出来る。そしてこのような冷
却水は、前記軸受部１０の冷却水通路１３に流通させる
冷却水と共用するようにしても良く、別個に構成しても
良い。
【００３０】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。例
えば支持部材１７を低膨張素材にすることと、支持部材
１７を本体フレーム２に取付ける構成は、それぞれ別個
に構成しても良く、また、位置変位抑制手段として、そ
の他の伝熱遮断部材等を用いるようにしても良い。
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。例
えば支持部材１７を低膨張素材にすることと、支持部材
１７を本体フレーム２に取付ける構成は、それぞれ別個
に構成しても良く、また、位置変位抑制手段として、そ
の他の伝熱遮断部材等を用いるようにしても良い。
【００３１】
【発明の効果】以上のように本発明の変位量測定装置
は、請求項１のように、メインローラの軸方向の変位量
を測定する変位検出手段を配設するにあたり、メインロ
ーラから伝熱されることに起因する変位検出手段の位置
変位を抑制する位置変位抑制手段を介して配設するよう
にしたため、メインローラの絶対的な変位量を正確に測
定出来、この測定値に基づいた制御による加工の精度が
向上する。また請求項２のように、変位検出手段を非接
触変位センサとし、メインローラの軸方向端部に近接せ
しめて配設すれば、メインローラの熱が変位検出手段に
伝達されるのが一層抑制され、絶対的変位量を更に正確
に測定出来る。
は、請求項１のように、メインローラの軸方向の変位量
を測定する変位検出手段を配設するにあたり、メインロ
ーラから伝熱されることに起因する変位検出手段の位置
変位を抑制する位置変位抑制手段を介して配設するよう
にしたため、メインローラの絶対的な変位量を正確に測
定出来、この測定値に基づいた制御による加工の精度が
向上する。また請求項２のように、変位検出手段を非接
触変位センサとし、メインローラの軸方向端部に近接せ
しめて配設すれば、メインローラの熱が変位検出手段に
伝達されるのが一層抑制され、絶対的変位量を更に正確
に測定出来る。
【００３２】また請求項３のように、変位検出手段を熱
膨張の少ない材質の支持部材で支持するか、または支持
部材をメインローラに直結しない固定枠に取付けるか、
またはこれらを併用して位置変位抑制手段を構成すれ
ば、変位検出手段の熱的位置変位を抑制出来るととも
に、メインローラからの伝熱も一層抑制され、更に請求
項４にように、支持部材を中空構造として、中空内に冷
却水を流通させれば、変位検出手段の熱的位置変位を更
に抑制することが出来、メインローラの変位量の測定が
一層正確に行える。そして熱膨張の少ない材質の支持部
材として、請求項５のように所定の平均熱膨張係数以下
のものにし、また請求項６のように、支持部材をワイヤ
ソーの本体フレーム等に取付ければ好適である。
膨張の少ない材質の支持部材で支持するか、または支持
部材をメインローラに直結しない固定枠に取付けるか、
またはこれらを併用して位置変位抑制手段を構成すれ
ば、変位検出手段の熱的位置変位を抑制出来るととも
に、メインローラからの伝熱も一層抑制され、更に請求
項４にように、支持部材を中空構造として、中空内に冷
却水を流通させれば、変位検出手段の熱的位置変位を更
に抑制することが出来、メインローラの変位量の測定が
一層正確に行える。そして熱膨張の少ない材質の支持部
材として、請求項５のように所定の平均熱膨張係数以下
のものにし、また請求項６のように、支持部材をワイヤ
ソーの本体フレーム等に取付ければ好適である。
【図１】ワイヤソー装置本体の要部斜視図である。
【図２】本発明に係る変位量測定装置の部分破断図であ
る。
る。
【図３】従来の変位量測定装置の部分破断図である。
１…ワイヤソー装置、 ２…メインロー
ラ、３…ワイヤ、 ４…ワーク
ホルダ、５…駆動モータ、 ６…ス
ラリーノズル、７…スラリー溜り、
８…ハウジング、１０…軸受部、
１１…芯金、１２…筒材、
１３…冷却水通路、１４…制御バルブ、
１５…測定板、１６…非接触変位センサ、
１７…支持部材、１８…センサ取付金具、
２０…本体フレーム、５１…メインローラ、
５２…芯金、５３…筒材、
５４…軸受部、５５…ハウジング、
５６…非接触変位計、５７…測定板、
５８…冷却水通路、６０…ワイヤ、
６１…制御バルブ、ｍ…ワイヤ
溝、 Ｗ…インゴット。
ラ、３…ワイヤ、 ４…ワーク
ホルダ、５…駆動モータ、 ６…ス
ラリーノズル、７…スラリー溜り、
８…ハウジング、１０…軸受部、
１１…芯金、１２…筒材、
１３…冷却水通路、１４…制御バルブ、
１５…測定板、１６…非接触変位センサ、
１７…支持部材、１８…センサ取付金具、
２０…本体フレーム、５１…メインローラ、
５２…芯金、５３…筒材、
５４…軸受部、５５…ハウジング、
５６…非接触変位計、５７…測定板、
５８…冷却水通路、６０…ワイヤ、
６１…制御バルブ、ｍ…ワイヤ
溝、 Ｗ…インゴット。
Claims (6)
- 【請求項１】 メインローラ外周のワイヤ溝に係合する
ワイヤを移動させてワークを加工するようなワイヤソー
に設けられ、且つ加工時のメインローラの軸方向の変位
量を測定する変位検出手段を備えた変位量測定装置であ
って、前記変位検出手段は、前記ローラから伝熱される
ことに起因する位置変位を抑制する位置変位抑制手段を
介して所定箇所に配設されることを特徴とするワイヤソ
ー用ローラの変位量測定装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の変位量測定装置におい
て、前記変位検出手段を非接触変位センサとし、前記メ
インローラの軸方向端部に近接せしめて配設することを
特徴とするワイヤソー用ローラの変位量測定装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のワイヤソ
ー用ローラの変位量測定装置において、前記位置変位抑
制手段は、前記変位検出手段を熱膨張の少ない材質の支
持部材で支持するか、または変位検出手段を支持する支
持部材を、前記メインローラに直結しない固定枠に取付
けるか、またはこれらを併用することで構成することを
特徴とするワイヤソー用ローラの変位量測定装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載のワイヤソー用ローラの
変位量測定装置において、前記支持部材を中空構造と
し、この中空内に冷却水を流通させることを特徴とする
ワイヤソー用ローラの変位量測定装置。 - 【請求項５】 請求項３又は請求項４に記載のワイヤソ
