JP2020124778A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- ベース部材と、
前記ベース部材に移動自在に設けられた移動部材と、
前記移動部材に支持されたスピンドルモータであって、前記移動部材の移動方向にスピンドルを有し、前記スピンドルに加工手段が取り付けられるスピンドルモータと、
前記移動方向に沿って設けられたリニアスケールと、
前記移動部材と共に移動し、前記リニアスケールの値を読み取る検出器と、
一端部が前記移動部材に固定され、且つ他端部に前記検出器が固定され、前記一端部を第1基準位置として前記移動方向に熱膨張可能な熱膨張部材と、
同一の冷却液で前記スピンドルと前記熱膨張部材とを冷却する冷却系と、
を備える、加工装置。 - 前記熱膨張部材は、前記移動方向を長手方向とする細長状の部材で構成される、
請求項1に記載の加工装置。 - 前記熱膨張部材の前記移動方向の長さは、前記スピンドルの熱膨張量に基づいて選定される、
請求項1又は2に記載の加工装置。 - 前記熱膨張部材の材質は、前記スピンドルの熱膨張量に基づいて選定される、
請求項1又は2に記載の加工装置。 - 前記熱膨張部材は、前記第1基準位置から前記検出器の固定位置までの単位温度当たりの熱膨張量が、前記スピンドルにおける第2基準位置から前記加工手段の取付位置までの単位温度当たりの熱膨張量と同等又は近似するように構成される、
請求項3又は4に記載の加工装置。 - 前記加工手段は、ワークを研削加工するブレードである、
請求項1から5のいずれか1項に記載の加工装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173147A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-30 | Disco Abrasive Sys Ltd | 温度変化に起因する誤差が低減された精密装置 |
JPH11291142A (ja) * | 1998-04-13 | 1999-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドル温度制御装置及びダイシング装置 |
JP2002141307A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシングマシン |
JP2015128122A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-07-09 | Towa株式会社 | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173147A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-30 | Disco Abrasive Sys Ltd | 温度変化に起因する誤差が低減された精密装置 |
JPH11291142A (ja) * | 1998-04-13 | 1999-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドル温度制御装置及びダイシング装置 |
JP2002141307A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシングマシン |
JP2015128122A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-07-09 | Towa株式会社 | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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