JP2000141220A - ワイヤソーのワークプレート温度制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】加工によるワークプレートの熱変形を抑制し、
高精度な切断を行う。 【解決手段】走行するワイヤ１４を複数個の溝付ローラ
１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、に巻き掛けてワイヤ列２０を
形成し、該ワイヤ列２０に加工液５２を供給しながらイ
ンゴット３２を押し当てることにより該インゴット３２
を多数のウェーハに切断するワイヤソー１０において、
インゴット３２を取付けて保持するワークプレート４２
に冷却媒体を流す流路６０を設けたので、切断したイン
ゴット３２の反りを抑制し、高精度な切断が可能とな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワーク
プレート温度制御装置に係り、特にシリコン、ガラス、
セラミックス等の脆性材料を切断するワイヤソーの被加
工物を保持するワークプレートに関する。

【０００２】

【従来の技術】被加工物を保持するワークプレートは、
被加工物切断中に、走行するワイヤと被加工物との摩擦
による発熱等の影響を受けて温度上昇する。ワークプレ
ートが温度上昇すると、前記ワークプレートが膨張して
熱変形するので、加工するに従って前記ワークプレート
に保持した被加工物も変形するため、切断精度が低下し
てしまう。例えば、ワークプレートが撓んで被加工物の
切断面に角度誤差が生じたり、ワークプレートが伸長し
て被加工物にうねりや反りが生じたりする。このため、
良好なウェーハを安価で得るためにはワークプレートの
温度上昇に伴う熱変形を防止する必要がある。

【０００３】ワークプレートの熱変形を間接的に防止す
る方法としては、特開平５−３３７９０１の公報に示さ
れているように、加工熱によりワークプレートを搭載す
るフレーム支持体の変形量を検出して、該フレームを直
接温度制御する方法が知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーでは、切断したウェーハの切り終わり部分に
特に大きな反りを生じるという欠点があった。これは、
被加工物を切断した際に被加工物に生じた加工熱によっ
てワークプレートが温度上昇して熱膨張してくるため
に、この熱膨張の影響を受けてワイヤと被加工物の相対
位置が被加工物の切り終わり部において特に大きく変化
するためである。前記のとおり、走行するワイヤで被加
工物を切断すると、ワイヤと被加工物との間には摩擦熱
が生じ、被加工物は温度上昇する。被加工物は通常シリ
コン等の比較的線膨張率の低い材料で形成されているの
で、温度上昇してもそれほど大きく熱膨張することはな
い。ところが、前記摩擦熱がスライスベースを介してワ
ークプレートに伝達すると、炭素鋼等の線膨張率の大き
い材料で形成されたワークプレートは温度上昇して大き
く熱膨張する。そして、このワークプレートの熱膨張に
よって、被加工物の切り終わり部では特に大きな被加工
物の伸長が生じる。これにより、被加工物の切断の開始
時と終了時では、被加工物の軸線方向においてワイヤと
被加工物の相対位置が変化するため、切断したウェーハ
に反りを生じる。

【０００５】また、ワークプレートを直接温度制御する
のではなく従来のようにワークプレート保持部自体を温
度制御する方法では、近年著しく大型化している被加工
物に対応したワークプレートの熱変形が無視できないこ
とに加えて、制御の時間遅れが大きいという問題が発生
しており、高精度な切断面が得られない。本発明は、こ
のような事情に鑑みてなされたもので、切断した被加工
物の反りを抑制し、高精度な切断が可能なワイヤソーの
ワークプレート温度制御装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加工液を供給し
ながら被加工物を押し当てることにより該被加工物を多
数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、被加工物
を取付けて保持するワークプレートに冷却媒体を流す流
路を設けたことを特徴としている。

【０００７】本発明によれば、ワイヤソーにおいて、被
加工物を取付けて保持するワークプレートに冷却媒体を
流す流路を設けたので、切断した被加工物の反りを抑制
し、高精度な切断が可能となる。また前記目的を達成す
るために請求項２に記載の発明は、前記ワイヤソーに冷
却媒体を供給する冷却媒体供給手段と、前記ワークプレ
ートの付近の温度を検出する温度検出手段と、前記温度
検出手段から得られた温度情報に応じて前記ワークプレ
ートの流路に流す前記冷却媒体の温度を調節する温調装
置とを設けたことを特徴としている。

【０００８】請求項２に記載の発明によれば、ワークプ
レートの付近の温度を検出する温度検出手段と、前記冷
却媒体の温度を調節する温調装置とを設けたので切断し
た被加工物の反りを抑制し、高精度な切断が可能とな
る。また前記目的を達成するために請求項３に記載の発
明は、前記ワークプレートの前記流路内に圧縮空気を供
給する給気手段と、前記給気手段からの圧縮空気の供給
及び停止を切り替える弁とを備えたことを特徴としてい
る。

【０００９】請求項３に記載の発明によれば、前記ワー
クプレートの前記流路内に圧縮空気を自在に供給するよ
うにしたので、ワークプレートの交換作業が容易とな
る。また前記目的を達成するために請求項４に記載の発
明は、前記ワイヤソーにおいて被加工物を取付けて保持
するワークプレートに温度調節された加工液を流下させ
るノズルを設けたことを特徴としている。

【００１０】請求項４に記載の発明によれば、被加工物
を取付けて保持するワークプレートに温度調節された加
工液を流下させるようにしたので、簡単な装置の構成で
ありながら切断した被加工物の反りを抑制することがで
きる。また前記目的を達成するために請求項５に記載の
発明は、前記ワイヤソーにおいて、冷却媒体を流す流路
を設けたプレッシャープレートを備え、被加工物を取付
けて保持するワークプレートに前記プレッシャープレー
トを密着することを特徴としている。

【００１１】請求項５に記載の発明によれば、冷却媒体
を流す流路を設けたプレッシャープレートを備え、被加
工物を取付けて保持するワークプレートに前記プレッシ
ャープレートを密着するようにしたので、切断した被加
工物の反りを抑制し、高精度な切断が可能となるととも
に被加工物の交換作業が容易に可能となる。また前記目
的を達成するために請求項６に記載の発明は、前記プレ
ッシャープレートをワークプレート交換時に前記ワーク
プレートから離れる構造にしたことを特徴としている。

【００１２】請求項６に記載の発明によれば、請求項５
に記載の発明に加えて前記プレッシャープレートをワー
クプレート交換時に前記ワークプレートから離れる構造
にしたので、さらに被加工物の交換作業が容易になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワークプレートの好ましい実施の形態に
ついて詳説する。図１は、ワイヤソー１０の全体構成を
示す斜視図である。同図に示すように、ワイヤリール１
２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、
１６、…で形成されるワイヤ走行路を経て３本の溝付ロ
ーラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワ
イヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ
１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他
方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに巻
き取られる。

【００１４】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチで案内する。また、ダ
ンサローラ２４には、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、走行
するワイヤ１４に洗浄液を噴射してワイヤ１４に付着し
た加工液５２をワイヤ１４から除去する。

【００１５】前記一対のワイヤリール１２及び溝付ロー
ラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモータ
を駆動することにより、一対のワイヤリール１２間を高
速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２８が設置されている。ワークフィードテーブル
２８にはチルチングユニット３０が備えられており、イ
ンゴット３２は、このチルチングユニット３０の下部に
ワークプレート４２（図２参照）を介して保持される。
チルチングユニット３０は、インゴット３２を水平方向
及び垂直方向に傾斜自在に保持し、これにより、インゴ
ット３２の結晶方位合わせがなされる。

【００１６】ワークプレート４２の構成については後に
詳説する。ワイヤソー１０は以上のように構成され、次
のようにしてインゴット３２を切断する。まず、ワーク
プレート４２を介してインゴット３２をチルチングユニ
ット３０のワーク保持部に装着する。次いで、そのチル
チングユニット３０を用いてインゴット３２の結晶方位
合わせを行う。

【００１７】次に、モータ（図示せず）を駆動してワイ
ヤリール１２及び溝付ローラ１８Ｃを高速回転させ、ワ
イヤ１４を高速走行させる。そして、そのワイヤ１４の
走行が安定したところで、ワークフィードテーブル２８
を下降させ、高速走行するワイヤ列２０にインゴット３
２を押し当てる。この際、ワイヤ列２０とインゴット３
２との接触部には図示しないノズル５０から加工液５２
が供給され、インゴット３２は多数枚のウェーハに切断
される。遊離砥粒式のワイヤソーの場合には、加工液５
２に砥粒が含まれていて、この砥粒のラッピング作用で
被加工物は切断される。また、固定砥粒式のワイヤソー
の場合には、ワイヤ自体に砥粒が固着されており、この
砥粒の働きによって被加工物は切断される。固定砥粒式
のワイヤソーの加工液には砥粒は含まれていないが、加
工を効率よく行う目的で、主に水溶性の加工液が用いら
れる。

【００１８】なお、インゴット３２の加工に供した加工
液５２は、ワイヤ列２０の下方位置に設置されたオイル
パン３６を介して回収され、循環供給される。この際、
加工液５２は加工時に発生する熱を吸熱して温度上昇す
るので、回収した加工液５２は、熱交換機３８に循環さ
れて一定温度に冷却される。次に、本発明に係るワーク
プレート４２の構造について詳説する。

【００１９】図２は、本発明に係る、被加工物を切断中
の状態におけるワークプレート４２の構成を示す正面図
である。同図に示すように、ワークプレート４２は、略
矩形状に形成され、下面にスライスベース４６を介して
インゴット３２が接着される。ワークプレート４２は、
その両端部をチルチングユニット３０のワーク保持部で
あるワークホルダ４４とシリンダロッド４８とで挟持す
ることにより、チルチングユニット３０に保持され螺合
される。ワイヤ１４は図２紙面の表裏方向に走行してお
り、インゴット３２を薄板のウェーハ状に切断してい
る。ワークプレート４２には冷却媒体が流れる流路６０
が形成されており、温調装置６２によって温度を調節さ
れた冷却媒体が流れている。温調装置６２で温度を調節
された冷却媒体は、適当な配管系を通り逆止弁６３を通
り、カプラー等の継手６４を通り、ワークホルダ４４の
内部を通過した後にワークプレート４２の内部の流路６
０を通過してワークプレート４２の温度を制御する働き
をする。ワークプレート４２の温度を制御した冷却媒体
は、ワークホルダ４４を通過したのちにカプラー等の継
手６４を通り、適当な配管系を通り、温調装置６２に戻
る。ワークプレート４２はインゴット３２を交換すると
きにワークホルダ４４から外すので、その交換作業を容
易にするために上述で説明したとおり冷却媒体は、ワー
クホルダ４４を介してワークプレート４２に供給される
構造になっている。もしワークプレート４２に直接継手
６４が付いている構造であると、インゴット３２を交換
する毎に継手６４から配管系を切り離す作業が必要にな
る。しかし、図２に示すように冷却媒体をワークホルダ
４４を介して供給する構造とすることにより、インゴッ
ト３２を交換する場合に配管系の切り離す作業が不要に
なる。なお、ワークプレート４２とワークホルダ４４と
の接合部には、冷却媒体が漏れないようにパッキン６６
が設けられている。

【００２０】インゴット３２の交換時にワークプレート
４２をワークホルダ４４から取り外すと、温調装置６２
を停止させておいても流路６０の内部に溜まっている冷
却媒体が流出してくる。本発明によれば、この冷却媒体
の流出を防ぐために流路６０の内部に圧縮空気８０を流
して冷却媒体を排出するようにした。切断加工が終了す
ると制御装置７２からの指令によって温調装置６２が冷
却媒体の供給を停止するとともに、制御装置７２は電磁
弁８２に対して圧縮空気８０を流路６０に流す指令を出
す。すると圧縮空気８０は電磁弁８２を通過し、絞り８
４で流量を制御された後に冷却媒体が逆流しないために
設けられている逆止弁８６を通って継手６４を通った後
に流路６０へ充満する。このとき圧縮空気８０は流路６
０内に存在していた冷却媒体を流路６０から押し出すの
で、後の工程でワークプレート４２を取り外しても冷却
媒体が漏れ出すことはない。温調装置６２から継手６４
に至る冷却媒体の供給配管系には逆止弁６３が設けられ
ているので、圧縮空気８０は温調装置６２の方向に流れ
てゆくことはなく、確実に流路６０内の冷却媒体を排出
することができる。なお、圧縮空気８０を流入する代わ
りに、冷却媒体を負圧により吸引しても目的は達成され
る。

【００２１】ワークプレート４２の温度は温度検出手段
６８で測定されている。温度検出手段６８の温度情報
は、温度検出手段６８のコネクタ７０と中継ボックス７
１を経由して制御装置７２に送られる。前述したよう
に、切断中のワークプレート４２は、走行するワイヤ１
４とインゴット３２との摩擦による発熱等によって温度
上昇して高温になるので、冷却媒体をワークプレート４
２内部に流すことにより該ワークプレート４２を冷却
し、ワークプレート４２とインゴット３２の熱変形を防
ぐ。これによりインゴット３２の切断精度を向上するこ
とができる。なお、近年ではインゴット３２の直径が大
きくなっているために、インゴット３２の切断位置によ
って図３に示す切断長Ｌが大きく異なっているので、イ
ンゴット３２の切断位置によって発生する発熱量も大き
く異なり、切断位置によってインゴット３２の熱による
変形量が大きく異なるので、切断面のうねりが多いウェ
ーハになってしまう。更に、近年のメモリ素子等の半導
体は集積度が飛躍的に上がっており、この集積度の向上
に伴ってパターンルールの微細化が進んでいるので、以
前にも増してウェーハ表面の粗さやうねりに対しては高
精度な平面度が要求されている。本発明はこのような状
況に対応して、被加工物の切断面を高精度に仕上げるこ
とが可能となっている。もし、切断加工による発熱によ
って切断加工中に、炭素鋼（線膨張係数ａ＝１１．８Ｅ
−６とする）等で形成されているワークプレート４２
（全長Ｌｉ＝３００ｍｍとする ）が室温よりｄＴ＝１
０°Ｃ温度が上昇した場合における、ワークプレート４
２の伸びｄＬを算出してみると、伸びは、ｄＬ＝ａ×ｄ
Ｔ×Ｌｉ（ｍｍ）で表され、数値を代入すると、ｄＬ＝
０．０３５４（ｍｍ）となり、切断面に要求されるウェ
ーハのうねり量の許容値を３倍以上越えてしまってい
る。ワークプレート４２の熱変形によって切断面のうね
りが悪化する影響を特に受けやすいウェーハは、一般に
図２に示すインゴット３２の軸方向の両端にあるウェー
ハ３３、３３である。

【００２２】冷却媒体の温度は、温度検出手段６８の温
度情報と、入力部７３から入力されたワークプレート４
２の温度設定値に従って制御装置７２から温調装置６２
に対して指令が出されて温度制御されている。温度制御
の方法は、ＯＮ−ＯＦＦを繰り返す制御でもよいし、比
例制御、比例積分制御等の制御手段を用いた制御方法で
もよい。温度検出手段６８で測定した温度は表示部７４
で表示可能となっており、必要に応じて作業者が観測で
きるようになっている。もし測定した温度が通常の使用
状態の範囲外で、被加工物の切断精度に影響を及ぼす可
能性がある異常な場合には、制御装置７２が表示部７４
に警告を表示して作業者に知らせる。前記温度検出手段
６８はワークプレート４２に取り付けられていてもよい
し、ワークホルダ４４に取り付けられていてもよい。も
し、ワークプレート４２に温度検出手段６８が取り付け
られている場合には、インゴット３２の交換時において
温度検出手段６８がワークプレート４２から容易に取り
外し、取付けが可能な構造にするか、または温度検出手
段６８はワークプレート４２に付けっぱなしにしてお
き、コネクタ７０の部分から容易に脱着可能な構造とす
る。また図２では温度検出手段６８はワークプレート４
２またはワークホルダ４４に取り付けた例で示してある
が、本発明はこれに限定されるものではなく、冷却媒体
の流路中に設けて冷却媒体の温度を測定しても良いし、
スライスベース４６に取り付けてスライスベースの温度
を測定しても目的は達成される。

【００２３】なお、上述のようにワークプレート４２を
冷却すると、ワークホルダ４４との熱変形の変位量がそ
れぞれ異なってくるので、ワークホルダ４４はその変位
量の差を吸収できる構造にしておく。図３に他の発明の
実施の形態を示す。同図は、被加工物を切断中のワイヤ
ソーの断面図を示している。往復走行しているワイヤ１
４は、ノズル５０、５０から被加工物に向かって噴射さ
れている加工液５２、５２を含んでインゴット３２を切
断している。切断に使用された加工液５２の温度も切断
時の発熱により温度上昇するが、図示しない加工液温調
装置によって温度調節されている。水性の加工液５２の
場合には水分の蒸発を防ぐ目的から水温は室温程度に調
節されている。油性の加工液５２の場合には室温に対し
て５°Ｃ程度高い加工液温度に設定してインゴット３２
に噴射しているため、切断加工が開始されるとインゴッ
ト３２は熱変形を生じるが、通常使用されるシリコン製
のインゴット３２の場合は線膨張係数が２．６Ｅ−６
と、小さい値であるので切断精度には影響しない。とこ
ろが切断加工が終了に近づくと、ノズル５０、５０から
噴射された加工液５２、５２が線膨張係数の大きいワー
クプレート４２にかかってしまい、ワークプレート４２
の温度が上昇して熱変形を生じ、インゴット３２もワー
クプレート４２に倣って変形を生じるために切断面の精
度が悪化する。本発明によれば、前記現象による切断面
の精度の悪化を防ぐために遮蔽板９０、９０を設けた。
この遮蔽板９０、９０は加工液５２、５２の進入を防ぐ
のでワークプレート４２は冷却媒体によって適切に温度
管理され、被加工物切断面の精度は維持される。図３の
例では、遮蔽板９０、９０はワークホルダ４４に螺子９
２、９２…により螺合されている。

【００２４】図４に、本発明に係る前記遮蔽板９０、９
０の変形例を示す。同図は、被加工物を切断中のワイヤ
ソーの断面図を示している。図４に示される実施の形態
では、遮蔽板９４、９４を、断熱材９６、９６を介して
ワークプレート４２に固定した例を示している。図４に
示す方法によれば、図３に示した方法による効果に加え
て、インゴット３２の交換時にも遮蔽板９４、９４を取
り外さなくても良いという利点がある。遮蔽板９４、９
４には加工液５２、５２がかかり温度が上昇するが、断
熱材９６、９６は熱を伝えないので、ワークプレート４
２は冷却媒体によって適切に温度管理され、被加工物切
断面の精度は維持される。

【００２５】図５に他の発明の実施の形態を示す。同図
は、被加工物を切断中のワイヤソーの側面の断面図を示
している。往復走行しているワイヤ１４は、ノズル５
０、５０から被加工物に向かって噴射されている加工液
５２、５２を含んでインゴット３２を切断している。切
断に使用された加工液５２の温度も切断時の発熱により
温度上昇するが、図示しない加工液温調装置によって温
度調節されている。また、ノズル５１、５１からも加工
液５２、５２をワークプレート４３に向けて流下してい
る。このワークプレート４３は従来技術によるワークプ
レートと同一のものであって、冷却媒体による温度制御
は行われていないが、その代わりに切断開始以前から温
度調節された加工液５２、５２を流下することによって
切断加工中の全般にわたってワークプレート４３の温度
を安定させ、切断加工精度を維持している。

【００２６】図５では、加工液５２、５２をワークプレ
ート４２に流下する例を説明したが、被加工物切断後に
要求されるウェーハの切断面の精度によっては、加工液
５２、５２をワークプレート４２に流下する代わりに、
図２に示す流路６０に加工液５２を流してワークプレー
ト４２を温度調節してもよいし、両方の温度調節手段を
用いてもよい。

【００２７】図６に他の発明の実施の形態を示す。図６
は被加工物を切断中の状態におけるプレッシャープレー
ト９８の構成を示す正面図で、一部について断面を示し
てある。同図に示すように、プレッシャープレート９８
は略矩形状に形成され、該プレッシャープレートの下面
又はワークプレート４３の上面に温度検出手段６８を備
えるとともに、該プレッシャープレート９８はワークプ
レート４３に押圧可能な構造となっている。ワークホル
ダ４４の上面にはエアシリンダ９９、９９が設けられて
おり、該エアシリンダのロッド４８、４８…は前記プレ
ッシャープレート９８にそれぞれ回転可能に結合されて
いるので、プレッシャープレート９８とワークホルダ４
３は密着させることが可能であるとともに、インゴット
３２交換時にワークホルダ４３を取り外す場合にはプレ
ッシャープレート９８を図６の上方へ逃がすことが可能
となっている。

【００２８】同図に示すように、ワークプレート４３の
下面にスライスベース４６を介してインゴット３２が接
着される。ワークプレート４３は、その両端部をチルチ
ングユニット３０のワーク保持部であるワークホルダ４
４とプレッシャープレート９８とで挟持することによ
り、チルチングユニット３０に保持される。ワイヤ１４
は図６紙面の表裏方向に走行しており、インゴット３２
を薄板のウェーハに切断している。

【００２９】前記プレッシャープレート９８には流路６
０が設けられており、該流路６０の内部には、図示しな
い温調装置で温度を調節された冷却媒体が流れていて、
温度検出手段６８からの温度情報に応じて前記冷却媒体
の温度を制御している。本発明によれば、プレッシャー
プレート９８の温度を制御することによって、密着して
いるワークプレート４３の温度を安定させて、切断加工
の精度を維持している。ワークプレート４３はインゴッ
ト３２を交換するときにワークホルダ４４から一緒に外
すので、その交換作業を容易にするために、図６に示す
実施の形態では、ワークプレート４３から温調用のプレ
ッシャープレート９８を分離した構造とした。この構造
にすることによってインゴット３２を交換する毎に冷却
媒体をワークプレートから排出する作業が不要となる。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤソーにおいて、被加工物を取付けて保持するワー
クプレートに冷却媒体を流す流路を設けたので、切断し
た被加工物の反りを抑制し、高精度な切断が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワークプレートを適用したワイヤ
ソーの全体構成を示す斜視図

【図２】被加工物を切断中の状態におけるワークプレー
トの構成を示す正面図

【図３】本発明に係る、遮蔽板を設けた実施の形態を示
す断面図

【図４】本発明に係る、遮蔽板を設けた他の実施の形態
を示す断面図

【図５】本発明に係る、他の実施の形態を示す断面図

【図６】本発明に係る、プレッシャープレートを設けた
実施の形態を示す断面図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ４２…ワークプレート ５０、５１…ノズル ５２…加工液 ６０…流路 ６２…温調装置 ６８…温度検出手段 ８０…圧縮空気 ８２…電磁弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C047 FF06 FF09 FF11 GG03 GG15 HH12 3C058 AA05 AA12 AA15 AA18 AC01 AC02 AC04 BA08 BB04 CB01 CB02 DA03 3C069 AA01 BA06 BB03 BB04 CA04 CB01 DA06 EA02 EA05

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに
   巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加工液を供
   給しながら被加工物を押し当てることにより該被加工物
   を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 被加工物を取付けて保持するワークプレートに冷却媒体
   を流す流路を設けたことを特徴とするワイヤソーのワー
   クプレート温度制御装置。
2. 【請求項２】 前記ワイヤソーには、冷却媒体を供給す
   る冷却媒体供給手段と、 前記ワークプレートの付近の温度を検出する温度検出手
   段と、 前記温度検出手段から得られた温度情報に応じて前記ワ
   ークプレートの流路に流す前記冷却媒体の温度を調節す
   る温調装置と、 を設けたことを特徴とする請求項１のワイヤソーのワー
   クプレート温度制御装置。
3. 【請求項３】 前記ワークプレートの前記流路内に圧縮
   空気を供給する給気手段と、 前記給気手段からの圧縮空気の供給及び停止を切り替え
   る弁と、 を備えたことを特徴とする請求項１のワイヤソーのワー
   クプレート温度制御装置。
4. 【請求項４】 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに
   巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加工液を供
   給しながら被加工物を押し当てることにより該被加工物
   を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 被加工物を取付けて保持するワークプレートに、温度調
   節された加工液を流下させるノズルを設けたことを特徴
   とするワイヤソーのワークプレート温度制御装置。
5. 【請求項５】 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに
   巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に加工液を供
   給しながら被加工物を押し当てることにより該被加工物
   を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 冷却媒体を流す流路を設けたプレッシャープレートを備
   え、 被加工物を取付けて保持するワークプレートに前記プレ
   ッシャープレートを密着することを特徴とするワイヤソ
   ーのワークプレート温度制御装置。
6. 【請求項６】 前記プレッシャープレートは、前記ワー
   クプレート交換時に前記ワークプレートから離れる構造
   であることを特徴とする請求項５のワイヤソーのワーク
   プレート温度制御装置。