ー用ローラの変位量測定装置において、前記支持部材の
平均熱膨張係数を、０．２×１０-6／Ｋ以下とすること
を特徴とするワイヤソー用ローラの変位量測定装置。 - 【請求項６】 請求項３乃至請求項５のいずれか１項に
記載のワイヤソー用ローラの変位量測定装置において、
前記メインローラに直結しない固定枠を、ワイヤソーの
本体フレーム、又はワイヤソーから独立したフレームに
することを特徴とするワイヤソー用ローラの変位量測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34250496A JPH10166354A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | ワイヤソー用ローラの変位量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34250496A JPH10166354A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | ワイヤソー用ローラの変位量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166354A true JPH10166354A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18354266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34250496A Pending JPH10166354A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | ワイヤソー用ローラの変位量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10166354A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010260130A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | ワイヤ鋸装置およびワイヤ鋸装置でワークを切削する方法 |
| DE102011005948A1 (de) | 2011-03-23 | 2012-09-27 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| JP2016064460A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置 |
| EP3587013A1 (en) * | 2018-06-21 | 2020-01-01 | Meyer Burger AG | Wire saw and method of determining a motion characteristic of a wire deflection pulley of a wire saw |
| KR102560722B1 (ko) * | 2022-06-08 | 2023-07-28 | 시냅스이미징(주) | 검사 롤러를 구비하는 기판검사장치 |
| KR102560720B1 (ko) * | 2022-06-08 | 2023-07-28 | 시냅스이미징(주) | 다수의 검사 유닛을 포함하는 기판검사장치 |
-
1996
- 1996-12-06 JP JP34250496A patent/JPH10166354A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010260130A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | ワイヤ鋸装置およびワイヤ鋸装置でワークを切削する方法 |
| DE102011005948A1 (de) | 2011-03-23 | 2012-09-27 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| DE102011005948B4 (de) * | 2011-03-23 | 2012-10-31 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| US8746227B2 (en) | 2011-03-23 | 2014-06-10 | Siltronic Ag | Method for slicing wafers from a workpiece |
| KR101423184B1 (ko) * | 2011-03-23 | 2014-07-25 | 실트로닉 아게 | 작업편으로부터 웨이퍼를 슬라이싱하는 방법 |
| TWI450807B (zh) * | 2011-03-23 | 2014-09-01 | Siltronic Ag | 由工件切分晶圓的方法 |
| JP2016064460A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置 |
| EP3587013A1 (en) * | 2018-06-21 | 2020-01-01 | Meyer Burger AG | Wire saw and method of determining a motion characteristic of a wire deflection pulley of a wire saw |
| KR102560722B1 (ko) * | 2022-06-08 | 2023-07-28 | 시냅스이미징(주) | 검사 롤러를 구비하는 기판검사장치 |
| KR102560720B1 (ko) * | 2022-06-08 | 2023-07-28 | 시냅스이미징(주) | 다수의 검사 유닛을 포함하는 기판검사장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040903 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20041115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050427 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050719 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |